如何进行性能检测及清洗无尘衣
洁净工作服的性能检测
1.1 净化性能检测
对洁净室内使用的洁净工作服的衣料内外附着的污染粒子,用下列四种方法测定:ASTM的F-51法(显微镜法),F-51修证法(计数法),HELMKE转筒法(滚筒法,相当于ASTM试验方法)以及振动试验法(振动法)。
(1)ASTM-F-51法(显微镜法)
测试探头装有过滤隔膜,直接连接吸风计量泵,通过的空气量为28L/min。测试时使空气通过试验衣料,将空气中含有的发尘粒子捕到试验用的滤膜上,用400倍显微镜观察并统计尘埃粒子数。
读出滤膜上面的0.5-5以及5以上的粒子个数。在滤膜上面印有3.08mm的格子,可以读出一个格子内的粒子数。
(2)ASTM-F-51修订法(计数法)
使空气通过试验衣料,用粒子计数器测定发尘粒子的大小和个数。
把试样放置在带金属网的台架上,用采样器(用47mm的过滤器支架代替)接触吸引,通过的空气量为28L/min。
(3)滚桶法(Helmke Drum Test)
把试样放入一个侧面开口的旋转的滚桶内旋转,从粒桶内对发尘粒子采样,用粒子计数器测定粒子个数后决定洁净度的级别。旋转滚筒尺寸为43cm×33cm,在桶的内侧有4个叶片,桶的转数为10转/分。
(4)振动法
把试样放在小室内,通过振动扭转产生粒子,用粒子计数器测定。同时,对粒径大的粒子(25以上)捕集到滤膜上,读出粒子个数。风量为3.5英尺/分(0.099m/mim),振动次数为150次/分。我国目前在洁净工作服的无尘性能测试方面尚未有国家标准,可参考日本空气洁净协会专门委员会研究的日本工业标准JIS-B-9923,和美国IES标准RP-CC-003-87-T。
对于无尘性能的评价,各行业可根据国际标准ISO/TC209所规定的洁净厂房标准,结合各自的洁净等级进行区分使用。
1.2 抗静电性能检测
抗静电性是洁净工作服的一个重要特性,尤其是在微电子等行业对服装的抗静电性能要求更为严格。
测试方法可依据中华人民共和国国家标准GB/T12703-91《纺织品静电测试方法》,由于洁净工作服是采用的布料是嵌织导电丝的聚酯长丝织物,因此该标准中只有摩擦带电电压(B法)、电荷面密度(C法)和工作服的摩擦带电(E法)适合洁净工作服的抗静电性能检测。另外亦可参照中华人民共和国国家标准GB/T12059-89《电子工业用合成纤维防静电绸性能及实验方法》。
(1)摩擦带电电压法
该方法的测试原理是在一定的张力条件下,使样品与标准布相互摩擦,以此时产生的最高电压及平均电压对着装者与外衣摩擦带电关系进行评价。
其方法是用试样(4块,2经、2纬,尺寸4cm×8cm)夹置于转鼓(外径150±1mm,宽60±1mm)上的样品夹卡,转鼓以400rpm的转速与标准布(锦纶或丙纶)摩擦,测试1min内的试样带电电压最大值(V)。
(2)电荷面密度法
试样在规定条件下以特定方式与锦纶标准布摩擦后用。
洁净工作服的清洗
洁净工作服是适用于电子、光学仪器、制药、微生物工程、精密仪器等行业的具有无尘和抗静电性能的特种工作服,其衣料一般是嵌织导电丝的合成纤维织物。
洁净工作服的管理最重要的一个环节就是清洗,尽管纤维本身是很难弄脏的洁净纤维,但如何保持是一个重要的因素,那就是用清洗的方法。如果采用普通洗涤法当然相反地还会被弄脏。所以必须用特殊的方法。洁净工作服,从管理方面考虑,在清洗的时候也必须在洁净室中进行清洗椄稍飾包装。
通常情况下洁净工作服至少每周洗涤一次,有些要求高的工种甚至每天洗涤一次。
在普通的房间中清洗时,会附着灰尘和细菌,以及受洗净剂的污染。另外,在捆包和搬运过程中,也会有附着灰尘及微生物的危险。
洁净工作服的清洗一般是依*专业清洗公司进行清洗,其代表性的清洁流程见图表1,在洁净室清洗过程中应注意的事项如下:
(1)新缝制的洁净工作服可直接进行洗涤,而回收穿过的洁净工作服发现油污,应仔细去除油污再进行洗涤程序。
(2)洗涤前要对擦破、损坏及搭扣等附属品进行检查,对有缺陷的要修理、更换或报废。
(3)必须在比使用工作服的洁净室的洁净度高的洁净室中进行清洗、烘干、捆包。
(4)湿式、干式清洗用的水要过滤,溶剂也要蒸馏之后在使用点上用小于0.2μm孔径的滤膜,根据需要进行一次以上的过滤。
(5)为了除去水溶性污染物,用清水洗涤后,再用蒸馏过的溶剂进行最后的洗涤,除去油性污染物。
(6)湿式洗涤用水温度如下:
聚酯布60-70C (最高70C) 尼龙布50-55C (最高60C)
(7)在最后漂洗透水时,可以用抗静电剂以提高抗静电特性,但选用的抗静电剂应与纤维结合良好,无粉尘脱落。
(8)有搭扣的工作服,应在扣合状态下洗涤。
(9)在洗涤专用的洁净空气循环系统中进行干燥。
干燥后,在洗涤专用的洁净室内叠好,装入洁净的聚酯袋或尼龙袋内,根据要求可双层包装,也可进行真空塑封,包装材料最好用抗静电性良好的材料。由于折叠工序最易发尘,因而折叠工序必须在高一级的净化空间中进行,如100级的洁净工作服的折叠包装应在10级环境中进行。
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不知道有多少人知道无尘室，想必除非是长期接触，不然是很难有所了解的。具体需要检测的项目有哪些，包括哪些方面等等问题，对于从事相关行业的人来说，都是需要知道的。所以，为了解开大家的疑惑，下面就让我们来看看其具体项目都有哪些吧。 1、风速风量换气次数 无尘室的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气，以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此，测定无尘室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。 单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此，其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物，因此是主要关注的检测项目。 非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此，换气次数越大，气流流型合理，稀释效果越显著，洁净度也相应提高。所以非单相流无尘室、洁净区的送风量及相应的换气次数，是主要关注的气流测试项目。为了获得可重复的读数，记录各测点风速的时间平均值。
换气次数：根据无尘室总风量除以无尘室的容积求得。 2、温湿度 无尘室或洁净设施温、湿度测定，通常分为两个档次：一般测试和综合测试。第一个档次适用于处于空态的交竣验收测试，第二个档次适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。 本检测在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行。进行这项检测时，空调系统已经充分运转，各项状况已经稳定。每个湿度控制区至少设置一个湿度传感器，并且给传感器充分的稳定时间。所做测量应适合实际使用的目的，待传感器稳定之后才开始测量，测量时间不少于5分钟。 3、压差 这项检测的目的是验证完工设施与周围环境之间、设施内各空间之间保持规定压差的能力，适用于所有3种占用状态。需要定期进行这项检测。压差的测试应在所有的门都关闭的条件下，由高压向低压、由平面布置上与外界远的里间房间开始，依次向外测试；有孔洞相通的不同等级相邻的无尘室（区），其洞口处宜有合理的气流流向等等。 看到这里，大家应该有了一个粗浅的了解了吧，感兴趣要想深入了解的可以找专业网站或是公司了解详情。
无尘车间温湿度测试的必要性和方法 无尘车间的温度和湿度控制对于无尘车间的运作来说也非常重要，人和净化介绍无尘车间温湿度控制的必要性和无尘车间温湿度测试的方法。 无尘室安全规范指出无尘室一般温度测试的测点，每个温度控制区或每个房间1个测点，测试点高度宜为工作面高度，测量时间应至少1H，并至少6min测量一次，读数稳定后做好记录。供应无尘车间内的温湿度应满足哪些条件的详细描述：无尘车间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。 具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种无尘车间不宜超过25度。 无尘车间湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。 此外，无尘车间湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产最佳温度范围为35—45%。 无尘车间室温的湿度测试是检验净化车间内部稳定性的一项重要工作，目的是确认空气处理设施的温度控制能力。无尘室湿度的测试通常采用通风干湿球湿度计、电容式湿度计、数字式湿度计、毛发式湿度仪器。 相对湿度测试的测点、测试频度和时间与温度测试时间相同，建议采用一同测试。 无尘车间的温湿度测试的要求：温度测试应在无尘车间进行调试，气流均匀性测试完成，无尘室功能温度测试，应将洁净工作区划分为等面积的栅格，每个
各行业无尘室及洁净度特点
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各行业无尘室及洁净度特点 电子制造业: 随着计算机、微电子和信息技术的发展，推动了电子制造业的飞速发展, 也带动了洁净室技术的发展，同时对洁净室的设计提出了更高的要求，电子制造业的无尘车间设计是一项综合的技术，只有充分了解电子制造业的无尘车间设计特点，做到设计合理，才能让电子制造产业的产品次品率降低,提高生产效率。 电子制造业洁净室的特点:?洁净度等级要求高，风量、温度、湿度、压 差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电，造成CMOS集成损坏。一般来说，电子厂房的温度应控制在2２℃左右，相对湿度控制在５0-60%之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定）。这时可有效地消除静电，并使人也感觉舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分,由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。1?、电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态)：不应大于65dB(Ａ）。2?、电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净室不应小于40%，否则就是局部单向流了。3?、电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Ｐａ，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。?４、电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值： （１)补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。 （2）保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40ｍ3。 (３)电子制造行业洁净室净化空调系统加热器,应设置新风，超温断电保护，若
各行业无尘室及洁净度特点 电子制造业： 随着计算机、微电子和信息技术的发展，推动了电子制造业的飞速发展，也带动了洁净室技术的发展，同时对洁净室的设计提出了更高的要求，电子制造业的无尘车间设计是一项综合的技术，只有充分了解电子制造业的无尘车间设计特点，做到设计合理，才能让电子制造产业的产品次品率降低，提高生产效率。 电子制造业洁净室的特点： 洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电，造成CMOS集成损坏。一般来说，电子厂房的温度应控制在22℃左右，相对湿度控制在50-60%之间（特殊洁净车间有相关温湿度规定）。这时可有效地消除静电，并使人也感觉舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分，由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格，主要以控制微粒和浮尘为主要对象，同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。 1、电子制造厂万级洁净室内的噪声级（空态）：不应大于65dB(A)。 2、电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净室不应小于40%，否则就是局部单向流了。 3、电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。
4、电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值： （1）补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。 （2）保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。 （3）电子制造行业洁净室净化空调系统加热器，应设置新风，超温断电保护，若采用点加湿时应设置无水保护，寒冷地区，新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量，应取下面三项最大值：保证电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量；根据热，湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量；向电子制造厂洁净室内供给的新鲜空气量。 生物制造业： 生物制药工厂的特点： 1、生物制药工厂不仅设备费用高、生产工艺复杂、洁净级别和无菌的要求高，而且对生产人员的素质有严格的要求。 2、在生产过程中会出现潜在的生物危害，主要有感染危险，死菌体或死细胞及成分或代谢对人体和其他生物致毒性、致敏性和其他生物学反应，产品的致毒性、致敏性和其他生物学反应，环境效应。 洁净区： 需要对环境中尘粒及微生物污染进行控制的房间（区域），其建筑结构、装备及其使用均具有防止该区域内污染物的引入、产生和滞留的功能。 气锁间： 设置于两个或数个房间之间（如不同洁净度级别的房间之间）的具有两扇或多扇门的隔离空间。设置气锁间的目的是在人员或物料出入其间时，对气流进
無塵室測試簡介 在測試無塵室之前，若是能對測試規範、無塵室基本概念、無塵室的術語等有些了解，對測試當有幫助。這裡是一些背景資料，提供給讀者參考。 一、無塵室測試規範 有關無塵室定義、建造、控制、管理等等的國際標準，在網路上用〝contamination control〞搜尋，可以找到很多相關資料。無塵室的定義，最早是在美國聯邦標準209上出現，之後日漸普及並廣為半導體業與製藥業接受。在歐洲與日本，隨著工業的日益發展，各國的版本也逐漸出現。到了90年代後期，產業界體認到若是無共同標準，就不能實現經濟的全球化，於是有ISO-14644的產生。以下說明無塵室的各種標準與規範。 1.Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美國聯邦標準209E，209的出版發行，是在1960 年代，之後不斷改版以因應科技進步與工業發展，版本從原始的209、209A，一直到1992年的最後一版209E。在2001年11月29日，美國正式宣佈廢止209E，改用 ISO-14644，於是209E在書面上走入歷史。但是在產業界，除了部份的歐洲公司之外，美國、日本、台灣、與中國大陸，都還沿用209E。微粒計數器的製造商，雖然都推出滿足公制計數法的新機型，但是要等舊機器完全淘汰，恐怕還要很長時間，因此新規範ISO-14644還沒能取代209E。 2.ISO-14644系列；美國政府為了推動經濟全球化，就很大方的放棄了自己的209E，改 而推行全部使用公制的國際標準ISO-14644。14644系列有8個子題〈Part〉，稱為14644-1，14644-2，一直到14644-8。整個系列涵蓋了等級定義、測試與監視的規範、測試的程序方法、設計與建造、操作、以及其他的有關設備等，範圍很廣。有些主題已經定案，如Part 1和Part 2，有些只有初稿〈Draft〉，有些連初稿都還沒有，讀者可以到ISO或IEST的網站上訂購。 3.JIS B9920 (1989)：日本的潔淨標準，規定無塵室中浮游粒子的濃度測定方式，及潔 淨度的等級定義。 4.VDI 2083 (1993)：德國的潔淨標準，規定潔淨度等級的定義方式，以及潔淨度的量 測技術。 5.Gost-R 50766 (1995)：俄國的潔淨標準，定義無塵室的分類與一般需求。
无尘室测试与认证 无尘室性能测试〈Cleanroom Performance Testing〉和无尘室认证〈Cleanroom Certification〉有何分别？基本上无尘室认证就是做无尘室的性能测试，但是认证者对所测试的结果要负完全责任，要保证测试仪器、测试程序都满足NEBB规定。这话说来简单，做起来可不容易，因为空调系统与无尘室的设计变化很多，有些时候业主的要求也不尽相同。在不同的设计理念与不同的业主要求之下，测试的执行就有些差异。因此做无尘室认证，首要之务是熟悉空调系统与无尘室设计。NEBB对无尘室认证人员〈称为Cleanroom Performance Testing Supervisor〉的基本要求有四，一是对空调系统和无尘室的了解，二是对相关规范的了解，三是对测试仪器与测试程序的了解，四是本身的经验与口碑。这些是入门的要求，通过检定成为Supervisor之后，须受NEBB管辖，并且要时时温习法规规范与关注新科技发展，每年向NEBB报到至少一次，两年复检一次资格，要求很多。 因此无尘室性能测试谁都可以做，只要会操作仪器就可以；但是要得到严谨可信赖的测试数据，就必须依*资格符合的专业人士。以下数据是尘室的各项性能测试说明，首先是测试简介，说明一些基本概念，之后是测试程序及注意事项。至于测试的底线，就是数据不可更改也不可抛弃，这是不变的铁律。 测试简介 在测试无尘室之前，若是能对测试规范、无尘室基本概念、无尘室的术语等有些了解，对测试当有帮助。这里是一些背景资料，提供给读者参考。 有关无尘室定义、建造、控制、管理等等的国际标准，在网络上用〝contamination control〞搜寻，可以找到很多相关数据。无尘室的定义，最早是在美国联邦标准209上出现，之后日渐普及并广为半导体业与制药业接受。在欧洲与日本，随着工业的日益发展，各国的版本也逐渐出现。到了90年代后期，产业界体认到若是无共同标准，就不能实现经济的全球化，于是有ISO-14644的产生。以下说明无尘室的各种标准与规范。 1.Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美国联邦标准209E，209的出版发行，是在1960年代，之后不断改版以因应科技进步与工业发展，版本从原始的209、209A，一直到1992年的最后一版209E。在2001年11月29日，美国正式宣布废止209E，改用ISO-14644，于是209E在书面上走入历史。但是在产业界，除
安徽省德通检测。专业洁净室检测，CMA权威资质 提供洁净室（区）、洁净厂房、生物安全柜、洁净车间、洁净工作台、传递窗等验收检测服务，出具权威第三方洁净工程（项目）竣工验收检测资质，出具第三方洁净工程验收检测报告。公司为了确保检测数据的公正、准确和有效，建立了一套完整的质量管理体系并配备了相应的技术人员。所用检测设备90%以上是从国外进口的最先进的仪器设备。 合格的第三方洁净室检测机构普遍要求要有全面的洁净相关检测能力，可为药品GMP车间、电子无尘车间、食品药品包装材料车间、无菌医疗器械车间、医院洁净手术室、生物普遍实验室、保健食品GMP车间、化妆品/消毒pin车间、动物实验室、兽药GMP车间、饮用桶装水车间等洁净室、洁净厂房提供第三方检测、调试、咨询等专业技术服务。 洁净室检测范围一般包括：洁净室环境等级评定、工程验收检测，包括食品、保健品、化妆品、桶装水、牛奶生产车间、电子产品产车间、GMP车间、医院手术室、动物实验室、生物安全实验室、生物安全柜、超净工作台、无尘车间、无菌车间、一次性用车间等。 检测项目：高效过滤器检漏、静压差、风速风量、换气次数、温湿度、压差、悬浮粒子、浮游菌、沉降菌、噪声、照度、表面导静电性能等。具体可以参考洁净室检测相关标准.155*5696*8367。优惠热线 1、风速风量换气次数 洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气，以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此，测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。 单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此，其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物，因此它们是主要关注的检测项目。 非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此，换气次数越大，气流流型合理，稀释效果越显著，洁净度也相应提高。所以非单相流洁净室、洁净区的送风量及相应的换气次数，是主要关注的气流测试项目。 为了获得可重复的读数，记录各测点风速的时间平均值。 换气次数：根据洁净室总风量除以法净室的容积求得 2、温湿度 洁净室或洁净设施温、湿度测定，通常分为两个档次：一般测试和综合测试。*个档次适用于处于空态的交竣验收测试，第二个档次适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。 本检测在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行。进行这项检测时，空调系统已经充分运转，各项状况已经稳定。每个湿度控制区至少设置一个湿度传感器，并且给传感器充分的稳定时间。所做测量应适合实际使用的目的，待传感器稳定之后才开始测量，测量时间不少于5分钟。 3、压差
车间净化工程： 亦称为无尘室或清净室。是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。 空气洁净度等级： 空气洁净度等级（air cleanliness class）是洁净空间单位体积空气中，以大于或等于被考虑粒径的粒子最大浓度限值进行划分的等级标准。 基本信息： 一、洁净室的空气洁净度，应进行下列测试 （一）空态、静态测试 空态测试：洁净室已竣工，净化空气调节系统已处于正常运行状态，室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试。 静态测试：洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，室内没有生产人员的情况下进行测试。 （二）动态测试 洁净室已处于正常生产状态下进行测试。 洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测，可按一般通用、空气调节的有关规定执行。 二、空态、静态测试 （一）测试前的准备
1. 应对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。 2. 采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效空气过滤器的上风侧静压箱内（或风管内）粒径大于或等于0.5μm的尘粒数应为大于或等于30,000粒/升。如若不够，可引入烟雾，然后开始检漏。将粒子计数器（或检漏装置）的采样口距离高效空气过滤器2-3厘米处，可以2-4厘米/秒的速度移动，对高效空气过滤器整个断面封头胶处和安装框架处进行扫描。 当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5μm的尘粒超过3粒/分·升（或其穿透率大于0.01‰）即认为该处有明显渗漏，必须进行堵漏。 （二）测试内容 1. 总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等； 2. 洁净室压力值； 3. 层流洁净室断面风速和气流流向； 4. 洁净工作区的洁净度； 5. 室内温度、湿度及其控制能力的调整测试； 6. 洁净室内噪声。 （三）洁净工作区空气洁净度的测试方法 对于粒径大于或等于0.5μm的尘粒计数，宜采用光散射粒子计数法，也可采用滤膜显微镜计数法。 光散射粒子计数法： 1. 光散射粒子计数器采样量100级：每次采样量大于或等于1
AIR BORNE TEST 一．一般规定 1．工作范围 2．工作环境要求 二．测试设备及工具 三．测试及基本事项 1．关于图面 2．仪器校验 3．仪器装配 4．采样测试 5．记录数据 6．测试报告制作 四．其他注意事项 编者：章静 一、一般规定
1．工作范围 1.1．关于图面 1.2．仪器校验 1.3．仪器装配 1.4．采样测试，记录数据 1.5．测试报告制作 2．测试环境要求 2.1．无尘室进入第三阶段管制,最后清洁完成。 2.2．无尘室各基本构件完成。 2.3．FFU LEAKAGE 测试完成并改善结束。 二．测试设备及工具 PARTICLE COUNTER 、三脚架、测试台车、警示锥、延长线、外接列表机、采样管 三．测试及基本事项 1．关于图面 1.1．熟悉FFU系统平面LAYOUT。了解各无尘室等级要求。 1.2．根据209E或ISO14644制定测试点（无尘室的面积的平方根，每 个房间必须不少于两点），严格按照图面指定点设置取样口。 1.3．有问题需与业主协调后方可作改动。 2．仪器校验 2.1．PARTICLE COUNTER须在一年之内校验。 2.2．随附校验报告给业主确认 3．仪器装配 3.1．清洁之采样头和采样管 3.2．将采样头固定于三脚架，高度采用1.2米。 3.3．采样管一端接于采样头，另一端接在PARTICLE COUNTER上，两 者之间要有密封垫片，以防止空气泄漏。 3.4．将三脚架中心置于测试点处，调整采样头迎向气流方向。 3.5．尽可能将载有PARTICLE COUNTER 之测试台车远离采样口， PARTICLE COUNTER之排气口不宜朝向测试口。 3.6．将PARTICLE COUNER之电源直接接于220V上，使用延长线时注意
洁净室尘埃粒子检测标准操作规程 ⒈目的：阐述洁净室（区）中悬浮粒子的测试方法，用以规范员工的检测操作。 ⒉范围：适用于公司内部生产洁净区尘埃粒子检测工作 ⒊责任：生产车间、生产部、质量管理部、QC检验室主任、检验员。 ⒋测依据： ⒌内容： 仪器：光散射粒子计数器和滤膜显微镜。 光散射粒子计数器用于粒径≥μm；滤膜显微镜用于粒径≥5μm的悬浮粒子的计数。使用光散射粒子计数器时应严格按照仪器说明书操作。 5.2测定标准 测试方法 5.3.1 仪器开机,预热至稳定后,方可按说明书的规定对仪器进行校正。 5.3.2 采样管口置采样点采样时，在确认计数稳定后方可开始连续读数。 5.3.4 采样管必须干净、严禁渗漏。 5.3.5 采样管的长度应根据仪器的允许长度，除另有规定外，长度不大于1.5m。 5.3.6 计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下，以免产生测量误差。 5.3.7 必须按照仪器的检定周期，定期对仪器作检定，以保证测试数据的可靠性。
测试规则 5.4.1 测试条件 5.4.1.1 温度和湿度：洁净室的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应，温度控制在18～26℃，相对湿度控制在45～65%之间为宜。 5.4.1.2 压差：空气洁净度不同的洁净室（区）之间的压差应≥5Pa，空气洁净度级别要求等高的洁净室（区）对相邻的空气洁净度级别低的洁净室（区）一般要求呈相对正压。 5.4.2 测试状态：有静态测试和动态测试。 5.4.2.1 静态测试时室内空调系统已处于正常运行状态，测试人员不得多于2人。尘埃粒子数必须符合规定。 5.4.2.2 动态测试时已处于正常生产状态，所产生粒子不影响最终产品的作业，可允许超出标准，但当操作完成10分钟后，粒子水平必须恢复到以洁净区尘粒最大允许数范围之内，应定期监控动态条件下的洁净状况。 5.4.2.3 测试报告中应标明测试时所采用的状态。 5.4.3 测试时间：对单向流，测试应在净化空调系统正常运行时间不少于30分钟后开始。 5.4.4 悬浮粒子计数 5.4.4.1 采样点数目及其布置 5.4.4. 采样点数目及其布置应根据产品的生产及工艺关键操作区设置。 5.4.4. 采样点布置要求均匀，避免采样点在某局部区域过于稀疏。 5.4.4. 采样点一般在工作台面上0.2m高度的平面上均匀布置。 5.4.4.2 采样点的限定：对于任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点的数目不得少于2个，总采样次数不得少于5次。每个采样点采样次数可以多于1次，但不同采样点的采样次数可以不同。 最少采样点数目
洁净室尘埃粒子检测标准操作规程 ⒈目的:阐述洁净室(区)中悬浮粒子的测试方法,用以规范员工的检测操作。 ⒉范围:适用于公司内部生产洁净区尘埃粒子检测工作 ⒊责任:生产车间、生产部、质量管理部、QC检验室主任、检验员。 ⒋测依据: ⒌内容: 5、1 仪器:光散射粒子计数器与滤膜显微镜。 光散射粒子计数器用于粒径≥0.5μm;滤膜显微镜用于粒径≥5μm的悬浮粒子的计数。使用光散射粒子计数器时应严格按照仪器说明书操作。 5.2测定标准 5、3 测试方法 ５.3.1 仪器开机,预热至稳定后,方可按说明书的规定对仪器进行校正。 5.３．2 采样管口置采样点采样时,在确认计数稳定后方可开始连续读数。 5.3.4 采样管必须干净、严禁渗漏。
5.3．5 采样管的长度应根据仪器的允许长度,除另有规定外,长度不大于１.5ｍ。 5.3．６计数器采样口与仪器工作位置应处在同一气压与温度下,以免产生测量误差。 5．3.7 必须按照仪器的检定周期,定期对仪器作检定,以保证测试数据的可靠性。 ５、4 测试规则 5．4.1 测试条件 5．４.1、1 温度与湿度:洁净室的温度与相对湿度应与其生产及工艺要求相适应,温度控制在１8～26℃,相对湿度控制在４５~65％之间为宜。 5．4.1.2 压差:空气洁净度不同的洁净室(区)之间的压差应≥5Ｐa,空气洁净度级别要求等高的洁净室(区)对相邻的空气洁净度级别低的洁净室(区)一般要求呈相对正压。 ５.4.２测试状态:有静态测试与动态测试。 5.4．2、１静态测试时室内空调系统已处于正常运行状态,测试人员不得多于2人。尘埃粒子数必须符合规定。 5.４．2、２动态测试时已处于正常生产状态,所产生粒子不影响最终产品的作业,可允许超出标准,但当操作完成10分钟后,粒子水平必须恢复到以洁净区尘粒最大允许数范围之内,应定期监控动态条件下的洁净状况。 5.4.2、3 测试报告中应标明测试时所采用的状态。 5.4.3 测试时间:对单向流,测试应在净化空调系统正常运行时间不少于30分钟后开始。 ５.4.4 悬浮粒子计数 ５.4．4、1 采样点数目及其布置 5.4.４、1、1 采样点数目及其布置应根据产品的生产及工艺关键操作区设置。 5.4.４、1.2 采样点布置要求均匀,避免采样点在某局部区域过于稀疏。 5．４.4、1.3 采样点一般在工作台面上0．2m高度的平面上均匀布置。
洁净室尘埃粒子检测标准操作规程 1. 目的：阐述洁净室（区）中悬浮粒子的测试方法，用以规范员工的检测操作。 2. 范围：适用于公司内部生产洁净区尘埃粒子检测工作 3. 责任：生产车间、生产部、质量管理部、 QC检验室主任、检验员。 4. 测依据： 5. 内容： 5.1仪器：光散射粒子计数器和滤膜显微镜。 光散射粒子计数器用于粒径》0.5卩m；滤膜显微镜用于粒径》5卩m勺悬浮 粒子的计数。使用光散射粒子计数器时应严格按照仪器说明书操作。 5.2 测定标准 5.3 测试方法 5.3.1 仪器开机，预热至稳定后，方可按说明书的规定对仪器进行校正。 5.3.2 采样管口置采样点采样时，在确认计数稳定后方可开始连续读数。 5.3.4 采样管必须干净、严禁渗漏。 5.3.5 采样管的长度应根据仪器的允许长度，除另有规定外，长度不大于 1.5m。 5.3.6 计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下，以免产生测量误差。
537 必须按照仪器的检定周期，定期对仪器作检定，以保证测试数据的 可靠性。 5.4 测试规则 5.4.1测试条件 541.1 温度和湿度：洁净室的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相 适应，温度控制在18?26 C,相对湿度控制在45?65%之间为宜。 5.4.1.2 压差：空气洁净度不同的洁净室（区）之间的压差应》5Pa，空 气洁净度级别要求等高的洁净室（区）对相邻的空气洁净度级别低的洁净室（区） 一般要求呈相对正压。 5.4.2 测试状态：有静态测试和动态测试。 5.4.2.1 静态测试时室内空调系统已处于正常运行状态，测试人员不得多于2人。尘埃粒子数必须符合规定。 5.4.2.2 动态测试时已处于正常生产状态，所产生粒子不影响最终产品的 作业，可允许超出标准，但当操作完成10分钟后，粒子水平必须恢复到以洁净 区尘粒最大允许数范围之内，应定期监控动态条件下的洁净状况。 542.3 测试报告中应标明测试时所采用的状态。 5.4.3 测试时间：对单向流，测试应在净化空调系统正常运行时间不少于30分钟后开始。 5.4.4 悬浮粒子计数 5.4.4.1 采样点数目及其布置 5.4.4.1.1 采样点数目及其布置应根据产品的生产及工艺关键操作区设置。 5.4.4.1.2 采样点布置要求均匀，避免采样点在某局部区域过于稀疏。 5.4.4.1.3 采样点一般在工作台面上0.2m高度的平面上均匀布置。 5.4.4.2 采样点的限定：对于任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点 的数目不得少于2个，总采样次数不得少于5次。每个采样点采样次数可以多 于1次，但不同采样点的采样次数可以不同。
该检测中所需使用的主要仪器设备有：ATI气溶胶光度计和发生器、64路温度验证系统、现场计量炉、臭氧浓度检测仪、大流量粒子计数器、Dragger 压缩空气检测仪、TSI风量罩、气流流型检测仪等大中型检测仪器。 检测项目： 1）风量或风速 2）静压差 3）高效过滤器检漏 4）尘埃粒子数 5）气流流型 6）温度和相对湿度 7）噪声 8）照度 9）自净时间 10）密闭性测试 11）悬浮微生物采样 检测方法简介 引用标准GB 50472-2008电子工业洁净厂房设计规范 1）风量或风速 1对于单向流洁净室,应采用截面平均风速和截面乘积的方法确定送风量,并应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面作为测试平面。应将测试平面分成相等的栅格,每个栅格尺寸应为600mm×600mm或末端空气过滤器尺寸,测
点应在栅格中或不应少于3点。每一点的测试时间不应少于10s。应记录平均值、最大值和最小值,并应以算术平均值作为平均风速。 2对于非单向流洁净室,每一点的测试时间不应少于10s。 3在每个末端空气过滤器或散流器处,应采用风口法、风管法、风罩法等测量送风风速确定送风量,每个测试位置的测点数不应少于3点。 2）静压差 1静压差的测定应在所有的门关闭时进行。 2仪器宜采用各种型式的微压计,仪表灵敏度应小于1.0Pa。 3洁净厂房有多个洁净室(区)时,应从最里面的房间与相邻房间的压差测试开始,并应按顺序向外进行检测。 3）高效过滤器检漏 1仪器应使用采样量大于1l/min的光学粒子计数器。
2应在过滤器上风侧引入大于等于0.1m(0.5gm)粒子,粒子浓度应大于3.5×10P/m3的大气尘或其他气溶胶;在过滤器下风侧应用粒子计数器的等动力采样头放在距离被检过滤器表面20~30mm处,并应以5~20mm/s速度移动。应检测包括过滤器的整个面和过滤器周边、过滤器框架及其密封处的扫描。 4）悬浮粒子数 1应使用采样量大于1l/min光学粒子计数器,应根据粒径鉴别能力、粒子浓度适用范围和计数效率等要求选用仪器。仪器应有有效的标定合格证书。 2最少采样点应按下式计算: NL=A0.5 式中NL---------最少采样点 A-----------洁净室或被控洁净区的面积(m2)。 采样点应均匀分布于洁净室(区)的整个面积内,并应位于工作区的高度。 3每一采样点的每次采样量应按下式确定: Vs=（20/Cn，m）x100 式中Vs------每个采样点的每次采样量,以l表示,当V很大时,可使用顺序采样法。每个采样点的最小采样时间为1min,采样量应至少为2l Cn.m------被测洁净室空气洁净度等级的被测粒径的限值(p/m3);
1.目的 规范无尘室内环境检测方法及判定作业。 2.范围 适用于公司所有无尘室的环境检测作业。 3.职责 3.1 无尘室管事部: 负责无尘室的定期检测及检测数据的统计分析,无尘室检测异常的提出。 3.2 生产部: 负责对无尘室的日常维护及保养。 3.3 机电部:负责无尘室高效及低效过滤网的更换及维修。 3.4设备部：负责无尘室的定期保养,新过滤网的请购。 4.内容 4.1 无尘室落尘检测： 4.1.1 静态检测: 生产设备安装完毕,且正常运行但无人员工作状态下检测。 4.1.2 动态检测: 生产设备安装完毕正常运行,且工作人员正常工作状态下检测。 4.2检测周期: 无尘室2次/周。作业面区域2次/周，FFU过滤网检测1次/年度，生产依据检测排查结果，开 出工程需求申请单，请购滤网进行更换。注：CCM及三星专线无尘车间为每日点检。 4.3无尘车间人数规定，按每3m2最多只能容纳1人计算；比如：100m2的车间，最多只能容纳33人, 每天进入无尘车间人员需做清点及统计，并记录于《无尘室人数点检表》中，超出空间限制人 员数量时应由无尘室管理禁止及进入。(参考国标GB 50073-2001) 。 4.4 检测方式: 4.4.1 检测时使用采样量大于1L/min的光学粒子计数器。 4.4.2测量时位于工作区的高度(距离地面高度约0.8m)处进行检测。 4.4.3测量时间最少为1min。 4.5 检测异常处理： 灰尘度检测人员对检测结果进行判定，如检测结果超出标准，无尘室管理部开出《无尘室检测异常联络单》，要求产线和相关部门进行改善，改善后再进行生产。 4.6 检测方法要求： 4.6.1参考：ISO 14644-1/2 NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom 4.6.2洁净室的测试点以不少于总面积开平方根的数量来均匀划分。（例如：1000平米车间至少需32个检测点）
NEEB测试内容 一、无尘室测试规范 有关无尘室定义、建造、控制、管理等等的国际标准，在网络上用〝contamination control〞搜寻，可以找到很多相关资料。无尘室的定义，最早是在美国联邦标准209上出现，之后日渐普及并广为半导体业与制药业接受。在欧洲与日本，随着工业的日益发展，各国的版本也逐渐出现。到了90年代后期，产业界体认到若是无共同标准，就不能实现经济的全球化，于是有ISO-14644的产生。以下说明无尘室的各种标准与规范。 1.Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美国联邦标准209E，209的出版发行，是在 1960年代，之后不断改版以因应科技进步与工业发展，版本从原始的209、209A，一直到1992年的最后一版209E。在2001年11月29日，美国正式宣布废止209E，改用ISO-14644，于是209E在书面上走入历史。但是在产业界，除了部份的欧洲公司之外，美国、日本、台湾、与中国大陆，都还沿用209E。微粒计数器的制造商，虽然都推出满足公制计数法的新机型，但是要等旧机器完全淘汰，恐怕还要很长时间，因此新规范ISO-14644还没能取代209E。 2.ISO-14644系列；美国政府为了推动经济全球化，就很大方的放弃了自己的209E，改而 推行全部使用公制的国际标准ISO-14644。14644系列有8个子题〈Part〉，称为14644-1，14644-2，一直到14644-8。整个系列涵盖了等级定义、测试与监视的规范、测试的程序方法、设计与建造、操作、以及其它的有关设备等，范围很广。有些主题已经定案，如Part 1和Part 2，有些只有初稿〈Draft〉，有些连初稿都还没有，读者可以到ISO或IEST的网站上订购。 3.JIS B9920 (1989)：日本的洁净标准，规定无尘室中浮游粒子的浓度测定方式，及洁净 度的等级定义。 4.VDI 2083 (1993)：德国的洁净标准，规定洁净度等级的定义方式，以及洁净度的量测技 术。 5.Gost-R 50766 (1995)：俄国的洁净标准，定义无尘室的分类与一般需求。 以上是无尘室等级规定，与洁净度量测的相关标准。另外有关无尘室污染控制〈也就是洁净度控制〉，和环境控制〈如温湿度、震动噪音等〉，也有一些重要的测试规范，因为这些环境影响因素，都包含在无尘室性能测试的范围之内。 1.IEST-RP-CC-006.2：这本有名的测试规范，目的就是为了补209的不足。209只有微粒 量测，006 包括了风速风量、滤网泄漏、洁净度、温湿度、平行度、恢复率、粒子沉降测试、照度等。006 的第一版称为006-84-T，006.2是第二版。现在由于 NEBB 的兴起，0062已经功成身退，逐渐消失了。 2.NEBB 无尘室测试规范第二版：这是目前最广为流行的测试规范，提到无尘室认证，就非 NEBB 莫属。NEBB 无尘室测试规范，可说是IEST-0062的改良版，其测试涵盖范围差不多，但是测试程序更为清楚严谨，仪器使用也有详细规定。因此 NEBB 无尘室测试规范的出现，解决了不少测试的争议，也因此 NEBB 无尘室测试规范成功的成为产业标准。 3.ISO-14698 系列：14698 有 Part 1、Part 2、Part 3 三个子题，是有关无尘室里面生
洁净室检测大全 洁净室检测之洁净度检测 、洁净室洁净度说明 洁净度检测是无尘室性能测试的核心，气流测试、压力测试，与泄漏测试，都只在确认无尘室的洁净度不受外来影响，因此洁净度测试都放在前述几项测试都通过之后。洁净度测试完毕，与落尘有关的性能因素就都测试完毕，其它测试对洁净度影响不大，或是属于其它环境测试。 、洁净室洁净度检测仪器 洁净度检测使用微粒计数器，仪器须经校正合格且仍在有效期限内，交附报告时须附合格之校正文件。微粒计数器有不同规格，最常见的是流量1cfm，最小粒径可测到0.3mm或是0.1mm，单位多是立方英呎。至于应使用何种设备，要依业主的规范而定。一般在产业界，多依以下方式选择微粒计数器。 Class 1000或更高：0.5 卩m Class 100: 0.3 !i m，0.5um Class 1 到Class 10: 0.1 卩m 若是业主要求的粒径范围超过单一微粒计数器的范围，则应该使用两部微粒计数器。目前市面上少见立方公尺的微粒计数器，因此若是无尘室的洁净度是以ISO为基准，则要把结果作换算。单位换算，不影响上限的计算程序。 三、洁净室洁净度检测步骤： (1) 确定空调系统之测试调整与平衡已完成，滤网之风速及泄漏测试均已完成，并已修换破损部分。 (2) 确认测试位置与测试点数。 (3) 取样时间：每点的取样时间依照等级与粒径不同而异，若取样时间小于一分钟，则以一分钟为准。 (4) 测试位置应均匀分布在无尘室内，避免在产生大量粒子之附近，且将检测仪器以适当之架台支撑，不可以手持支撑。 ⑸测量点数以公式计算(与209E相同)。 四、洁净室洁净度检测验收标准:
不知道有多少人知道无尘室，除非是长期接触的，不然是很难有所了解的。为了解开大家的疑惑，下面就看看其具体是怎么样的吧。 1、风速风量换气次数 无尘室的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气，以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此，测定无尘室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。 单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此，其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物，因此是主要关注的检测项目。 非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此，换气次数越大，气流流型合理，稀释效果越显著，洁净度也相应提高。所以非单相流无尘室、洁净区的送风量及相应的换气次数，是主要关注的气流测试项目。为了获得可重复的读数，记录各测点风速的时间平均值。 换气次数：根据无尘室总风量除以无尘室的容积求得。 2、温湿度
无尘室或洁净设施温、湿度测定，通常分为两个档次：一般测试和综合测试。第一个档次适用于处于空态的交竣验收测试，第二个档次适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。 本检测在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行。进行这项检测时，空调系统已经充分运转，各项状况已经稳定。每个湿度控制区至少设置一个湿度传感器，并且给传感器充分的稳定时间。所做测量应适合实际使用的目的，待传感器稳定之后才开始测量，测量时间不少于5分钟。 3、压差 这项检测的目的是验证完工设施与周围环境之间、设施内各空间之间保持规定压差的能力，适用于所有3种占用状态。需要定期进行这项检测。压差的测试应在所有的门都关闭的条件下，由高压向低压、由平面布置上与外界远的里间房间开始，依次向外测试；有孔洞相通的不同等级相邻的无尘室（区），其洞口处宜有合理的气流流向等等。 看到这里，大家应该有了一个粗浅的了解了吧，感兴趣要想深入了解的可以找专业网站或是公司了解详情。 杭州克林埃尔检测技术有限公司是一家行业独立商检机构，具有独立法人地位和第三方实验室地位。为国内净化厂房和设备提供第三方检测、调试和咨询服
无尘室工程洁净度的检测方法 在对无尘室进行洁净度检测时，尽管规定了空气的最小采样量，但在实际工作中，我们应在保证最小采样量前提条件下，根据已有的检测设备，尽量采用大流量的尘埃粒子计数器。 1、检测仪器的选用 对无尘室内的洁净度的测量，可以采用净化工程光散射粒子计数器、凝结核粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜，但目前用得最多的为光散射粒子计数器。由于此种粒子计数器在使用中可以对室内空气的含尘量进行自动、连续、及时地对应测量，并且可以直接显示瞬时的含尘浓度，也可以对不同粒径的含尘浓度进行测量，使用简单、方便、及时、灵活。计数器大体上可分这两种类型：一种是
照射系统光轴与检测系统光轴交叉布置的侧向散射型;另一种是两光轴布置在同一直线上的前向散射型。 2、无尘室洁净度检测时，使用光散射粒子计数器的取样量 关于尘埃粒子计数器检测时的空气取样量，在国标GBJ73-84中规定：对于100级的无尘车间，每次取样量应大于或等于1L，对于1000~10000级的无尘车间，每次取样量应大于或等于0.3L，对于10000级的无尘车间，每次取样量应大于或等于0.1L。 对于100级无尘车间，宜采用大流量粒子计数器进行测试。如果不具备，也应采用每次采样量不小于1L的粒子计数器。 在对无尘室进行洁净度检测时，尽管规定了空气的最小采样量，但在实际工作中，我们应在保证最小采样量前提条件下，根据已有的检测设备，尽量采用大流量的尘埃粒子计数器。 3、检测点的布置 根据中华人民共和国国家标准GBJ73-84《洁净厂房设计规范》的规定：在对无尘车间进行洁净度检测时，检测点应为距室内地坪1.00m的水平面内;对于单向流型无尘车间测点总数应不小于20点，测点间距为0.5-2.0m。水平单向流测点仅布置在第一无尘车间工作区内;非单向流无尘车间按无尘车间面积小于或等于50m2布置5个测点。 4、关于等动力采样的问题 所谓等动力采样就是在检测时，粒子的计数器的采样管的入口方向与被采样的单向气流方向相一致，而且空气进入取样管入口的平均速度与该位置单向气流的平均速度相同。 因为对无尘室的检测我们主要关心两种粒径，即0.5um和5um。非等动力采样对于≤0.5um的粒子影响不大。如果取样空气用于计算大于或等于0.5um的粒径浓度，如果这些粒子不受非等动力条件的影响，则计算结果也不受影响。因此，无尘室区域内的非等动力取样仅对大于或等于0.5um粒子才有意义。