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核准/日期：
发文/日期：
受控状态（盖章）：分发号：
1.0目的：
为创建整洁安全生产环境及规范人员对无尘室的正确操作，确保无尘室环境符合生产条件之要求特制定本规定。
2.0 范围：
凡进入无尘室内所有人、机器、物品、原物料、产品……等，均属本规范管制范围
3.0 权责：
4.0 定义：
5.0 作业程序:
5.1 人员管理规定
5.1.1不定期对员工进行无尘室的管理规定培训。
5.1.2进入无尘室时必须穿戴自己的无尘衣帽和无尘鞋，不可随意穿戴他人无尘衣帽和无尘鞋
5.1.3外宾及厂商人员如需进入无尘室时，需要经生产部门最高主管许可后并有本司人员陪同下方可进入
5.2更衣室管理规定
更衣室分为换鞋处、男一更、男二更、女一更、女二更。以下简述各区域作用，及员工进入无尘车间的流程及规范。
5.2.1各区域作用：
5.2.1.1换鞋处：为员工放置自己鞋子的区域。
5.2.1.2一更：为员工放置自己外套及个人物品的区域。
5.2.1.3二更：为员工更换无尘服、无尘鞋的区域。
5.2.2更衣室使用流程
5.2.2.1换鞋员工从楼梯口进入厂房，通过设备进口通道，进入换鞋区，在换鞋区门
口先脱鞋，并将鞋子拿起放至鞋柜，如图1箭头标示步骤1所示。
5.2.2.2至一更放置外套等个人物品从换鞋区进入一更，将外套及其他个人物品放置
个人柜子，个人柜子不要放置贵重物品以免丢失，如图1步骤2。
5.2.2.3至二更穿戴无尘服及无尘鞋如图1步骤3。
图1
5.3无尘室内着装规定
5.3.1进入无尘室的人员需穿着合适的无尘服、鞋子等，以免无尘衣服鞋子过小或者过大而让穿着者感到不适。
5.3.2进入无尘室穿戴着装要求：穿无尘服→穿无尘鞋→戴头套→拉好拉链，要求头发无外露、头套塞入衣帽内，拉链要拉到头并贴好魔术贴、无尘服袖贴要绑好、裤脚要塞入无尘鞋筒内，至风淋门口戴口罩、手套，长头发的要带发套，防止头发露出。
5.3.3戴口罩、手套步骤要求：先戴口罩，口罩需遮住口鼻，再戴手套，选择合适自己的手套型号（M、S、L），从手套开口处拿起手套穿戴，过程中手不要碰到手套的指套部分。
图2 进入无尘室穿戴标准
5.4进入风淋室规定
5.4.1风淋室入口和出口的门不可同时打开
5.4.2空气吹除未停止时，禁止将风淋室的门打开
5.4.3进入无尘室时，每次进入风淋室的人数不得超过4人，出来时限制10人以下
5.4.4在风淋室内，须按照规定位置站立，不可移动风口的出风角度
5.4.5空气沐浴时，须双手举高，转动身体并轻拍打无尘服，以利灰尘吹除，无尘服不可接触墙壁和地板
5.4.6进出风淋室时，双脚须多次踩踏粘尘垫，以利清除鞋底灰尘和异物
5.4.7空气沐浴的吹除时间为 20秒/次，吹除结束3秒后才可开门进入无尘室
5.5无尘室内纪律规定
5.5.1严禁携带食品、饮料、零食及私人物品进入无尘室
5.5.2进入无尘室的人员不可化浓妆、图指甲油、留长指甲
5.5.3无尘室内严禁嬉戏打闹、奔跑、聚众聊天、大声喧闹，听音乐、打瞌睡、看报刊杂志等与工作无关的事项。
5.5.4刚做完剧烈运动，应静止10分钟后方可进入无尘室，饮酒者严禁进入无尘室
5.5.5戴上手套后严禁触膜脸部或人体任何其他裸露的皮肤，防止油脂污染，如不小心触摸到须立即更换新手套；
5.6无尘室内使用物品规定
5.6.1 进入无尘室的任何物品必须经过清洁处理后方可进入
5.6.2 原物料进入车间前，必须将外包装拆除（特殊原因无法拆除外包装的要将外包装擦拭干净），并将外表面擦拭干净后通过货淋进入无尘室，避免将污染源带进无尘室。
5.6.3 设备、仪器、备件等大件物品无法通过货淋的，需要在进入车间前进行外表面清洁，确保干净后方可进入。
5.6.4 未经允许严禁在车间内使用个人电脑、手机、U盘、移动硬盘等可存储设备，严禁在车间内使用相机或者手机拍照和摄像。必须使用U盘等存储设备时需要经过我司IT认证后方可使用。
5.6.5 车间内所有的USB接口禁止使用，更不允许用USB口进行充电。
5.6.6 未经许可严禁将车间内的物品私自带出。
5.6.7 车间内严禁明火
5.7无尘室内施工规定
5.7.1 进入无尘室施工前要向部门主管提出施工申请，取得同意并发放施工证（外来人员用访客证换取施工证，施工结束后将施工证换回访客证）后方可进行施工
5.7.2 施工人员进入无尘室要按照着装规定穿好无尘服，并进行必要的安全防护
5.7.3 施工必要的工具和材料须按照无尘室内使用物品规定进行必要的清洁处理后方
可进入无尘室
5.7.4施工房间的设备、地面和墙壁等要做必要的防护措施，确保房间内的设施不会损坏。施工期间需要我司人员现场全程陪同。
5.7.5 施工结束后，施工人员要将现场清理干净，并将施工留下的垃圾一并带出无尘室。
5.7.6 车间内施工如需用到明火，必须要厂务安全部门的人员在场监督。
5.8无尘衣、帽、鞋清洗规定
5.8.1 无尘衣帽必须按照要求悬挂在衣架上，无尘鞋按照编号放置在鞋架上，不得随意放置
5.8.2 无尘衣帽和无尘鞋每周清洗一次，发现无尘服脏污必须第一时间更换，绝对禁止穿着脏污的无尘服作业。车间只允许穿着同一种标识颜色的无尘服。
5.8.3 品保要定期对无尘服进行检测，包括清洗后的洁净度是否合格，无尘服的防静电
功能是否达标。
5.9无尘室洁净度规定
5.9.1温湿度监测程序
5.9.1.1 测频率：2次/天（早晚班各一次）
5.9.1.2 监测地点：车间正中间位置（勿在排风口附近、人员聚集地） 5.9.1.3 记录员：品保人员 5.9.1.4 填写无尘室环境监测表
无尘室温湿度监控标准：温度： 22℃±2℃ 湿度： 55%RH ±10% 5.9.2 尘埃粒子监测程序
5.9.2.1 量测频率：2次/天（早晚班各一次）
5.9.2.2 量测地点：车间正中间位置（勿在排风口附近、人员聚集地）
5.9.2.3 测量高度：离地1.2米 5.9.2.4 测量员及记录员：品保人员 5.9.2.5 测量步骤： 见《xxxxx 》文件 5.9.2.6 填写无尘室环境监测表
5.9.3 如厂务系统发生变化，厂务要负责通知品保，品保立即对环境进行监测，确保无异常。
5.9.4 无尘室洁净度定义及监控标准
无尘室尘埃粒子监控点及参考标准
粒径
厂区监控点
洁净等级 规格上限
0.5um (单位：pcs/m3)
光刻 一千级 35,200 （1000pcs/ft 3） 化学清洗 一千级 352,000 （1000pcs/ft 3） 蒸镀
一千级 352,000 （1000pcs/ft 3） 晶圆测试 一千级 352,000 （1000pcs/ft 3） DBR 一千级 352,000 （1000pcs/ft 3） 研磨 一万级 3,520,000 （10,000pcs/ft 3） 切割 一万级 3,520,000 （10,000pcs/ft 3） 点测分选 一万级 3,520,000 （10,000pcs/ft 3） 目检
一万级
3,520,000 （10,000pcs/ft 3）
5.9.5 无尘室环境异常处理流程
NO
YES
品保部例行监测
监测结果异即时通知厂务