授课主要内容或板书设计
课堂教学安排
表3-1国际半导体技术指南——清洗技术
3.2污染物杂质的分类
表3-2各种沾污的来源和相对的影响
3.2.1颗粒
颗粒主要是一些聚合物、光刻胶和蚀刻杂质等。通常都是在工艺中引进的，工艺设备、环境、气体、化学试剂和去离子水均会引入颗粒。这些
表3-3硅片湿法清洗化学品3.3清洗方法概况
图3-1典型的硅片湿法清洗流程
1)第一步是去除有机物和金属，用到的试剂是H2SO4/H2O2(SPM)
2)第二步是去除颗粒，一般用NH4OH/H2O2/H2O(APM)1
(SC-1)。
3)第三步是去除金属，一般用HCl/H2O2/H2O(HPM)2号标准液
4)第四步是在旋转干燥器中进行离心
3.3.2稀释RCA清洗
表3-?4IMEC清洗法与RCA清洗法的比较
3.3.4单晶圆清洗
随着器件工艺技术的关键尺寸不断缩小，以及新材料的引入，使得前
图3-2等离子清洗机的工作原理图及清洗过程
3.3清洗方法概况
1)被清洗的工件送入真空舱并加以固定，启动运行装置，开始排气，使真空舱的真空程度达到10Pa左右的标准真空度。
2)向真空舱引入等离子清洗用的气体，并使其压力保持在
3)在真空舱内的电极与接地装置之间施加高频电压，使气体被击穿，并通过辉光放电而发生离子化并产生等离子体。
4)清洗完毕后切断高频电压，并将气体及汽化的污垢排出，同时向真空舱
图3-3全自动硅片超声波清洗机
3.4.1超声波清洗原理
超声波在本质上和声波是一样的，都是机械振动在弹性介质中的传播过程，超声波和声波的区别仅在于频率范围的不同。
声音，一般认为声波的频率在20～20000Hz
以上的声波则称为超声波，用于清洗的超声波所采用的频率为，
于频率高、波长短，因而传播的方向性好、穿透能力强，这也就是为什么设计制作超声波清洗机的原因。
3.4.2超声波清洗机
图3-512in单片兆声波清洗设备
3.4.3其他清洗设备
超声波清洗是半导体工业中广泛应用的一种清洗方法，该方法的优点是清洗效果好，操作简单，对于复杂的器件和容器也能清除，但该方法具
第二章表面质量——2.1表面质量含义 一、教学目的和要求 1.解掌握各原理的基本模式概念和特征，能举例说明各原理； 2.通过实际问题的讲解，使学生形成对机械制造表棉质量和粗糙度的个体认识，培养学生 独立思考， 归纳的学习习惯； 二、教学内容纲要 1.表面质量的含义以及对零件使用的影响：； 三、重点、难点 1.刀具切削后的表面粗糙度， 2.磨削后的表面粗糙度； 四、教学方法，实施步骤 根据本章课的内容特点，运用启发式原则、讲解式、案例分析式等教学方法讲授本课程内容。 五、时间分配（2学时） 表面质量的含义以及对零件使用的影响； 六、布置思考题 1.查找相关的资料并思考高精表面质量在现在的高科技行业当中有哪些具体的应用呢? 2.机器零件的表面质量包括哪几个方面内容？为什么说零件的表面质量与加工精度对保证机器的工作性能来说具有同等重要的意义？
第二章表面质量——2.2粗糙度影响因素2.3物理机械性能 一、教学目的和要求 引导学生能够对机械的相关性能有更深的了解和掌握. 二、教学内容纲要 1.表面粗糙度的形成及影响因素： (1)刀具切削后的表面粗糙度， (2)磨削后的表面粗糙度； 2.表面加工硬化： 三、重点、难点 表面粗糙度的形成及影响因素： (1)刀具切削后的表面粗糙度， (2)磨削后的表面粗糙度； 四、教学方法，实施步骤 本此课可以采用黑板教学的方法和多媒体的教学方法两种手段本此课可以采用黑板教学 的方法和多媒体的教学方法两种手段，根据具体内容采用启发式和讲解式、引导式和提 问式教学方法。 五、时间分配（3学时） 1.表面粗糙度的形成及影响因素： (1)刀具切削后的表面粗糙度，（50） (2)磨削后的表面粗糙度；（50）
福建省莆田市技工学校课时授课计划 （2007－2008学年度第1学期） 课程名称：机械制造工艺基础任课教师：方建忠 福建省劳动和社会保障厅制
绪论 一、机械制造工艺基础 机械制造工艺是是各种机械的制造方法和过程的总称。它是一门研究机械制造工艺方法和工艺过程的技术学科，涉及将原材料转变为成品的各种劳动，主要有：生产技术准备、毛坯制造、零件加工、装配和试验以及产品检测等。 二、课程的性质和任务 机械制造工艺基础是机械类通用工种的专业基础课，主要讲授机械制造工艺的基础知识，内容包括：毛坯制造工艺、切削加工工艺和机械加工工艺规程制订等三部分。 本课程学习的基本要求是： （1）以机械制造工艺过程为主线，了解毛坯制造、零件切削加工的各主要工种的工作内容、工艺特点、工艺装 备和应用范围等基础知识； （2）一般了解各工种主要设备（包括附件、工具）的基本工作原理和使用范围； （3）初步掌握选择毛坯和零件加工方法的基本知识； （4）初步掌握确定常见典型零件加工工艺过程的基本知识； （5）了解装配的基本知识和典型机械、部件的装配方法。 三、生产过程概述 机械制造工艺过程一般是： 铸造、锻压或焊接切削加工和热处理装配和试验 金属材料毛坯零件机械 1、生产过程与工艺过程 （1）生产过程：指将原材料转变为成品的全过程。不仅包括直接作用到生产对象上去的工作，还包括生产准备工作和生产辅助工作。 （2）工艺过程：指改变生产对象的形状、尺寸及相对位置和性质等，使其成为成品或半成品的过程。包括毛坯制造、零件加工、热
处理，以及产品的装配和试验等。 （3）生产过程与工艺过程的关系如下： 工艺规程编制及材料定额的制定 生产准备过程夹、刀、量具设计制造或购置 机床设备的设计制造或购置 焊接工艺过程 生产过程工艺过程机械加工工艺过程 热处理、表面处理工艺过程 工具的修磨和修理 生产辅助过程机床设备的维修及保管 成本核算及统计 销售与服务 2、工艺规程 （1）工艺文件与工艺规程：指导工人操作和用于生产、工艺管理等的各种技术文件称为工艺文凭。 工艺规程是规定产品或零冶叶倡条制造工艺过程和操作方法等的工艺文凭。 （2）工艺规程的重要性：在正常条件下，必须按照工艺规程组织生产，以建立和保持正常的生产秩序。工艺规程是各项生产组织和管理工作的基本依据，是全体有关生产人员必须认真贯彻和严格执行的纪律性文件。
《模具制造技术》课程教学大纲 课程名称：模具制造技术课程代码：MPRC3009 英文名称：Mould Manufacturing Technology 课程性质：专业选修课程学分/学时：3学分/54学时 开课学期：第6学期 适用专业：材料成型与控制工程 先修课程：机械制图、金工实习、工程材料、互换性与技术测量 后续课程：无 开课单位：机电工程学院课程负责人：朱伟珍 大纲执笔人：朱伟珍大纲审核人：杨宏兵 一、课程性质和教学目标（在人才培养中的地位与性质及主要内容，指明学生需掌握知识与能力及其应达到的水平） 课程性质：模具制造技术是材料成型与控制工程专业的一门专业选修课程。本课程针对材料成型与控制工程专业的特点，以模具制造的传统方法和现代制造技术为主，同时结合典型模具零件的制造工艺以及模具的装配、维修与管理技术，并且以实际应用为导向，培养学生运用模具制造技术合理设计模具的能力。 教学目标：本课程综合性和实践性很强，涉及的知识面较广。本课程的主要内容包括：模具制造工艺基础、模具的传统机械加工、模具的数控加工、模具的特种加工、模具先进制造技术、典型模具零件制造工艺、模具的装配、维修与管理模具材料及热处理。通过相关功能模块的理论讲授和实验训练，使学生掌握各种现代模具加工方法的基本原理、特点及加工工艺，掌握各种制造方法对模具结构的要求，提高学生分析模具结构工艺性的能力。 本课程的具体教学目标如下： 1．掌握模具制造工艺的基本知识，使学生具备模具生产技术要求有关的初步技能； 2．掌握模具零件一般加工方法，重点掌握模具典型零件的加工工艺。培养学生编制模具零件加工工艺规程的能力； 3．掌握冷冲模及塑料模的装配方法及装配工艺，使学生具有分析模具结构工艺性的能力，能够设计出工艺性能良好的模具结构。 二、课程教学内容及学时分配（含课程教学、自学、作业、讨论等内容和要求，指明重点内容和难点内容。重点内容： ；难点内容：?） 1、绪论（1学时）（支撑教学目标1、2） 1.1 模具工业在国民经济中的作用和地位 1.2 模具技术的现状及发展 1.3 模具制造的特点及基本要求
集成电路制造工艺流程之详细解答 1.晶圆制造( 晶体生长-切片-边缘研磨-抛光-包裹-运输 ) 晶体生长(Crystal Growth) 晶体生长需要高精度的自动化拉晶系统。 将石英矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达0.99999999999。 采用精炼石英矿而获得的多晶硅，加入少量的电活性“掺杂剂”，如砷、硼、磷或锑，一同放入位于高温炉中融解。 多晶硅块及掺杂剂融化以后，用一根长晶线缆作为籽晶，插入到融化的多晶硅中直至底部。然后，旋转线缆并慢慢拉出，最后，再将其冷却结晶，就形成圆柱状的单晶硅晶棒，即硅棒。 此过程称为“长晶”。 硅棒一般长3英尺，直径有6英寸、8英寸、12英寸等不同尺寸。 硅晶棒再经过研磨、抛光和切片后，即成为制造集成电路的基本原料——晶圆。 切片(Slicing) /边缘研磨(Edge Grinding)/抛光(Surface Polishing) 切片是利用特殊的内圆刀片，将硅棒切成具有精确几何尺寸的薄晶圆。 然后，对晶圆表面和边缘进行抛光、研磨并清洗，将刚切割的晶圆的锐利边缘整成圆弧形，去除粗糙的划痕和杂质，就获得近乎完美的硅晶圆。 包裹(Wrapping)/运输(Shipping) 晶圆制造完成以后，还需要专业的设备对这些近乎完美的硅晶圆进行包裹和运输。 晶圆输送载体可为半导体制造商提供快速一致和可靠的晶圆取放，并提高生产力。 2.沉积 外延沉积 Epitaxial Deposition 在晶圆使用过程中，外延层是在半导体晶圆上沉积的第一层。 现代大多数外延生长沉积是在硅底层上利用低压化学气相沉积(LPCVD)方法生长硅薄膜。外延层由超纯硅形成，是作为缓冲层阻止有害杂质进入硅衬底的。 过去一般是双极工艺需要使用外延层，CMOS技术不使用。 由于外延层可能会使有少量缺陷的晶圆能够被使用，所以今后可能会在300mm晶圆上更多
常用术语翻译 active region 有源区 2.active ponent有源器件 3.Anneal退火 4.atmospheric pressure CVD (APCVD) 常压化学气相淀积 5.BEOL（生产线）后端工序 6.BiCMOS双极CMOS 7.bonding wire 焊线，引线 8.BPSG 硼磷硅玻璃 9.channel length沟道长度 10.chemical vapor deposition (CVD) 化学气相淀积 11.chemical mechanical planarization (CMP)化学机械平坦化 12.damascene 大马士革工艺 13.deposition淀积 14.diffusion 扩散 15.dopant concentration掺杂浓度 16.dry oxidation 干法氧化 17.epitaxial layer 外延层 18.etch rate 刻蚀速率 19.fabrication制造 20.gate oxide 栅氧化硅 21.IC reliability 集成电路可靠性 22.interlayer dielectric 层间介质（ILD） 23.ion implanter 离子注入机 24.magnetron sputtering 磁控溅射 25.metalorganic CVD(MOCVD)金属有机化学气相淀积 26.pc board 印刷电路板 27.plasma enhanced CVD(PECVD) 等离子体增强CVD 28.polish 抛光 29.RF sputtering 射频溅射 30.silicon on insulator绝缘体上硅（SOI）
教师个人工作总结 本人在XX年度，严格要求自己，努力工作，在思想、教学和科研工作等方面都取得了较大的进步，现总结如下：在工作和学习中以共产党员的标准严格要求自己，认真学习马列主义、毛泽东思想、邓小平理论及三个代表的重要思想，积极参加学校和院系组织的各项活动，努力提高自己的思想水平。热爱党的教育事业，恪守教师的职业道德，认真履行教师的职责。尊敬师长，团结同志，热心为大家服务，认真完成学校和学院交给的工作任务。XX年-XX年承担了机械制造及自动化系副主任的工作，工作认真负责。特别是在本科教学水平评估期间，积极配合学院和系主任圆满完成各项工作。 教学工作兢兢业业，一丝不苟，积极承担新课程的教学任务。在教学评估任务繁重，时间紧张的情况下，仍然认真备课，精心制作课件，并积极申报和参与校级十大精品课件的评选活动。积极参与研究生教育工作，作为助理导师，完成了2名研究生的指导工作。 注重教学方法的研究和总结，主持和参与教学研究项目。将教学研究中的新思想、新方法和新成果及时应用到教学中，
不断改进教学方法。积极承担和参与课程建设工作，在教学研究方面荣获了两项成果和奖励。 努力搞好科研工作，提高自身素质。主持的校基金项目的研究工作已接近尾声。作为主要研究者参与了省级项目2项，国家自然科学基金项目1项。发表学术论文2篇，其中一篇被istp收录。 对照院聘岗位任期目标，本年度已将任期内的任务基本完成。 （1）本年度承担了4门本科生课程的主讲任务，其中3门必修课，1门选修课。共完成教学任务大约525个学时，超额完成教学任务，且教学效果良好。 （2）主持1项校级教学研究项目，2项院级教学研究项目。 （3）参与2项省级科研项目，1项国家自然基金项目，本年度到帐计算经费为2。54万元。 （4）本年度发表2篇b类论文，其中一篇被istp收录。 （5）a、获教育部首届高等学校自制教学仪器设备成果奖，第2位；获山东省XX年研究生优秀科技创新成果三等奖，第3位。
《模具制造工艺学》课程标准 [ 课程名称] ：模具制造工艺学 [ 课程代码] ：0812010 [ 适用专业] ：模具设计与制造专业 [ 开设时间] ：大二下学期 [ 开课学时]: 72 课时 1. 课程性质与设计思路 1.1 课程的性质 本课程是模具设计与制造专业的一门理论性和实践性都很强的主要专业课程。本课程的任务是培养学生掌握有关模具制造所需要的基本理论和基本方法， 掌握模具设计与制造所必须具备的工艺知识，具有常用模具加工工艺规程的编制和一般复杂程度的模具加工工艺设计的能力；能应用所学知识指导生产，并具有 在生产过程中发现问题、解决问题的能力；具有生产管理的能力，提高合理设计模具的能力。 1.2设计思路 模具制造工艺学是高职高专模具设计与制造专业的核心专业课程，也是学生就业后从事的主要工作岗位之一。模具制造及使用企业需要大批高素质高技能的模具设计与制造人才、工艺施工和生产管理的技术人才，因而模具设计与制造人员的素质和能力直接关系到模具生产企业的生存和发展。本课程的功能就是培养学生掌握模具制造加工工艺的编制所需要的基本知识和方法。通过完成本课程的学习，使学生能编制出一般复杂程度的模具加工工艺规程，初步能进行一般复杂 程度的模具加工工艺设计，能应用所学知识进行生产管理，依据模具加工工艺来指导生产，使学生具有发现问题、解决问题的能力。因此本课程在模具设计与制造专业课程中处于非常重要的地位，应当作为专业核心课程和必修课程。 本课程立足于实际能力培养，因此对课程内容的选择标准作了根本性改革，即紧紧围绕模具加工的典型工作任务选择课程内容，以更为有效的手段培养学生
实际工作的能力，提高课程内容的实用性与工作任务的相关性。 模具加工的种类繁多，不同类型的模具加工方法也不尽相同。按工序性质的 不同主要有普通加工，包括车、铣、刨、磨等；还有数控加工；以及特种加工等 加工方法。经过行业专家深入、细致而系统的分析，其中最基本的、生产中应用 最多的是机械加工，数控加工和特种加工。因而，模具加工工艺课程的教学，主 要设置机械加工，数控加工和特种加工等三大模块。在整门课程的内容编排上， 要考虑到学生的认知水平，由浅入深的安排课程内容，实现能力的递进。 2. 课程培养目标 2.1 知识目标 掌握模具加工工艺设计的基本方法及其工艺规程的编制； 熟悉典型的模具加工工艺结构； 课程内容和要求 5 ) 掌握模具加工的基本原理、方法及加工流程 6) 学会搜集和查询相关参考资料 7) 培养学生具有较强的安全和环保意识 2.2 能力目标 1) 能根据零件图纸，准确的进行加工工艺性分析，确定最好的加工工艺方案； 2) 3) 能够针对加工工艺方案，确定模具加工的结构形式； 熟练掌握各种加工工艺计算； 4) 能运用模具加工的相关知识，确定主要零部件结构、尺寸、材料的选择及热 处理； 5) 熟练运用以前所学的机械制图知识，看懂模具的总装图和零件图； 6) 能应用相关模具加工设备进行简单的模具加工 1) 了解模具加工的基本原理； 2) 了解各种模具加工材料及其性能； 3) 4)
第三章机械加工精度 零件的机械加工质量是机械制造工艺学的核心内容。零件的机械加工质量是由零件的机机械加工精度和零件机械加工表面质量两部分组成，机械加工精度是机械加工质量的核心部分。 机械加工精度在教材中讨论的主要内容，包括以下四个方面；加工精度的基本概念及其获得方法：加工误差的单因素分析；加工误差的统计分析；保证和提高加工精度的措施。其中，加工误差的单因素分析和统计分析是两大重点内容，是分析和解决加工精度问题的基础，是学习机械加工精度问题的关键。 学习要求 (1) 掌握加工精度和加工误差的基本概念。 (2) 掌握工件尺寸精度的获得方法及影响尺寸精度的因素。 (3) 了解工件形状精度和相互位置精度的获得方法及影响因素。 (4) 掌握工件加工误差的单因素分析法并初步掌握其综合分析方法 (5) 掌握加工误差的统计分析方法，其中主要是分布曲线法。 加工精度是机械工艺学的核心内容。零件的加工质量是由零件的机械 加工精度和机械加工表面质量两部分组成。 机械加工精度包括： f加工精度的基本概念及其获得方法； ★加工误差的单因素分析； < ★加工误差的统计分析； L保证和提高加工精度的措施。 第一节概述 第三章机械加工精度
1.加工精度——指零件加工后的实际几何参数（尺寸，形状和位置) 与理想几何参数相符合的程度。 理想几何参数的正确意义 尺寸——零件图或工艺图规定尺寸的平均值。 如(D40:的理想尺寸是0)40.15mw 形状，位置——绝对正确的形状和位置。 2.加工误差——零件加工后的实际几何参数（尺寸，形状和相互位置）与理想几何参数之间的偏差。 注意.?偏差是差值的绝对值，没有负值。 如上例，尺寸为4>40.19 误差0.04_ 40.05 误差0.10mm 不是-0.10 零件有三个方面的几何参 数，所以精度和误差也有三个方面： ①尺寸；②形状；③位置 精度和误差是以不同的立足点来反映，评定零件几何参数的零件指标。 第三章机械加工精度 2
1、检查学生出勤情况和学习用具准备情况。 2、安定课堂秩序，集中学生注意力。 齿轮的齿廓（齿形曲线）有渐开线、摆线、圆弧等。最常用的是渐开线齿廓。齿轮的加工可分为齿坯加工和齿面加工两个阶段。齿面加工则分为成形法和展成法两类。 §9-4齿面的切削加工 一、齿面的加工方法 1．齿面的成形法加工 成形法——利用成形刀具对工件进行加工的方法。 ●铣齿 ●成形插齿 ●拉齿 ●成形磨齿 成形法制造的齿轮精度较低，只能用于低速传动。 铣齿——用成形齿轮铣刀（盘状或指状模数铣刀）在铣床上直接切制一、组织教学（约2分钟） 二、复习导入（约10分钟） 以提问的形式检查学生上次课学习效果。 三、讲授新课 （约70分钟） 重点内容多媒体演示铣床，直观生动激发学生学习兴趣。
轮齿的方法。 铣齿的加工特点：●加工方便，生产成本低。 ●铣齿生产率低。 多媒体演示铣床，直观生动激发学生学习兴趣。
●铣齿的精度较低，一般铣制齿轮的精度只为10～9级。 2．齿面的展成法加工 （1）展成原理 展成法——利用工件和刀具作展成切削运动进行加工的方法。 原理：利用齿轮副的啮合运动实现齿廓的切削。将齿轮副中的一个齿轮制成具有切削能力的齿轮刀具，另一个齿轮换成待加工的齿坯，由专用的齿轮加工机床提供并实现齿轮副的啮合运动。 齿条刀具与齿坯的啮合运动，即齿条刀具沿着齿坯滚动（在分度圆上作无相对滑移的纯滚动），随着齿条刀具的切削刃不断变更位置而逐层切除齿坯金属，在齿坯上生成齿廓。 （ 2）齿面的展成加工方法●滚齿 ●插齿 ●剃齿 ●珩磨齿或剃齿 ●磨齿 多媒体演示铣床，直观生动激发学生学习兴趣。
?第一章绪论 ? 1.1 课程组织结构 ?第2章为曲柄压力机，它是本课程的重点之一，结构最典型，用途最广泛、使用数量最多的一种压力机。 ?第3章介绍了其它常用的几种压力机 ?第4章为液压机，液压机也是板材冲压加工和塑料成型加工中常用的设备之一。 ?第5章为塑料挤出机，主要介绍挤出机的工作原理、技术参数、典型结构等等。 ?第6章为塑料注射机，它是本课程的重点之一。 ? 1.2 材料成型基础知识回忆 ?材料成型方法主要有： 金属液态成型 金属塑性成形 连接成形 粉末冶金成形 非金属材料成形 ? 1.3冲压设备和塑料成形设备 ?冲压设备和塑料成形设备是指材料冲压加工和塑料成形加工的工艺设备 ?冲压加工以金属材料为主要主要原料，在常温下对材料进行变形处理 ?塑料成形加工是利用塑料在一定温度和压力下具有流动性，通过塑料模具成形 ? 1.4冲压设备和塑压设备的分类 ?冲压设备是锻压设备的重要组成部分（一半以上），对锻压设备分类：
机械压力机(J)，液压机(Y)， 自动锻压机(Z)，捶(C)， 锻机(D)，剪切(Q)， 弯曲校正机(W)，其它(T)。 ?塑料成形加工设备：塑料机械类的代号为“S”。 塑料机械分类： 挤出机(J)，吹塑中空机(C)， 压延机(Y)，注塑机(Z)。 ? 1.5成型机械发展趋势 ?1、数控成形机械迅猛发展 ?2、高速成形机械的高速化水平不断提高 ?3、成形机械精度不断提高 ?4、新兴成形技术的出现 ?5、FMS柔性制造系统的出现 ? 1.6学习目的 ?作为一名工艺人员和模具设计人员，必须熟练掌握各种设备的适用工艺围和生产能力，能根据具体工艺情况，正确合理得选购和选用设备。 ?作为生产一线的工程技术人员，必须掌握如何正确的使用、调整和维护主要机械设备 ?了解部分专用、先进和精密机械的工作原理、结构特点和性能 ●第1章模具机械加工基础 ●工艺规程设计 2.1.1 基本概念 2.1.2 设计、制造与使用的关系
集成电路制造工艺流程 1.晶圆制造( 晶体生长-切片-边缘研磨-抛光-包裹-运输 ) 晶体生长(Crystal Growth) 晶体生长需要高精度的自动化拉晶系统。 将石英矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达0.。 采用精炼石英矿而获得的多晶硅，加入少量的电活性“掺杂剂”，如砷、硼、磷或锑，一同放入位于高温炉中融解。 多晶硅块及掺杂剂融化以后，用一根长晶线缆作为籽晶，插入到融化的多晶硅中直至底部。然后，旋转线缆并慢慢拉出，最后，再将其冷却结晶，就形成圆柱状的单晶硅晶棒，即硅棒。 此过程称为“长晶”。 硅棒一般长3英尺，直径有6英寸、8英寸、12英寸等不同尺寸。 硅晶棒再经过研磨、抛光和切片后，即成为制造集成电路的基本原料——晶圆。 切片(Slicing) /边缘研磨(Edge Grinding)/抛光(Surface Polishing) 切片是利用特殊的内圆刀片，将硅棒切成具有精确几何尺寸的薄晶圆。 然后，对晶圆表面和边缘进行抛光、研磨并清洗，将刚切割的晶圆的锐利边缘整成圆弧形，去除粗糙的划痕和杂质，就获得近乎完美的硅晶圆。 包裹(Wrapping)/运输(Shipping) 晶圆制造完成以后，还需要专业的设备对这些近乎完美的硅晶圆进行包裹和运输。 晶圆输送载体可为半导体制造商提供快速一致和可靠的晶圆取放，并提高生产力。 2.沉积 外延沉积 Epitaxial Deposition 在晶圆使用过程中，外延层是在半导体晶圆上沉积的第一层。 现代大多数外延生长沉积是在硅底层上利用低压化学气相沉积(LPCVD)方法生长硅薄膜。外延层由超纯硅形成，是作为缓冲层阻止有害杂质进入硅衬底的。 过去一般是双极工艺需要使用外延层，CMOS技术不使用。 由于外延层可能会使有少量缺陷的晶圆能够被使用，所以今后可能会在300mm晶圆上更多
现代制造工艺学 一．名词解释 1．生产纲领：计划期内，包括备品率和废品率在内的产量称为生产纲领。2．工艺规程：规定产品或零部件机械加工工艺过程和操作方法的工艺文件，是一切有关生产人员都应严格执行、认真贯彻的纪律性文件。 3．加工余量：毛坯尺寸与零件设计尺寸之差称为加工总余量。 4．六点定位原理：用来限制工件自由度的固定点称为定位支承点。用适当分布的六个支承点限制工件六个自由度的法则称为六点定位原理（六点定则）。 5．机械加工工艺过程：对机械产品中的零件采用各种加工方法，直接用于改变毛坯的形状、尺寸、表面粗糙度以及力学物理性能，使之成为合格零件的全部劳动过程。 6．完全定位、不完全定位、欠定位、过定位 完全定位：工件的六个自由度被完全限制的定位。 不完全定位：允许少于六点（1-5点）的定位。 欠定位：工件应限制的自由度未被限制的定位。 过定位：工件一个自由度被两个或以上支承点重复限制的定位。 7．加工精度、加工误差： 加工精度：零件加工后的实际几何参数（尺寸、形状和表面间的相互位置）与理想几何参数的符合程度。 加工误差：加工后零件的实际几何参数（尺寸、形状和表面间的相互位置）对理想几何参数的偏离程度。 8．误差复映：当车削具有圆度误差的毛坯时，由于工艺系统受力变形的变化而使工件产生相应的圆度误差，这种现象叫做误差复映。 9．表面粗糙度：表面粗糙度轮廓是加工表面的微观几何轮廓，其波长与波高比值一般小于50. 10．冷作硬化：机械加工过程中产生的塑性变形，使晶格扭曲、畸变，晶粒间产生滑移，晶粒被拉长，这些都会使表面层金属的硬度增加，统称为冷作硬化（或称为强化）。 11．工艺系统刚度：工艺系统抵抗变形的能力。 12．工序能力：工序处于稳定状态时，加工误差正常波动的幅度。 。 13．工序：一个（或一组）工人，在一个工作地点，对一个（或同时几个）工件，连续完成的那一部分工艺过程。 14．安装：在一个工序中需要对工件进行几次装夹，则每次装夹下完成的
绪论 一、机械制造工艺基础 机械制造工艺是是各种机械的制造方法和过程的总称。它是一门研究机械制造工艺方法和工艺过程的技术学科，涉及将原材料转变为成品的各种劳动，主要有：生产技术准备、毛坯制造、零件加工、装配和试验以及产品检测等。
二、课程的性质和任务 机械制造工艺基础是机械类通用工种的专业基础课，主要讲授机械制造工艺的基础知识，内容包括：毛坯制造工艺、切削加工工艺和机械加工工艺规程制订和装配四部分。 本课程学习的基本要求是： （1）以机械制造工艺过程为主线，了解毛坯制造、 零件切削加工的各主要工种的工作内容、工艺 特点、工艺装备和应用范围等基础知识； （2）一般了解各工种主要设备（包括附件、工具） 的基本工作原理和使用范围； （3）初步掌握选择毛坯和零件加工方法的基本知 识； （4）初步掌握确定常见典型零件加工工艺过程的 基本知识； （5）了解装配的基本知识和典型机械、部件的装配 方法。 三、生产过程概述 机械制造工艺过程一般是： 铸造、锻压或焊接切削加工和热处理装配和试验 金属材料毛坯零件机械 1、生产过程与工艺过程 （1）生产过程：指将原材料转变为成品的全过程。不仅包括直接作用到生产对象上去的工作，还包括生产准备工作和生产辅助工作。 （2）工艺过程：指改变生产对象的形状、尺寸及相对位置和性质等，使其成为成品或半成品的过程。包括毛坯制造、零件加工、热处理，以及产品的装配和试验等。
（3）生产过程与工艺过程的关系如下： 产品设计 工艺规程编制及材料定额的制定 生产准备过程夹、刀、量具设计制造或购置 机床设备的设计制造或购置 生产计划的制定 铸造工艺过程 焊接工艺过程 生产过程工艺过程机械加工工艺过程 热处理、表面处理工艺过程 装配、试车工艺过程 原材料购置及保管 工具的修磨和修理 生产辅助过程机床设备的维修及保管 成本核算及统计 销售与服务 2、工艺规程 （1）工艺文件与工艺规程：指导工人操作和用于生产、工艺管理等的各种技术文件称为工艺文凭。 工艺规程是规定产品或零冶叶倡条制造工艺过程和操作方法等的工艺文凭。 （2）工艺规程的重要性：在正常条件下，必须按照工艺规程组织生产，以建立和保持正常的生产秩序。工艺规程是各项生产组织和管理工作的基本依据，是全体有关生产人员必须认真贯彻和严格执行的纪律性文件。
第一章绪论 1.1 课程组织结构 第2章为曲柄压力机，它是本课程的重点之一，结构最典型，用途最广泛、使用数量最多的一种压力机。 第3章介绍了其它常用的几种压力机 第4章为液压机，液压机也是板材冲压加工和塑料成型加工中常用的设备之一。 第5章为塑料挤出机，主要介绍挤出机的工作原理、技术参数、典型结构等等。 第6章为塑料注射机，它是本课程的重点之一。 1.2 材料成型基础知识回忆 材料成型方法主要有： 金属液态成型 金属塑性成形 连接成形 粉末冶金成形 非金属材料成形 1.3冲压设备和塑料成形设备 冲压设备和塑料成形设备是指材料冲压加工和塑料成形加工的工艺设备 冲压加工以金属材料为主要主要原料，在常温下对材料进行变形处理 塑料成形加工是利用塑料在一定温度和压力下具有流动性，通过塑料模具成形 1.4冲压设备和塑压设备的分类 冲压设备是锻压设备的重要组成部分（一半以上），对锻压设备
分类： 机械压力机(J)，液压机(Y)， 自动锻压机(Z)，捶(C)， 锻机(D)，剪切(Q)， 弯曲校正机(W)，其它(T)。 塑料成形加工设备：塑料机械类的代号为“S”。 塑料机械分类： 挤出机(J)，吹塑中空机(C)， 压延机(Y)，注塑机(Z)。 1.5成型机械发展趋势 1、数控成形机械迅猛发展 2、高速成形机械的高速化水平不断提高 3、成形机械精度不断提高 4、新兴成形技术的出现 5、FMS柔性制造系统的出现 1.6学习目的 作为一名工艺人员和模具设计人员，必须熟练掌握各种设备的适用工艺范围和生产能力，能根据具体工艺情况，正确合理得选购和选用设备。 作为生产一线的工程技术人员，必须掌握如何正确的使用、调整和维护主要机械设备 了解部分专用、先进和精密机械的工作原理、结构特点和性能 ●第1章模具机械加工基础 ●工艺规程设计
江苏省技工院校 教案首页 课题：§1-2 砂型铸造（二） 教学目的要求： 1. 如何造芯；2. 如何设置浇注系统和冒口、完成合型 3.了解几种特种铸造的工艺特点述。 教学重点、难点：如何设置浇注系统和冒口、完成合型 授课方法：讲授法、研讨法、视听法 教学参考及教具（含多媒体教学设备）：参考：《工程材料与机械制造基础》齐乐华主编；教具：多媒体 授课执行情况及分析： 板书设计或授课提纲
组织教学 点名考勤、稳定学生情绪、宣布上课。 复习旧课 1．铸造定义： 答案：将液态金属浇注到具有与零件形状、尺寸相适应的铸型型腔中，待其冷却凝固，以获得毛坯或零件的生产方法，称为铸造。 2. 砂型铸造的工艺过程 答案：砂型铸造工艺过程：制造模样、制备造型材料、造型、造芯、合型、金属熔炼、浇注、冷却、落砂、清理及铸件检验等组成。 导入新课 通过上次课的学习，砂型制作过程中只是刚刚开始，后续工作还有哪些呢？今天我们继续学习。 讲授新课 §1-2砂型铸造（二） 3、造型 1、定义：用造型混合料及模样等工艺装备制造铸型的过程称为造型。 2、分类：分为手工造型、机器造型和自动化造型。 3、手工造型： ⑴定义：全部用手工或手动工具完成的造型工序。 ⑵特点：手工造型操作灵活、适应性广、工艺装备简单、成本低，但其铸件质量不稳定、生产率低、劳动强度大、操作技艺要求高。 ⑶造型方法及特点P8-9
教师活动内容学生活动内容时间4、机器造型： ⑴机器造型定义：指用机器全部完成或至少完成紧砂操作的造型工序。 ⑵紧砂定义：提高砂箱内的型砂和芯盒内的芯砂紧实度的操作。 ⑶紧砂常用的方法：压实法、震实法、抛砂法。 5、自动化造型： ⑴自动化造型定义：P111 ⑵自动化造型特点（优点、缺点）： ⑶适用范围：适用于大批量生产和流水线生产。 4、造芯 1、造芯及其分类： ⑴定义：制造型芯的过程。 ⑵作用/目的：是为了获得铸件的内孔或局部外形，用芯砂或其他材料制成的安放在型腔内部的铸型组元。 ⑶分类：手工造芯和机器造芯。 ⑷手工造芯的方法：为芯盒造芯。 a）芯盒的装配 b）取芯 ⑸机器造芯利用造芯机来完成填砂、紧砂和取芯的。 2、烘干与刷涂料 ⑴烘芯定义： ⑵烘芯目的：提高………，减少………。 5、合型 1、定义：将铸型的各个组元如上型、下型、型芯、浇口盆等组合成一个完整铸型的操作过程（又称合箱）。 2、合型过程： ⑴合型前： ⑵合型时： ⑶合型后：根据教师引导，列 举事例分析。 根据教师引导，结 合日常生活，列举 事例分析。如：橡 皮泥。 运用生产实例，再 加老师讲解，同学 仔细听讲、观看。 主要目的是增长 学生的见识以及 对造芯的了解。 观看多媒体视频。 观看多媒体浇注 系统模型，可以很 直观的了解浇注 系统的组成结构 及其各部分作用。 5分 5分 5分 5分 5分
浅谈精品课程建设对教学改革的推动作用精品资源共享课程建设是教学信息化在教学中应用，教学方法、教学方式应坚持“统筹兼顾、突出重点、分布实施、务求实效”的原则，积极推动信息技术与高等教育的深度融合为重点，结合MOOCs的推广，进一步加强课程教学信息化，推进课堂教学过程信息化。 一、充分合理地利用多媒体教学手段 多媒体教学是现代教育技术在教学实践中的具体应用，它不单纯是教育技术的引进而且是教学艺术的发挥。它必然会引发教学观念、教学内容、课堂结构、教学方法、教学艺术、学生参与等一系列的思考与探索。在教学过程中教师能否合理地处理教材，是影响教学效果的重要因素。其中如何突出教材重点、突破难点至关重要。而多媒体教学手段就成为教师在教学过程中，突出教材重点、突破教学难点的有效手段。为充分利用多媒体教学手段，提高教学效果，我们合理地编写了教材和实验指导书，使用多媒体机房教学，教、练结合，突出教材重点和难点，并适当地播放一些多媒体教学资料，使学生在较短的时间内学到尽可能多的内容。而且晚上为学生开放机房，教师晚上值班辅导，随时为学生解决学习中的难题。 二、改进考试方法，提高学生的实际应用能力 又难既难以出题，对目前的教学内容采用笔答考试的方法，
以考核出学生的实际学习水平，因此应鼓励和推广上机考试方法。但在采用上机考试时，应避免出过多的选择题等题型，以免学生过多地拘泥于细枝末节，不能反映学生的实际应用能力。为此，可考虑采用两卷考试的方法：笔答试卷考核学生的综合知识，上机试卷考核学生的实际操作和应用能力。 三、教学改革的思考 随着Internet技术的发展和普及，Internet正在成为信息交换的通用平台。因此，在加大校园网建设投入的同时，充分发挥校园网的作用，建立计算机辅助教学网站，加大教学软件的开发和应用，是加强计算机公共课等课程教学的重要手段。为此结合计算机基础课程的教学，提出以下几点思考： （一）教材内容要改革 在我国中小学普及计算机基础课教学后，到大学阶段，学生已经基本上掌握了计算机基础知识。在这种情况下，高校的计算机基础课教材内容就需要相应进行改革，内容的侧重点要有所改变。要重点培养学生的自学能力和创新能力，为学生将来的再学习打下坚实的基础。计算机技术在飞速发展，计算机教学内容也要根据实际情况而有所改变，不能让学生继续学习一些已经不再实用的陈旧的知识内容。 （二）教学模式的探索 学生的基础不同，基础好的优等生“吃不饱”，很容易失去上 课的兴趣。而后进生因“吃不了”而失去信心的现象很普遍。．
C M O S集成电路制造工艺 流程 Company number：【0089WT-8898YT-W8CCB-BUUT-202108】
陕西国防工业职业技术学院课程报告 课程微电子产品开发与应用 论文题目CMOS集成电路制造工艺流程 班级电子3141 姓名及学号王京（24#） 任课教师张喜凤 目录
CMOS集成电路制造工艺流程 摘要：本文介绍了CMOS集成电路的制造工艺流程，主要制造工艺及各工艺步骤中的核心要素，及CMOS器件的应用。 引言：集成电路的设计与测试是当代计算机技术研究的主要问题之一。硅双极工艺面世后约3年时间，于1962年又开发出硅平面MOS工艺技术，并制成了MOS集成电路。与双极集成电路相比，MOS集成电路的功耗低、结构简单、集成度和成品率高，但工作速度较慢。由于它们各具优劣势，且各自有适合的应用场合，双极集成工艺和MOS集成工艺便齐头平行发展。 关键词：工艺技术，CMOS制造工艺流程 1.CMOS器件 CMOS器件，是NMOS和PMOS晶体管形成的互补结构，电流小，功耗低，早期的CMOS电路速度较慢，后来不断得到改进，现已大大提高了速度。 分类 CMOS器件也有不同的结构，如铝栅和硅栅CMOS、以及p阱、n阱和双阱CMOS。铝栅CMOS和硅栅CMOS的主要差别，是器件的栅极结构所用材料的不同。P阱CMOS，则是在n型硅衬底上制造p沟管，在p阱中制造n沟管，其阱可采用外延法、扩散法或离子注入方法形成。该工艺应用得最早，也是应用得最广的工艺，适用于标准CMOS电路及CMOS与双极npn兼容的电路。N阱CMOS，是在p型硅衬底上制造n沟晶体管，在n阱中制造p沟晶体管，其阱一般采用离子注入方法形成。该工艺可使NMOS晶体管的性能最优化，适用于制造以NMOS为主的CMOS以及E/D－NMOS和p沟MOS兼容的CMOS电路。双阱CMOS，是在低阻n＋衬底上再外延一层中高阻n――硅层，然后在外延层中制造n 阱和p阱，并分别在n、p阱中制造p沟和n沟晶体管，从而使PMOS和NMOS晶体管都在高阻、低浓度的阱中形成，有利于降低寄生电容，增加跨导，增强p沟和n沟晶体管的平衡性，适用于高性能电路的制造。
机械制造工艺学教案 课程的教学目的和要求： 1、掌握机械制造的基本理论和工艺规程的编制，对工艺问题能进行分析和提出改进措施。 2、掌握零件加工和机器装配结构工艺性的原则，设计的产品具有良好的结构工艺性。 3、掌握保证机器装配精度的方法。 4、掌握机床夹具的设计原理和方法，具有设计机床夹具的初步能力。 5、具有综合分析和解决实际工艺问题的能力，提出保证质量，提高劳动效率，降低成本的工艺途径。 授课学时： 48课时 教材： 常同立.机械制造工艺学.北京：清华大学出版社，2010 参考书： 王启平.机械制造工艺学.哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社，2005 王先逵.机械制造工艺学.北京：机械工业出版社，2008 杨叔子.机械加工工艺师手册.北京：机械工业出版社，2004 第 1 次课（第一章机械制造工艺预备，1.1机械产品开发及生产过程，1.2生产类型及其工艺特点） 、教学目的和要求
1、掌握机械制造工艺的概念、学习的目的、特点、内容、发展方向 2、掌握机械产品开发及生产过程。 3、掌握生产类型及其工艺特点 二、教学内容纲要 1、机械制造工艺的概念、学习的目的、特点、内容、发展方向 2、机械产品开发及生产过程 3、生产类型及其工艺特点 三、重点、难点 1、机械产品开发及生产过程 2、生产类型及其工艺特点 四、教学方法，实施步骤 根据本章课的内容特点，运用启发式、案例分析式教学方法讲授本课程内容。 五、时间分配（2学时） 0.7 本次课共2学时，其中机械产品开发及生产过程占0.7学时，生产类型及其工艺特点占 学时 六、布置思考题 1、了解制造业在国民经济中的地位 2、针对我国的机械制造业现状，指出我国机械制造业与世界发达国家的差距 3、课后习题：1-1 ；1-2 ；1-3 ；1-4 第2次课（1.3机械加工质量，1.4机械加工精度获得方法） 一、教学目的和要求 1、掌握机械加工质量。 2、掌握机械加工精度获得方法。 二、教学内容纲要 1. 机械加工质量 2、机械加工精度获得方法 三、重点、难点 各种加工精度的获得方法 四、教学方法，实施步骤 根据本章课的内容特点，运用启发式、案例分析式教学方法讲授本课程内容。 五、时间分配（2学时）
一、组织教学（约2分钟） 二、复习导入（约10分钟）以提问的形式检查学生上次课学习效果。 三、讲授新课（约70分钟） 重点内容 多媒体演示气焊的加工视频配合教师详细讲解，直观生动激发学生学习兴趣。 1、检查学生出勤情况和学习用具准备情况。 2、安定课堂秩序，集中学生注意力。 一、电弧引燃两种方式? 引弧的操作方法有直击法和划擦法两种。 二、运条的三种运动方式？ 1、焊条送进运动 2、焊条沿焊接方向移动 3、焊条横向摆动 §3-4气焊与气割 一、气焊 气焊——利用气体火焰作热源的一种熔焊方法。 气焊的原理 1．气焊的设施 气焊常用的可燃气体是乙炔气（C2H2）。 使用的助燃气体是氧气（O2）。
（1）氧气和氧气瓶 1）氧气。氧气是助燃剂，与乙炔混合燃烧时，能产生大量的热量。 2）氧气瓶。氧气瓶是储存高压氧气的圆柱形容器，外表漆成天蓝色作为标志，最高压力为14.7MPa，容积约40L，储气量约6m3。 （2）乙炔和溶解乙炔气瓶 1）乙炔。乙炔是可燃气体，无色，氧乙炔焰是气焊最常用的热源。 2）溶解乙炔气瓶。溶解乙炔气瓶是储存及运输乙炔的专用容器，外表漆成白色，并用红漆在瓶体标注“乙炔”字样。乙炔瓶的最高压力为1.47MPa。 （3）减压器 减压器——是将高压气体降为低压气体的调节装置，其作用是将气瓶中流出的高压气体的压力降低到需要的工作压力，并保持压力的稳定。
重点内容 难点内容 多媒体视频，及其图片演示气焊操作，降低学生理解难度。 （4）焊炬 焊炬——气焊时用于控制火焰并进行焊接的工具。 其作用是使氧气与可燃气体按一定比例混合，再将混合气体喷出燃烧，形成稳定的火焰。 2．氧乙炔焰 1）中性焰 2）碳化焰 3）氧化焰 3．气焊操作工艺 （1）焊前准备 气焊前，应彻底清除焊件接头处的锈蚀、油污、油漆和水分等。 （2）选择焊丝 焊丝在气焊时与熔化的焊件混合形成焊缝金属。常用的气焊焊丝有碳素结构钢焊丝、合金结构钢焊丝、不锈钢焊丝、铜及铜合金焊丝、铝及铝合金焊丝和铸铁焊丝等。 （3）气焊熔剂 是气焊时的助熔剂，其作用是与熔池内的金属氧化物或非金属夹
江苏省高等教育自学考试 模具制造工艺课程设计任务书 题目：“链片冲孔落料复合模”凸凹模零件的机械加工工艺过程及工艺装备的设计（单件生产） 内容：１．零件图１张 ２．毛坯图１张 ３．机械加工工艺过程综合卡片１张 ４．课程设计说明书１份 完成时间：年月日 专业 姓名 指导教师
“链片冲孔落料复合模”凸凹模零件的机械加工工艺过程及工艺装备的设计1、装配图 2、凸凹模零件
根据装配图和零件图设计凸凹模零件的机械加工工艺过程及工艺装备，生产纲领为单件 三、设计的内容、方法、步骤 1、对零件进行工艺分析，画零件图 考生在得到设计题目之后应首先对零件进行分析，其主要内容包括：（1）分析零件的作用及零件图上的技术要求； （2）分析零件主要加工表面的尺寸、形状及位置精度、表面粗糙度以及设计基准等； （3）分析零件的性质、热处理及机械加工、电加工的工艺性。 零件图应按机械制图国家标准仔细绘制。除特殊情况经指导教师同意外，均按1：1比例画出（并绘制造型图）。 2、选择毛坯的制造方式 毛坯的选择应该从生产批量的大小、零件的复杂程度、加工表面及非加工表面的技术要求、零件的受力状况等几个方面的综合考虑，正确的选择毛坯的制造方式，可以使整个工艺过程更加经济合理，故应慎重对待。其步骤为： （1）确定毛坯类型，即选择铸件、锻件还是型材等； （2）确定毛坯形状； （3）规定毛坯精度等级； （4）确定毛坯余量（查表法） （5）给出毛坯技术要求； （6）绘制零件-毛坯综合图。 3、制订模具零件的机械加工工艺路线 （1）制订工艺路线 在对零件进行工艺分析的基础上，制订零件的工艺路线和划分粗、精加工阶段。对于比较复杂的零件，可以先考虑几个加工方案，分析比较后，再从中选择比较合理的加工方案。 （2）选择定位基准，进行必要的工序尺寸计算 根据粗、精基准选择原则合理选定各工序的定位基准。当某工序的定位基准与设计基准不相符时，需对它的工序尺寸进行换算。 （3）选择机床及工、夹、量、刃具 机床设备的选用应当既要保证加工质量，又要经济合理。在单件生产条件下，一般应采用通用机床。 （4）加工余量及工序间尺寸与公差的确定