SEMCO扩散炉保养计划表20100720
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调节阀
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定位块
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机械手急
停按钮
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机械手复位提示
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桨高低位电机
桨前进后退电机
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大族扩散设备维护记录(月保养)
维护记录确认人:
备注:见每月的PM维护时间表,如与周保养重复做月保养优先
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大族扩散设备维护记录(周保养)
维护记录确认人:
备注:周保养时间见设备PM维护计划维护时间
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【机械制造】设备维修保养计划(共4页)文件编号HP/QB-072-013-1 无锡市黄浦电线电缆有限公司设备维修保养计划第 1 页共 2 页1. 目的保持厂基础设施、设备的良好状态,以保证使用过程效能,确保产品满足顾客的要求。
2. 范围适用于本厂基础设施、设备的控制和管理。
3. 职责3.1生产部是设备维护保养的归口管理部门。
负责厂的基础设施、设备的管理。
3.2生产部根据厂基础设施、设备的实际情况,负责建立管理档案,制订《设备操作规范》,对设施、设备实施全过程的管理。
3.3生产部负责所有的设施、设备进行维修、保养及运行操作管理。
4 工作程序设备在使用过程中,随着运行工时的增加,各部机构和零件由于受到摩檫、腐蚀、磨损、振动、冲击、碰撞及事故等诸多因素的影响,技术性能逐渐变坏。
4.1保养作业内容按照保养作业性质可分为:清洁,检查,紧固,润滑,调整,检验和补给作业。
检验作业由国家指定的检验部门执行,或由本司专职检验人员负责进行。
1) 清洁、检查、补给作业一般由设备操作人员执行。
2) 紧固、调整、润滑作业一般由机修工执行。
3) 压力容器作业由专业人员执行。
4) 电气作业由专业人员执行。
5 保养制度本公司的设备保养制度是以预防为主,定运行工时进行保养的原则,分为例行保养,一级保养,二级保养,三级保养,季节性保养。
设备保养的分级和作业内容是根据实际使用中技术情况的变化;设备的结构;使用的条件;环境条件等确定。
是根据零件磨损规律,老化规律,把程度相近的项目集中起来,在达到正常磨损,老化将被破坏前进行保养,保持设备整洁,发现和消除故障隐患,防止设备早期损坏,达到设备维持正常运行的目的。
5.1设备的例行保养设备的例行保养是各级保养的基础,直接关系到运行安全,能源的消耗,机件的使用寿命。
例行保养作业由设备操作人负责执行,其作业中心内容以清洁、补给、安全、检视为主,坚持开工之前、运行中、收工后的三检制度。
检查操纵机构、运行机件、安全保护装置的可靠性,维护整机和各总成部位的清洁,润滑必须润滑到位,紧固松动件等。
动力车间设备保养计划
为了保证动力车间设备的正常运行,特制定本保养计划。
一、保养对象
包括动力车间中的电动机、空压机、泵浦等动力设备。
二、保养周期
1. 电动机:每3000小时进行一次保养。
主要包括清洗、添加润滑油、检查电刷和轴承等。
2. 空压机:每6000小时进行一次保养。
主要包括清洗滤芯、添加润滑油、检查气缸和活塞环等。
3. 泵浦:每5000小时进行一次保养。
主要包括清洗、添加润滑油、检查密封件和转子等。
三、保养责任人
电工负责电动机的保养,机修工负责空压机和泵浦的保养。
四、保养记录
每次保养后,保养责任人应如实填写保养记录,并报备车间主任。
请各位同事务必按计划开展设备保养工作,确保设备安全可靠运行。
如有疑问,请及时与我联系。
车间主任:张三
2022年1月1日。
中国电子科技集团公司第四十八研究所M5111-4W/UM系列高温扩散/氧化系统维修手册中国电子科技集团公司第四十八研究所2007年6月中国电子科技集团公司第四十八研究所目录1.设备型号涵义 (1)1.1型号的组成 (1)1.2各代号涵义 (1)2.电气图纸的代号规定 (2)2.1电气制图代号定义 (2)2.2元器件编号规定······················2.3电气接线编号规定····················2.4电气转接端口定义····················2.5计算机转接端口定义···················3.故障判别与维修······················3.1温度控制系统·······················3.1.1温控仪上显示oooo····················3.1.2炉子不能升温······················3.1.3面板上的超温指示灯亮··················3.1.4炉温失控························3.1.5面板上的短路指示灯亮··················3.2自动推拉舟系统······················3.2.1不能自动进出舟·····················3.2.2不能自动停舟······················3.3气体流量控制系统····················3.3.1气动阀不能受控打开···················3.3.2触摸屏上无气体流量显示·················3.3.3气体流量总是显示最大值·················3.3.4气体流量显示值波动大··················3.4 H/O合成氧化系统····················3.4.1火不能点燃·······················3.4.2系统误报警·······················I (3)(3)(3)(7)(11)(11)(11)(11)(12)(12)(13)(13)(13)(14)(14)(14)(14)(15)(15)(16)(16)(16)中国电子科技集团公司第四十八研究所1.设备型号涵义1.1 型号的组成按照部颁标准,我所高温扩散/氧化系统的型号由如下代号组成:M 5 1 11 — 4 W / UM型 48所)类别代号(表面处理和薄膜淀积设备)1.2 各代号涵义1300℃3〞硅片工艺4〞硅片工艺6〞硅片工艺8〞硅片工艺1中国电子科技集团公司第四十八研究所2.电气图纸的代号规定2.1电气制图代号定义按照国家电气制图标准,我所常用电气图纸器件代号如下:代号ABCEFGHJKLMNPQRSTUVWXYZ 代号意义计算机及板卡、步进电机驱动器、印制电路板、带触发电路的可控硅模块、氢气报警器、湿度计、冷阱、触摸显示器薄膜规、热电偶、接近开关、光电开关电容加热器、扩散泵、照明灯熔断器开关电源、直流电源指示灯、报警器温控仪固态继电器、交流接触器、交流继电器、直流继电器、延时继电器三相总进线,分为:L1、L2、L3 真空泵、轴流风机、净化风机零线质量流量控制器、水压开关、水流开关、电接点压力表、真空计、记录仪、电流表、电压表、检测器件断路器、空气开关电阻、电位器、热敏电阻、压敏电阻按钮开关、旋钮开关、急停开关、行程开关、液位开关、接近开关变压器、调压器、电压互感器、电流互感器旋转编码器、变频器、整流器晶体管、晶闸管、可控硅模块、发光二极管、规管、光敏管导线、电缆接线排、端子排、连接片(XB)、电缆封端、接线板、普通插头座、航空插头座(头可采用XP、座可采用XS)电磁阀、电磁离合器、气动阀滤波器2中国电子科技集团公司第四十八研究所2.2元器件编号规定* * * * *如电控柜中下层第5号插头座编号为:X1205 ;净化台照明开关的编号为:S20052.3电气接线编号规定* * * **连接线序号,零线号从001~099 ;其他线号从101~999 。
M5111-4W/UM系列高温扩散/氧化系统维修手册中国电子科技集团公司第四十八研究所2007年2月目录1.设备型号涵义 (1)1.1型号的组成 (1)1.2各代号涵义 (1)2.电气图纸的代号规定 (2)2.1电气制图代号定义 (2)2.2元器件编号规定 (3)2.3电气接线编号规定 (3)2.4电气转接端口定义 (3)2.5计算机转接端口定义 (7)3.故障判别与维修 (11)3.1温度控制系统 (11)3.1.1温控仪上显示oooo (11)3.1.2炉子不能升温 (11)3.1.3面板上的超温指示灯亮 (12)3.1.4炉温失控 (12)3.1.5面板上的短路指示灯亮 (13)3.2自动推拉舟系统 (13)3.2.1不能自动进出舟 (13)3.2.2不能自动停舟 (14)3.3气体流量控制系统 (14)3.3.1气动阀不能受控打开 (14)3.3.2触摸屏上无气体流量显示 (14)3.3.3气体流量总是显示最大值 (15)3.3.4气体流量显示值波动大 (15)3.4 H/O合成氧化系统 (16)3.4.1火不能点燃 (16)3.4.2系统误报警 (16)1.设备型号涵义1.1 型号的组成按照部颁标准,我所高温扩散/氧化系统的型号由如下代号组成:M 5 1 11 — 4 W / UM型所企业代号(中国电子科技集团公司第48所)特点代号设计顺序号主参数(1100℃)品种代号(扩散设备)形式代号(掺杂设备)类别代号(表面处理和薄膜淀积设备)1.2 各代号涵义M 薄膜淀积设备5 掺杂设备1 扩散掺杂设备13 主参数,最高使用温度1300℃1 炉膛有效内径φ150mm,适用于3〞硅片工艺2 炉膛有效内径φ180mm,适用于4〞硅片工艺3 炉膛有效内径φ250mm,适用于6〞硅片工艺4 炉膛有效内径φ300mm,适用于8〞硅片工艺W 微控H 悬臂舟A 内燃式B 外燃式S 双温区2.电气图纸的代号规定2.1电气制图代号定义按照国家电气制图标准,我所常用电气图纸器件代号如下:2.2元器件编号规定* * * * *0—公共器件,1—下层,2—中下层,3—中上层,4—上层 1—电控柜,2—净化台,3—炉体柜,4—气源柜如电控柜中下层第5号插头座编号为:X1205 ;净化台照明开关的编号为:S20052.3电气接线编号规定* * * * *001~099 ;其他线号从101~999 。
锅炉日常保养与检修一.锅炉本体维护和保养(一).燃烧系统的维护和保养1)检查炉膛、布风板、风帽、尾部烟道和各人孔门是否烧红、变形和漏风;保温耐火材料是否有裂痕和脱落现象;2)检查锅炉钢架和承重结构是否腐蚀和变形;3)检查吹灰装置和管路是否正常,无漏气现象;4)点火装置和管路是否正常,油枪喷嘴有无积碳、有无漏油现象。
(二).汽水系统的维护和保养1)检查所有汽水系管道和阀门是否泄漏;2)检查安全附件是否正常指示,检验期限是否在规定时间内;3)检查汽水管道膨胀、保温和支架固定是否正常;4)检查膨胀指示器指示是否正常。
(三).辅助设备的维护和保养(一).风机1.定期对电机的电器、线路进行检查测试。
2.定期检查电机的转子定子和接线柱、定期检查电机轴承和轴承润滑情况,定期更换润滑脂;检查电机散热风扇的情况。
3.定期检查风机传动部的轴承和油位油质,定期更换润滑油,润滑油最好每年至少更换一次。
4.检查风机的振动情况,如振动过大应检查叶轮的动平衡。
5.引风机的其它附件进行检查(进风口、调风门、联轴器、地脚情况等)。
6.保持设备的外表面的清洁,做好油漆防腐工作。
7.使用当中注意风机轴承和电机的温升不要超过允许温升(二)、给料机、给煤机、冷渣机1.定期对电机的电器、线路进行检查测试。
2.定期检查电机的转子定子和接线柱、定期检查电机轴承和轴承润滑情况,定期更换润滑脂;检查电机散热风扇的情况3.给料机、给煤机、冷渣机轴承每三个月添加润滑脂;4.检查皮带有无变形,跑偏并及时较正;5.经常检查变速箱油位是否正常并及时添加,必要时每半年换油;6.每星期对冷渣机轴承加2#锂基质润滑油一次,其行星摆线减速机检修,加油按厂家规定进行更换。
二.停炉后的检查和检修(一)锅炉汽水系统的检查和检修1.打开上下锅筒人孔门,清理内部污物,检查和清理汽包内部的腐蚀和结垢情况,并做好防腐工作;2.检查内部汽水分离器装置和各连接管件焊接是否正常;3.打开联箱,联箱内排污件,清理内部污物。
Centrotherm扩散炉三级维修保养作业指导书目录第一章设备的基础知识 (3)1.1.1、紧急停机、主电源开关 (3)1.1.2 、附属设施条件 (3)1.1.3、设备结构特征及附图 (3)第二章设备全员生产维.(TPM) (6)第一节TPM介绍 (6)2.1.1、TPM 名词术语释义 (6)2.1.2、TPM 的内容和特点 (6)2.1.3、TPM 的5S 活动 (8)2.1.4、TPM设备保养 (8)2.1.5、设备点检 (10)2.1.6、日常工具管理 (10)第二节设备一级保养(日常维护项目) (11)2.2.1、设备卫生 (11)2.2.2、设备运行情况 (12)第三节设备二级保养(定期维护和调整项目) (14)2.3.1、设备维护计划 (14)2.3.2、设备维护步骤 (14)2.3.3、石英器件的维护 (17)2.3.4、更换源瓶 (19)第四节设备三级保养 (20)2.4.1、安全事项 (20)2.4.2、故障显示及处理 (21)(一)CESAR控制计算机上的故障显示及排除 (21)(二)设备部件的故障诊断 (22)A、装载区故障 (22)B、毒性气体抽排装置中的故障 (23)C、水平式炉体故障 (23)D、气源柜中故障 (24)E、炉体部件检测 (24)F、调节TGA空闲传感器 (26)2.4.3、CMI错误报警及排除 (29)第三章POCL3性质和应急处理 (34)3.1、三氯氧磷性质 (34)3.2、三氯氧磷泄露应急处理预案 (36)附:设备缩写词含义 (37)扩散炉二级保养检查记录单 (38)第一章设备的基础知识设备安全控件及辅助设施参数1.1.1、紧急停机主电源开关机身背部,停止所有动作,不受控制的工艺程序取消,使整个设备无电压。
紧急停机按钮操作屏上方,停止所有动作,不受控制的工艺程序取消,使整个设备无电压。
停止动作按钮停止所有机械动作,工艺程序不受影响。
1.1.2、冷却水:入口17-21度,最少65升/分钟,4-6bar,进出压差4bar压缩空气:干燥,无油,5-7bar氧气:1.2-2.5bar氮气:1.2-2.5 bar电源:3/N~380/220V 50HZ 160KW排风量:2000m3/h1.1.3、结构特征:扩散系统A气源柜:工艺气体控制系统。
燃气锅炉维修保养计划
一、目的
制定本计划的目的是为了保证燃气锅炉的正常运行和延长使用寿命。
通过规范的维修保养,可以提高设备可靠性,保证安全性,减少故障率。
二、范围
本计划适用于公司所有使用的燃气锅炉。
三、负责人设定
生产部负责人负责组织实施和监督本计划。
四、保养时间
1. 每月定期保养
技术人员每月检查一次燃气锅炉各重要部件,如阀门、安全装置等是否充装燃料气。
2. 每季度保养
技术人员每季度对锅炉进行详细检查和保养,如清洗锅身和烟囱、更换过滤网等。
3. 每年大修
技术人员每年进行一次大修,对锅炉进行深入检查,如更换易损零件。
五、保养项目
1. 检查气阀阀门是否泄漏。
2. 检查安全阀是否正常。
3. 清洗锅身及烟囱。
4. 更换过滤网。
5. 更换易损零件。
6. 其他
六、记录管理
每次保养应详细记录保养日期、项目和人员,备查。
七、安全教育
定期为操作人员提供安全操作培训,提高保养安全意识。
以上就是燃气锅炉维修保养计划的主要内容,希望能够对企业锅炉装备管理提供指导。
叉车保养计划表1、定期保养计划表O-检查、校正、调整-更换发动机润滑系统清洁度OOOO更换发动机机油ΧΧΧ更换发动机机油滤芯ΧΧΧ燃油目视检查油管、油泵、邮箱是否漏油OOOO检查燃油滤清器是否堵塞OOO状态(柴油机)验台检查汽化器连接机构松动情况及清洁度(汽油机)O(每3个月)O点火正时(汽油机)计时器O(每3个月)O喷射时刻(柴油机)O传动系统项目保养内容具小时)(200小时)(1200小时)(2400小时)离合器检查离合踏板空行程和离合器脱开时踏板面与底板间隙刻度尺OOOO声音和操作情况OOOO分离和结合情况OOOO机变速杆操检查油量或换油初次(200h)ΧΧ微动踏板空行程和运行情况OOOO控制阀和液力离合器性能OOOO微动阀性能OOOO换挡杆的操作及松动情况OOO注:液力变速箱初次200小时更换液力传动油。
但CPCD20/25/30/35HW15A、CPQD20/25/30/35HW11A除外。
车轮(前、后轮)转向系统目时)小时)小时)小时)方向盘检查间隙OOOO检查轴向松动OOOO检查径向松动OOOO检查操作状况OOOO转向器检查安装螺栓是否松动OOO后检查主销是否松动OOO制动系统是否有空气OOOO停车制动操纵制动是否安全可靠并有足够行程OOOO操纵性能OOOO杆、拉索等操纵性能OOO连接是否松动OOO管路损伤、渗漏、破裂OOO连接、夹紧情况总泵、活塞皮碗、单向阀磨损损伤情况,更换Χ制动鼓及制动鼓安装零件是否松动检测锤OOO摩擦片磨损情况游标卡尺O液压系统压油箱清理吸油滤芯OO排除异物OO控制阀杆连接是否松动OOOO操作情况OOOO多路阀漏油OOOO安全阀和倾斜自锁阀操作情况OOO测量安全油电气系统点火装置(汽油机)否烧蚀O调整火花塞间隙塞规O(每3个月)O清理火花塞O(每3个月)O盖和高压线安装情况O分电盘是否烧蚀O分电盘中心部分磨损、损伤情O起升系统项目保养内容具小时)(200小时)(1200小时)(小时)链条齿轮检查链条张紧状态,是否变形、损伤锈蚀OOO链条加油OO铆接销及松动情况OO链轮变形、损伤情况OO链轮轴承是否松动OO属检查状态是否OO情况液压泵液压泵是否漏油或有杂音OOO液压泵主动齿轮磨损情况OO货叉货叉损伤、变形、磨损情况OO定位销损伤、磨损情况O货叉根部挂钩焊接部开裂及磨损情况OO门内门架、外门货叉架是否焊接不良、开裂或损伤OO滚轮是否松动OO门架支承轴瓦磨损、损伤情况门架支承盖螺栓是否松动检测锤O(仅第一次)O起升油缸缸底螺栓、活塞杆头部螺栓、U 检测O(仅第O其它养项目保养内容工具(8小时)每月(200小时)6个月(1200小时)每年(2400小时)护顶架安装是否牢靠检测锤OOOO检查变形、开裂、损伤情况OOOO转向指示工作及安装情况OOOO2、定期更换关键安全零件.有些零件虽经过定期的保养却仍然难以发现损伤或损坏,为了进一步改善安全性,应对下表中给出的零件进行定期更换。
热水锅炉二级保养计划内容
一、检查和清洗
1. 检查锅炉外壳是否有破损处,有则补救;
2. 清洗锅炉外壳,除去表面灰尘;
3. 检查安全阀是否畅通,如有阻塞则清除;
4. 检查烟道是否有堵塞,如有则清除;
5. 检查烟检测器是否正常。
二、检查和清洗燃烧系统
1. 检查烧器是否正常,如有堵塞清除;
2. 检查引火系统是否完好;
3. 检查风箱叶轮是否畅通;
4. 清洗烟道及通风系统;
5. 测试引火程序是否正常;
6. 测试风机试转是否畅通。
三、锅体保养
1. 检查锅体是否有锈蚀,有则消蚀处理;
2. 检查锅体是否有渗漏,如有则处理;
3. 测试保温功能是否正常;
4. 测试水质检测功能是否正常;
5. 测试安全阀堵塞报警功能是否正常。
四、记录保养结果并签名。