高效风口计数检漏仪
Filter leakage Tester
型号:SX-L310S
产品使用手册
Operator’s Manual
请在使用本系统之前阅读此说明书,
并将其保存好,以备将来参考。
引言
欢迎使用SX-L310S高效风口计数检漏仪
在使用之前,请仔细阅读使用说明书,知道如何安全
正确操作本仪器,以避免造成仪器损坏。
免责声明
-在本使用说明编制过程中已力求内容的正确与完整,如有任何不清之处,请操作人员致电我公司技术专线:
0512-********,以保证正确使用,否则任何错误与缺失
不负任何责任。
-我公司对软件以外的系统外围设备的错误操作及人为损坏或使用非我公司推荐使用的配件而导致的损失,概
不负责。
如遇规格指标变更,以制造商提供的最新数据为准,
恕不另行通知。
目录List
一.产品简介 (4)
1.1 计数检漏仪:见图。 (4)
1.2 SX-Q气溶胶发生器:见图。 (6)
1.3 稀释器:见图。 (8)
1.4 手动扫描探头:见图 (8)
二.性能参数 (9)
三.使用说明 (10)
1.上游粒子浓度测量 (10)
1.1需要使用的仪器及方法 (10)
1.2上游浓度的测量--浓度估算。 (10)
1.3上游粒子浓度的检测 (10)
2.下游浓度扫描检漏 (12)
2.1漏点值 (12)
2.2操作步骤 (13)
3.检漏结束 (16)
四.注意事项 (17)
功能概述 Summarize
一.产品简介
SX-L310S 是一款根据ISO14644-3 B.6规范要求设计的手动计数扫描检漏专用仪器,适用于洁净室高效过滤器风口的在线检漏。它的基本原理是通过计数检漏仪检测上游与下游气溶胶浓度并跟漏点信号值进行比较,实现对安装后的风口进行检漏。蓝色液晶大屏幕可实时监测下游端的粒子数及相关粒径范围。并把信息输送到手持探头的显示器上。用户只要预先把漏点信号计数值(即漏点值)计算出,并通过手持探头显示器上的“
”,“
”,“
”
三个键输入,就能在扫描过程中获得漏点的超标信息。
产品配置:
SX-L310S 风口计数检漏由四个部分组成,计数检漏仪作为主体,配合使用手持式扫描采样探头、气溶胶发生器以及稀释器。
1.配套仪器介绍
请检查所有仪器及部件(内有装箱单),是否齐全。
1.1 计数检漏仪:见图。
使用说明
User's Guidelines
显示屏幕 功能按键
测量数据打印
采样皮管接口
温湿度传感器接口(选配)
交直流大流量尘埃粒子计数器顶部示意图
交直流大流量尘埃粒子计数器背面示意图
采样流量调节 自净接口
通讯接口
启动开关
散热风扇
充电指示灯(充电时,灯红色. 充满时,灯绿色.)
电源及充电接口
锂电池仓
1.2 SX-Q 气溶胶发生器:见图。
气溶胶发生器左侧示意图
气溶胶发生器右侧示意图
压力调节阀(调节时,往外拔一下,调节完成,向里推。) )——
接空压机气管,外径8mm
管子,空压机供气压力
0.4Mpa~0.8Mpa.(拔掉气管
的时候,用力按下白色圈,
往外拔掉。)
当玻璃瓶积水到1/3的时候,用力往里按开关,积水自动流出。 过滤减压阀
发生器进气压力显示, 调节到0.2Mpa 左右。
放液口,防止油雾凝聚产生的油滴。 两个月打开一次
喷雾压力(不可调节超过压力量程,以免损坏压力表) 喷雾压力调节阀(调节时,往外拔一下,调节完成,向里推。)
气溶胶发生器正面示意图
气溶胶发生器顶部示意图
发雾筒1#
发雾流量调节
发雾筒2# 发雾流量调节
喷雾输出流量显示
发雾筒1# 加液口 “加DEHS (癸二酸二(2-乙基己基)酯)溶液 拧开盖帽,缓慢加入溶液,加到黄色标签刻度即可,拧紧盖帽。用干净布料把发生器擦拭干净。” 气溶胶粒子喷雾出口 可以使用提供的软塑管,连接到空调送风箱中效袋之后。 发雾筒2# 加液口
“加DEHS (癸二酸二(2-乙基己基)酯)溶液 拧开盖帽,缓慢加入溶液,加到黄色标签刻度即可。拧紧盖帽。用干净布料把发生器擦拭干净。”
1.3 稀释器:见图。
稀释器正面示意图
1.4 手动扫描探头:见图
使用提供的软塑管 接风管上的采样口 皮管长度<1.5米
使用提供的软塑管 接计数检漏仪采样口 皮管长度<1.5米
调节到200ml/min
手动扫描探头示意图
二.性能参数
1.气溶胶粒子:DEHS
化学名称:癸二酸二(2-乙基己基)酯 2.粒径: 0.3-1μm
3.气溶胶喷雾浓度: 2X109P/L (0.3~0.5um)
4.稀释器倍率:≥70(具体见供货检测报告)
5.计数粒径分档:0.3,0.5,1,3,5,10μm 共6档
6.检漏粒径: ≥0.3μm 其它可设定。
7.计数检漏仪采样量:2
8.3L/min
8.计数检漏仪最大计数浓度:≤1.5×104 P/L 9.扫描速度建议在3~5cm/s
10.探头与过滤器出风面间距建议2~3cm 尽量靠近。 11.使用电源: AC220V/50HZ
数字输入键 位移键
显示屏幕
启动/停止键
三.使用说明
1.上游粒子浓度测量
1.1需要使用的仪器及方法
1.2上游浓度的测量--浓度估算。
1.2.1即在送风箱负压段将气溶胶粒子吸进送风系统(见图1)。或者在风机后面的风管段加大气溶胶发生器压力,把气溶胶粒子顺着送风气流方向注入风管。(见图2)
等待一段时间让粒子与送风相混合5分钟后,在靠近风口的风管内取样,用计数检漏仪采样测量检漏粒径档的粒子计数值,5次测量取平均值。该平均值作为上游浓度的估算值,以便用于漏点值的计算。
1.3上游粒子浓度的检测
由于风管中的粒子浓度很高,所以需要使用稀释器把高浓度稀释到低浓度,再送到计数检漏仪进行计数。
使用时把风管内取出的高浓度气溶胶用塑料管连接到稀释器面板上的“”接嘴。稀释后的气流由
面板上的“”接嘴连接到计数检漏仪上的
采样口接嘴上。这时计数检漏仪的显示粒子数乘上稀释倍数即为风管内实际计数。
上游浓度测量连接图(1)
上游浓度测量连接图(2)
2.下游浓度扫描检漏
2.1漏点值:通过动态扫描方式检测过滤器下游
出风面每点上的渗漏粒子浓度的变化来判别是否为漏点。是漏还是不漏有一个界线,这个界线这里称之为漏点信号值,简称漏点值。
漏点值可以按ISO14644-3 标准第三部分提供的公式来计算。
N pa=C C×P L×Qv s·Tr
N pa ——规定漏的实际记数,即漏点值
C C ——上游气溶胶浓度= 测量颗数*稀释倍数/28.3L/60s =颗/L/s(测量值)
P L ——被测滤器的定点标准渗漏率
P L =K·P s
P s ——被测滤器的最大允许整体渗透率(可查表)
K ——表示P L大于Ps多少的系数;由客户与供应商商议确定或根据下表来确定可查表2。在P s ≤5×10-4 ~ 5×10-5时K=10
Qv s ——采样流量Qv s =0.472L/s 即28.3L/min
Tr ——驻留时间,即探头通过漏点的时间,本设备Tr=1S
*使用该公式计算N pa时要注意把cm3转化成L(升)
2.2操作步骤
2.2.1按示意图把计数检漏仪器与手持采样探头连接起来。
计数检漏仪与手持采样探头连接示意图
把探头上的黑色软管插到过滤器计数检漏仪顶面板上的采样接嘴上,把探头上的通讯连线上的9芯插座插到计数检漏仪后面板上的RS232插头上。
2.2.2启动计数检漏仪开关“”,手持探头显示屏同时点亮。
*漏点值举例:
P s ——被测滤器的最大允许整体渗透率(表1)
Integral volumetric penetration
K 值查阅表(表2)
例:计算H13级高效过滤器允许最大漏点值,根据EN1822,ISO14644-3规范要求查表得:
P s = 0.05% (过滤器为效率99.95%的最大允许整体渗透率) (查表1) K = 10 (查表2) P L = K ·P s = 10*0.05%
= 0.005 (渗透率)
N pa =C C ×P L ×Qv s ·Tr
=1×105P/L/s ×0.005×0.472L/s ×1s
C C P L Qv s ·Tr
=236P
所以,得此浓度下H13级过滤器允许最大漏点值为 236颗。
根据过滤器效率等级计算出 H13 的 P L = 0.005 H14 的 P L = 0.0005 U15 的 P L = 0.00015 根据测量浓度得出数据 单位转换为: 上游计数*稀释倍数 28.3L
采样时间
对此套仪器,此值为固定值
2.2.3把预先计算好的漏点值通过手持显示器下方的“”,“
”,二个键输入到显示屏上,其中
“
”为数字键0-9变化。“
”为移位键,“
”
为扫描开始,与停止,该键同时兼有确定的功能。
当按下该键时,扫描开始。手持探头开始扫描,扫描速度以1s 移动2个探头宽的距离(3-5cm),仪器在每1秒内,对所测计数与设定的漏点值进行比较,如超标,表示可能为漏点,并发出报警声。可以停在该位置静止测试,如还是超标,判定为漏点,
按
取消报警声。按
键继续扫描。直至扫完过
滤器的全面积,包括边框。
手动扫描方式示意图:
手动扫描方式示意图
漏点值 粒径
计数检漏仪与手持采样探头扫描示意图
2.2.4上述扫描过程中只要出现1次确定的超标,计数检漏仪就判为该风口失效。
扫描全过程不出现超标记数,计数检漏仪就判为该风口通过。
2.2.5预先按过滤器计数检漏仪显示屏上的""键,再按“”键即可打印结果。
3.检漏结束
3.1 计数检漏仪电源开关,仪器即关机,拔除电源插头,拔掉采样塑料管及通讯线,用软管封住采样口。
3.2整理手持扫描探头。
3.3 关掉气溶胶发生器,关掉气源,整理发生器连线
及气源。
四.注意事项
1.计数检漏仪不使用的时候,采样口需要用专用软管封住,防止灰尘进入.
2.气溶胶发生器需要用户自配空压机输出压力0.4Mpa-0.8Mpa之间即可.
3.气溶胶发生器在运输,搬运过程中,不可倒置,以免溶液回流,造成损坏.
4.气溶胶发生器侧面阀门应该每使用两个月,打开一次. 主要是防止因气雾碰撞管内壁及流通过程中颗粒疑聚而产生的油滴.
5.发生器的喷雾压力,不可调节到超过压力表量程(60kpa),以免损坏压力表.
苏州市苏信净化设备厂
SUXIN (SUZHOU) CLEANROOM EQUIPMENT FACTORY 地址:苏州官渎路272号(215031)
技术服务热线:0512-********
售后服务热线:0512-********
E-mail:suxin@https://www.doczj.com/doc/da6023951.html,
https://www.doczj.com/doc/da6023951.html,