下载文档原格式
MEMS加速度计的原理及应用MEMS加速度计（Microelectromechanical Systems Accelerometer）是一种基于微电子机械系统的加速度测量器件。
它利用微电子技术和微米制造工艺，将加速度的作用转化为电信号的变化，从而实现对物体的加速度测量。
MEMS加速度计的原理是利用微机械结构和微运动质量的特性。
一般来说，MEMS加速度计由微型质量块和弹簧支撑系统组成，当物体发生加速度改变时，弹簧支撑系统会受到力的作用，从而导致微型质量块产生相应的位移。
这个位移可以通过微电子传感器转化为电信号，进而进行处理和分析。
1.手机和消费电子产品：MEMS加速度计被广泛应用在手机和其他消费电子产品中，用于实现自动屏幕旋转、运动感应游戏、姿势识别和手势控制等功能。
2.汽车安全系统：MEMS加速度计可用于汽车安全系统中，如气囊部署系统。
当车辆发生碰撞或急刹车等意外情况时，加速度计可以检测到车辆的加速度变化，并触发相应的安全机制。
3.工业监测：MEMS加速度计可以用于工业监测中，如机械设备的振动监测。
通过检测设备振动的频率和幅度，可以预测设备的健康状况和可能的故障。
4.体感游戏和虚拟现实（VR）设备：MEMS加速度计可以用于体感游戏和虚拟现实设备中，如头戴式显示器。
通过感应用户的头部和身体的运动，可以实现更加真实和沉浸式的游戏和虚拟体验。
5.医疗领域：MEMS加速度计可以用于医疗监测和诊断中，如运动追踪和睡眠监测。
通过监测运动和睡眠的模式和质量，可以帮助医生评估患者的健康状况。
6.运动跟踪器：MEMS加速度计在运动跟踪器中被广泛应用，如智能手环和运动手表。
它可以实时监测用户的步数、距离、卡路里消耗和睡眠质量等信息。
总结起来，MEMS加速度计是一种基于微电子机械系统的加速度测量器件，它通过微机械结构和微运动质量的特性，将加速度的作用转化为电信号的变化。
这种技术在手机、汽车安全系统、工业监测、体感游戏、医疗领域和运动跟踪器等领域有着广泛的应用。
加速度传感器的工作原理
加速度传感器是一种用于测量物体加速度的装置，它的工作原理基于牛顿第二定律。
加速度传感器通常采用微机电系统（MEMS）技术，其中包括微机械加速度传感器和微机械压电加速度传感器两种类型。
在微机械加速度传感器中，关键部件是一个微小而灵敏的质量。
当物体发生加速度时，该质量会受到惯性力的作用，从而引起质量发生位移。
位移导致质量与支撑结构之间的弹性变化，产生电容值的变化。
通过测量电容值的变化，就可以确定物体的加速度。
而微机械压电加速度传感器则是利用压电效应来测量加速度。
压电材料在受力后会产生电荷，从而生成电压信号。
加速度传感器中的压电材料通常被固定在物体的结构上，当物体发生加速度时，压电材料受到力的作用，产生电荷和电压变化。
通过测量电压信号的变化，就可以获得物体的加速度信息。
无论是微机械加速度传感器还是微机械压电加速度传感器，它们都需要一个信号处理电路来转换、放大和解读传感器输出的电信号。
常见的信号处理电路包括模拟滤波器、放大器和模数转换器等，这些电路可以将传感器输出的模拟信号转换为数字信号，从而实现对加速度的准确测量和计算。
总之，加速度传感器的工作原理是基于物体的加速度对质量
或压电材料产生的作用力引起的位移或电荷变化，通过测量位移或电荷变化来确定物体的加速度。
MEMS电容式加速度计原理一、工作原理MEMS电容式加速度计是一种基于微机械加工技术制成的传感器，用于测量加速度。
其核心部分是可移动的感应质量块和固定电极，它们之间存在微小的间距。
在工作状态下，当被测物体发生加速度时，感应质量块会受到力的作用，从而产生位移。
这个位移量会改变感应质量块与固定电极之间的距离，从而引起电容值的改变。
通过测量电容值的变化，可以推导出物体的加速度。
二、结构设计MEMS电容式加速度计的典型结构包括一个可移动的感应质量块和两个对称的固定电极。
感应质量块通常采用单晶硅材料制成，形状为长方形或圆形，其两端固定在弹性梁上。
弹性梁的材料一般为氮化硅或石英，它们具有良好的弹性性能和稳定的热性能。
固定电极一般采用金属材料制成，与硅衬底形成电容器。
当加速度作用在感应质量块上时，感应质量块会沿着敏感轴方向产生位移，从而改变电容器的电容值。
三、电容变化当感应质量块发生位移时，它与固定电极之间的距离会发生变化，导致电容值的改变。
这个电容变化量可以通过外部电路检测并转换为电压信号输出。
在MEMS电容式加速度计中，通常采用差分电容检测方式来提高检测灵敏度和减小外界干扰的影响。
差分电容检测方式是将两个对称的电容器串联在一起，通过测量两个电容器的电容差值来推导出加速度值。
四、测量范围MEMS电容式加速度计的测量范围取决于其结构设计、制造工艺和材料选择等因素。
一般来说，MEMS电容式加速度计的测量范围在±2g 至±10g之间。
在实际应用中，可以根据需要选择适合测量范围的加速度计。
此外，为了减小测量误差和提高测量的稳定性，可以对加速度计进行温度补偿和线性补偿等处理。
五、方向测量MEMS电容式加速度计一般只能测量单一方向的加速度值，而要实现方向测量则需要使用多个加速度计。
一般来说，将多个MEMS电容式加速度计按不同的方向布置在同一个被测物体上，每个加速度计负责测量一个方向的加速度值。
通过对这些加速度值进行处理和分析，可以获得物体在三维空间中的运动状态和方向信息。
加速度传感器测试原理
加速度传感器是一种用于测量物体加速度的装置。
它基于物体受到的力的变化来计算加速度。
加速度传感器的测试原理是利用传感器内部的微机电系统（MEMS）技术。
在加速度传感器中，一般会有一个微小的质量块，称为质量阻尼系统。
当传感器受到外力作用时，质量块会发生位移，导致电容或电感值发生变化。
这种变化可以通过电路进行测量和分析。
具体地说，加速度传感器中通常使用微机电系统的结构，如微小的弹簧和质量块。
当物体在加速度作用下发生运动时，质量块会受到惯性力的作用产生位移，弹簧会对其进行相应的恢复力。
这样，质量块和弹簧之间的相互作用会导致一个共振频率的变化。
传感器会通过调整质量块和弹簧的特性，使其在特定的频率范围内具有最佳的灵敏度和准确度。
一般来说，加速度传感器可以测量从几赫兹到几千赫兹的频率范围内的加速度信号。
测试加速度传感器时，可以通过提供已知的加速度值来验证传感器的准确性。
例如，可以将传感器固定在一个旋转的转盘上，转盘上的半径和角速度已知。
通过测量传感器输出的加速度信号，并结合已知的半径和角速度，可以计算出传感器的输出是否与实际加速度值一致。
此外，为了验证加速度传感器的灵敏度，还可以使用振动台等
设备来进行测试。
通过在不同频率和幅度下施加振动，并测量传感器的输出信号，可以评估传感器的灵敏度和响应特性。
总结起来，加速度传感器的测试原理是基于通过微机电系统的结构，测量由物体受到的加速度引起的质量块位移和弹簧恢复力变化。
通过与已知的加速度值进行比较或者通过施加振动进行测试，可以验证传感器的准确性和灵敏度。
常用的几种mems的特征和应用领域MEMS是Micro-Electro-Mechanical Systems的缩写，意为微机电系统，它是一种利用大规模集成电路技术制造微米级结构的机电设备，可实现机械、光学、电磁等多种功能，并具备微型化、高集成度、低功耗、低成本等优点。
以下是常用的几种MEMS的特征和应用领域。
1. 加速度传感器加速度传感器是测量物体加速度的一种MEMS传感器，它通过转换加速度信号为电信号来实现测量。
加速度传感器可广泛应用于汽车制造、航空飞行、医疗设备等领域，例如汽车气囊和车辆稳定控制系统中，可以帮助车辆进行控制和防止熄火。
此外，加速度传感器也常应用于移动设备，如智能手机、智能手表等，可以实现屏幕旋转、计步器和姿态控制等功能。
2. 压力传感器压力传感器是一种用于测量压力、重力和加速度的MEMS传感器，它通过感应压力对敏感元件的影响，将压力信号转化为电信号。
压力传感器广泛应用于汽车、医疗、环保领域等。
例如，在汽车领域中，压力传感器可用于制动系统、气囊和轮胎压力监测系统等；在医疗领域中，它可用于血压计和呼吸机等设备，帮助诊断和治疗。
3. 光学切换器光学切换器是一种可控制光路的MEMS元件，它通过微机电技术制造微型反射镜来实现光路的切换和控制。
光学切换器可广泛应用于通信领域、光学传感器和生命科学领域等。
例如，在通信领域中，光学切换器可用于光纤通信中的光开关、波分复用器和分光器等设备；在生命科学领域中，它可用于分子分析、细胞生物学中的荧光显微镜和核磁共振成像仪等设备。
4. 微型投影仪微型投影仪是一种利用MEMS技术制造微型光学元件和电子光源的光电设备，它能够将图像投射到屏幕或其他表面上。
微型投影仪可广泛应用于移动设备、办公和教育等领域。
例如，在移动设备领域中，它可用于诸如智能手机、平板电脑和手持游戏机等设备中；在办公和教育领域中，它可用于多媒体投影仪、白板和投影仪等设备。
综上所述，MEMS技术在各个领域都有着广泛的应用，它可以帮助我们更好地控制和操作物质，并为我们带来更舒适的生活和更高效的工作方式。
MEMS三轴加速度计的原理MEMS三轴加速度计是一种基于微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems，MEMS）技术的传感器，用于测量物体的加速度。
它由微机电系统芯片、控制电路和信号处理电路组成。
在本文中，将详细解释MEMS三轴加速度计的基本原理。
1. 什么是MEMS三轴加速度计？MEMS三轴加速度计是一种能够测量物体在三个方向上的加速度的传感器。
它通常由微机电系统芯片制成，具有微小、低功耗和高精度等特点。
MEMS三轴加速度计广泛应用于移动设备、汽车、导航系统等领域。
2. MEMS三轴加速度计的工作原理MEMS三轴加速度计的工作原理基于微机电系统技术和质量平衡原理。
它通过测量微机电系统芯片中的质量变化来确定物体的加速度。
具体来说，MEMS三轴加速度计通常由两个主要部分组成：感应质量和压电传感器。
2.1 感应质量感应质量是MEMS三轴加速度计的核心部件，它通常由微机电系统芯片中的微小质量块组成。
感应质量可以在多个方向上自由移动，并且具有一定的弹性。
2.2 压电传感器压电传感器是MEMS三轴加速度计中的另一个重要组成部分。
它通常由压电材料制成，如压电陶瓷。
压电材料具有特殊的电学性质，当施加压力或力量时，会产生电荷。
2.3 基本原理MEMS三轴加速度计的基本原理是利用感应质量和压电传感器之间的相互作用来测量加速度。
当物体受到加速度时，感应质量会受到惯性力的作用而移动。
感应质量的移动会导致压电传感器受到压力或力的作用，进而产生电荷。
这个电荷的大小与感应质量的移动距离和加速度大小成正比。
压电传感器将产生的电荷转化为电压信号，并通过控制电路和信号处理电路进行放大和处理。
最终，我们可以通过测量电压信号来确定物体在三个方向上的加速度。
3. MEMS三轴加速度计的工作模式MEMS三轴加速度计通常有两种工作模式：静态模式和动态模式。
3.1 静态模式在静态模式下，MEMS三轴加速度计测量的是物体所受到的重力加速度。
mems加速度计z轴结构及工作原理mems加速度计是一种基于微机电系统（MEMS）技术的传感器，用于测量物体在三维空间中的加速度，其中z轴加速度是指物体在垂直于地面的方向上的加速度。
mems加速度计的结构可分为三个主要部分：质量块、支撑结构和感应电极。
质量块是mems加速度计的核心部件，通常采用微米级别的硅质材料制成。
支撑结构用于支撑质量块，以保持其相对静止位置，一般由弹性材料制成。
感应电极则用于测量质量块的位移，从而间接测量物体在z轴方向上的加速度。
mems加速度计的工作原理基于质量块的惯性。
当物体受到外力作用时，质量块会发生位移，而这种位移会导致感应电极间的电容发生变化。
通过测量电容的变化，可以推断出质量块的位移大小，从而得到物体在z轴方向上的加速度。
具体而言，mems加速度计利用电容变化来测量质量块的位移。
当物体受到加速度时，质量块会发生相应的位移，导致感应电极之间的电容发生变化。
通过测量电容的变化，可以确定质量块的位移量，从而得到物体在z轴方向上的加速度。
为了实现这一测量过程，mems加速度计通常采用差动电容结构。
差动电容结构由两对相等的感应电极组成，分别位于质量块的两侧。
当质量块发生位移时，感应电极之间的电容会发生变化。
通过测量两对感应电极之间的电容差值，可以确定质量块的位移量，进而计算出物体在z轴方向上的加速度。
为了提高mems加速度计的灵敏度和精度，还可以采用一些增强措施。
例如，可以在质量块和支撑结构之间设置减震垫，以减小外界干扰对加速度测量的影响。
同时，还可以采用温度补偿技术，通过测量环境温度的变化来修正mems加速度计的输出，以提高其稳定性和准确性。
mems加速度计是一种基于微机电系统技术的传感器，用于测量物体在三维空间中的加速度。
通过测量质量块的位移，可以间接得到物体在z轴方向上的加速度。
其结构简单、工作原理清晰，可以应用于许多领域，如运动追踪、姿态控制、智能手机等。
随着MEMS技术的不断发展，mems加速度计将会在更多领域发挥重要作用。
MEMS传感器的工作原理及应用1. 什么是MEMS传感器MEMS传感器（Microelectromechanical Systems Sensors）是一种集成微纳制造技术与传感器技术于一体的传感器。
它由微机电系统（Microelectromechanical Systems，简称MEMS）技术制造而成，具有微秒级响应速度、微米级灵敏度和微瓦级功耗的特点。
2. MEMS传感器的工作原理MEMS传感器利用微机电系统技术将传感元件制造在芯片上，通过检测物理量的变化来获得所需的信号。
下面介绍几种常见的MEMS传感器及其工作原理：2.1 加速度传感器加速度传感器是一种常见的MEMS传感器，能够检测物体在三个方向上的加速度变化。
其工作原理基于牛顿第二定律，利用质量块与弹簧系统的运动来检测加速度变化。
•工作原理：1.加速度传感器内部包含一个质量块，可通过弹簧固定在一个外壳上。
2.当传感器受到加速度作用时，质量块与外壳之间产生相对位移。
3.基于压电效应或电容变化等原理，测量相对位移，并将其转化为电信号输出。
2.2 压力传感器压力传感器是一种常用的MEMS传感器，可用于测量气体或液体的压力变化。
其工作原理基于压电效应或电阻变化来检测压力变化。
•工作原理：1.压力传感器内部设计有感应膜，通常采用金属或半导体材料制成。
2.当传感器受到压力作用时，感应膜产生弯曲。
3.基于压电效应或电阻变化等原理，测量感应膜的变化，并将其转化为电信号输出。
2.3 温度传感器温度传感器是一种广泛应用于工业和消费电子等领域的MEMS传感器，可测量物体的温度变化。
其工作原理基于热敏材料的电阻特性来检测温度变化。
•工作原理：1.温度传感器内部包含一个热敏元件，通常采用电阻器或热敏电阻器制成。
2.当传感器受到温度变化影响时，热敏元件的电阻值会发生变化。
3.通过测量热敏元件的电阻值变化，并将其转化为温度值输出。
3. MEMS传感器的应用MEMS传感器在各个领域都有广泛的应用，下面列举几个常见的应用领域：3.1 汽车行业•制动系统：MEMS加速度传感器可用于检测车辆的加速度变化，实现主动安全功能。
加速度传感器结构特征
加速度传感器是一种能够测量物体加速度的传感器。
它的结构由以下几个特征组成：
1. 振动结构：加速度传感器通常使用微机械系统（MEMS）技术。
传感器内部包含一个微小的振动结构，通常是一个质量块或弹簧系统。
当受到外部加速度作用时，振动结构会产生相对于传感器本体的位移。
2. 电容变化：振动结构上通常包含一对电容板，当振动结构发生位移时，电容板之间的距离会发生改变，从而导致电容值的变化。
加速度传感器通常通过测量这种电容变化来确定物体的加速度。
3. 动态范围：加速度传感器的结构特征还包括其测量范围，即能够测量的加速度的最小和最大值。
传感器的动态范围通常由其结构和材料的特性决定。
4. 输出信号：加速度传感器通常通过电压或电流信号来传递测量结果。
传感器的结构决定了输出信号的类型和范围。
总的来说，加速度传感器的结构特征包括振动结构、电容变化、动态范围和输出信号等。
这些特征决定了传感器的灵敏度、精度和可靠性，使其能够在各种应用中准确测量物体的加速度。
mems谐振式加速度传感器工作原理哎呀，今天我们来聊聊那个小家伙，MEMS谐振式加速度传感器。
这个东西可真是个神奇的玩意儿！你有没有想过，我们身边的手机、平板，甚至一些智能家居设备里，竟然都藏着这样一个“小天才”？说到它的工作原理，嘿嘿，就像一个舞者在舞台上优雅地摇摆。
它里面有个微小的谐振器，像个乐手，负责感知加速度的变化。
想象一下，当你坐在过山车上，突然间一阵失重的感觉袭来，哇，刺激得不行！就是这个谐振器在欢快地工作。
它通过检测物体的振动变化，来判断加速度的方向和大小。
你看，这种小东西能在那么快的速度下，实时传递信息，简直就像在打快板。
无论是上坡还是下坡，它都能准确地“说”出你的加速度。
这玩意儿的构造可真精巧，内部的小部件就像乐队里的乐器，互相配合得天衣无缝。
MEMS技术让这些传感器小到几毫米，轻得像羽毛，却又能承受各种外界的挑战。
试想一下，日常生活中，我们走路、骑车、开车，都会有各种加速度的变化，而这个传感器就像个“侦探”，随时捕捉着这些动态。
更有趣的是，它的工作原理和我们生活中的很多现象都有联系。
比如说，当你急刹车时，身体会向前倾，那感觉就像被拉扯了一下，对吧？传感器就是通过检测这些“拉扯”来判断你当前的状态。
它的反应速度快得惊人，就像是一位老练的赛车手，瞬间就能做出决策。
我们再说说它的应用吧！在汽车行业，MEMS加速度传感器被广泛用于安全气囊的触发，真是事关生死的大事啊！它能够快速感知到碰撞，及时让安全气囊弹出，保护乘客的安全。
想想看，这小小的传感器竟能在危机时刻“出手相助”，真是令人佩服！在智能手机中，它的作用更是无处不在。
手机的屏幕自动旋转、游戏中的重力感应，都是它在背后默默支持的结果。
玩游戏的时候，你轻轻一摇，角色就开始飞速移动，那可是这位“幕后英雄”在操控哦！没有它，我们的生活可就失色不少。
这传感器还在运动设备中大显身手。
像智能手表、健身追踪器，都是利用它来监测运动状态的。
它能够记录你的步伐、跑步速度，甚至心率，让你对自己的运动情况一目了然。
MEMS加速度传感器
学院：理学院
专业：物理电子学
姓名：
学号：
目录
MEMS加速度传感器 (1)
简介 (3)
1、什么是加速度传感器？ (3)
2、什么是MEMS加速度传感器？ (3)
MEMS加速度计的应用领域 (4)
MEMS加速度传感器的工作原理 (4)
MEMS加速度传感器的现状与发展方向 (5)
1、前景预测 (5)
2、最新发展 (6)
简介
1、什么是加速度传感器？
加速度传感器是一种惯性传感器，能够测量物体的加速力。
加速力就是当物体在加速过程中作用在物体上的力，就比如地球引力，也就是重力。
加速力可以是个常量，比如g，也可以是变量。
2、什么是MEMS加速度传感器？
微机电系统（Microelectro Mechanical Systems,MEMS）是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。
经过几十年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。
它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。
目前，全世界有大约600余家单位从事MEMS的研制和生产工作，已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品，其中微传感器占相当大的比例。
微传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。
与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。
同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。
本文概述国内外目前已实现的微机械传感器特别是微机械谐振式传感器的类型、工作原理、性能和发展方向。
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)加速度传感器就是使用ME MS技术制造的加速度传感器。
由于采用了微机电系统技术，使得其尺寸大大缩小，一个MEMS加速度计只有指甲盖的几分之一大小。
MEMS加速度计具有体积小、重量轻、能耗低等优点。
MEMS加速度计的应用领域
通过测量由于重力引起的加速度，你可以计算出设备相对于水平面的倾斜角度。
通过分析动态加速度，你可以分析出设备移动的方式。
现在工程师们已经想出了很多方法获得更多的有用的信息。
MEMS加速度计可以帮助你的机器人了解它现在身处的环境。
是在爬山？还是在走下坡，摔倒了没有？或者对于飞行类的机器人来说，对于控制姿态也是至关重要的。
更要确保的是，你的机器人没有带着炸弹自己前往人群密集处。
一个好的工程师能够使用MEMS加速度计来回答所有上述问题。
目前最新IBM Thinkpad手提电脑里就内置了MEMS加速度计，能够动态的监测出笔记本在使用中的振动，并根据这些振动数据，系统会智能的选择关闭硬盘还是让其继续运行，这样可以最大程度的保护由于振动，比如颠簸的工作环境，或者不小心摔了电脑所造成的硬盘损害，最大程度地保护里面的数据。
目前在一些先进的移动硬盘上也使用了这项技术。
另外一个用处就是在目前的数码相机和摄像机里，用MEMS加速度计来检测拍摄时候的手部的振动，并根据这些振动，自动调节相机的聚焦。
MEMS加速度计还可以用来分析发动机的振动。
汽车防撞气囊的启动也可以由MEMS加速度计控制。
由此可见MEMS加速度计可以在我们的生活中发挥重要作用。
归纳其应用主要有以下几个方面：振动检测、姿态控制、安防报警、消费应用、动作识别、状态记录等。
MEMS加速度传感器的工作原理
下面会对几种MEMS加速度传感器的工作原理做一个简单的介绍。
技术成熟的MEMS加速度计分为三种:压电式、容感式、热感式。
压电式加速度传感器又称压电加速度计。
它也属于惯性式传感器。
它是利用某些物质如石英晶体的压电效应，在加速度计受振时，质量块加在压电元件上的力也随之变化。
当被测振动频率远低于加速度计的固有频率时，则力的变化与被测加速度成正比。
压电式加速度传感器是基于压电晶体的压电效应工作的。
某些晶体在一定
方向上受力变形时，其内部会产生极化现象，同时在它的两个表面上产生符号相反的电荷；当外力去除后，又重新恢复到不带电状态，这种现象称为“压电效应”，具有“压电效应”的晶体称为压电晶体。
常用的压电晶体有石英、压电陶瓷等。
容感式MEMS加速度计内部也存在一个质量块，从单个单元来看，它是标准的平板电容器。
加速度的变化带动活动质量块的移动从而改变平板电容两极的间距和正对面积，通过测量电容变化量来计算加速度。
电容型加速度传感器的结构形式一般也采用弹簧质量系统。
当质量受加速度作用运动而改变质量块与固定电极之间的间隙进而使电容值变化。
电容式加速度计与其它类型的加速度传感器相比具有灵敏度高、零频响应、环境适应性好等特点，尤其是受温度的影响比较小；但不足之处表现在信号的输入与输出为非线性，量程有限，受电缆的电容影响，以及电容传感器本身是高阻抗信号源，因此电容传感器的输出信号往往需通过后继电路给于改善。
在实际应用中电容式加速度传感器较多地用于低频测量，其通用性不如压电式加速度传感器，且成本也比压电式加速度传感器高得多。
热感式MEMS加速度计内部没有任何质量块，它的中央有一个加热体，周边是温度传感器，里面是密闭的气腔，工作时在加热体的作用下，气体在内部形成一个热气团，热气团的比重和周围的冷气是有差异的，通过惯性热气团的移动形成的热场变化让感应器感应到加速度值。
由于压电式MEMS加速度计内部有刚体支撑的存在，通常情况下，压电式MEMS 加速度计只能感应到“动态”加速度，而不能感应到“静态”加速度，也就是我们所说的重力加速度。
而容感式和热感式既能感应“动态”加速度，又能感应“静态”加速度。
MEMS加速度传感器的现状与发展方向1、前景预测
咨询公司INTECHNOCONSULTING的传感器市场报告显示，2008年全球传感器市场容量为506亿美元，预计2010年全球传感器市场可达600亿美元以上。
调查显示，东欧、亚太区和加拿大成为传感器市场增长最快的地区，而美国、德国、日本依旧是传感器市场分布最大的地区。
就世界范围而言，传感器市场上增
长最快的依旧是汽车市场，占第二位的是过程控制市场，看好通讯市场前景。
一些传感器市场比如压力传感器、温度传感器、流量传感器、水平传感器已表现出成熟市场的特征。
流量传感器、压力传感器、温度传感器的市场规模最大，分别占到整个传感器市场的21%、19%和14%。
传感器市场的主要增长来自于无线传感器、MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems，微机电系统)传感器、生物传感器等新兴传感器。
其中，无线传感器在2007-2010年复合年增长率预计会超过25%。
全球的传感器市场在不断变化的创新之中呈现出快速增长的趋势。
有关专家指出，传感器领域的主要技术将在现有基础上予以延伸和提高，各国将竞相加速新一代传感器的开发和产业化，竞争也将日益激烈。
新技术的发展将重新定义未来的传感器市场，比如无线传感器、光纤传感器、智能传感器和金属氧化传感器等新型传感器的出现与市场份额的扩大。
电容传感器有望有一个强劲的增长，2004年后增长将会更快，估计从1997年到2007年综合年增长率为5.9%,其中最高可达33.2%，其市值2000年为0.75亿美元，到2007年将达到1.1亿美元。
来自欧洲和北美洲的汽车业和工业用户是这些产品的主要购买者。
2000年的市场上北美占40.4%，欧洲占48.9%。
汽车行业使用电容式传感器主要用于安全系统、轮胎磨损监测、惯性刹车灯、前灯水准测量、安全带伸缩、自动门锁和安全气囊。
对于设计人员来说，电容式传感器是非常有吸引力的，因为它无需接触待测物，所以不必挤进狭窄的空间中。
2、最新发展
随着智能手机等的普及，要求设备具备更高的功能和可设计性，在这种情况下，对组件的高度集成化和小型化的需求强劲。
另外，高性能化导致电池的消耗增加，因此，对于搭载在设备上的各种元器件，要求具备更低的功耗。
业界最小尺寸的加速度传感器最高分辨率达到14bit，具有低功耗、耐冲击性高及可编程的待机唤醒功能，能够进行倾斜检测、运动检测等；而另外一款高性能、低功耗、低成本、低噪音的加速度传感器具有高稳定性，最高分辨率达4bit的特点，可高精度倾斜检测、运动检测等，目前此两种设备主要应用于智能手机、平板/笔记本电脑、数码相机、游戏机及其他小型民生设备。
智能手机和游戏机等具有更多感官性运动的设备操作需求高涨，另外，出现了智能电视用的运动遥控等新需求。
在这些运动检测中，使用了历来使用的加速度传感器，还增加了陀螺仪，提高了操作感受。
小型封装陀螺仪采用FIFO缓冲区，可减少来自微控制器的访问频率，具备旋转运动检测功能。
而随着加速度传感器、陀螺仪进一步普及，同时在小型设备中使用案例日益增加。
单芯片化以及在1个系统的通信接口一起使用2个传感器的需求不断增加。
小型封装的3轴加速
度传感器和3轴陀螺仪的复合传感器的渐渐出现，不但具有以上小型封装陀螺仪的各种特点和功能，同时还拥有业界领先的低耗电量，仅为4mA。
他们多应用于智能手机、平板电脑、游戏机、遥控器、PND及其他小型民生设备。
