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谭旺
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A/0 第1页 1.目的
确保烧结工艺处于稳定、受控状态。 2.适用范围
适用于印刷后硅片在烧结炉中的烧结过程。 3.职责
3.1本作业指导书由技术部负责编写和修订；
3.2所有操作人员必须严格按照该文件规定进行操作。
4.作业准备
4.1劳保用品：穿戴好净化分体服、一次性手套、一次性口罩、帽子、布鞋。 4.2确认设备通电正常、冷却水正常、压缩空气气压正常、排风正常。
5.作业步骤 5.1工艺准备
该作业由组长执行！
5.1.1开机：具体步骤请参考《烧结炉维护操作规程》。 5.1.2设备确认
检查设备和PC 上是否有故障显示（红色灯或/和警告窗口）；确认冷却水温是否正常。确认设备运行正常方可执行后续作业；确认急停按钮已经弹起。若设备有故障显示，应立即汇报班长。
5.1.3确认工艺参数
每班接班后，生产工序长需对工艺参数进行点检，发现异常及时报告工艺人员，如无异常，将点检结果填写于《烧结工艺参数点检表》中，见附件一。 5.2工艺启动，该作业由组长执行！ 5.2.2实际参数确认
等待参数：速度、温度达到稳定后；确认实际参数在设定的区间内（警示灯转为绿色）。 5.3硅片流入 5.3.1放入预烧片
开机和设定温度修改后，在正常硅片流入前，放入两片预烧片（从低效片中取出的电池片），
5.3.2 烧结工艺确认
在放入预烧片后，流入印刷完成后的硅片5片。由工程师确认烧结工艺正常。
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A/0 第2页 5.3.3硅片正常流入
待烧结工艺确认后，印刷完电极后的电池片自动流入烧结炉，无需人工操作。
5.4电池片流出
取出预烧片，重复使用。
观察流入电池片的位置，如果发现电池片偏移，手动移正，保证流入硅片位置无偏移。 取出烧结过程中破损电池片；定时对流出电池片做外观检查。
如果分选仪停止，用手取出流出的电池片，防止由于电池片堵塞造成的破片。 发现连续异常及时通知丝网印刷工序操作人员。 5.5关机
该作业由组长执行！
5.5.1确认烧结炉中所有加工硅片已经流出；
5.5.2关机：具体步骤请参考《烧结炉维护操作规程》。
6.自检
该作业由组长与操作人员一起执行！
操作人员在流出硅片检测过程中，对硅片进行外观自检。自检要求如下所示： 6.1表面检验
参考《单晶硅太阳电池企业标准》检测烧结后电池片正面和背面，无表面外观问题；翘曲度符合检测标准。 6.2破片检验
要求硅片没有裂片、没有明显裂纹、崩边、缺角。 6.3 烧结温度变更记录
烧结温度做改动时，在《工艺参数变更记录表》作出详细记录。
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A/0 第3页 6.4工艺参数表
温区 温区1 温区2 温区3 温区4 温区5 温区6 温区7 温区8 温区9 冷却水压力/Mpa
带速 /rpm
温度
/℃
300±15
320±15
340±15
380±20
480±25
540±25
650±30 820±40 850±40 0.25~0.45 43±2 气流量 40±10 45±10 25±10 15±10 20±10 15±5 10±5
15±5
50±10
各温度设定值与实际值偏差要求在±5℃。
7.异常处理
7.1设备出现故障信号（红灯显示），组长应立即报告班长，并通知丝网印刷工序停止印刷。
7.2工艺出现异常，如破片率高、连续出现外观问题，组长立即通知丝网印刷停止印刷，通知班长和工
程师。 8.相关文件
《单晶硅太阳电池企业标准》 9.安全注意项
9.1非该工序生产、工艺和维护人员不得对设备进行操作、拆卸和改装。 9.2设备运行时禁止打开，拆卸安全门。
9.3在炉体温度降到50℃下之前，禁止对设备内部做任何操作。 9.4烧结炉内有硅片时禁止降温。 10.记录表格
《工艺参数变更记录表》 《烧结工艺参数点检表》
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更改记录
版次 条款
更改内容说明
更改日期 更改人 A/1
5.1.3 确认工艺参数
增加点检表样表，见附件一
2010-6-4
臧其军
附件一
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■ 真空-热压烧结炉的介绍： 包括烧结炉和抽真空部分，烧结炉包括炉体和装设在炉体内的加热室，烧结炉上安装有六个引电电极，其特征是在炉体的上、下方分别设置有油压机上梁和油压机下梁，油压机上梁和油压机下梁由四个支柱连接成一整体；上压头由上水冷压头和上石墨压头连接构成，下压头由下水冷压头和下石墨压头连接构成，上压头和下压头分别从炉体和加热室的上、下端面上的压头通孔、插入炉体内，其上石墨压头和下石墨压头分别插入加热室内，上压头和下压头可上、下移动。 ■ 烧结的介绍： 1、烧结 粉末或压坯在低于主要组分熔点的温度下的热处理，目的在于通过颗粒间的冶金结合以提高其强度。 2、填料 在预烧或烧结过程中为了起分隔和保护作用而将压坯埋入其中的一种材料。 3、预烧 在低于最终烧结温度的温度下对压坯的加热处理。 4、加压烧结 在烧结同时施加单轴向压力的烧结工艺。 5、松装烧结 粉末未经压制直接进行的烧结。 6、液相烧结 至少具有两种组分的粉末或压坯在形成一种液相的状态下烧结。 7、过烧 烧结温度过高和（或）烧结时间过长致使产品最终性能恶化的烧结。 8、欠烧 烧结温度过低和（或）烧结时间过短致使产品未达到所需性能的烧结。 ■ 卧式真空烧结炉 卧式真空烧结炉 1、工作温度400°C－1200°C 2、恒温区400mm/±1°C 3、单点精度≤±1°C/24H 4、冷态真空度6.7×10-5Pa ■ 隧道式网带烧结炉 用途：厚膜电路、厚膜电阻等厚膜产品烧结；电子元件端头烧银，气氛保护下的烧结、钎焊等，也可用于电子陶瓷产品的预烧、低温烧结或热处理、排胶、退火特点：独特炉腔设计、均匀；远红外加热、高效；超轻质保温、节能；包括快烧炉和马弗式炉，系列齐全，选件丰
常规真空烧结炉： 真空烧结炉是在真空环境中对被加热物品进行保护性烧结的炉子，其加热方式比较多，如电阻加热、感应加热、微波加热等。真空感应炉是利用感应加热对被加热物品进行保护性烧结的炉子，可分为工频、中频、高频等类型，可以归属于真空烧结炉的子类。 真空感应烧结炉 真空感应烧结炉是在真空或保护气氛条件下，利用中频感应加热的原理使硬质合金刀头及各种金属粉末压制体实现烧结的成套设备，是为硬质合金、金属镝、陶瓷材料的工业生产而设计的。 VSWF真空感应钨烧结氢气炉 一、主要原理及用途 真空感应钨烧结炉是在抽真空后充氢气保护状态下，利用中频感应加热的原理，使处于线圈内的钨坩埚产生高温，通过热辐射传导到工作上，适用于科研、军工单位对难熔合金如钨、钼及其合金的粉末成型烧结。 二、主要结构及组成 结构形式多为立式、下出料方式。其主要组成为：电炉本体、真空系统、水冷系统、气动系统、液压系统、进出料机构、底座、工作台、感应加热装置(钨加热体及高级保温材料)、进电装置、中频电源及电气控制系统等。 三、主要功能 在抽真空后充入氢气保护气体，控制炉内压力和气氛的烧结状态。可用光导纤维红外辐射温度计和铠装热电偶连续测温(0～2500℃)，并通过智能控温仪与设定程序相比较后，选择执行状态反馈给中频电源，自动控制温度的高低及保温程序。 真空烧结炉安全操作规程 1．中频电源、真空炉炉体、感应圈之冷却水源——蓄水池之水必须充满，水中不得有杂质。 2．开动水泵，使其中频电源，真空炉感应圈、炉体冷却系统水循环正常，并调整水压控制在规定值。 3．检查真空泵电源系统，皮带盘皮带松紧，真空泵油是否位于油封观察孔中线。检查妥后，人工转动真空泵皮带盘，如无异常，可在关闭蝶阀的情况下，启动真空泵。 4．检查真空炉体内情况，要求真空炉体内一级卫生，感应圈绝缘良好，密封真空胶带具有弹性，尺寸合格。 5．检查真空炉体的杠杆手把启动是否灵活。 6．检查转动式麦氏真空计是否合乎要求。 7．检查石墨坩埚，装炉配件是否齐全。 8．在以上准备就绪后，接通电源，中频电源合闸，按中频启动规则，试启动变频，成功后停止变频，方可开炉。 9．真空炉体上盖的观察、测温孔，每次开炉均需清洁处理，以便观察和测温。
红外烧结炉操作手册
目录表1 关于这个手册 1.1 手册的构成 1.2 协议 2 系统概况 2.1 介绍 2.2 系统容量 2.3 系统组件 2.3.1 硬件 2.3.2 软件 3软件描述 3.1 进入 3.2 主屏控制和说明 3.2.1 炉状态 3.2.2 程序控制 3.2.3 数据标记 3.2.4 温度压力监控 3.2.5 菜单按钮 3.2.6 灯功率 3.3定义和修改程序 3.3.1 创建 3.3.2 修改 3.4导入程序 4附加功能 4.1 I/O接口 4.1.1 数据库控制 4.1.2 网络 4.1.3 超声清洗 4.1.4 进入线程
4.2 远程进入 4.2.1 控制和指令描述 4.2.2 远程操作 4.3 系统参数 4.4 烘箱 4.5 警报处理 4.5.1 警报历史 4.5.2 历史记录 4.6 PID 控制 4.7 校准 4.8 数据显示 5 附加功能 5.1 监控失败 5.2 UPS 操作 5.2.1 UPS备份功率信号响应5.2.2 UPS电池低信号响应5.3 超声清洗 5.3.1 组件 5.3.2 UCS 操作 5.4 红外灯电压控制 5.5 选择灯开关 5.6 VOC 冷凝器 5.6.1 一般操作 5.6.2 带移动和清洗
1 关于手册 1.1 手册结构 手册的目的是提供操作说明，理论和红外炉的运用软件的结构。手册分成3部分。第2部分提供软件的概述。第3部分提供软件的描述和不同的用户界面。第4部分描述一些选择功能，但不是支持全部模式。 1.2 规定 这个标记表示有重要信息。 标记让你通过多层菜单和对话框实现功能。 粗体的对话框提示选择软件，比如菜单和对话框。同时提示参数名字，控制界面和菜单名字和调色板名字 斜体表示变量，参考或者关键概念的说明。这种字体有说明这是个占位符，你必须提供。 1monospace 字体这种字体说明你必须从键盘输入。同样可用来表示正确的磁盘名字、路径、程序、子程序、设备名字、函数、变量、文件名等。 2monospace bold 字体粗体这种字体说明信息计算机自动响应 monospace 文中这个字体表示你必须从键盘进入的文本或者特征，这个字体也常用在磁盘驱动器的命名、路径、目录、程序、子程序、设备驱动程序命名、函数、操作、变量、文件名以及扩展名
真空回火炉安全操作规程 【盛阳工业炉专业生产真空回火炉】真空回火炉是利用感应加热对被加热物品进行保护性烧结的炉子，可分为工频、中频、高频等类型，可以归属于真空烧结炉的子类。真空感应烧结炉是在真空或保护气氛条件下，利用中频感应加热的原理使硬质合金刀头及各种金属粉末压制体实现烧结的成套设备，是为硬质合金、金属镝、陶瓷材料的工业生产而设计的。下面我们说一说真空回火炉的安全操作规程。 #详情查看#【盛阳工业炉：真空回火炉】 1．中频电源、真空炉炉体、感应圈之冷却水源——蓄水池之水必须充满，水中不得有杂质。 2．开动水泵，使其中频电源，真空炉感应圈、炉体冷却系统水循环正常，并调整水压控制在规定值。3．检查真空泵电源系统，皮带盘皮带松紧，真空泵油是否位于油封观察孔中线。检查妥后，人工转动真空泵皮带盘，如无异常，可在关闭蝶阀的情况下，启动真空泵。
4．检查真空炉体内情况，要求真空炉体内一级卫生，感应圈绝缘良好，密封真空胶带具有弹性，尺寸合格。 5．检查真空炉体的杠杆手把启动是否灵活。 6．检查转动式麦氏真空计是否合乎要求。 7．检查石墨坩埚，装炉配件是否齐全。 8．在以上准备就绪后，接通电源，中频电源合闸，按中频启动规则，试启动变频，成功后停止变频，方可开炉。 #详情查看#【盛阳工业炉：真空回火炉】 9．真空炉体上盖的观察、测温孔，每次开炉均需清洁处理，以便观察和测温。 10．装炉时应根据不同烧结产品，采取相应装炉方式。按有关材质装炉规则装盘，不得随意更改。11．为了保持恒温，防止热辐射，发热坩埚上加二层碳纤维，再罩上隔热屏。 12．垫好真空密封胶带。
13．操作杠杆手把，转动真空炉顶盖与炉体密切重合，放下顶盖，并锁好固定螺母。 14．徐徐打开蝶阀，抽炉体空气，至真空度达到规定值。 15．在真空度达到规定要求后，开始启动变频，调整中频功率，按有关材质的烧结规定操作；升温、保温冷却。 16．烧结完毕后，停止变频，按停止变频开关，逆变停止工作，断开中频电源分闸与断开电源总闸。17．从炉体观察孔观察炉膛发黑后，先关闭真空泵蝶阀与断开真空泵电流，再接自来水继续冷却感应圈和炉体，最后停水泵。 18．中频电压750伏有触电危险。在整个操作和检查过程中，要注意操作安全，不要用手接触中频电柜。 19．在烧结过程中，随时从炉体侧面观察孔观察感应圈是否发生放弧现象，如发现异常现象，应立即报告有关人员处理。 20．启动真空蝶阀应缓慢，否则会因抽气过急而冒油，带来不良后果。
微波烧结炉操作说明 大连交通大学环境与化学工程学院 物质吸收微波的能力，由介质损耗因数决定，介质损耗大，则加热后温度高。物质不吸收微波，需用碳化硅坩埚提高加热效果。 1. 开总电闸、机柜电闸。 2. 打开磁控管冷却水的进水阀，水流量大于199，调至1000左右流量。 3. 观察机柜中各冷却水软管是否渗水、漏水。如有此现象，停止操作，待修。 4. 样品放置，石英转盘上依次放置保温砖、保温棉，坩埚用保温棉包裹。 5. 红外对焦，按一下红外对焦仪的最上按钮，可看到红外焦点，使焦点对准坩埚中心；对焦后，关闭红外对焦，并确认。 6. 关闭炉门，如果炉门右侧有缝隙，需将炉门轴的连接处向里推。 7. 确认控制面板的“放气阀”关，机柜中手动放气白阀关，真空泵抽气阀关，真空泵水阀开，点控制面板的“真空1”，打开真空泵，微开真空泵手动抽气阀，顺序不可颠倒。（如果颠倒顺序，由于抽气瞬间的气量太大，真空泵的出水管会剧烈震动，水四处喷溅）。 8. 设置真空上下限，控制面板中真空度，点上限，设置3.0 KPa，点下限，设为2.0 KPa，真空度在上下限之间变动，最低真空度由水环泵的特性决定。（真空抽气管处的自动阀动作：真空泵启动，电子抽气阀开，开始抽气，至真空下限值，阀关闭，炉腔压力回升至上限值，阀开，继续抽气，即上限值为阀开启，下限值为阀关闭） 9. 设置温控仪的加热程序 长按SET键，4 s后进入编程，依次按SET，分别显示TD（00是以秒计时、01是以分钟计时）、STA（00，加热起始段号）、LOOP（00，程序运行终止后，再次重复运行的起始段号，适用于多次热处理），以上默认设定值均不动。 以下参数可以更改，TI00是加热起始段的加热时间，SU00是加热起始段的终止温度，“∧”键增加设定值，“∨”键减小设定值，“<”光标左移，可修改光标处的数字，每个参数设定完后，点SET保存，同时显示可修改的下一参数，以此类推，依次设定TI01、SU01、TI02、SU02、TI03、SU03……，最后一段，加热终止，TI**的设定值为0，SU**的设定值为0，程序运行至该段，微波停止加热。长按SET键，退出至实时显示界面。 注意：①温控仪的最低设定、实时显示温度为350℃；②SU00的设定值应超过350℃，（否则温度显示实际值一直为350℃，故障）TI00是350℃至SU00目标值的时间。②如实时显示界面的当前加热段不是起始加热段00，应按SET键同时按“<”，进入起始加热段，即
高温网带炉有什么特点？ 高温网带炉有什么特点?隧道式网带烧结炉作为连续性生产窑炉之一，广泛应用于1050℃一下电子产品在保护气氛或空气中的预烧、烧成或热处理工艺，包括导体浆料、电阻浆料等厚膜电路，电阻、电容、电感等电子元件的端头烧银、烧成，电路管壳、晶振等元件的玻璃绝缘子封装等。
窑炉温区设计考究、加热元件选刚玉管螺旋缠绕电阻丝，耐材采用全纤维超轻质材料隔热保温、输送链带采用耐热耐腐不锈钢材质。电气主要执行元件采用美国进口固态继电器，温控仪表采用日本进口单回路智能温控仪控制，调速系统采用变频器。整个系统具有升温快、控温精度高、保温效果好，温度均匀性高、传动稳定可靠，节能等特点，是企业批量生产的理想设备. 高温网带炉的加热元件采用陶瓷纤维加热板或陶瓷发热棒，可满足快速升温工艺要求，温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制，温度控制系统的稳定性、安全性十分可靠，同时系统按要求可配置数据通讯接口，可与计算机监控系统实现数据实时通讯，为设备的
安全稳定运行提供有效的监控数据。高温网带炉采用变频无级调速，耐热钢网带传送，全新的大包角设计理念，确保了产品的平稳输送。 合肥日新高温技术有限公司成立之初，就确定了依托技术开拓市场空间的经营策略，在秉承传统工艺的基础上，不断引进新技术，消化再吸收新工艺，持续发展，开拓创新。以专业品质科技创新的产品价值观，以日新盛德笃志笃行的企业精神，精心打造中国窑炉一流品牌日新窑炉。逢此民族产业迅速发展之盛世，合肥日新高温技术有限公司全体同仁热忱希望能广交业内有识之士，以致力于热能技
术、工程提供一流的解决方案为企业核心使命，为携手振兴中国的窑炉事业而贡献力量。
DO12.500-300-FF-HTO-N2/Air-CANtrol 目录 1. 安全 2. 炉体结构 3. 功能 4. 操作 5. 故障处理 6. 维护 7. 零件更换 1.危险的三个级别 注意（Attention）潜在危险环境有可能导致轻微人身伤害。同时指示相关于财产损伤的警告。 警告（Warning）潜在危险环境有可能导致严重的潜在人身伤亡 危险（Danger）瞬时危险有可能导致严重人身伤亡。 2. 炉体结构 烧结炉结构 炉体参数 干燥区的长度5900mm，最高设定温度为500℃。 烧结区的长度2150mm，1 – 4区最高设定温度650℃， 5、6 两区最高设定温度1000℃. 冷却区的长度3500mm。 最大带速为6000mm /min. HTO加热区
HTO 加热装置 HTO 加热区 烧结区 FF 烧结区 FF 冷 却 区 冷 却 区
驱动系统 驱动马达 CAN 控制系统 3 烧结炉的功能 干燥区功能:干燥最后应用的浆料,燃尽浆料内有机组分。 烧结区功能:通过高温烧结将浆料渗透入硅片表面，形成电极。 冷却区功能:冷却传送带和硅片,保证测试温度符合要求。 4. 操 作 辅助介质 : (1) 打开冷却水阀 (2)打开压缩空气阀 (3)打开总电源开关 设备开机操作 (1)开启设备PC 电源，CT Visual 软件自动运行 。(2)点击“Login ”按钮。 (3)选择用户并输入密码 (4)在导航条上，点击“Load recipe ”按钮 (5)选择相应配方并按“OK ” 确定。升温时按三步升温步骤升温。 (6)手动操作面板上，设置钥匙开关“Drive OFF/ON ”、“Heating FF OFF/ON ” 以及“Heating HTO OFF/ON ”至位置“I ”。
深圳市中达电炉厂产品使用说明书 烧 结 炉 说 明 书 电话: 0755—33353798 4008 – 163 - 588 传真: 0755— 81700525 网址: https://www.doczj.com/doc/e618698614.html,
使用时注意： 1．本机器第一次使用时可能会有一点异味或白烟产生，那是因为新产品的关系，电炉烘烤一段时间后会自动消失，不影响本机性能。 2．电炉首次使用必须烘炉：250度烘4个小时，400度4个小时，600度4个小时，800度4个小时，1000度4个小时，1200度4个小时，1400度4个小时。烘炉完成后自然冷却到100度以下方可打开炉门。 如因未烘炉或烘炉不当而造成的炉膛炸裂不在本厂保修范围内。 深圳市中达电炉厂
一、公司介绍 深圳市中达电炉厂于2008年通过ISO9001质量管理体系认证。是一家集专业设计、生产非标环保节能工业电炉，控制软件开发及生产于一体的专业电炉厂，尤其在高温电炉领域有着丰富的经验，并有过很多成功案例。我们长期着力于改变生产和工艺存在的难题，不断学习、研发以满足客户的需要。改变了传统电炉设计对电网造成的干扰和损耗。在原有的基础上节约了能源。我厂通过引进国际先进电炉设计技术、采用正规厂家生产的优质新型耐火、隔热及发热材料，从而使产品具有使用寿命长、性能可靠、高效节能、升温快、控温精度高等优点。 主要生产：硅钼棒、硅碳棒高温箱式电阻炉，陶瓷推板窑，隧道窑、网带炉、真空烧结炉、真空回火炉、真空热处理炉、台车炉、铝合金炉，蒸气炉、实验炉、高低温烘箱、烘房、ED 涂装线、熔金炉、金属熔练炉，温度可达范围：室温——2500℃。 产品适应范围和用途：中达电炉广泛应用于加工热处理等作业上，如各类陶瓷、玻璃、琉璃、氮化硅、纳米材料、氧化铝等烧结及脱蜡；五金塑胶模具、特殊金属等淬火、回火及热处理；丝印、电镀、金银珠宝、五金塑胶、纳米、变压器、电机、线路板、电器等烘烤脱水及老化测试；铝合金、固溶及时效热处理；碳纤维复合材料二次烧结、ED涂装及精细烘干。 技术支持：我厂特请经验丰富的电炉专家吉林工大研究生赵宏哲先生任总工程师，拥有一批经验丰富的设计技术人才、先进的生产检测设备及完善的管理体系，结合深圳特区效率高、速度快、公平、公正、公开的经营模式、资源齐等特点及完善的售后服务体系，产品远销国内外。 二、产品介绍 1）、本产品是一种多功能、高信赖度的节能高温马弗炉，采用国际工业电炉结构设计，材质好、强度高、保温节能效果等，性能优良，且外型美观，操作容易。
热压烧结炉使用
一、快速操作指南 （一）开机操作 1：检查电路和水路是否正常，如正常通电，通水。 2：打开机械泵，过30秒后缓慢打开预抽阀，1分钟后打开前级阀。 3：在真空度达到10Pa以下时打开扩散泵，给扩散泵加热 4：扩散泵加热到60分钟后，关闭预抽阀，打开高真空阀，真空度会逐渐达到高真空。 5：加热启动，在200度以下请你选用手动加热，在控制面板手动操作菜单中，注意第一次使用时，把拨钮上下波动一次，然后拨到手动位置，启动加热，输入50左右，确定。电流一般控制在300A以下， 自动加热：在温度控制界面设定温控表自动开始加热或开启手动位用手动开始加热。
以上设置说明：从200度用时120分钟到6 00度，600度时保温30分钟，从600度用时130分钟到1000度，在1000度时保温5个小时，从1000度降到600度用时60分钟，60分钟后程序自动停止（注：在时间上设定-1 21程序在此会自动停止）。 设定好加热工艺后，首先停止手动加热，然后把拨钮拨到自动位置，启动自动加热程序，如果需要记录数据请在数据保存见面打“√”。 6：在保温状态下，一定要保持循环水的正常循环。 7：保温时间到后，关闭加热开关，如果不需要高真空可以关闭扩散泵，打开预抽阀，关闭高真空阀，开始降温。注意：机械泵不要关闭 8：在温度降到200度时关掉机械泵（扩散泵达到常温），关闭所有阀门。 9：在常温下释放压力，冲入空气，将原料取出。
10：如不继续工作，应打开机械泵和预抽阀再抽5分钟真空，关闭机械泵和预抽阀。保持工作室里有真空度，防止水汽侵入。 11、压力操作：首先在手动操作界面，报压力模式拨到自动位置，可以直接用仪表操作，设定好程序后按run键3秒启动，按stop键3秒停止。 压力触摸屏控制如下说明： 从0到2MPa用时2分钟，在2MPa上保压2分钟，从2MPa到6.15MPa用时5分钟，保压60分钟后程序自动停止。（在时间上设定-121程序会自动停止）。设定完后一定要按“确定”键。 程序设定好以后，可以到手动控制界面中，启动自动压力开即可。 二、安装使用及维护 （一）、安装：安装电炉的场所应符合真空卫生的要求，周围的空气应清洁和干燥，并有良好的通风条件，工作场地不易扬起灰尘等。
一、快速操作指南 （一）开机操作 1：检查电路和水路是否正常，如正常通电，通水。 2：打开机械泵，过30秒后缓慢打开预抽阀，1分钟后打开前级阀。 3：在真空度达到10Pa以下时打开扩散泵，给扩散泵加热 4：扩散泵加热到60分钟后，关闭预抽阀，打开高真空阀，真空度会逐渐达到高真空。 5：加热启动，在200度以下请你选用手动加热，在控制面板手动操作菜单中，注意第一次使用时，把拨钮上下波动一次，然后拨到手动位置，启动加热，输入50左右，确定。电流一般控制在300A以下， 自动加热：在温度控制界面设定温控表自动开始加热或开启手动位用手动开始加热。 以上设置说明：从200度用时120分钟到600度，600度时保温30分钟，从600度用时130分钟到1000度，在1000度时保温5个小时，从1000度降到600度用时60分钟，6 0分钟后程序自动停止（注：在时间上设定-121程序在此会自动停止）。 设定好加热工艺后，首先停止手动加热，然后把拨钮拨到自动位置，启动自动加热程序，如果需要记录数据请在数据保存见面打“√”。 6：在保温状态下，一定要保持循环水的正常循环。 7：保温时间到后，关闭加热开关，如果不需要高真空可以关闭扩散泵，打开预抽阀，关闭高真空阀，开始降温。注意：机械泵不要关闭 8：在温度降到200度时关掉机械泵（扩散泵达到常温），关闭所有阀门。 9：在常温下释放压力，冲入空气，将原料取出。 10：如不继续工作，应打开机械泵和预抽阀再抽5分钟真空，关闭机械泵和预抽阀。保持工作室里有真空度，防止水汽侵入。 11、压力操作：首先在手动操作界面，报压力模式拨到自动位置，可以直接用仪表操作，设定好程序后按run键3秒启动，按stop键3秒停止。 压力触摸屏控制如下说明：
网带式达克罗固化炉方案说明 一、设备的主要用途 该设备可供对涂膜零件进行预热固化烘干,并经过强冷后完成零件处理的工艺过程. 二、主要技术参数 1.炉膛有效尺寸9000×1000×500(mm) 2.予热固化段温度室温～350℃(可调) 3.予热段长度 3300mm 4.固化段 6700 mm 5..前移料段长度 3000mm 6..后冷却段长度 5000mm
7.加热区功率 3区(80KW、80KW、80KW) 8.温度均匀性±5℃(有效炉膛截面温差,排风口?1000mm内±10℃) 9.温度控制精度±1℃ 10.烘道外表温升≤20℃ 11.烘道循环风机功率 2.2KW×6台 12.排风风机 1.1KWX2台 13.冷却排抽风～4KW 14.出料冷却风扇功率 0.13KW×台 15.网带输送功率 1.1KW(变频调速) 16.设备生产能力 800Kg/h 17.网带承载能力≥200kg/㎡ 18.网带的宽度 1000mm 19.网带的运行速度 0.15～1m/min(无级可调) 三、设备的结构简介 该网带固化炉主要由前后传动架、输送机构、加热炉休、急冷系统和电器控制组成. 1.前后传动架皆由型钢焊接而成,分别置放于炉体的两端,可供输送带的支撑和前后链轮组的安装,使网带得以循回传送,传送的动力选用大速比的减速机和变频调速电机配备。使网带的传送速度可以无级调控.整套动力设施置放于设备的出料端.物件的传送采用链条拖动网带的方式输送,可使物料的转移动作更有序,可控。优质的不锈钢网带可长期使用，无氧化和腐蚀,从根本上提高设备的使用寿命。
2.炉体的框架为型钢焊成的结构件,外部按装有优质成型后的碳钢板,也可作保温层的外壁,它与内腔的不锈钢（304）钢板之间形成的一个空腔为保温层,保温层中填充了优质保温材料,用以保护炉内的温度.在整个炉子的内腔与有效工作尺寸之间设置了一层隔板,使之与炉内壁亦产生一个空腔。这即作为炉内气体循环的风道,加热元件也安装与此.炉顶共设六台循环风机,炉顶的循环风机时刻均匀地将加热元件产生的热量与炉内进行交换,达到均匀加热工件的目的.在炉子的顶部还另设了自然排风管.并通过炉内风道和炉顶的排风口可将炉内产生的水气及废气的均匀地抽排至炉外。炉体的两端各设置了一个闸门,可以依据不同产品调节其开关高度使炉内的温度损失降到最低。两个闸门均由配重砣配重,使手动升降的工作更显轻松。炉门的各移动高度均由弹性限位控制,故炉门的升降高度可随意设定。 3.在炉子的出料端传动架上有一个空室,其顶部装有一台抽风机,在传动架的底部,即网带下面,均匀布置了多台轴流风扇,其产生的气流吹向工件表面,并由排风管将其抽出室体,大流量的空气流动使工件表面温度快速下降,以使出炉的工件便于人工操作. 四、设备的报价
烧结炉作业指导书 XXX 有限责任公司 受控状态实施日期2013年5月1日适用 多晶电池分厂 实施责任者李宏克注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。 作成审核批准变更内容：谭旺 文件编号版/次 总5页A/0第1页1.目的确保烧结工艺处于稳定、受控状态。 2.适用范围 适用于印刷后硅片在烧结炉中的烧结过程。 3.职责 3.1本作业指导书由技术部负责编写和修订； 3.2所有操作人员必须严格按照该文件规定进行操作。 4.作业准备 4.1劳保用品：穿戴好净化分体服、一次性手套、一次性口罩、帽子、布鞋。 4.2确认设备通电正常、冷却水正常、压缩空气气压正常、排风正常。 5.作业步骤 5.1工艺准备 该作业由组长执行！ 5.1.1开机：具体步骤请参考《烧结炉维护操作规程》。 5.1.2设备确认 检查设备和PC 上是否有故障显示（红色灯或/和警告窗口）；确认冷却水温是否正常。确认设备运行正常方可执行后续作业；确认急停按钮已经弹起。若设备有故障显示，应立即汇报班长。 5.1.3确认工艺参数 每班接班后，生产工序长需对工艺参数进行点检，发现异常及时报告工艺人员，如无异常，将点检结果填写于《烧结工艺参数点检表》中，见附件一。 5.2工艺启动，该作业由组长执行！ 5.2.2实际参数确认 等待参数：速度、温度达到稳定后；确认实际参数在设定的区间内（警示灯转为绿色）。 5.3硅片流入 5.3.1放入预烧片 开机和设定温度修改后，在正常硅片流入前，放入两片预烧片（从低效片中取出的电池片）， 5.3.2烧结工艺确认 在放入预烧片后，流入印刷完成后的硅片5片。由工程师确认烧结工艺正常。
河源圣飞斯科技有限公司 HQS-200型单室卧式真空烧结炉安全操作规程 1、严禁在运行炉及氢气储气罐周围吸烟、明火。 2、熟悉真空炉操作基本按钮，明白其所代表的意义及作用，熟练 并掌握日常操作。 3、真空炉运行前，确认各项准备工作已就绪，如内、外循环水的 供应，各气体的供应，电系统的供应及备用电源系统，确认工艺及程序等。 4、换气时，应先关掉减压阀，新的气瓶换装旋紧前，稍打开气罐 上阀门以排除空气，而后旋紧。尤其是换装氢气时，要严格遵守此操作。 5、真空炉运行后，工作现场至少一人留守。 6、真空炉运行后，定时检查各设备的状况，尤其是对供气系统， 内、外循环水系统。 7、真空炉运行后，除遇特殊情况，如故障报警等，否则，不要对 设备进行维修及随意修改运行程序参数。 8、程序正常运行时，禁止“自动”与“手动”按钮之间的切换。 9、真空炉内或真空炉旁以及对供水系统的维修时，尤其是对外循 环供水系统的维修时，上衣口袋内禁止装带物品，如手机、扳手等。 制定: 审核：批准：
河源圣飞斯科技有限公司 HQS-200型单室卧式真空炉操作步骤 1、检查供电系统、内外循环供水系统、供气系统及其他设备元件,确保开炉前准备工作就绪; 2、开炉门:打开电源,报警灯会响,按复位键解除警报,松开锁圈(此时炉子处于真空状态,满足开炉条件即炉压小于460tor),打开放气阀,放气到常压后,关闭放气阀,打开炉门; 3、装炉:装炉前检查真空炉内加热设备是否完好,以及炉膛内是否洁净.带洁净手套,将产品装入炉中; 4、关炉门:装炉后,炉盖拉回,炉盖手柄先旋转至"锁紧",后"锁圈"; 5、开机组放气阀,待机组放完气后,关闭机组放气阀; 6、如果开细管道预抽阀,抽气的时间可以通过时间继电器来调节,抽气流量通过真空微调阀来调节;如果开预抽阀,通过碟阀控制抽气速度; 7、开机械泵,在真空度800pa时,开罗茨泵.真空度在100pa以上时可以按照工艺要求随时关闭罗茨泵,也可以关闭其中一个机械泵进行微充入一定量烧结气氛; 8、开启微充阀之前,确认气瓶打开,流量可调,一个粗调一个细调.使真空度维持在900pa到1000pa间; 9、关闭俩小隔热门,开启加热,待加热结束后,按复位键接触警报; 10、待随炉冷却到1100度时,打开隔热小门;到600度时,关微充阀,关预抽阀,关机械泵,关真空计; 11、打开充气阀,充到460tor时,充气阀自动关闭,打开风机,风机降压启动15秒后,会切换到正常运行,再开充气阀,充到需要的压力; 12、当温度冷却到出炉温度后,关闭风机,打开放气阀,放气到常压后关闭放气阀,开机组放气阀,放气到常压后,关闭机组放气阀.开预抽阀,碟阀,开机械泵; 13、达到锁圈开启条件后(炉压小于460tor),松开锁圈,关预抽阀,关机械泵; 14、开放气阀,至常压后关闭放气阀打开炉门;取出烧结产品,关闭炉门,锁圈锁紧,开机组放气阀,放气到常压后,关闭机组放气阀.开预抽阀,碟阀,开机械泵,将炉子抽成一定的真空度以备下次使用(保养). 编写：审核：批准：
高温真空烧结炉使用注意 【盛阳工业炉高温真空烧结炉】高温真空烧结炉是利用感应加热对被加热物品进行保护性烧结的炉子，可分为工频、中频、高频等类型，可以归属于真空烧结炉的子类。真空感应烧结炉是在真空或保护气氛条件下，利用中频感应加热的原理使硬质合金刀头及各种金属粉末压制体实现烧结的成套设备，是为硬质合金、金属镝、陶瓷材料的工业生产而设计的。 #详情咨询#【盛阳工业炉：高温真空烧结炉】 【高温真空烧结炉使用注意】 1、由于模具一般由用户自备，模具材料基本上选用高纯石墨，其耐压极限为40MPa，建议用户使
用在30MPa以下比较安全，加压前应计算模具上、下冲头的面积，再换算成压力，具体公式如下：系统允许加压（吨）=上或下冲头面积×30MPa 2、热电偶为钨铼型，使用过会发脆，不能接触。如损坏应及时更换。其型号是W2型。 3、冬天应注意循环水的保暖问题， 否则易发生水管爆裂。 4、使用后炉体应保持真空，因炉内 保温层易受潮，保真空这样下次抽真 空会快些。 5、因设备较复杂，建议专人使用， 专人负责，对新手严格实行用前培训， 用后检查，操作使用要有记录等设备 使用规定。 6、本热压炉也可当作真空烧结炉使 用，用于真空烧结炉时注意，在炉内放置坩埚后，在盖上保温屏盖后不要忘记再盖其中间的小盖。否则易烧损电炉。 7、操作前应做到清洁观察窗玻璃，清洁炉内壁，观察水压情况，观察炉内石墨是否有损坏，上电后观察仪表显示是否正常，测试液压系统能否正常工作。 8、电炉使用一年后应将仪表后送计量部门进行校对。 【高温真空烧结炉安全操作规程】 1．中频电源、真空炉炉体、感应圈之冷却水源——蓄水池之水充满，水中不得有杂质。真空炉2．开动水泵，使其中频电源，真空炉感应圈、炉体冷却系统水循环正常，并调整水压控制在规定值。3．检查真空泵电源系统，皮带盘皮带松紧，真空泵油是否位于油封观察孔中线。检查妥后，人工转
■真空-热压烧结炉的介绍： 包括烧结炉和抽真空部分，烧结炉包括炉体和装设在炉体内的加热室，烧结炉上安装有六 个引电电极，其特征是在炉体的上、 下方分别设置有油压机上梁和油压机下梁， 油压机上梁 和油压机下梁由四个支柱连接成一整体； 上压头由上水冷压头和上石墨压头连接构成， 下压 头由下水冷压头和下石墨压头连接构成， 上压头和下压头分别从炉体和加热室的上、 下端面 上的压头通孔、插入炉体内，其上石墨压头和下石墨压头分别插入加热室内， 上压头和下压 头可上、下移动。 ■隧道式网带烧结炉 用途：厚膜电路、厚膜电阻等厚膜产品烧结；电子元件端头烧银，气氛保护下的烧结、钎焊 等，也可用于电子陶瓷产品的预烧、低温烧结或热处理、排胶、退火特点：独特炉腔设计、 均匀；远红外加热、高效；超轻质保温、节能；包括快烧炉和马弗式炉，系列齐全，选件丰 ■烧结的介绍： 1烧结 粉末或压坯在低于主要组分熔点的温度下的热处理， 其强度。 2、 填料 在预烧或烧结过程中为了起分隔和保护作用而将压坯埋入其中的一种 3、 预烧 在低于最终烧结温度的温度下对压坯的加热处理。 4、 加压烧结 在烧结同时施加单轴向压力的烧结工艺。 5、 松装烧结 粉末未经压制直接进行的烧结。 6、 液相烧结 至少具有两种组分的粉末或压坯在形成 7、 过烧 烧结温度过高和（或）烧结时间过长致使产品最终性能恶化的烧结。 8、 欠烧 烧结温度过低和（或）烧纟 勺状态下烧结。 ■卧式真空烧结炉 卧式 1 2、 恒j 3、 单点精度 <± 1 ° C/24H 4、 冷态真空度6.7 X0-5Pa 过短致使产品未达到所需性能的烧结。 提咼 目的在于通过颗粒间的冶金结合以 00 °C — 1200 °C 400mm/±1 °C
目录 铣床安全操作规程 (2) 数控车床安全操作规程 (3) 氩弧焊机安全操作规程 (4) 车床安全操作规程 (5) 钻床安全操作规程 (6) 气焊机割安全操作规程 (7) 铠缆车间安全操作规程 (9) 氧化镁烧结炉安全操作规程 (11) 铠缆组装安全操作规程 (12) 砂轮机安全操作规范 (14) 抛光机安全操作规程 (15) 锯床安全操作规程 (16) 激光焊接机安全操作规范 (17) 双螺杆压缩机安全操作规范 (19)
铣床安全操作规程 1、开车前必须检查各转动手柄是否放在空档位置，电气控制是否正常。 2、启动电源，空转1-2分钟，使用润滑油散布到机床各润滑点，并检查机床运转是否正常。 3、夹卸工具、挂挡、更换刀具、测量工件时必须停车进行。 4、为了保护机床精度，工件要轻拿轻放，不得用锤敲击机床。 5、使用快速移动托板时，要左右观察，以防撞坏机床。 6、禁止戴手套操作机床。 7、在使用手动或机动进给时，相对应的夹紧手柄必须松开。 8、铣床工作时，禁止用手去触摸工件和工具。 9、冷却液要定期更换。 10、下班前要擦拭机床，给润滑部位加油，各手柄必须放在空档位置，并关闭总电源。
数控车床安全操作规程 1、开机前要检查润滑油是否充裕，冷却是否充足，发现不足应及时补充。 2、检查机床导轨以及各主要滑动面，如有障碍物、工具、铁屑、杂物等，必须清理、擦拭干净。 3、打开数控车床电器柜上的总开关。 4、启动数控机床。 5、手动返回数控车床参考点。首先返回+X方向，然后返回+Z方向。 6、车刀安装不宜伸出过长，车刀垫片要平整，宽度要与车刀地面宽度一致。 7、车刀操作时应选取合适的主轴转速，背吃刀量及进给速度。 8、在自动运行程序前，必须认真检查程序，确保程序的正确性。在操作过程中必须集中注意力，谨慎操作，运行前先关闭防护门。运行过程中，一旦发生问题，及时按下复位按钮或紧急停止按钮。 9、出现报警时，要先进入主菜单的诊断界面，根据报警号和提示文本，查找原因，及时排除警报。 10、加工完毕后，应把刀架停放在远离工件的换刀位置。 11、实习学生在操作时，旁观的同学禁止按控制面板上的任何按钮、旋钮，以免发生意外及事故。 12、严禁任何修改、删除机床参数。 13、关机前，刀架应移到主轴较远处，清除铁屑，清扫工作现场，认真擦拭机床，导轨面处加油保养，将经给速度修调置零。 14、关闭电源总开关。
目录 1操作指令备注 1.1标识描述 1.2定义 1.2.1设备用户 1.2.2熟练技工 1.2.3操作人员 1.3版权 1.4实质性过失责任 2 绪论 2.1身份识别 2.2 尺寸 2.3炉子数据 2.3.1传送带 2.3.2盒式快速烧结加热2.3.3冷却 2.4处理温度 2.5媒介供给线路 2.5.1水 2.5.2空气 2.5.3去除废气 2.5.4电流 2.6 电脑设备 2.7功能描述 3安全 3.1正确用法 3.2错误用法 3.3安全指示概要 3.4安全装备 3.4.1过热防护 3.4.2紧急停止开关 3.4.3“Belt stop”按钮3.5绝缘说明 3.6设备操作软件说明3.7防火灭火 4功能描述 4.1入口/出口 4.1.1入口门 4.1.2出口门 4.2加热
4.2.1加热盒烧结FF 4.2.2中间的Muffle 4.3冷却 4.3.1冷却盒 4.3.2冷却橱 4.4 设备驱动装置 4.5媒介 4.5.1电力供给装置 4.5.2冷却水供给装置 4.5.3压缩空气供给装置 4.5.4文丘里管系统 4.6操作/控制 4.6.1CANtrol系统控制器 4.6.2动力控制装置 4.6.3 CAN Bus 1 和 2 4.6.4温控装置 4.6.5 CANtrol 处理控制系统4.6.6变频器 4.6.7 遥控服务 4.7去除废气 5搬运 5.1特别安全措施 5.2包装类型 5.3搬运 5.4引入检验 5.4.1交付范围 5.4.2搬运损害 5.4.3存储措施 6组装 6.1预备安装场所 6.2设备核检 6.3安装 7试运转及停止运转 7.1初始启动 7.2试运转 7.2.1设备-电脑 7.2.1.1微软Windows用户界面7.2.1.2 CT-Visual用户界面7.2.2 手动操作面板 7.2.3启动 7.2.4运行模式
1．中频电源、真空炉炉体、感应圈之冷却水源——蓄水池之水必须充满，水中不得有杂质。 2．开动水泵，使其中频电源，真空炉感应圈、炉体冷却系统水循环正常，并调整水压控制在规定值。 3．检查真空泵电源系统，皮带盘皮带松紧，真空泵油是否位于油封观察孔中线。检查妥后，人工转动真空泵皮带盘，如无异常，可在关闭蝶阀的情况下，启动真空泵。 4．检查真空炉体内情况，要求真空炉体内一级卫生，感应圈绝缘良好，密封真空胶带具有弹性，尺寸合格。 5．检查真空炉体的杠杆手把启动是否灵活。 6．检查转动式麦氏真空计是否合乎要求。 7．检查石墨坩埚，装炉配件是否齐全。 8．在以上准备就绪后，接通电源，中频电源合闸，按中频启动规则，试启动变频，成功后停止变频，方可开炉。
9．真空炉体上盖的观察、测温孔，每次开炉均需清洁处理，以便观察和测温。 10．装炉时应根据不同烧结产品，采取相应装炉方式。按有关材质装炉规则装盘，不得随意更改。 11．为了保持恒温，防止热幅射，发热坩埚上加二层碳纤维，再罩上隔热屏。 12．垫好真空密封胶带。 13．操作杠杆手把，转动真空炉顶盖与炉体密切重合，放下顶盖，并锁好固定螺母。 14．徐徐打开蝶阀，抽炉体空气，至真空度达到规定值。 15．在真空度达到规定要求后，开始启动变频，调整中频功率，按有关材质的烧结规定操作；升温、保温冷却。 16．烧结完毕后，停止变频，按停止变频开关，逆变停止工作，断开中频电源分闸与断开电源总闸。
17．从炉体观察孔观察炉膛发黑后，先关闭真空泵蝶阀与断开真空泵电流，再接自来水继续冷却感应圈和炉体，最后停水泵。 18．中频电压750伏有触电危险。在整个操作和检查过程中，要注意操作安全，不要用手接触中频电柜。 19．在烧结过程中，随时从炉体侧面观察孔观察感应圈是否发生放弧现象，如发现异常现象，应立即报告有关人员处理。 20．启动真空蝶阀应缓慢，否则会因抽气过急而冒油，带来不良后果。 21．正确使用转动式麦氏真空计，否则会造成真空读数误差或因操作过急而使水银溢出造成公害。 22．注意真空泵皮带盘安全运行。 23．在垫真空密封胶带，盖炉体顶盖时，注意防止压手。 24．凡在真空条件下，容易挥发影响真空卫生，造成管道堵塞、真空泵脏化的工件或容器，不得入炉。
真空高温烧结炉 说明书
目录 1 前言 (3) 2 设备的工作原理 (3) 3 技术指标 (3) 4 设备构成 (4) 4.1炉体总成 (4) 4.2保温套 (4) 4.3感应圈总成 (5) 4.4集电装置 (5) 4.5真空系统 (5) 4.6水冷系统 (5) 4.7电控系统 (5) 4.8辅助系统...................................................................................................... 错误！未定义书签。 5 安装调试 (6) 6 使用操作 (6) 6.1真空操作 (6) 6.2加热升温操作 (6) 6.3水路系统操作 (7) 6.4充气系统操作 (7) 6.5破真空操作 (7) 6.6炉盖升降操作 (7) 7注意事项 (7) 8设备的保养 (8)
1 前言 在使用本设备前，要充分阅读本说明书的各项要求及注意事项，熟悉设备的性能、功能及使用要求 高温烧结炉是在真空或特定气氛条件下进行高温烧结的设备，能够满足特定的工艺需求，适用科研单位或生产单位使用。 设备具有结构紧凑、操作简单、易于维护等特点。 2 设备的工作原理 本高温烧结炉的加热方式采用石墨电阻加热，在真空或特定气氛条件下利用石墨电阻发热，对物料进行加热来达到工艺要求。 3 技术指标 极限真空度：6.6×10-4 Pa； 系统漏率：停泵关机后残余气体压力≤0.66Pa/h； 工作区尺寸：立式加热区?280×450mm（H） 均温区尺寸：? 180×220mm（H） 工作区温度：最高加热温度2200℃；
真空烧结炉：不得不看的专业知识 冶炼设备2010-11-23 14:35:41 阅读43 评论0 字号：大中小订阅 真空烧结炉是在真空环境中对被加热物品进行保护性烧结的炉子，其加热方式比较多，如电阻加热、感应 加热、微波加热等。 真空感应炉是利用感应加热对被加热物品进行保护性烧结的炉子，可分为工频、中频、高频等类型， 可以归属于真空烧结炉的子类。 真空感应烧结炉 真空感应烧结炉是在真空或保护气氛条件下，利用中频感应加热的原理使硬质合金刀头及各种金属粉末压制体实现烧结的成套设备，是为硬质合金、金属镝、陶瓷材料的工业生产而设计的。 VSWF真空感应钨烧结氢气炉 一、主要原理及用途 真空感应钨烧结炉是在抽真空后充氢气保护状态下，利用中频感应加热的原理，使处于线圈内的钨坩埚产生高温，通过热辐射传导到工作上，适用于科研、军工单位对难熔合金如钨、钼及其合金的粉末成型 烧结。 二、主要结构及组成 结构形式多为立式、下出料方式。其主要组成为：电炉本体、真空系统、水冷系统、气动系统、液压系统、进出料机构、底座、工作台、感应加热装置(钨加热体及高级保温材料)、进电装置、中频电源及电 气控制系统等。 三、主要功能 在抽真空后充入氢气保护气体，控制炉内压力和气氛的烧结状态。可用光导纤维红外辐射温度计和铠装热电偶连续测温(0～2500℃)，并通过智能控温仪与设定程序相比较后，选择执行状态反馈给中频电源， 自动控制温度的高低及保温程序。 》》》》》》》》点这里《《《《《《《《 真空烧结炉安全操作规程 1．中频电源、真空炉炉体、感应圈之冷却水源——蓄水池之水必须充满，水中不得有杂质。 2．开动水泵，使其中频电源，真空炉感应圈、炉体冷却系统水循环正常，并调整水压控制在规定值。 3．检查真空泵电源系统，皮带盘皮带松紧，真空泵油是否位于油封观察孔中线。检查妥后，人工转动真空泵皮带盘，如无异常，可在关闭蝶阀的情况下，启动真空泵。 4．检查真空炉体内情况，要求真空炉体内一级卫生，感应圈绝缘良好，密封真空胶带具有弹性，尺寸 合格。 5．检查真空炉体的杠杆手把启动是否灵活。 6．检查转动式麦氏真空计是否合乎要求。 7．检查石墨坩埚，装炉配件是否齐全。 8．在以上准备就绪后，接通电源，中频电源合闸，按中频启动规则，试启动变频，成功后停止变频， 方可开炉。 9．真空炉体上盖的观察、测温孔，每次开炉均需清洁处理，以便观察和测温。 10．装炉时应根据不同烧结产品，采取相应装炉方式。按有关材质装炉规则装盘，不得随意更改。 11．为了保持恒温，防止热辐射，发热坩埚上加二层碳纤维，再罩上隔热屏。 12．垫好真空密封胶带。 13．操作杠杆手把，转动真空炉顶盖与炉体密切重合，放下顶盖，并锁好固定螺母。 14．徐徐打开蝶阀，抽炉体空气，至真空度达到规定值。 15．在真空度达到规定要求后，开始启动变频，调整中频功率，按有关材质的烧结规定操作；升温、