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薄膜物理与技术要点总结

薄膜物理与技术要点总结
薄膜物理与技术要点总结

第一章

最可几速率:根据麦克斯韦速率分布规律,可以从理论上推得分子速率在m v 处有极大值,m v 称为最可几速率

M RT M RT m kT 41.122==,Vm 速度分布 平均速度:

M RT m RT m kT 59.188==ππ,分子运动平均距离 均方根速度:M RT M RT m kT 73.133==平均动能

真空的划分:粗真空、低真空、高真空、超高真空。

真空计:利用低压强气体的热传导和压强有关; (热偶真空计)

利用气体分子电离;(电离真空计)

真空泵:机械泵、扩散泵、分子泵、罗茨泵

机械泵:利用机械力压缩和排除气体

扩散泵:利用被抽气体向蒸气流扩散的想象来实现排气作用

分子泵:前级泵利用动量传输把排气口的气体分子带走获得真空。

平均自由程:每个分子在连续两次碰撞之间的路程称为自由程;其统计平均值成为平均自由程。

常用压强单位的换算 1Torr=133.322 Pa 1 Pa=7.5×10-3 Torr

1 mba=100Pa 1atm=1.013*100000Pa

真空区域的划分、真空计、各种真空泵

粗真空 1×105 to 1×102 Pa 低真空 1×102 to 1×10-1 Pa 高真空 1×10-1 to 1×10-6 Pa 超高真空 <1×10-6 Pa

旋转式机械真空泵

油扩散泵

复合分子泵

属于气体传输泵,即通过气体吸入并排出真空泵从而达到排气的目的

分子筛吸附泵

钛升华泵

溅射离子泵

低温泵

属于气体捕获泵,即通过各种吸气材料特有的吸气作用将被抽气体吸除,以达到所需真空。

不需要油作为介质,又称为无油泵

绝对真空计:

U 型压力计、压缩式真空计

相对真空计:

放电真空计、热传导真空计、电离真空计

机械泵、扩散泵、分子泵的工作原理,真空计的工作原理

第二章

1.什么是饱和蒸气压?蒸发温度?

饱和蒸气压:在一定温度下,真空室内蒸发物质的蒸气与固体或液体平衡过程中所表现出的压力

蒸发温度:物质在饱和蒸气压为10-2托时的温度。

2.克--克方程及其意义?

克-克方程)

(Vs Vg T H dT dP -=νν,可以知道饱和蒸气压和温度的关系,对于薄膜的制作技术有重要实际意义, 帮助我们合理地选择蒸发材料和确定蒸发条件. 3.蒸发速率、温度变化对其的影响?

根据气体分子运动论,在气体压力为P 时,单位时间内碰撞单位面积器壁上的分子数量,即碰撞分子流量(通量或蒸发速率)J :

在蒸发源以上温度蒸发,蒸发源温度的微小变化即可以引起蒸发速率发生很大变化。

4.平均自由程与碰撞几率的概念?

气体分子处于不规则的热运动状态,每个气体分子在连续两次碰撞之间的路程称为“自由程”,其统计平均值称为“平均自由程”。或者 粒子在两次碰撞之间所飞行的平均距离称为蒸发分子的平均自由程。

蒸发材料分子能与真空室中残余气体分子相互碰撞的数目占总的蒸发材料分子的百分数。

热平衡条件下,单位时间通过单位面积的气体分子数为气体分子对基板的碰撞率。

5.点蒸发和小平面蒸发源特性?

点蒸发源:能够从各个方向蒸发等量材料的微小球状蒸发源

小平面蒸发源:发射具有方向性,使在θ角方向蒸发的材料质量和cos θ成正比。

6.拉乌尔定律?如何控制合金薄膜的组分?

拉乌尔定律:在定温下,在稀溶液中,溶剂的蒸气压等于纯溶剂蒸气压 乘以溶液中溶剂的物质的量分数 。 在真空蒸发法制作合金薄膜时,为保证薄膜组成,经常采用瞬时蒸发法、双蒸发源法(将要形成合金的每一成分,分别装入各自的蒸发源中,然后独立地控制其蒸发速率,使达到基板的各种原子符合组成要求。)

7.MBE 的特点?

外延: 在一定的单晶材料衬底上,沿衬底某个指数晶面向外延伸生长一层单晶薄膜。

1)

MBE 可以严格控制薄膜生长过程和生长速率。MBE 虽然也是以气体分子论为基础的蒸发过程,但它并不以蒸发温度为控制参数,而是以四极质谱、原子吸收光谱等近代分析仪器,精密控制分子束的种类和强度。 2)

MBE 是一个超高真空的物理淀积过程,即不需要中间化学反应,又不受质量输运的影响,利用快门可对生长和中断进行瞬时控制。薄膜组成和掺杂浓度可以随源的变化作迅速调整。 3)

MBE 的衬底温度低,降低了界面上热膨胀引入的晶格失配效应和衬底杂质对外延层自掺杂扩散的影响。 4)

MBE 是一个动力学过程,即将入射的中性粒子(原子或分子)一个一个地堆积在衬底上进行生长,而不是一个热力学过程,所以它可以生长普通热平衡生长难以生长的薄膜。 5)

MBE 生长速率低,相当于每秒生长一个单原子层,有利于精确控制薄膜厚度、结构和成分,形成陡峭的异质结结构。特别适合生长超晶格材料。 P kT

22πσλ=

6)MBE在超高真空下进行,可以利用多种表面分析仪器实时进行成分、结构及生长过程分析,进行科学研究。

8.膜厚的定义?监控方法?

厚度:是指两个完全平整的平行平面之间的距离,是一个可观测到实体的尺寸。理想薄膜厚度:基片表面到薄膜表面之间的距离。由于实际上存在的表面是不平整和不连续的,而且薄膜内部还可能存在着针孔、杂质、晶体缺陷和表面吸附分子等,所以要严格的定义和测准薄膜的厚度实际上比较困难的。膜厚的定义,应该根据测量的方法和目的来决定。

称重法(微量天平法石英晶体振荡法)电学方法(电阻法电容法电离式监控记法)

光学方法(光吸收法光干涉法等厚干涉条纹法)触针法(差动变压器法阻抗放大法

压电元件法P50

第三章

1.溅射镀膜和真空镀膜的特点?

优点:1.任何物质都可以溅射,尤其是高熔点、低蒸气压元素化合物2.溅射膜和基板的附着性好3.溅射镀膜密度高,针孔少,且膜层的纯度较高4.膜度可控性和重复性好

缺点:5溅射设备复杂,需要高压装置;6成膜速率较低(0.01-0.5 m)。

2.正常辉光放电和异常辉光放电的特征?

正常辉光放电:在一定电流密度范围内,放电电压维持不变。在正常辉光放电区,阴极有效放电面积随电流增加而增大,从而使有效区内电流密度保持恒定。

异常辉光放电:电流增大时,放电电极间电压升高,且阴极电压降与电流密度和气体压强有关。

当整个阴极均成为有效放电区域后,只有增加阴极电流密度,才能增大电流,形成均匀而稳定的“异常辉光放电”,并均匀覆盖基片,这个放电区就是溅射区域。

3.射频辉光放电的特点?

1.在辉光放电空间产生的电子可以获得足够的能量,足以产生碰撞电离;

2.由于减少了放电对二次电子的依赖,降低了击穿电压;

3.射频电压可以通过各种阻抗偶合,所以电极可以不是导体材料。

4.溅射的概念及溅射参数?

溅射是指荷能粒子轰击固体表面(靶),使固体原子或者分子从表面射出的现象。

1.溅射阈值

2.溅射率及其影响因素

3.溅射粒子的速度和能量分布

4.溅射原子的角度分布

5.溅射率的计算

5.溅射机理?

溅射现象是被电离气体的离子在电场中加速并轰击靶面,而将能量传递给碰撞处的原子,导致很小的局部区域产生高温,使靶材融化,发生热蒸发。

溅射完全是一个动量转移过程

该理论认为,低能离子碰撞靶时,不能直接从表面溅射出原子,而是把动量传递给被碰撞的原子,引起原子的级联碰撞。这种碰撞沿晶体点阵的各个方向进行。

碰撞因在最紧密排列的方向上最有效,结果晶体表面的原子从近邻原子得到越来越多的能量。

1.溅射率随入射离子能量增大而增大,在离子能量达到一定程度后,由于离子注入效应,溅射率减小;

2.溅射率的大小与入射离子的质量有关;

3.当入射离子能量小于溅射阈值时,不会发生溅射;

4.溅射原子的能量比蒸发原子大许多倍;

5.入射离子能量低时,溅射原子角度分布不完全符合余弦定律,与入射离子方向有关;

6.电子轰击靶材不会发生溅射现象。

6.二极直流溅射、偏压溅射、三极或四极溅射、射频溅射、磁控溅射、离子束溅射结构及原理?

二极直流溅射靶材为良导体,依靠气体放电产生的正离子飞向阴极靶,一次电子飞向阳极,放电依靠正离子轰击阴极所产生的二次电子,经阴极加速后被消耗补充的一次电子维持。

三极或四极溅射: 热阴极发射的电子与阳极产生等离子体,靶相对于该等离子体为负电位.为把阴极发射的电子全部吸引过来,阳极上加正偏压,20V 左右。为使放电稳定,增加第四个电极——稳定化电极.

偏压溅射: 基片施加负偏压,在淀积过程中,基片表面将受到气体粒子的稳定轰击,随时消除可能进入薄膜表面的气体,有利于提高薄膜纯度,并且也可除掉粘除力弱的淀积粒子,对基片进行清洗,表面净化,还可改变淀积薄膜的结构。

射频溅射: 可以用射频辉光放电解释。等离子体中的电子容易在射频场中吸收能量并在电场内振荡,与工作气体的碰撞几率增大,从而使击穿电压和放电电压显著降低。

磁控溅射:使用了磁控靶,施加磁场来改变电子的运动方向,束缚并延长电子运动轨迹,进而提高电子对工作气体的电离效率和溅射沉积率。在阴极靶的表面上形成一个正交的电磁场。 溅射产生的二次电子在阴极位降区内被加速成为高能电子,但是它并不直接飞向阳极,而在电场和磁场的作用下作摆线运动。高能电子束缚在阴极表面与工作气体分子发生碰撞,传递能量,并成为低能电子。

离子束溅射:离子源、屏蔽罩。由大口径离子束发生源引出惰性气体,使其照射在靶上产生建设作用,利用溅射出的粒子淀积在基片上制得薄膜。

第四章

1.离子镀膜的优缺点?

优点:(1)膜层的附着性好。利用辉光放电产生的大量高能粒子对基片进行清洗,在膜基界面形成过渡层或膜材与基材的成分混合层,有效的改善膜层的附着性能(2)膜层的密度高(通常和大块材料密度相同)。(3)绕射性能好。(4)可镀材质范围广泛(5)有利于化合物膜层的形成(6)淀积速率高,成膜速率快,可镀较厚的膜。

缺点:(1)膜层的缺陷密度高(2)高能粒子轰击基片温度高,需要进行冷却。

2.离子镀膜系统工作的必要条件?

必要条件:造成一个气体放电的空间;将镀料原子(金属原子或非金属原子)引进放电空间,使其部分离化。

离子镀膜的原理及薄膜形成条件?

淀积过程

μ为淀积原子在基片表面的淀积速率;ρ为薄膜质量密度;M 为淀积物质的摩尔质量;N A 阿佛加德罗常数。

溅射过程:

j 是入射离子形成的电流密度

3.离子镀膜技术的分类?

直流二极型离子镀、三极和多阴极型离子镀、活性反应离子镀膜、射频离子镀膜技术、

j n n >41060A N n M ρμ-=316219100.6310/1.610j j n j cm s --==???

4.直流二极溅射、三极和多阴极离子镀、活性反应离子镀、射频离子镀的原理和特点?

直流二极型离子镀是利用二极间的辉光放电产生离子、并由基板所加的负电压对其加速。

特点:轰击离子能量大,引起基片温度升高,薄膜表面粗糙,质量差;工艺参数难于控制。设备简单,技术容易实现,用普通真空镀膜机就可以改装,因此也具有一定实用价值。附着力好。 三极和多阴极型离子镀

特点:可实现低气压下的离子镀膜,镀膜质量好,光泽致密;多阴极方式中,阴极电压在200V 就能在10-3 Torr 左右开始放电;改变辅助阴极(多阴极)的灯丝电流来控制放电状态;灯丝处于基板四周,扩大了阴极区、改善了绕射性,减少了高能离子对工件的轰击作用.

活性反应离子镀:并用各种不同的放电方式使金属蒸气和反应气体的分子、原子激活、离化、使其活化,促进其间的化学反应,在基片表面就可以获得化合物薄膜

特点:增加了反应物的活性,在温度较低的情况下就能获得附着性能良好的碳化物、氮化物薄膜;可以在任何材料上制备薄膜,并可获得多种化合物薄膜;淀积速率高;调节或改变蒸发速率及反应气体压力可以十分方便地制取不同配比、不同结构、不同性质的同类化合物;由于采用了大功率、高功率密度的电子束蒸发源,几乎可以蒸镀所有金属和化合物;清洁,无公害。 射频离子镀:通过分别调节蒸发源功率、线圈的激励功率、基板偏压等,可以对上述三个区域进行独立的控制,由此可以在一定程度上改善膜层的物性。

特点:蒸发、离化、加速三种过程可分别独立控制,离化率靠射频激励,基板周围不产生阴极暗区;较低工作压力下也能稳定放电,而且离化率较高,薄膜质量好;容易进行反应离子镀;基板温升低而且较容易控制;工作真空度较高,故镀膜的绕射性差,射频对人体有害;可以制备敏感、耐热、耐磨、抗蚀和装饰薄膜。

第五章

1.CVD 热力学分析的主要目的?

CVD 热力学分析的主要目的是预测某些特定条件下某些CVD 反应的可行性(化学反应的方向和限度)。在温度、压强和反应物浓度给定的条件下,热力学计算能从理论上给出沉积薄膜的量和所有气体的分压,但是不能给出沉积速率。热力学分析可作为确定CVD 工艺参数的参考

2.CVD 过程自由能与反应平衡常数的过程判据?

与反应系统的化学平衡常数 有关。

3.CVD 热力学基本内容?反应速率及其影响因素?

按热力学原理,化学反应的自由能变化 可以用反应物和生成物的标准自由能

来计算,即 较低衬底温度下, τ随温度按指数规律变化。较高衬底温度下,反应物及副产物的扩散速率为决定反应速率的主要因素。

4.热分解反应、化学合成反应及化学输运反应及其特点?

热分解反应:在简单的单温区炉中,在真空或惰性气体保护下加热基体至所需温度后,导入反应物气体使之发生热分解,最后在基体上沉积出固体图层。

特点:主要问题是源物质的选择和确定分解温度。选择源物质考虑蒸气压与温度的关系,注意在该温度下的分解产物中固相仅为所需沉积物质。

化学合成反应:化学合成反应是指两种或两种以上的气态反应物在热基片上发生的相互反应。

特点:比热分解法的应用范围更加广泛。可以制备单晶、多晶和非晶薄膜。容易进行掺杂。

化学输运反应:将薄膜物质作为源物质(无挥发性物质),借助适当的气体介质与之反应而形成气态化合物,这种气态化合物经过化学迁移或物理输运到与源区温度不同的沉积区,在基片上再通过逆反应使源物质重新分解出来,这种反应过程称为化学输运反应。

特点: 不能太大;平衡常数KP 接近于1。

12

T = T T ?-r G ?()()r f f G G G ?=?-?∑∑生成物反应物RT E

Ae ?-

=τr G ?P K

2.3log r P G RT K ?=-11()n m P i j i j K P P ===∏∏生成物(反应物)

5.CVD的必要条件?

1.在沉积温度下,反应物具有足够的蒸气压,并能以适当的速度被引入反应室;

2.反应产物除了形成固态薄膜物质外,都必须是挥发性的;

3.沉积薄膜和基体材料必须具有足够低的蒸气压,

6.什么是冷壁CVD?什么是热壁CVD?特点是什么?

冷壁CVD:器壁和原料区都不加热,仅基片被加热,沉积区一般采用感应加热或光辐射加热。缺点是有较大温差,温度均匀性问题需特别设计来克服。适合反应物在室温下是气体或具有较高蒸气压的液体。

热壁CVD:器壁和原料区都是加热的,反应器壁加热是为了防止反应物冷凝。管壁有反应物沉积,易剥落造成污染。

7.什么是开管CVD?什么是闭管CVD?特点是什么?

开口CVD的特点:能连续地供气和排气;反应总处于非平衡状态;在大多数情况下,开口体系是在一个大气压或稍高于一个大气压下进行的;开口体系的沉积工艺容易控制,工艺重现性好,工件容易取放,同一装置可反复多次使用;有立式和卧式两种形式。

闭管法的优点:污染的机会少,不必连续抽气保持反应器内的真空,可以沉积蒸气压高的物质。缺点:材料生长速率慢,不适合大批量生长,一次性反应器,生长成本高;管内压力检测困难等。关键环节:反应器材料选择、装料压力计算、温度选择和控制等。

8.什么是低压CVD和等离子CVD?

低压CVD:气相输运和反应。低压下气体扩散系数增大,使气态反应物和副产物的质量传输速率加快,形成薄膜的反应速率增加。

等离子CVD:等离子体参与的利用在等离子状态下粒子具有的较高能量,使沉积温度降低化学气相沉积称为等离子化学气相沉积。

第六章

1.什么是化学镀?它与化学沉积镀膜的区别?

化学镀膜是指在还原剂的作用下,使金属盐中的金属离子还原成原子,在基片表面沉积的镀膜技术,又称无电源电镀。化学镀不加电场、直接通过化学反应实现薄膜沉积。

化学镀膜的还原反应必须在催化剂的作用下才能进行,且沉积反应只发生在基片表面上。

化学沉积镀膜的还原反应是在整个溶液中均匀发生的,只有一部分金属在基片上形成薄膜,大部分形成粉粒沉积物。

2.自催化镀膜的特点?

1.可以在复杂形状表面形成薄膜;

2.薄膜的孔隙率较低;

3.可直接在塑料、陶瓷、玻璃等非导体表面制备薄膜;

4.薄膜具有特殊的物理、化学性能;

5.不需要电源,没有导电电极。

3.Sol-Gel镀膜技术的特点和主要过程?

优点:高度均匀性;高纯度;可降低烧结温度;可制备非晶态薄膜;可制备特殊材料(薄膜、纤维、粉体、多孔材料等)。

缺点:原料价格高;收缩率高,容易开裂;存在残余微气孔;存在残余的羟基、碳等;有机溶剂有毒。

主要过程:复合醇盐的制备;成膜(匀胶、浸渍提拉);水解和聚合;干燥;焙烧。

4.阳极氧化镀膜和电镀的原理和特点?

金属或合金在适当的电解液中作为阳极,并施加一定的直流电压,由于电化学反应在阳极表面形成氧化物薄膜的方法,称为阳极氧化技术。

特点:得到的氧化物薄膜大多是无定形结构。由于多孔性使得表面积特别大,所以显示明显的活性,既可吸附染料也可吸附气体;化学性质稳定的超硬薄膜耐磨损性强,用封孔处理法可将孔隙塞住,使薄膜具有更好耐蚀性和绝缘性;利用着色法可以使膜具有装饰效果。

电镀的特点:膜层缺陷:孔隙、裂纹、杂质污染、凹坑等;上述缺陷可以由电镀工艺条件控制;限制电镀应用的最重要因素之一是拐角处镀层的形成;在拐角或边缘电镀层厚度大约是中心厚度的两倍;多数被镀件是圆形,可降低上述效应的影响。

5.什么是LB 技术?LB 薄膜的种类?LB 薄膜的特点?

(LB 技术)是指把液体表面的有机单分子膜转移到固体衬底表面上的一种成膜技术。得到的有机薄膜称为LB 薄膜。

种类:X 型膜(薄膜每层分子的亲油基指向基片表面)、Y 型膜(薄膜每层分子的亲水基与亲水基相连,亲油基与亲油基相连)、Z 型膜(薄膜每层分子的亲水基指向基片表面)

优点:LB 薄膜中分子有序定向排列,这是一个重要特点;很多材料都可以用LB 技术成膜,LB 膜有单分子层组成,它的厚度取决于分子大小和分子的层数;通过严格控制条件,可以得到均匀、致密和缺陷密度很低的LB 薄膜;设备简单,操作方便

缺点:成膜效率低;LB 薄膜均为有机薄膜,包含了有机材料的弱点;LB 薄膜厚度很薄,在薄膜表征手段方面难度较大。

第七章

1.薄膜形成的基本过程描述?

薄膜形成分为:凝结过程、核形成与生长过程、岛形成与结合生长过程。

2.什么是凝聚?入射原子滞留时间、平均表面扩散时间、平均扩散距离的概念?

凝聚:吸附原子结合成原子对及其以后的过程

入射原子滞留时间:入射到基体表面的原子在表面的平均滞留时间a τ与吸附能d E 之间的关系为)/ex p(0kT E d a ττ=

平均表面扩散时间:吸附原子在一个吸附位置上的停留时间称为平均表面扩散时间,用D τ表示。它和表面扩散能D E 之间的关系是)/ex p('0kT E D D

ττ=。 平均扩散距离:吸附原子在表面停留时间经过扩散运动所移动的距离(从起始点到终点的间隔)称为平均表面扩散时间,并用x 表示,它与吸附能d E 和扩散能D E 之间的关系为()[]kT E E a x D d /exp 0-=

3.什么是捕获面积?对薄膜形成的影响?

捕获面积:吸附原子的捕获面积

当 时,每个吸附原子的捕获面积内只有一个原子,故不能形成原子对,也不能产生凝结。当 时,发生部分凝结。平均每个吸附原子的捕获面积内有一个或两个吸附原子,可形成原子对或三原子团。在滞留时间内,一部分吸附原子有可能重新蒸发掉。当 时,每个吸附原子的捕获面积内至少有两个吸附原子。可形成原子对或更大的原子团,从而达到完全凝结。

4.凝聚过程的表征方法? 凝结系数(单位时间内,完全凝结的气相原子数与入射到基片表面上的总原子数之比)、粘附系数(单位时间内,再凝结的气相原子数与入射到基片表面上的总原子数之比)、热适应系数(表征入射气相(或分子)与基体表面碰撞时相互交换能量的程度的物理量称为热适应系数)。

5.核形成与生长的物理过程。

岛状生长模式、层状生长模式、层岛混合模式

6.核形成的相变热力学和原子聚集理论的基本内容?

认为薄膜形成过程是由气相到吸附相、再到固相的相变过程,其中从吸附相到固相的转变是在基片表面上进行的。

原子聚集理论将核(原子团)看作一个大分子聚集体,用其内部原子之间的结合能或与基片表面原子之间的结合能代替热力学理论中的自由能。

7.什么是同质外延、异质外延?晶格失配度?

外延工艺是一种在单晶衬底的表面上淀积一个单晶薄层的方法。如果薄膜与衬底是同一种材料该工艺被称为同质外延,常被简单地称为外延。

o D S N n =1

S ∑<12

S ∑<<2S ∑>

如果薄膜与衬底不是同一种材料该工艺被称为异质外延,常被简单地称为外延。

晶格失配度若沉积薄膜用的基片材料的晶格常数为a ,薄膜材料的晶格常数为b ,在基片上外延生长薄膜的晶格失配数m 可用下式表示a

a b m -=。 8..形成外延薄膜的条件?

设沉积速率为 ,基片温度为 , 薄膜生长速率要小于吸附原子 在基片表面上的迁移速率;提高温度有利于形成外延薄膜

第八章

1.薄膜结构是指哪些结构?其特点是哪些?

薄膜的结构按研究对象不同分为组织结构、晶体结构、表面结构。

(1)组织结构是指薄膜的结晶形态,包括无定形结构、多晶结构、纤维结构、单晶结构。无定形结构:结构特性:近程有序、长程无序;不具备晶体的性质;亚稳态。晶界上存在晶格畸变;界面能:界面移动造成晶粒长大和界面平直化;空位源:杂质富集;纤维结构薄膜是指晶粒具有择优取向的薄膜

(2)晶体结构:多数情况下,薄膜中晶粒的晶格结构与体材料相同,只是晶粒取向和晶粒尺寸不同,晶格常数也不同。薄膜材料本身的晶格常数与基片材料晶格常数不匹配;

薄膜中有较大的内应力和表面张力。

(3)表面结构:薄膜表面形成过程,由热力学能量理论,薄膜表面平化;晶粒的各向异性生长,薄膜表面粗化;低温基片上,薄膜形成多孔结构。

2.蒸发薄膜微观结构随温度变化如何改变?

低温时,扩散速率小,成核数目有限,形成不致密带有纵向气孔的葡萄结构;随着温度升高,扩散速率增大,形成紧密堆积纤维状晶粒然后转为完全之谜的柱状晶体结构;温度再升高,晶粒尺寸随凝结温度升高二增大,结构变为等轴晶貌;

3.薄膜的主要缺陷类型及特点?

薄膜的缺陷分为:点缺陷(晶格排列出现只涉及到单个晶格格点,典型构型是空位和填隙原子,点缺陷不能用电子显微镜直接观测到,点缺陷种类确定后,它的形成能是一个定值)、位错(在薄膜中最常遇到,是晶格结构中一种“线性”不完整结构,位错大部分从薄膜表面伸向基体表面,并在位错周围产生畸变)、晶格间界(薄膜由于含有许多小晶粒,故晶粒间界面积比较大)和层错缺陷(由原子错排产生,在小岛间的边界处出现,当聚合并的小岛再长大时反映层错缺陷的衍射衬度就会消失)。

4.薄膜的主要分析方法有哪些?基本原理是什么?

(1)X 射线衍射法。利用X 射线晶体学,X 射线束射到分析样品表面后产生反射,检出器收集反射的X 射线信息,当入射X 射线波长λ、样品与X 射线束夹角θ、及样品晶面间距d 满足布拉格方程λθn d =sin 2,检测器可检测到最大光强。

(2)电子衍射法。在透射电子显微镜下观察薄膜结构同时进行电子衍射分析,电子束波长比特征X 射线小得多,利用Rd L =λ,求出晶格面间距。

(3)扫描电子显微镜分析法。将样品发射的特征X 射线送入X 射线色谱仪或X 射线能谱仪进行化学成分分析,特征X 射线波长λ和原子序数Z 满足莫塞莱定律

)(/σλ-=Z K c ,只要测得X 射线的波长,进而测定其化学成分。

(4)俄歇电子能谱法。俄歇电子的动能为E ,由能量守恒定律Ek-E L1=E L23+E ,近似E L1=E L23,得俄歇电子的动能E=Ek-2EL 。对于每种元素的原子来说,E L1、E L23都有不同的特征值,只要测出电子动能E ,就可以进行元素鉴定。利用俄歇电子能谱法中的化学位移效应不但可以鉴定样品的组分元素还可鉴定它的化学状态。

(5)X 射线光电子能谱法。X 射线入射到自由原子的内壳层上,将电子电离成光电子,有电子能量分析测得光电子束缚能,不同源自或同一原子的不同壳层有不同数量的特征值。可以通过元素鉴定测出。

R T exp D E R A kT ??≤?- ???

(6)二次离子质谱法。二次离子质谱是利用质谱法分析初级离子入射靶面后,溅射产生的二次离子而获取材料表面信息的一种方法。二次离子质谱可以分析包括氢在内的全部元素,并能给出同位素的信息,分析化合物组分和分子结构。《薄膜物理与技术》

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2、主要真空泵的排气原理与工作范围几类真空计的工作原理与测量范围(填空或选择)真空蒸发镀膜的定义真空蒸发镀膜的基本过程

3、蒸发速率的表达式及蒸发源温度变化引起蒸发速率的变化蒸发过程的几点假设几种最常用的蒸发源及膜厚分布状况

4、蒸发源的类型电子束蒸发源中电子束的加热原理及特点高频感应蒸发源的特点合金的蒸发中组元金属的蒸发速率之比

5、合金及化合物的蒸发方法特殊的蒸发方法膜厚的定义膜厚的测量方法(尤其是原理:石英晶体振荡法、电离式监控计法光干涉法)

溅射镀膜的定义溅射镀膜的优点及缺点直流辉光放电的区域辉光放电过程中,如何确定阴极与阳极之间的距离

6、射频放电的频率溅射阈值、溅射率、溅射过程溅射的两种理论溅射镀膜的类型(重点为二极式、磁控式、射频式)

离子镀膜的定义离子镀膜的成膜条件(公式的计算)离子镀膜的特点离子轰击的作用离子镀的类型(活性反应离子镀、射频离子镀)

化学气相沉积的定义CVD的装置组成CVD反应的类型CVD法制备薄膜的过程CVD的特点

7、CVD反应体系的条件低压化学气相沉积的原理等离子体化学气相沉积(定义及原理)等离子体的作用

8、有机金属化学气相沉积、光CVD、电子回旋共振等离子体沉积溶液镀膜法的定义化学镀的定义及原理

9、化学镀与化学沉积的异同点如何进行化学镀镍、铜、银等金属溶胶-凝胶法制备薄膜的工艺(至少三种)

10、阳极氧化法的定义及原理阳极氧化法中氧化物薄膜厚度的计算公式电镀的定义与原理

11、电镀过程中补充电极附件区域的离子的方法对电镀层的要求LB制备的定义及原理LB膜的分类薄膜的形成与生长形式薄膜的结构类型薄膜的组织结构

薄膜的缺陷

高三各科考试反思总结

高三各科考试反思总结 高三各科考试反思总结 篇一: 高三语文期中考试反思总结和计划高三语文期中考试总结和计划本次期中测试,试题难度可以说偏易,试题构成与高考试题虽然基本相同,但也有三点变化: 一是文言翻译,有两句选自语文必修篇目,降低了考查难度,学生得分较高;二是语言运用题仅仅两道题,比高考少了一题;三是现代文阅读,取消了科普文和选做题,仅考查文学类文本阅读,避免了学生因选作文本的不同而出现的得分偏差现象。对于一部分习惯于解答实用文本阅读题的同学来说,有点不适应。当然这也提醒学生复习要全面,不可存有投机侥幸心理,对于高考可做考查的各类型题目都要做全面复习把握。本次测试,按照市划线,27和28班成绩较好:高分一线在11 6.5分以上两个班分别是6人和5人;二线10 8.8分以上两个班分别是23人和21人。总进线人数分别是29和26人。位居高三文科普通班第一。虽然情况较好,但仍存在很多问题,需要及时查缺补漏。分析学生答题情况,发现失分原因不外乎智力因素与非智力因素两端: 部分学生基础知识积累不足,掌握不扎实,不能活学活用相关解题概念、技巧、方法,去解答具体问题;写作方面,在标题拟制,开篇、结尾亮观点,点材料,以及材料的使用要讲求详略得当,新颖丰富上都有不尽如意处。也有部分同学有非智力因素失分现象,最突出

的一点是答题时间安排不合理,没按照各题分值来划分答题时间,以致部分同学不能按时答完试卷,手忙脚乱,作文仓促作结,或不了了之。不能分点列条规范答题,答题顺序不合理,书写不规范,端正,清晰,美观,卷面一团糟糕,同时审题不够仔细认真,全面,以致答非所问,缺乏针对性,也是重要的失分原因。针对考试当中表现出的种种问题,在今后的工作中,我们将加强工作的针对性,群策群力,加强集体备课,科学合理的安排好教学辅导计划,落实好每堂课诱思探究教学三环节。结合学校组织的各类型考试、检测,促进学生对语文知识的积累,提高其应用能力。加强教学过程当中的落实,督导环节,要求学生凡复习过的,做过的题目,都要扎扎实实掌握起来,用好笔记本,周记本,错题整理本。平时注意有布置就有检查,有问题及时处理,堂堂清,日日清。深入钻研大纲,考纲,近几年的高考试题,切准复习重点,把握高考的命题趋向,做到有的放矢,追求工作的有效性。精选习题,杜绝题海战术,注重学习方法的传授,让学生学会学习,自能提高,自能解决问题,挖掘潜能。狠抓学生常规训练,培养良好的书写习惯,严厉要求学生做到作业,各种测试当中规范科学答题,合理分配答题时间。养成良好的行为习惯,把各种可能出现的问题都消灭在平时的工作当中。临沭一中山 201X-11-29 篇二: 201X年高三物理复习备考的反思总结 201X年高三物理复习备考的反思总结高三物理组组长: 刘义富 一、201X年高考试题分析与201X年理科综合物理部分相比,今年的物理试题整体平稳,难度适当,没有偏、难、怪题出现。新课标

初中物理知识点总结(超全)

第一章声现象知识归纳 1.声音的发生:由物体的振动而产生。振动停止,发声也停止。 2.声音的传播:声音靠介质传播。真空不能传声。通常我们听到的声音是靠空气传来的。 3.声速:在空气中传播速度是:340米/秒。声音在固体传播比液体快,而在液体传播又比空气体快。 4.利用回声可测距离: 5.乐音的三个特征:音调、响度、音色。(1)音调:是指声音的高低,它与发声体的频率有关系。(2)响度:是指声音的大小,跟发声体的振幅、声源与听者的距离有关系。 6.减弱噪声的途径:(1)在声源处减弱;(2)在传播过程中减弱;(3)在人耳处减弱。 7.可听声:频率在20Hz~20000Hz之间的声波:超声波:频率高于20000Hz 的声波;次声波:频率低于20Hz的声波。 8.超声波特点:方向性好、穿透能力强、声能较集中。具体应用有:声呐、B超、超声波速度测定器、超声波清洗器、超声波焊接器等。

9.次声波的特点:可以传播很远,很容易绕过障碍物,而且无孔不入。一定强度的次声波对人体会造成危害,甚至毁坏机械建筑等。它主要产生于自然界中的火山爆发、海啸地震等,另外人类制造的火箭发射、飞机飞行、火车汽车的奔驰、核爆炸等也能产生次声波。 第二章光现象知识归纳 1.光源:自身能够发光的物体叫光源。 2.太阳光是由红、橙、黄、绿、蓝、靛、紫组成的。 3.光的三原色是:红、绿、蓝;颜料的三原色是:红、黄、蓝。 4.不可见光包括有:红外线和紫外线。特点:红外线能使被照射的物体发热,具有热效应(如太阳的热就是以红外线传送到地球上的);紫外线最显著的性质是能使荧光物质发光,另外还可以灭菌。 5.光的直线传播:光在均匀介质中是沿直线传播。 6.光在真空中传播速度最大,是3×108米/秒,而在空气中传播速度也认为是3×108米/秒。 7.我们能看到不发光的物体是因为这些物体反射的光射入了我们的眼睛。

高三物理教学反思

高三物理教学反思 作为一位刚到岗的人民教师,教学是重要的工作之一,我们可以把教学过程中的感悟记录在教学反思中,那么写教学反思需要注意哪些问题呢?下面是作者帮大家整理的高三物理教学反思,供大家参考借鉴,希望可以帮助到有需要的朋友。 高三物理教学反思1 高三教学工作量大,难度大,劳动时间长;再者就是社会、学校、家庭各方都要求出好成绩,压力大。再者与高一高二相比,高三的物理教学显得枯燥、机械。在这种情况下的任课老师怎么能提高教学效率,使学生能够以最好的姿态应对高考呢? 1、训练学生掌握高效的解题方法 高考物理注重考查理解能力、推理能力、设计能力、获取知识能力和综合分析能力等五方面的能力,在备考的习题训练中,以考查具体知识和运用知识解决问题的能力为主。通过训练,学生的综合应用的素质有所提高。然而在教学中不难发现:面对一些问题,学生不是没有掌握到知识点,而是没有想到用哪个知识点,或者是知道与哪些知识点有关,却找不到解决的途径。因此在这个阶段的教学要训练学生的基本解题技能: (1)一定要学会审题。每次考完试总有学生会说:“唉!我就是没看到这个条件,不然肯定会做”或是“原来这些条件是没用的,害得我想了半天!”然后就为自己的粗心懊悔不已。为此在每次练习讲评的时候,老师都应该指导学生认真读懂题目,在题目中找出关键词语,挖掘隐含条件,排除干扰因素。 (2)其次是要创立物理情景,对于有些学生来说,就是不清楚整个题目所描述的物理过程是怎样的,所以才无法下手。为此老师在讲题的过程中,一定要采用必要的草图来辅助学生思考,通过作图能有效地展现思维过程,有时还能激发出独特的解题思路。同时还要要求学生在做练习时也能养成相同的习惯,这样有助于保证解题思路的完整性。 (3)学会规范的表达。据参与高考改卷的老师介绍,在高考答卷中,不规

人教版初三物理知识点总结

1.内能:物体内容所含分子的动能与势能的总和,叫做物体的内能。 2.影响物体内能大小的因素:①温度:①质量:①状态: 3.改变物体内能的方法:做功和热传递。 ①做功:对物体做功物体内能会增加。物体对外做功物体内能会减小_ ①热传递:热传递过程中,高温物体放出热量,温度降低_,内能减小_ ;低温物体吸收热量,温度升高,内能增加; 比热容 1.比热容:用符号c表示,它的单位是焦每千克摄氏度,符号是_J/kg·℃ 2. 水的比热容c水= 4.2×103J/kg·℃,物理意义为:1kg的水温度升高(或降低)1①,吸收(或放出)的热量为4.2×103J。 3. 比热容是物质的一种特性,比热容的大小与物体的种类、状态有关,与质量、体积、温度、密度、吸热放热、形状等无关。 4. 吸收热量的计算公式:Q吸=cm①t 热机 1.热机:把__内能__转化为机械能的机器。 2.四冲程内燃机包括四个冲程:_吸气冲程_、__压缩冲程__、_做功冲程__、 _排气冲程__。 3. 在单缸四冲程内燃机中,四个冲程为一个工作循环,每个工作循环曲轴转___2__周,活塞上下往复___2__次,做功___1__次。 4. 能量转化:压缩冲程将机械能转化为内能。做功冲程是由内能转化为机械能。 5. 汽油机和柴油机的比较: ①汽油机的气缸顶部是火花塞;柴油机的气缸顶部是喷油嘴。 ①汽油机吸气冲程吸入的是__汽油和空气__;柴油机吸气冲程吸入的是__空气__。 ①汽油机做功冲程的点火方式是点燃式;柴油机做功冲程的点火方式是压燃式。 ①柴油机比汽油及效率高,比较经济,但笨重。

1. 定义:1kg 某种燃料___完全燃烧__放出的热量,叫做这种燃料的热值。用符号__q __表示。 2. 单位:固体燃料的热值的单位是(J/kg )、气体燃料的热值的单位是(J/m 3)。 3. 热值是燃料本身的一种特性,只与燃料的___种类____有关 4. 计算放出热量公式: Q =mq =vq 5. 热机效率:放吸Q Q η=放 Q W = 电现象 1. 物体能够 吸引轻小物体 的现象叫做电现象,通过摩擦使物体带电的现象叫 摩擦起电 ,其本质是电荷的 转移 。 2. 带电体:物体有了吸引轻小物体的性质,我们就说是物体带了电(荷)。 3. 自然界的电荷分为负电荷和正电荷,其中用丝绸摩擦过的玻璃棒带 正电 ,毛皮摩擦过的橡胶棒带 负电 。同种电荷相互 排斥 ,异种电荷相互 吸引 。 4. 验电器是检验物体是否带电的仪器,它的原理是 同种电荷相互排斥 。若物体带正电,与验电器接触后,验电器的金属箔带 正电 ,原因是 金属箔 的负电荷转移;若物体带负电,与验电器接触后,验电器的金属箔带 负电 ,原因是 物体 的负电荷转移。 电路 1. 基本电路的四个组成部分: 电源 、 用电器 、 开关 、 导线 。 2. 电路的三种基本状态: 通路 、 短路 、 断路(开路) 。 3. 电路的两种连接方式: 串联 和 并联 。 4. 串联电路特点: ①电流只有 一条 路径; ①各用电器之间互相影响,一个用电器因开路停止工作,其它用电器也不能工作; ①只需 一个 开关就能控制整个电路。 ①一断 全断 ,一短 不全短 。 5 .并联电路特点: ①电流_有多条__的路径,有干路、支路之分; ①各用电器之间 相互不 影响,当某一支路为开路时,其它支路仍可为通路; ①干路开关能控制整个电路,各支路开关控制所在各支路的用电器。

西安电子科技大学2018考研大纲:半导体物理与器件物理.doc

西安电子科技大学2018考研大纲:半导体 物理与器件物 出国留学考研网为大家提供西安电子科技大学2018考研大纲:801半导体物理与器件物理基础,更多考研资讯请关注我们网站的更新! 西安电子科技大学2018考研大纲:801半导体物理与器件物理基础 “半导体物理与器件物理”(801) 一、 总体要求 “半导体物理与器件物理”(801)由半导体物理、半导体器件物理二部分组成,半导体物理占60%(90分)、器件物理占40%(60分)。 “半导体物理”要求学生熟练掌握半导体的相关基础理论,了解半导体性质以及受外界因素的影响及其变化规律。重点掌握半导体中的电子状态和带、半导体中的杂质和缺陷能级、半导体中载流子的统计分布、半导体的导电性、半导体中的非平衡载流子等相关知识、基本概念及相关理论,掌握半导体中载流子浓度计算、电阻(导)率计算以及运用连续性方程解决载流子浓度随时间或位置的变化及其分布规律等。 “器件物理”要求学生掌握MOSFET器件物理的基本理

论和基本的分析方法,使学生具备基本的器件分析、求解、应用能力。要求掌握MOS基本结构和电容电压特性;MESFET器件的基本工作原理;MOSFET器件的频率特性;MOSFET器件中的非理想效应;MOSFET器件按比例缩小理论;阈值电压的影响因素;MOSFET的击穿特性;掌握器件特性的基本分析方法。 “半导体物理与器件物理”(801)研究生入学考试是所学知识的总结性考试,考试水平应达到或超过本科专业相应的课程要求水平。 二、 各部分复习要点 ●“半导体物理”部分各章复习要点 (一)半导体中的电子状态 1.复习内容 半导体晶体结构与化学键性质,半导体中电子状态与能带,电子的运动与有效质量,空穴,回旋共振,元素半导体和典型化合物半导体的能带结构。 2.具体要求 半导体中的电子状态和能带 半导体中电子的运动和有效质量 本征半导体的导电机构

高三物理老师教学反思

高三物理老师教学反思 认真分析高考物理试题和学生高考成绩,回首自己高三这一年来的教学工作,有许多值得总结和思考的地方。下面就一年来在教育教学中的体会总结如下: 高三年级教学伊始,认真学习研究“新大纲”以及前几年的高考试题,从中找出共性,发现变化及趋势,总结规律,明确备考方向,提高复习备考的针对性。物理试题的共同特点是:注重基础,考查物理主干知识、重点概念和规律;紧密结合实际,考查综合应用物理知识解决实际问题的能力,体现物理知识在实际问题中的应用;加强实验能力考查。变化之处及趋势:应用数学知识处理物理问题的能力要求有所提高;能举一反三的设计、解决书本以外的开放性实验;第二亲卷难度可能会降低,23、24、25题梯度会更明显。 根据学校的具体情况,制定切合实际的复习计划,每个阶段的目标定位。 1、适当降低难度,使学生拥有优越感,顺利跨过会考、高考的台阶。 学生刚完成会考,会考期间简单的重复练习,使他们思维简单化,而高考物理试题的难度之大是众所周知的,所以,从会考到高考如何过渡显得非常重要。 2、夯实基础,循序渐进,培养能力。

高考物理试题有8道选择题,每道题6分,其中多数题目课本中所谓的非重要章节,甚至有的是课本的原话再现,这要求我们重视课本,并对每个知识点进行落实。对于主干知识更是考查重点,这些知识的应用前提是在理解的基础上,否则无法实现。在加深对“双重”理解的基础上,培养学生用物理思维分析解决问题的能力,也就是复习中应做好点面结合。主干知识的复习,首先选择一系列相关连的一环扣一环的小题目串由学生自主复习、解答作为铺垫带动相关知识点的复习,这样,学生清楚物理模型的建立过程以及用物理思维分析解决问题的过程和方法。相反,一个综合性较强的题目,可以采取拆分的方法——“化整为零”,对复杂问题的分析、分解、建模、解决问题的全过程展现在学生的眼前,有利于学生理解掌握解决问题的思维过程和方法,提高应用物理知识解决实际问题的能力。 3、理科综合试题仍是学科内综合,以专题形式进行学科内综合复习,编织知识网络,可以实现多题归一,举一反三、触类旁通,并能抓住应用物理知识解决实际问题的实质方法——分析物理过程,建立物理模型;有利于培养学生推理和分析综合的能力,用物理思维分析解决实际问题的能力;通过专题训练进行思想方法归纳和总结。 4、加强实验教学,提高实验能力。 实验题的分值有17~18分之多,但从历年高考的得分情

初中物理知识点总结(最新最全)

初中物理知识点总结(大全) 第一章声现象知识归纳 1 . 声音的发生:由物体的振动而产生。振动停止,发声也停止。 2.声音的传播:声音靠介质传播。真空不能传声。通常我们听到的声音是靠空气传来的。 3.声速:在空气中传播速度是:340米/秒。声音在固体传播比液体快,而在液体传播又比空气体快。 4.利用回声可测距离:S=1/2vt 5.乐音的三个特征:音调、响度、音色。(1)音调:是指声音的高低,它与发声体的频率有关系。(2)响度:是指声音的大小,跟发声体的振幅、声源与听者的距离有关系。 6.减弱噪声的途径:(1)在声源处减弱;(2)在传播过程中减弱; (3)在人耳处减弱。 7.可听声:频率在20Hz~20000Hz之间的声波:超声波:频率高于20000Hz的声波;次声波:频率低于20Hz的声波。 8.超声波特点:方向性好、穿透能力强、声能较集中。具体应用有:声呐、B超、超声波速度测定器、超声波清洗器、超声波焊接器等。 9.次声波的特点:可以传播很远,很容易绕过障碍物,而且无孔不入。一定强度的次声波对人体会造成危害,甚至毁坏机械建筑等。它主要产生于自然界中的火山爆发、海啸地震等,另外人类制造的火箭发射、飞机飞行、火车汽车的奔驰、核爆炸等也能产生次声波。 第二章物态变化知识归纳 1. 温度:是指物体的冷热程度。测量的工具是温度计, 温度计是根据液体的热胀冷缩的原理制成的。 2. 摄氏温度(℃):单位是摄氏度。1摄氏度的规定:把冰水混合物温度规定为0度,把一标准大气压下沸水的温度规定为100度,在0度和100度之间分成100等分,每一等分为1℃。 3.常见的温度计有(1)实验室用温度计;(2)体温计;(3)寒暑表。 体温计:测量范围是35℃至42℃,每一小格是0.1℃。 4. 温度计使用:(1)使用前应观察它的量程和最小刻度值;(2)使用时温度计玻璃泡要全部浸入被测液体中,不要碰到容器底或容器壁;(3)待温度计示数稳定后再读数;(4)读数时玻璃泡要继续留在被测液体中,视线与温度计中液柱的上表面相平。 5. 固体、液体、气体是物质存在的三种状态。

半导体物理与器件第四版课后习题答案(供参考)

Chapter 4 4.1 ??? ? ? ?-=kT E N N n g c i exp 2υ ??? ? ??-??? ??=kT E T N N g O cO exp 3003 υ where cO N and O N υ are the values at 300 K. (b) Germanium _______________________________________ 4.2 Plot _______________________________________ 4.3 (a) ??? ? ??-=kT E N N n g c i exp 2υ ( )( )( ) 3 19 19 2 113001004.1108.2105?? ? ????=?T ()()?? ????-?3000259.012.1exp T () 3 382330010912.2105.2?? ? ???=?T ()()()()?? ????-?T 0259.030012.1exp By trial and error, 5.367?T K (b) () 252 12 2105.2105?=?=i n ( ) ()()()()?? ????-??? ???=T T 0259.030012.1exp 30010912.23 38 By trial and error, 5.417?T K _______________________________________ 4.4 At 200=T K, ()?? ? ??=3002000259.0kT 017267.0=eV At 400=T K, ()?? ? ??=3004000259.0kT 034533.0=eV ()()()() 172 22102 210025.31040.11070.7200400?=??= i i n n ? ? ????-??????-???? ??? ?? ??=017267.0exp 034533.0exp 3002003004003 3 g g E E ?? ? ???-=034533.0017267.0exp 8g g E E ()[] 9578.289139.57exp 810025.317-=?g E or ()1714.38810025.3ln 9561.2817=??? ? ???=g E or 318.1=g E eV Now ( ) 3 2 1030040010 70.7?? ? ??=?o co N N υ

高三物理教师个人教学工作总结

高三物理教师个人教学工作总结 一、领会综合理科的要旨 理科应该如何进行综合,应充分注意在理科综合教学实践中培养学生的理科的修养和这方面的能力,主要包括以下四个方面: 1.对自然科学基础知识的理解能力,包括理科自然科学的基本概念,原理和定律,定量描述自然科学发展现象和定律,了解自然科 学发展的最新成就和成果及其对社会发展的影响. 2.设计和完成实验的能力,能解释实验现象和结果,能通过分析和推理得出实验结论,能根据要求设计简单的实验方案. 3.能读懂自然科学方面的资料。包括能理解图、表的主要内容及特征,能读懂一般性科普类文章,并能根据有关资料得出相关的结论。 4.对自然科学基本知识的应用能力,包括用自然科学的基本知识解释和说明人类生活和社会发展中遇到的问题,了解自然科学知识 在人类生活和社会发展中的应用,能够运用自然科学知识对有关见解、实验方案、过程和结果进行评价。 二、设计综合题,促学科间融合 理科综合包括文理学科的大综合、理科之间的大综合和各学科中各分学科的小综合。至于物理学科教学如何体现在理科综合课程中,一方面应当重视与其它学科的横向联系,还要重视物理学科本身各 分学科的相互交叉、相互渗透。在综合理科的教学实践中,要注意 培养学生分析问题和解决问题的能力。设计在日常生活中涉及各种 物理问题,以及多学科综合问题所涉及的物理问题,可以促进各学 科的融合。 为了更好地适应理科综合的教学,高中课程虽然是分科教学,为了适应高考的综合类题目,教师应当寻找相关科目的那些学科交叉 点进行探讨,学生考试时可适当增加一门综合理科考试,这样可以

扩展学生的思维角度,真正做到逐步培养学生由掌握知识向培养能 力转化的作用高三物理教学个人工作总结高三物理教学个人工作总结。其实,在初中阶段就可以对学生进行综合训练了;这样做一方面 是为进入高中的综合作准备,另一方面,现在高考的综合理科试题 有不少是初中知识就可以解决的了。 三、根据理科综合的特点,调整物理教学思路 理科综合关于综合命题的原则和内容很多,但整个基础教育课程体系没有很大变化的前提下,命题应该遵循客观事实,有一个逐步 深入,加大学科渗透和综合的过程。综合首先是学科内的小综合, 其次是理科之间的综合,最后,是文理科之间的大综合。在教学中 须防止把学科间交叉、综合放到过高的倾向,各科教师用过多精力 去处理别的学科的知识,或者过于关注学科之间的联系问题上,这 样将会造成各学科知识教学效果明显下降的后果。学生耗费过量的 精力陷入新一轮综合试题的题海中去高三物理教学个人工作总结文 章高三物理教学个人工作总结。这样一来,学生各学科的修养跟不上,更谈不上有很好的综合能力了。和其他学科教学一样,综合理 科教学的内容和教学效果有一个程度问题,把握好这个程度,将是 获得好的教学效果的前提条件。在高中阶段,传统教学方式讲究学 生如何能够掌握好各门学科的知识。现在,还要求如何综合运用各 学科的知识,这是考好理科综合题的的关键所在。作为学科教学的 物理教师,应立足于本学科,重视本学科知识的传授和专门能力的 培养,并注重与其他学科的结合,培养学生综合运用各种知识的能力。我们作为中学物理教师的应当做好以下 四、方面工作: 1.重视物理基础教育 中学物理内容丰富,它包括力学、热学、电磁学、光学和原子物理中的基本概念和定理、定律,还包括许多实验,教学中既要扎实 地掌握各个部分的基本知识,又应注意各部分知识的渗透和综合, 高三复习时以《教学大纲》和《考试说明》同时覆盖的知识为重点,必须引导学生从客观上把握知识结构,抓住主线,理清线索,把知

初中物理知识点总结大全详解

初中物理知识点总结 初中物理基本概念概要 一、测量 ⒈长度L:主单位:米;测量工具:刻度尺;测量时要估读到最小刻度的下一位;光年的单位是长度单位。 ⒉时间t:主单位:秒;测量工具:钟表;实验室中用停表。1时=3600秒,1秒=1000毫秒。 ⒊质量m:物体中所含物质的多少叫质量。主单位:千克;测量工具:秤;实验室用托盘天平。 二、机械运动 ⒈机械运动:物体位置发生变化的运动。 参照物:判断一个物体运动必须选取另一个物体作标准,这个被选作标准的物体叫参照物。 ⒉匀速直线运动: ①比较运动快慢的两种方法:a 比较在相等时间里通过的路程。b 比较通过相等路程所需的时间。 ②公式:1米/秒=3.6千米/时。 三、力 ⒈力F:力是物体对物体的作用。物体间力的作用总是相互的。 力的单位:牛顿(N)。测量力的仪器:测力器;实验室使用弹簧秤。 力的作用效果:使物体发生形变或使物体的运动状态发生改变。 物体运动状态改变是指物体的速度大小或运动方向改变。 ⒉力的三要素:力的大小、方向、作用点叫做力的三要素。 力的图示,要作标度;力的示意图,不作标度。 ⒊重力G:由于地球吸引而使物体受到的力。方向:竖直向下。 重力和质量关系:G=mg m=G/g g=9.8牛/千克。读法:9.8牛每千克,表示质量为1千克物体所受重力为9.8牛。 重心:重力的作用点叫做物体的重心。规则物体的重心在物体的几何中心。 ⒋二力平衡条件:作用在同一物体;两力大小相等,方向相反;作用在一直线上。 物体在二力平衡下,可以静止,也可以作匀速直线运动。 物体的平衡状态是指物体处于静止或匀速直线运动状态。处于平衡状态的物体所受外力的合力为零。 ⒌同一直线二力合成:方向相同:合力F=F1+F2 ;合力方向与F1、F2方向相同; 方向相反:合力F=F1-F2,合力方向与大的力方向相同。 ⒍相同条件下,滚动摩擦力比滑动摩擦力小得多。 滑动摩擦力与正压力,接触面材料性质和粗糙程度有关。【滑动摩擦、滚动摩擦、静摩擦】7.牛顿第一定律也称为惯性定律其内容是:一切物体在不受外力作用时,总保持静止或匀速直线运动状态。惯性:物体具有保持原来的静止或匀速直线运动状态的性质叫做惯性。 四、密度 ⒈密度ρ:某种物质单位体积的质量,密度是物质的一种特性。 公式:m=ρV 国际单位:千克/米3 ,常用单位:克/厘米3, 关系:1克/厘米3=1×103千克/米3;ρ水=1×103千克/米3; 读法:103千克每立方米,表示1立方米水的质量为103千克。 ⒉密度测定:用托盘天平测质量,量筒测固体或液体的体积。 面积单位换算: 1厘米2=1×10-4米2,

半导体物理与器件实验报告

课程实习报告 HUNAN UNIVERSITY 题目:半导体物理与器件 学生姓名:周强强 学生学号:20100820225 专业班级:通信二班 完成日期:2012.12.22

运行结果截图: 2.2 函数(),cos(2/)V x t x t πλω=-也是经典波动方程的解。令03x λ≤≤,请在同一坐标中 绘出x 的函数(),V x t 在不同情况下的图形。 (1)0;(2)0.25;(3)0.5;(4)0.75;(5)t t t t t ωωπωπωπωπ =====。 3.27根据式(3.79),绘制出0.2()0.2F E E eV -≤-≤范围内,不同温度条件下的费米-狄拉克概率函数:()200,()300,()400a T K b T K c T K ===。

4.3 画出a ()硅,b ()锗,c ()砷化镓在温度范围200600K T K ≤≤内的本征载流子浓度曲线 (采用对数坐标)。

4.46 已知锗的掺杂浓度为15 3a =310 cm N -?,d =0N 。画出费米能级相对于本征费米能级的位 置随温度变化 200600)K T K ≤≤(的曲线。

5.20硅中有效状态密度为 19 3/2c 2.8 10()300T N =? 193/2 1..0410() 300 T N ν=? 设迁移率为 3/2 n =1350300T μ-?? ? ?? 3/2 =480300T ρμ-?? ? ?? 设禁带宽带为g =1.12V E e ,且不随温度变化。画出200600K T K ≤≤范围内,本征电导率随绝对温度T 变化的关系曲线。

高三物理教学总结与心得体会.doc

高三物理教学总结与心得体会 物理学习能力的培养是高中物理教师在高中三年的时间内一直努力达 到的目标,以下是由我整理关于高三物理教学总结的内容,希望大家喜欢!高三物理教学工作总结篇一 转眼间,短暂的一学期时光又即将过去。本学期我执教高三1班物理课和高三4个班的物理综合课,本人按照教学计划,认真备课、上课、听课、评课,及时批改试卷、讲评试卷,做好课后辅导工作,已经如期地完成了教学任务。为了以后能在工作中扬长避短,取得更好的成绩,现将本学期工作总结如下:一、认真组织好课堂教学,努力完成教学进度。二、加强高考研讨,实现备考工作的科学性和实效性。本学期,物理备课组的教研活动时间较灵活。 转眼间,短暂的一学期时光又即将过去。本学期我执教高三1班物理课和高三4个班的物理综合课,本人按照教学计划,认真备课、上课、听课、评课,及时批改试卷、讲评试卷,做好课后辅导工作,已经如期地完成了教学任务。为了以后能在工作中扬长避短,取得更好的成绩,现将本学期工作总结如下: 一、认真组织好课堂教学,努力完成教学进度。 二、加强高考研讨,实现备考工作的科学性和实效性。 本学期,物理备课组的教研活动时间较灵活。备课组成员将在教材处理、教学内容的选择、教法学法的设计、练习的安排等方面进行严格的商讨,确保教学工作正常开展。主要内容分为两部分:一是商讨综合科的教学内

容,确定教学知识点和练习。二是针对物理课上的教学问题展开研讨,制定和及时调整对策,强调统一行动。另外,到外校取经,借鉴外校老师的经验,听取他们对高考备考工作的意见和建议,力求效果明显。三是多向老教师学习,多听他们的课,学习他们的课堂组织学习他们的教学思路,加强交流,取长补短,不断改进教学水平 三、对尖子生时时关注,不断鼓励。对学习上有困难的学生,更要多给一点热爱、多一点鼓励、多一点微笑。 四、经常对学生进行有针对性的心理辅导,让他们远离学习上的困扰,轻松迎战高考。五、构建物理学科的知识结构,把握各部分物理知识的重点、难点 物理学科知识主要分力、电、光、热、原子物理五大部分。 力学是基础,电学与热学中的许多复杂问题都是与力学相结合的,因此一定要熟练掌握力学中的基本概念和基本规律,以便在复杂问题中灵活应用。力学可分为静力学、运动学、动力学以及振动和波。 静力学的核心是质点平衡,只要选择恰当的物体,认真分析物体受力,再用合成或正交分解的方法来解决即可。 运动学的核心是基本概念和几种特殊运动。基本概念中,要区分位移与路程,速度与速率,速度、速度变化与加速度。几种运动中,最简单的是匀变速直线运动,用匀变速直线运动的公式可直接解决;稍复杂的是匀变速曲线运动,只要将运动正交分解为两个匀变速直线运动后,再运用匀变速公式即可。对于匀速圆周运动,要知道,它既不是匀速运动(速度方向不断改变),也不是匀变速运动(加速度方向不断变化),解决它要用圆周

高三物理教学总结与反思(完整资料)

此文档下载后即可编辑 高三物理教学总结与反思 一年一度的高考已经结束了,回顾高三一年的教学工作,有快乐也有苦恼,有经验也有教训,当然更多的是反思,反思一年工作中的可取之处和不足之处,希望在未来的教学工作尤其是高三教学工作中能够做到有的放矢、目标明确、措施得当,更希望通过我们的尽职尽责,使我们再次面对高考结果时能够有如置身于森林之中——可以深呼吸。下面从以下几方面做一总结和反思: 一、教学方面: 1、高三复习时间怎样安排更合理: 对物理学科:第一轮:7月下旬——来年1月中旬(不包含实验) 第二轮:1月中旬——4月中旬 第三轮:4月中旬——五月底 2、教学重难点及突破: 第一轮复习的重点是把知识和规律熟悉并掌握,我们要采取逐章逐节的地毯式复习方式,在该过程中要总结出常用的二级结论,强调必须掌握的内容,知识要讲全,但不宜过慢。因为学生能力真正的提升应该在二轮复习中。短时间内促使掌握已学内容并能及时复习的方法是要有及时的测验、课堂提问、章末测试。学生要有课堂笔记。对测试成绩差的同学要及时关注和关心。第一轮复习结束后,建议成绩好的同学做天利38套题,目的是要考查一下对知识的熟练掌握程度。 第二轮复习的重点是建立知识间的联系和应用,提高学生的分析、综合能力。 提升方法: 对老师:对一个物理量有哪几种求法课堂上要总结到位;要题海拾贝,对易错题,典型题,二级结论要强调,设置障碍并举一反三;同时要训练规范答题。 对学生:要求学生对知识全面掌握,融会贯通;通过习题巩固概念,必要时以考代练。 二轮复习后期建议成绩好的同学做金考卷或其它有一定难度的套题,中等生坐38套题,至少做10套。 第三轮复习重点是对知识的整合与综合应用,查缺补漏,回归课本。对学生的能力要求是做过的题型保证不错,每一章易错题和典型题,重点知识做到心中有数,有目的的训练运算能力,会规范答题。 3、高三的作业安排: (1)复习讲过的知识、看前面做错的题并强化总结。 (2)每天都有作业,作业量比第二天要讲的略多一点。 (3)上习题课前要把本节涉及到的重难点知识点复习提问。 4、本届高三物理复习经验与教训: 经验:知识点概括全面,注重了学习中的一些细节,抓住了讲练考判评五个环节,同时注重了规律的归纳总结以及易混易错问题的区别,并有专题训练,注重了方法和思路的渗透; 加强了二级结论的记忆和应用,大大提高了选择题的做题速度;学校后期每周一次的测试提高了学生对知识的熟练把握和应试训练;强化了审题的重要性,提高了做大题的正确率。 教训:在一轮复习中对少数学困生关注不够,导致学生跟不上课堂最后完全失去信心;在二轮复习中对尖子生指导不够细致,导致一些尖子生习题的针对性不够。 在复习过程中要采取抓两头带中间的策略,学困生不能掉队,尖子生不仅要自己学好还要成为良好班风的带头人。 二、高考物理试卷分析:

初三物理知识点总结

初三物理知识点总结 物理量(单位)公式备注公式的变形 速度V(m/S)v= S:路程/t:时间 重力G (N)G=mg m:质量g:9.8N/kg或者10N/kg 密度ρ(kg/m3)ρ=m/V m:质量V:体积 合力F合(N)方向相同:F合=F1+F2 方向相反:F合=F1—F2 方向相反时,F1>F2 浮力F浮(N) F浮=G物—G视G视:物体在液体的重力浮力F浮(N) F浮=G物此公式只适用 物体漂浮或悬浮 浮力F浮 (N) F浮=G排=m排g=ρ液gV排G排:排开液体的重力m排:排开液体的质量 ρ液:液体的密度 V排:排开液体的体积 (即浸入液体中的体积) 杠杆的平衡条件F1L1= F2L2 F1:动力L1:动力臂 F2:阻力L2:阻力臂 定滑轮F=G物

S=h F:绳子自由端受到的拉力 G物:物体的重力 S:绳子自由端移动的距离 h:物体升高的距离 动滑轮F= (G物+G轮) S=2 h G物:物体的重力 G轮:动滑轮的重力 滑轮组F= (G物+G轮) S=n h n:通过动滑轮绳子的段数机械功W (J)W=Fs F:力 s:在力的方向上移动的距离 有用功W有 总功W总W有=G物h W总=Fs 适用滑轮组竖直放置时机械效率η= ×100% 功率P (w)P= W:功

t:时间 压强p (Pa)P= F:压力 S:受力面积 液体压强p (Pa)P=ρgh ρ:液体的密度 h:深度(从液面到所求点 的竖直距离) 物理量单位公式 名称符号名称符号 质量m 千克kg m=pv 温度t 摄氏度°C 速度v 米/秒m/s v=s/t 密度p 千克/米3kg/m3p=m/v 力(重力)F 牛顿(牛)N G=mg 压强P 帕斯卡(帕)Pa P=F/S 功W 焦耳(焦)J W=Fs

半导体物理与器件基础知识

9金属半导体与半导体异质结 一、肖特基势垒二极管 欧姆接触:通过金属-半导体的接触实现的连接。接触电阻很低。 金属与半导体接触时,在未接触时,半导体的费米能级高于金属的费米能级,接触后,半导体的电子流向金属,使得金属的费米能级上升。之间形成势垒为肖特基势垒。 在金属与半导体接触处,场强达到最大值,由于金属中场强为零,所以在金属——半导体结的金属区中存在表面负电荷。 影响肖特基势垒高度的非理想因素:肖特基效应的影响,即势垒的镜像力降低效应。金属中的电子镜像到半导体中的空穴使得半导体的费米能级程下降曲线。附图: 电流——电压关系:金属半导体结中的电流运输机制不同于pn结的少数载流子的扩散运动决定电流,而是取决于多数载流子通过热电子发射跃迁过内建电势差形成。附肖特基势垒二极管加反偏电压时的I-V曲线:反向电流随反偏电压增大而增大是由于势垒降低的影响。 肖特基势垒二极管与Pn结二极管的比较:1.反向饱和电流密度(同上),有效开启电压低于Pn结二极管的有效开启电压。2.开关特性肖特基二极管更好。应为肖特基二极管是一个多子导电器件,加正向偏压时不会产生扩散电容。从正偏到反偏时也不存在像Pn结器件的少数载流子存储效应。 二、金属-半导体的欧姆接触 附金属分别与N型p型半导体接触的能带示意图 三、异质结:两种不同的半导体形成一个结 小结:1.当在金属与半导体之间加一个正向电压时,半导体与金属之间的势垒高度降低,电子很容易从半导体流向金属,称为热电子发射。 2.肖特基二极管的反向饱和电流比pn结的大,因此达到相同电流时,肖特基二极管所需的反偏电压要低。 10双极型晶体管 双极型晶体管有三个掺杂不同的扩散区和两个Pn结,两个结很近所以之间可以互相作用。之所以成为双极型晶体管,是应为这种器件中包含电子和空穴两种极性不同的载流子运动。 一、工作原理 附npn型和pnp型的结构图 发射区掺杂浓度最高,集电区掺杂浓度最低 附常规npn截面图 造成实际结构复杂的原因是:1.各端点引线要做在表面上,为了降低半导体的电阻,必须要有重掺杂的N+型掩埋层。2.一片半导体材料上要做很多的双极型晶体管,各自必须隔离,应为不是所有的集电极都是同一个电位。 通常情况下,BE结是正偏的,BC结是反偏的。称为正向有源。附图: 由于发射结正偏,电子就从发射区越过发射结注入到基区。BC结反偏,所以在BC结边界,理想情况下少子电子浓度为零。 附基区中电子浓度示意图: 电子浓度梯度表明,从发射区注入的电子会越过基区扩散到BC结的空间电荷区,

高三物理备课组工作总结

高三物理备课组工作总结 高三物理备课组工作总结 高三学生已经毕业了,反思我们的备课组工作,特别是是高三复习课教学工作,能使得今后的教学遗憾少一点、小一些,还是十分必要的。总结让我们能坚持已经形成的比较成熟的教育教学方案,反思让我们更加清醒地认识存在的不足,并努力寻求相应的解决方案。 我们复习的总体思路是:心中有考纲,复习有体系;从容有序,谨严规范。下面对备课组工作从四个方面做一下总结。 一、校本复习材料 1.补充题:高三物理复习中使用的补充题是我们校本复习材料的核心。这套补充题共分十四章,每章配有简单的知识点回顾,题目从几十道题到百余题不等,最大的特色就是适合我们高中的学生实际水平,并根据高考的思路不断变化更新。这套补充题的受益者是高三的毕业生,贡献者是教研组老一辈的教师,我们青年教师肩负着继续传承并不断发展和完善的任务。 2.(会考)基础练习:严格说,物理的高考复习是从学生毕业会考后开始的。我们备课组以会考为契机,利用一个月多一点的时间,完成了高中物理知识的基础部分复习,同时加工整理,最终积累了一整套会考基础练习资料,这套资料对学生提纲挈领掌握高中物理知识的脉络起到了关键性作用。

3.单元测试:我们备课组做了一项开创性工作就是选编了一套各章的单元测试题。我校一直倡导对购买、征订的复习资料要精心选用,为学生节省宝贵的复习时间;还有一些资料不适合全部印发学生,在这种情况下,我们备课组下决心选编了一套各章的单元测试题,最终成形。这套测试题目也会象补充题一样,动态调整,相信也会成为有我校特色的校本复习材料之一。 4.周末专题:周末我们有7个分层教学班的复习任务,2个高水平的a班,4个中等水平的b班,一个基础薄弱的c班。我们进行的是专题复习内容,先后进行了牛顿运动定律、能量和动量、电场和磁场、电路、电磁感应等专题复习内容。上学期、寒假和下学期,这三个阶段,我们都是以专题形式对课堂复习内容进行了有效补充,使学生对近年的高考典型问题到达“能下手,能完成”的程度。 5.一模后的专题:一模前我们已经完成了涵盖高考要求的各章节和实验的全面复习。一模后到二模前有三周的复习时间,我们安排的是重组38套模拟试题的专题复习,让学生在短时间内对重点知识做出回顾和熟悉,同时也是最后一次提高解题能力,解难题能力上一个台阶的最后机会。 6.补遗和备忘录、考前祝福:复习课基本进行的是高考重点难点的知识,有些细碎的知识学生容易忽略和遗忘,所以我们在一模和高考前给学生印发了知识补遗和备忘录。一模前发的是简化的备忘录,

初三物理知识点归纳总结

初三物理知识点归纳总结 :学习不是苦差事,做好学习中的每一件事,你就会发现“学习,是一块馍,你能嚼出它的香味来. 查字典物理网分享了初三物理知识点归纳,供大家阅读参考! 记住的常量 1.光(电磁波)在真空中传播得最快,c=3× 105Km/s=3×108m /s。光在其它透明物质中传播比在空气中传播都要慢 2.15℃的空气中声速:340m/s,振动发声,声音传播需要介质,声音在真空中不能传播。一般声音在固体中传播最快,液体中次之,气体中最慢。 3.水的密度:1.0×103Kg/m3=1g/cm3=1.0Kg/dm3。 1个标准大气压下的水的沸点:100℃,冰的熔点O℃, 水的比热容4.2×103J/(Kg?℃)。 4.g=9.8N/Kg,特殊说明时可取10 N/Kg 5.一个标准大气压=76cmHg==760mmHg=1.01×105Pa=10.3m 高水柱。 6.几个电压值:1节干电池1.5V,一只铅蓄电池2V。照明电路电压220V,安全电压不高于36V。 7.1度=1千瓦?时(kwh)=3.6×106J。 8.常见小功率用电器:电灯、电视、冰箱、电风扇; 常见大功率用电器:空调、电磁炉、电饭堡、微波炉、电烙铁。

物理量的国际单位 长度(L或s):米(m) 时间(t):秒(s)面积(S):米2(m2)体积(V):米3(m3)速度(v):米/秒(m/s)温度(t):摄氏度(℃)(这是常用单位) 质量(m):千克(Kg)密度(ρ):千克/米3(Kg/m3)。力(F):牛顿(N)功(能,电功,电能)(W):焦耳(J) 功率(电功率)(P):瓦特(w)压强(p):帕斯卡(Pa)机械效率(η)热量(电热)(Q):焦耳(J) 比热容(c):焦耳/千克摄氏度(J/Kg℃)热值(q):J/kg或J/m3 电流(I):安培(A)电压(U):伏特(V) 电阻(R):欧姆(Ω)。 单位换算 1nm=10-9m,1mm=10-3m,1cm=10-2m;1dm=0.1m,1Km=103m, 1h=3600s,1min=60s, 1Kwh=3.6×106J.1Km/h=5/18m/s=1/3.6m/s,1g/cm3=103Kg/m3, 1cm2=10-4m2, 1cm3=1mL=10-6m3,1dm3=1L=10-3m3, 词冠:m毫(10-3),μ微(10-6),K千(103),M兆(106) 公式 1.速度v=s/t; 2.密度ρ=m/v; 3.压强P=F/s=ρgh; 4.浮力F=G排=ρ液gV排=G(悬浮或漂浮)=F向上-F向下 =G-F’ ; 5.杠杆平衡条件:F1L1=F2L2; 6.功w=Fs=Gh(克服重力做

半导体物理与器件第四版课后习题答案

Chapter 3 3、1 If were to increase, the bandgap energy would decrease and the material would begin to behave less like a semiconductor and more like a metal、 If were to decrease, the bandgap energy would increase and the material would begin to behave more like an insulator、 _______________________________________ 3、2 Schrodinger's wave equation is: Assume the solution is of the form: Region I: 、 Substituting the assumed solution into the wave equation, we obtain: which bees This equation may be written as Setting for region I, the equation bees: where Q、E、D、 In Region II, 、 Assume the same form of the solution: Substituting into Schrodinger's wave equation, we find: This equation can be written as: Setting for region II, this equation bees where again Q、E、D、 _______________________________________ 3、3 We have Assume the solution is of the form: The first derivative is and the second derivative bees Substituting these equations into the differential equation, we find bining terms, we obtain We find that Q、E、D、 For the differential equation in and the proposed solution, the procedure is exactly the same as above、 _______________________________________ 3、4 We have the solutions for and for 、 The first boundary condition is which yields The second boundary condition is which yields The third boundary condition is which yields

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