第二节
蒸发法
合金:
Å在蒸发的过程中会发生成分偏差。 Å但合金中原子间的结合力小于化合物, 各原子蒸 发过程基本属独立蒸发过程。 Å这种成分偏差程度不象化合物那么大。
第二节
纯元素多是以单个原子、但有时也可能是以原子
团的形式蒸发进入气相的。 大多数金属达到其熔点时 , 其平衡蒸气压也低于101Pa。在蒸发法中常温度高于其熔点。 Cr、Ti、Mo、Fe、Si等金属在接近熔点温度时,其 固相的平衡蒸气压己相对较高。因此, 这些元素可 以通过固态物质的升华方式形成气相物质。 可确定物质蒸发的难易程度
电波频谱范围 , 又称 射频放电 , 最常用的频率为 13.56MHz。
微波放电:当电场的频率超过1GHz时,
电。常用的微波放电频率为2450MHz。
属于微波放
第一节
气体放电不同状况
等离子体的基础知识
开始时电流随电压的增
加而增大(电流值极小 < 10 -14 A)。由于气体内 所含自由电荷极少的缘 故。
第一节
E =
等离子体的基础知识
e
在等离子体中的电场 qn x 电子的运动方程
q ne x d x me 2 = − ε0 dt
2 2
ε0
d 2x + ω 2 dt
2 p
x = 0
等离子体振荡频率⎯朗谬尔频率
ωp =
q 2 ne meε 0
+ + + + + + + + + + + x
E
第一节
等离子体的基础知识
1.3 等离子体的粒子密度和温度 子密度和粒子温度。