预冲洗时间预冲洗水温温度时间温度时间温度时间隔板放置间距
脱胶后拿片数
脱胶后硅片放置
拿片数量水浸硅片程度
插片要领
各清洗槽水温各清洗槽水质要求药剂添加药剂更换/清零及检查清洗时间甩干机碎片清理
甩干时间及温度
5.1 硅片清洗工艺标准
2、范围
芯能光伏—宜兴厂区。3、参考文件
《硅片清洗作业指导书》
4、定义
管制数据文件/表单管制项目
技术文件
文件名称：硅片清洗工艺标准化明细
文件编号：
版 本 号：A
批准/日期：审核/日期：编制/日期：
1、目的
规范清洗工序参数设定，使该工序加工程序处于受控状态。
无
5.技术/工艺方法
页 号：1/1修订状态：0发布日期：第五槽脱胶
硅片完全浸泡在水中，硅片顶端勿露出水面。≤20mm（长度计）≤25pcs/次轻放物料周转箱内，箱底和侧壁接触硅片的位置要垫上泡沫垫，水溢过硅片表面.药剂使用量为---乳酸：水=1:1全自动7槽：1# 设定45℃，2#0℃，3#50℃、4#、5#设定
60℃，6#设定55℃,7#设定50℃，在线槽设定40℃。
第一至第四槽各300秒，第五、六槽300秒，七槽和在线槽
各300秒。
每清洗至200±10篮立刻更换药剂；并对清洗篮数进行清零；每小时检查一次各槽水位，保证槽内水位覆盖过硅片盒顶部。
管制标准70℃35℃第一次换75kg(3桶）脱80刀，再加半桶脱40刀，到120刀再加半桶脱30刀，到150刀全换。70℃500s 500s 400S 第一槽：400s,第二槽：400s 0.80-1.0 mpa ; 25℃（常温）甩干硅片
清洗40±5 mm/片6、检验要求及方法
1.清洗机每次更换药剂后先空跑3个篮子再清洗硅片。
2.脱胶机喷淋槽底部导向条/碎硅片等杂物每天清理，保持喷淋槽无堵塞现象。
3.脱胶机/清洗机时间和温度设定如有变更见《脱胶机药剂更换标准表》、《清洗机药剂更换标准表》每天早上接班后
预清洗
脱胶插 片第六槽脱胶
第一次换第5槽、第4槽：加清洗剂12L，A、B剂比例2：1药剂更换
第三、四槽超声
《硅片清洗作业指导书》《乳酸更换记录表》《清洗药剂更换记录表》第一、三、六、七、在线槽为纯水，四、五槽为药剂槽必须带手套/轻拿轻放，尽量减少崩边/破片。甩干时间：300s,转速：500rph。