气路图
序号故障现象故障分析处理方法位置
常开电磁阀
手动阀
扩散小N 2（V 4
）
Ｐ压力传感器 PFA 气动阀
大N 2（V 1）
POCl 3
清洗小N 2（V 2）
单向阀 PFA 气动阀
O 2
（V 3
） 电磁阀
三氯乙烷
金属气动阀 流量计
N 2 (3.4)
O 2 压缩空气
热电偶开路换热电偶
炉体柜
热电偶与补偿线接触
不良
检查并重接转接点炉体柜,计算机控制柜
补偿线与温控仪接触
不良
计算机控制柜
2温控仪与显示器上
不一致
RS232/485转换器故障更换转换器计算机控制柜温控仪上显示0000
1
温控仪
热电偶
炉体加热按钮未开按下加热“开”
计算机控制柜
功率部件上保险烧坏换保险丝(125A)
炉体柜
温控仪无控制输出检查温控仪
计算机控制柜保险丝
加热开
可控硅开路
换可控硅
炉体柜
炉体加热丝断换炉体
炉体柜
触发器上保险烧坏
换保险 (0.25A)
炉体柜
炉子不升温
3
保险管
可控硅
散热片
可控硅触发器无+15V
电源
炉体柜,计算机控制柜
可控硅短路换可控硅(300A/900V)
炉体柜可控硅
散热片
+15V GND
热电偶或补偿线短路
炉体柜,计算机控制柜
热电偶或补偿线极性接反
改正接法炉体柜,计算机控制柜
温控仪参数设置错误重新设置参数
计算机控制柜
炉温失控
4
热电偶
热电偶开路接好热电偶
炉体柜
可控硅烧坏短路换可控硅
炉体柜
系统显示超温报警
并自动切断加热电
流
热电偶
温度保护值低于使用温度值重设保护值,增大Al1值
计算机控制柜
可控硅触发器故障检修或更换触发器板
炉体柜
5系统显示超温报警
并自动切断加热电
流
触发板
热电偶短路检查热电偶
炉体柜
补偿导线短路检查补偿导线炉体柜,计算机控制柜炉内各温区温差较大用热电偶矫正控温热电偶检测值，修改温控仪Pb值炉体柜，计算机控制柜PID参数不匹配调整温控仪PID参数计算机控制柜
面板上的“急停”按钮处按下位置松开“急停”按钮
计算机控制柜
极限开关起作用手动反转丝杆净化推舟柜限位开关未复位或损
坏
检查限位开关净化推舟柜保险丝烧断换保险(1A)计算机控制柜
限位开关离活动金属触块太远调整限位开关位置净化推舟柜
6 7 8系统显示短路报警
并自动切断加热电
流
不能自动进出舟
温度波动频繁
急停按钮
限位开关损坏换限位开关净化推舟柜
限位开关连接线故障检查连线及转接插头净化推舟柜,计算机控制柜限位开关上无+5V电源查计算机的电源输出计算机控制柜
减压阀、手动阀未打
开
打开相应阀门气源柜
没有±15V电源合上气源柜电源开关
电磁阀未打开打开相应的电磁阀
固态继电器未动作检查固态继电器载板
计算机控制柜
采用气动阀时，压缩
空气压力太小
检查压缩空气减压阀气源柜
转接线及转接插头故障 检查各转接线及插头气源柜
不能自动停舟
9
固态继电器
质量流量控制器故障更换流量控制器
气源柜
计算机故障检查812PG、726板卡
计算机控制柜
气路无流量显示
10726板卡槽
812PG 卡槽
气体流量计
水位过低加水
气源柜
循环水泵不运行清洗水泵或更换水泵轴承
气源柜
恒温水箱超温11