表面粗糙度是指间隔较小、峰谷较小的加工表面的粗糙度[1]。两个波峰或波谷之间的距离（波距）非常小（小于1mm），这是一个微观的几何误差。表面粗糙度越小，表面越光滑。
表面粗糙度通常是由加工方法和其它因素造成的，如刀具与零件表面的摩擦、分离切屑时表面金属的塑性变形、加工系统中的高频振动等。由于加工方法和工件材料的不同，加工表面留下的痕迹的深度、密度、形状和纹理也不同。
表面粗糙度与机械零件的匹配特性、耐磨性、疲劳强度、接触刚度、振动和噪声等密切相关，对机械产品的使用寿命和可靠性有重要影响。一般来说，RA用于标记。
相关规范为“GB/T 1031-2009表面粗糙度轮廓法表面粗糙度参数和值”和“GB/T 131-2006（ISO 1302:2002）”代表表面结构。
高度特性参数
剖面的算术平均偏差RA：采样长度（LR）内剖面偏移绝对值的算术平均值。在实际测量中，测量点越多，RA越准确。[2]
轮廓的最大高度RZ：轮廓的峰值线和底部线之间的距离。
在振幅参数范围内，RA[1]是首选。2006年以前，国标中还有另一个评价参数，用RZ表示轮廓的最大高度，2006年以后，国标取消了微粗糙度的十点高度，用RZ表示轮廓的最大高度。
间距参数
它由轮廓元素RSM的平均宽度表示[2]。采样长度内等高线稍不均匀间距的平均值。微观不平度距离是指轮廓峰和相邻轮廓谷在中心线上的长度。[1]
形状特征参数
用轮廓支撑长度r MR（c）[2]的比值表示，它是轮廓支撑长度与采样长度的比值。轮廓的支撑长度是线各部分长度的总和，该部分平行于中心线，在采样长度内与轮廓的峰值线间隔C。