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光学传递函数的测量实验

光学传递函数的测量实验
光学传递函数的测量实验

实验二 光学传递函数测量和透镜像质评价

一. 实验目的

1. 了解光学镜头传递函数测量的基本原理;

2. 掌握传递函数测量和光学系统成像品质评价的近似方法

3. 学习抽样、平均和统计算法。

二. 主要仪器及设备

1. 导轨,滑块,调节支座,支杆,可调自定心透镜夹持器,干板夹;

2. 多用途三色LED 面光源;

3. 波形发生器,待测双凸透镜(Φ30,f120),待测双胶合透镜(Φ30,f90);

4. CCD 及其稳压电源,CCD 光阑;

5. 图像采集卡及其与CCD 连线,微机及相应软件。

三. 实验原理

光学传递函数(Optical transfer function, OTF )表征光学系统对物体或图像中不同空间频率的信息成分的传递特性,广泛用于对光学成像系统成像质量的评价。

信息光学的理论分析表明光学成像过程可以近似作为线性空间平移不变系统来处理,从而可以在频域中讨论光学系统的响应特性。任何二维物体(或图像)都可以分解成一系列x 方向和y 方向的不同空间频率()简谐函数(物理上表示正弦光栅)的线性叠加:

),(o o o y x f v u ,[,)(2exp ),(),(dudv vy ux

i v u F y x f o o

o

o o o +=

∫∫∞∞?∞

?π] (1)

式中为的傅里叶谱,它正是物体所包含的空间频率()的成分含量,其中低频成分表示缓慢变化的背景和大的物体轮廓,高频成分则表征物体的细节。

),(v u F o ),(y x f o v u ,当该物体经过光学系统后,各个不同频率的正弦信号发生两个变化:首先是调制度(或反差度)下降,其次是相位发生变化,这一综合过程可表示为

),(),(),(v u F v u H v u F o i ×=, (2)

式中表示像的傅里叶谱。称为光学传递函数,是一个复函数,它的模为调制

),(v u F i ),(v u H

度传递函数(Modulation transfer function, MTF ),相位部分则为相位传递函数(Phase transfer function, PTF )。显然,当H =1时,表示像和物完全一致,即成像过程完全保真,像包含了物的全部信息,没有失真, 光学系统成完善像。

由于光波在光学系统孔径光栏上的衍射以及像差(包括设计中的余留像差及加工、装调中的误差),信息在传递过程中不可避免要出现失真,总的来讲,空间频率越高,传递性能越差。

对像的傅里叶谱再作一次逆变换,就得到象的分布:

),(v u F i ∫∫∞∞?∞

?+=

dudv vy ux

i v u F y x f i i

i

i i i )](2exp[),(),(π, (3)

调制度m 定义为

Min

Max Min

Max A A A A m +?=

, (4)

式中A max 和A min 分别表示光强的极大值和极小值。

光学系统的调制传递函数可表示为给定空间频率下像和物的调制度之比:

)

,()

,(),(v u m v u m v u MTF o i =

, (5)

除零频以外,MTF 的值永远小于1。MTF()表示在传递过程中调制度的变化,一般说MTF 越高,系统的像越清晰。平时所说的光学传递函数往往是指调制度传递函数MTF 。图1给出一个光学镜头的设计MTF 曲线,不同视场的MTF 不相同。

v u ,在生产检验中,为了提高效率,通常采用如下近似处理:(1)使用某几个甚至某一个空间频率下的MTF 来评价像质,(2)由于正弦光栅较难制作,常常用矩形光栅作为目标物。

本实验用CCD 对矩形光栅的象进行抽样处理,测定象的归一化的调制度,并观察离焦对MTF 的影响。该装置实际上是数字式MTF 仪的模型。

一个给定空间频率下的满幅调制(调制度m =1)的矩形光栅目标物如图2(a)所示。如果光学系统生成完善像,则抽样的结果只有0和1两个数据,像仍为矩形光栅,如图2(b)所示。在软件中对像进行抽样统计,其直方图为一对δ函数,位于0和1,如图2(c)所示。

如上所述,由于衍射及光学系统像差的共同效应,实际光学系统的像不再是矩形光栅,如图3(a)所示,波形的最大值A max 和最小值A min 的差代表像的调制度。对图3(a)所示图形实施抽样处理,其直方图见图3(b)。找出直方图高端的极大值m H 和低端极大值m L ,它们的差m H - m L 近似代表在该空间频率下的调制传递函数MTF 的值。为了比较全面地评价像质,不但要测量出高、中、低不同频率下的MTF ,从而大体给出MTF 曲线,还应测定不同视场下的MTF 曲线。

图1.光学传递函数(不同曲线对应于不同视场)

图2 (a) 满幅调制(调制度m =1)的矩形光栅目标函数,(b) 对矩形光栅的完善像进行抽样(样点用”+”表示),(c)直方图统计。

(a )

(c)

(b)

A

min 图3(a)对矩形光栅的不完善像进行抽样(样点用”+”表示 图3(b)直方统计图.

. 实验装置、内容、步骤及数据处理

。光源为三色LED 面光源,通过后面板上的转换开关可在三种颜色);

m L

m H

四(一) 实验装置

实验装置如图4所示之间切换,三种颜色的波长分别为:红650r λ=nm ,绿532g λ=nm ,蓝473b λ=nm ;光源前面板有一个可调光阑,可用以调节进入系统光能的大小;上部有一个偏振片调节旋钮,用于调节光强。光源通过滑块上的锁紧螺钉固定。

图4 实验装置

待测透镜

形发生器用于输入不同空间频率的图像,

它上面有多组相同的图像组成,每一组图像中分四底部的滑块可前后移动,位置确定后可通过滑块

图5 波形发生器中的图像

波个区域,如图5所示。每一区域包括:同一空间频率的水平(弧矢方向)和竖直(子午方向)矩形光栅各一个,均匀透光部分和不透光部分。其中 (a )、(b )、(c )和(d )四个区域中矩形光栅的空间频率分别为15线/mm 、25线/mm 、50线/mm 和80线/mm 。图中白色表示透光,黑色表示不透光。波形发生器放置在干板夹上,通过干板夹底部的滑块可前后移动,位置确定后可通过滑块上的锁紧螺钉固定。

待测透镜夹持在自定心透镜夹上,通过透镜夹上的锁紧螺钉固定。实验中待测透镜有两个,一个为单透镜(12030f φ),编号为#1;9030f 另一个为双胶合透镜(φ),编号为#2。

输入图上的图像)通过带测透镜所成的像,通过支

CCD 相机用于接受像(波形发生器

架底部和2号透镜对不同波长(红的滑块可前后移动,位置确定后可通过滑块上的锁紧螺钉固定。CCD 相机与微机连接,微机中有相应的图像采集和数据处理程序。

(二) 实验内容

650r λ=nm ,绿532g λ=分别测量1号透镜nm ,蓝

473b λ=nm )、在两种空间频率(15线/mm 和25线/m 的调制传递函数(。

将测量结表1:两种透镜在不同光波长、不同空进频率下MTF 的测量值

m )下MTF )值果填入下表。通过实验测量结果,比较两个透镜的成像质量,并解释说明二者成像质量有差别的原因。

红650nm

绿532nm 蓝473nm 透镜序号 空间频率 弧矢 15线/mm 子午 弧矢 #1透镜

15线/mm

子午 弧矢 15线/mm 子午 弧矢 #2透镜

15线/mm

子午

三) 实验步骤

首先将光源调整到一个适当高度,并使其出射光方向沿导轨轴线方向;和CCD 相机的电源。开启微机。从微机桌面上可以看到“图像采集”板夹上,调节其高度,使其与光源出射口等高。 ((1)光路共轴调节:取下CCD 相机前端的保护盖,安上CCD 光阑(用于遮蔽其它杂散光,保证采集图像的衬比度),将CCD 移近光源,尽量使之与光源等高,然后移到导轨末端;再将透镜夹移近光源,使之中心尽量与光源等高后,移开与光源相距一定距离;然后将干板夹放置在光源与透镜夹之间(靠近光源)。

(2)打开微机、光源图标和“Mcad ”文件夹。双击“图像采集”图标进入图像实时采集窗口。此时CCD 和微机处于图像实时采集状态。

(3)将波形发生器夹在干(4)将#1待测透镜夹在透镜夹上。

(5)关闭室内灯光,拉上窗帘。通过滑块前后调节透镜和CCD 相机(调节物、像距),并适,采集窗口中会出现一个红色矩形框;用鼠5中的(b )区域的图像充满图像采集窗口的大部分区域并成像6)和第(7)步。文件名中的第一个完毕,共得到12组共48幅图像。文件名中的第一个字母表示透镜类型,s 表示Mcad ”软件。从桌面打开“Mcad ”文件夹,运行“MTF-NEW ”程序,程序法如下:把已保存的每一组四个图像数据文件“**w**”

、“**b**”、“**自动完成,会看到彩色化的灰度分布图,抽样直方图,子午和

当调节波形发生器的高低左右,使图5中的(a )区域的图像充满图像采集窗口的大部分区域并成像最清晰。调节完毕后锁紧滑块上的螺钉。

(6)采集图像:(a )将光源调到红光;按空格键标把它拖至子午图案上双击,弹出图像保存窗口;将图像以文件名“srh15”保存到“桌面\Mcad\”路径下。用鼠标分别把矩形红框拖至弧矢图案、透光图案(均匀白区域)和不透光图案(均匀黑区域)上双击,分别以文件名“srv15”、“srw15”、“srb15”保存到同样的路径下。(b )再按一次空格键,红色矩形框消失,采集软件又回到实时采集状态。(c )将光源调到绿光,重复(a )和(b )两步,此时保存的文件名应为:“sgh15”、“sgv15”、“sgw15”、“sgb15”。(d )将光源调到蓝光,重复(a )和(b )两步,此时保存的文件名应为:“sbh15”、“sbv15”、“sbw15”、“sbb15”。

(7)调节波形发生器,使图最清晰。重复第(6)步。文件名中的数字改为25。

(8)将#2待测透镜夹在透镜夹上。重复第(5)、第(字母改为d 。

至此,图像采集单透镜,d 表示双胶合透镜;文件名中的第二个字母表示光的颜色,红、绿、蓝分别用r 、g 、b 表示;文件名中的第三个字母表示所保存的图像是弧矢图案、子午图案、透光区域、还是不透光区域,h 表示弧矢,v 表示子午,w 表示透光(白),b 表示不透光(黑);文件名中的数字表示空间频率值。这样取文件名并不是必须的,只是为了记录方便。 (四) 数据处理

数据处理采用“运行后,窗口的左侧是读取图像文件、运算公式、绘图和处理结果,窗口的右侧是有关程序和变量的说明。

图像数据读取的方h**”和“**v**”分别写入程序中White 、Black 、Row 和Column 对应行的括号内。注意:应把保存的文件名写完整(包括文件名,和自动生成的大小格式,还有后缀),若输入不正确,则字符以红色显示。

输入完成后,数据处理会

弧矢附注

较低的空间频率,普通正单透镜的MTF 值在0.35左右,双胶合透镜在0.5左右,经过室内进行,杂散光对成像质量和测量结果有影响;此外,系统中各光学元件的栅偏差较大,如图传函曲线,以及MTF 值。将每一种情况下的MTF 值记录下来,填入表一。实验结束后,根据数据进行分析比较,给出分析结论。

对于合理设计组合的成像透镜组在0.8左右,优质照相机镜头在0.95左右。同样,透镜孔径的大小也影响成像质量,相对孔径越大、像差校正越好,成像质量越好。孔径小的透镜会有明显的衍射斑。

本实验应在暗同轴度也会影响成像质量和测量结果。本实验的主旨是让学生了解光学检测的重要仪器——传函仪的基本工作原理和数据处理手段。实际应用中的传函仪相当昂贵。

波形发生器中的光栅图案是矩形光栅,成像后实际观察到的图像已与矩形光6所示,频率越高,偏差失真越大。这是由于成像透镜孔径有限(造成高频信息丢失)、透镜本身像差及光路调整等方面的原因。

图6

考文献

odman. Introduction to Foufier optics, McGRAW-HILL, New York, 1968. r 32, 参(1) J.W. Go (2) G .W. Boreman, Transfer function techniques, in Handbook of Optics, vol. II, Chapte (3) M. Bass, E.W. Van Stryland, D.R. Williams, W.L. Wolfe Eds, McGRAW-HILL, 1995. (4) 苏显渝,李继陶,信息光学. 北京:科学出版社,1999.

光学干涉测量技术

光学干涉测量技术 ——干涉原理及双频激光干涉 1、干涉测量技术 干涉测量技术和干涉仪在光学测量中占有重要地位。干涉测量技术是以光波干涉原理为基础进行测量的一门技术。相干光波在干涉场中产生亮、暗交替的干涉条纹,通过分析处理干涉条纹获取被测量的有关信息。 当两束光亮度满足频率相同,振动方向相同以及相位差恒定的条件,两束光就会产生干涉现象,在干涉场中任一点的合成光强为: 122I I I πλ=++ 式中△是两束光到达某点的光程差。明暗干涉条纹出现的条件如下。 相长干涉(明): min 12I I I I ==+ ( m λ=) 相消干涉(暗): min 12I I I I ==+-, (12m λ? ?=+ ??? ) 当把被测量引入干涉仪的一支光路中,干涉仪的光程差则发生变化。通过测量干涉条纹的变化量,即可以获得与介质折射率和几何路程有关的各种物理量和几何量。 按光波分光的方法,干涉仪有分振幅式和分波阵面式两类。按相干光束传播路径,干涉仪可分为共程干涉和非共程干涉两种。按用途又可将干涉仪分为两类,一类是通过测量被测面与参考标准波面产生的干涉条纹分布及其变形量,进而求得试样表面微观几何形状、场密度分布和光学系统波像差等,即所谓静态干涉;另一类是通过测量干涉场上指定点干涉条纹的移动或光程差的变化量,进而求得试样的尺寸大小、位移量等,即所谓动态干涉。 下图是通过分波面法和分振幅法获得相干光的途径示意图。光学测量常用的是分振幅式等厚测量技术。 图一 普通光源获得相干光的途径 与一般光学成像测量技术相比,干涉测量具有大量程、高灵敏度、高精度等特点。干涉测量应用范围十分广泛,可用于位移、长度、角度、面形、介质折射率的变化及振动等方面的测量。在测量技术中,常用的干涉仪有迈克尔逊干涉仪(图二)、马赫-泽德干涉仪、菲索

光学传递函数的测量实验报告

实验四 光学传递函数测量和透镜像质评价 一. 实验目的 1. 了解光学镜头传递函数测量的基本原理; 2. 掌握传递函数测量和光学系统成像品质评价的近似方法 3. 学习抽样、平均和统计算法。 二. 主要仪器及设备 1. 导轨,滑块,调节支座,支杆,可调自定心透镜夹持器,干板夹; 2. 多用途三色LED 面光源; 3. 波形发生器,待测双凸透镜(Φ30,f120),待测双胶合透镜(Φ30,f90); 4. CCD 及其稳压电源,CCD 光阑; 5. 图像采集卡及其与CCD 连线,微机及相应软件。 三. 实验原理 傅里叶光学证明了光学成像过程可以近似作为线形空间中的不变系统来处理,从而可以在频域中讨论光学系统的响应特性。任何二维物体ψo (x , y )都可以分解成一系列x 方向和y 方向的不同空间频率 (νx ,νy )简谐函数(物理上表示正弦光栅)的线性叠加: 式中ψo (νx ,νy )为ψo (x , y )的傅里叶谱,它正是物体所包含的空间频 率(νx ,νy )的成分含量,其中低频成分表示缓慢变化的背景和大的物体轮廓,高频成分则表征物体的细节。 当该物体经过光学系统后,各个不同频率的正弦信号发生两个变化:首先是调制度(或反差度)下降,其次是相位发生变化,这一综合过程可表为 []) 1(,)(2exp ),(),(o o y x y x y x d d y x i Ψy x ννννπννψ+= ??∞∞-∞ ∞-) 2(),,(),(),(o i y x y x y x ΨH Ψνννννν?=

)4( , min max min max A A A A m + - = [] y x y x y x d d i Ψν ν η ν ξ ν π ν ν η ξ ψ) ( 2 exp ) , ( ) , ( i i + =?? ∞ ∞ - ∞ ∞ - 式中ψi(νx,νy)表示像的傅里叶谱。H(νx,νy)称为光学传递函数,是一个复函数,它的模为调制度传递函数(modulation transfer function, MTF),相位部分则为相位传递函数(phase transfer function, PTF)。显然,当H=1时,表示像和物完全一致,即成像过程完全保真,像包含了物的全部信息,没有失真,光学系统成完善像。 由于光波在光学系统孔径光栏上的衍射以及像差(包括设计中的余留像差及加工、装调中的误差),信息在传递过程中不可避免要出现失真,总的来讲,空间频率越高,传递性能越差。 对像的傅里叶谱ψi(νx,νy)再作一次逆变换,就得到像的复振幅分布: (3) 调制度m定义为 式中A max和A min分别表示光强的极大值和极小值。光学系统的调制传递函数可表为给定空间频率下像和物的调制度之比: 除零频以外,MTF的值永远小于1。MTF(νx,νy)表示在传递过程中调制度的变化,一般说MTF越高,系统的像越清晰。平时所说的光学传递函数往往是指调制度传递函数MTF。图1给出一个光学镜头的设计MTF 曲线,不同视场的MTF不相同。 在生产检验中,为了提高效率,通常采用如下近似处理: 图1.光学传递函数(不同曲线对应于不同视场) )5( , ) , ( ) , ( ) , ( MTF o i y x y x y x m m ν ν ν ν ν ν=

互换性与技术测量实验报告

实验一量块的使用 一、实验目的 1、能正确进行量块组合,并掌握量块的正确使用方法; 2、加深对量值传递系统的理解; 3、进一步理解不同等级量块的区别; 二、实验仪器设备 量块;千分表;测量平板;千分尺校正棒。 三、实验原理 1量块的测量平面十分光洁和平整,当用力推合两块量块使它们的测量平面互相紧密接触时,两块量块便能粘合在一起,量块的这种特性称为研合性。利用量块的研合性,就可以把各种尺寸不同的量块组合成量块组。 四、实验内容与步骤 (一)实验内容 采用合理的量块组合,测量千分尺校正棒。 (二)实验步骤 1 用千分表测量千分尺校正棒 2 据所需要的测量尺寸,自量块盒中挑选出最少块数的量块。(每一个尺寸所拼凑的量块数目不得超过 4~5 块,因为量块本身也具有一定程度的误差,量块的块数越多,便会积累成较大的误差。) 3量块使用时应研合,将量块沿着它的测量面的长度反向,先将端缘部分测量面接触,使初步产生粘合力,然后将任一量块沿着另一个量块的测量面按平行方向推滑前进,最后达到两测量面彼此全部

研合在一起。 4正常情况下,在研合过程中,手指能感到研合力,两量块不必用力就能贴附在一起。如研合立力不大,可在推进研合时稍加一些力使其研合。推合时用力要适当,不得使用强力特别在使用小尺寸的量块时更应该注意,以免使量块扭弯和变形。 5如果量块的研合性不好,以致研合有困难时,可以将任意一量块的测量面上滴一点汽油,使量块测量面上沾有一层油膜,来加强它的黏结力,但不可使用汗手擦拭量块测量面,量块使用完毕后应立即用煤油清洗。 6量块研合的顺序是:先将小尺寸量块研合,再将研合好的量块与中等尺寸量块研合,最后与大尺寸量块研合。 7. 记录数据; 六思考题 量块按“等”测量与按“级”测量哪个精度比较高?

光学传递函数的测量和像质评价

光学传递函数的测量和像质评价 引言 光学传递函数是表征光学系统对不同空间频率的目标函数的传递性能,是评价光学系统的指标之一。它将傅里叶变换这种数学工具引入应用光学领域,从而使像质评价有了数学依据。由此人们可以把物体成像看作光能量在像平面上的再分配,也可以把光学系统看成对空间频率的低通滤波器,并通过频谱分析对光学系统的成像质量进行评价。到现在为止,光学传递函数成为了像质评价的一种主要方法。 一、实验目的 了解光学镜头传递函数的基本测量原理,掌握传递函数测量和成像品质评价的近似方法,学习抽样、平均和统计算法,熟悉光学软件的应用。 二、基本原理 光学系统在一定条件下可以近似看作线性空间中的不变系统,因此我们可以在空间频率域来讨论光学系统的响应特性。其基本的数学原理就是傅里叶变换和逆变换,即: dxdy y x i y x )](2exp[,ηξπψηξψ+-=??) (),( (1) ηξηξπηξψψd d y x i y x )](2exp[),(),(+=?? (2) 式中),(ηξψ是),(y x ψ的傅里叶频谱,是物体所包含的空间频率),(ηξ的成分含量,低频成分表示缓慢变化的背景和大的轮廓,高频成分表示物体细节,积分范围是全空间或者是有光通过空间范围。 当物体经过光学系统后,各个不同频率的正弦信号发生两个变化:首先是调制度(或反差度)下降,其次是相位发生变化,这一综合过程可表为 ),(),(),(ηξηξψηξφH ?= (3) 式中),(ηξφ表示像的傅里叶频谱。),(ηξH 成为光学传递函数,是一个复函数,它的模为调制度传递函数(modulation transfer function, MTF ),相位部分则为相位传递函数(phase transfer function, PTF )。显然,当H =1时,表示象和物完全一致,即成象过程完全保真,象包含了物的全部信息,没有失真,光学系统成完善象。由于光波在光学系统孔径光栏上的衍射以及象差(包括设计中的余留象差及加工、装调中的误差),信息在传递过程中不可避免要出现失真,总的来讲,空间频率越高,传递性能越差。要得到像的复振幅分布,只需要将像的傅里叶频谱作一次逆傅里叶变换即可。 在光学中,调制度定义为 min max min max I I I I m +-= (4) 式中max I 、min I 表示光强的极大值和极小值。光学系统的调制传递函数可表为给定空间频率

光学测量技术详解

光学测量技术详解(图文) 光学测量是生产制造过程中质量控制环节上重要的一步。它包括通过操作者的观察进行的快速、主观性的检测,也包括通过测量仪器进行的自动定量检测。光学测量既可以在线下进行,即将工件从生产线上取下送到检测台进行测量;还可以在线进行,即工件无须离开产线;此外,工件还可以在生产线旁接受检测,完成后可以迅速返回生产线。 人的眼睛其实就是一台光学检测仪器;它可以处理通过晶状体映射到视网膜上的图像。当物体靠近眼球时,物体的尺寸感觉上会增加,这是因为图像在视网膜上覆盖的“光感器”数量增加了。在某一个位置,图像达到最大,此时再将物体移近时,图像就会失焦而变得模糊。这个距离通常为10英寸(250毫米)。在这个位置上,图像分辨率大约为0.004英寸(100微米)。举例来说,当你看两根头发时,只有靠得很近时才能发现它们之间是有空隙的。如果想进一步分辨更加清楚的细节的话,则需要进行额外的放大处理。 本部分设定了隐藏,您已回复过了,以下是隐藏的内容 人的眼睛其实就是一台光学检测仪器;它可以处理通过晶状体映射到视网膜上的图像。本图显示了人眼成 像的原理图。 人眼之外的测量系统 光学测量是对肉眼直接观察获得的简单视觉检测的强化处理,因为通过光学透镜来改进或放大物体的图像,可以对物体的某些特征或属性做出准确的评估。大多数的光学测量都是定性的,也就是说操作者对放大的图像做出主观性的判断。光学测量也可以是定量的,这时图像通过成像仪器生成,所获取的图像数据再用于分析。在这种情况下,光学检测其实是一种测量技术,因为它提供了量化的图像测量方式。 无任何仪器辅助的肉眼测量通常称为视觉检测。当采用光学镜头或镜头系统时,视觉检测就变成了光学测量。光学测量系统和技术有许多不同的种类,但是基本原理和结构大致相同。

光学传递函数测试仪的现状和发展趋势

文章编号!"##$%$&’#()##’*#$%##+,%#$ 光学传递函数测试仪的现状和发展趋势- 樊翔.倪旭翔 (浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心.浙江杭州’"##)/* 摘要!光学传递函数被公认为目前评价光学系统成像质量比较客观0有效的方法1给出光学传递函数的基本理论.介绍了目前国内外主要光学传递函数测试仪的数学模型0测试 原理0基本结构和主要性能.并阐述了今后光学传递函数测试仪的发展趋势1 关键词!光学传递函数2测试仪2现状2发展趋势 中图分类号!34/+文献标识码!5 67898:;9;<;=9<:>>8?8@A B C8:;;78:>A D E F G;89;H:IH:9;7=C8:; J5K L M N O P.KQ L R S T M N O P (U V W X UY Z[\]^_‘a b c d e^[f g h d^.i j h k_a d lm d_n h[e_^o.p a d l q j Z f’"##)/.U j_d a* r s9;79!\u v2^h e^_d l_d e^[f g h d^2][h e h d^e^a^f e2z h n h b Z]g h d^^[h d z "引言 光学系统成像质量的评价.一直是应用光学领域中众所瞩目的问题1所谓成像质量.主要是像与物之间在不考虑放大率情况下的强度和色度的空间分布的一致性1为了能准确评价光学系统的成像质量.人们研究了许多种检验方法.如!几何像差检验0鉴别率检验0星点检验1但这些检验方法都各有自己的适用范围和局限性1 近代光学理论的发展.证明了光学系统可以有效地看作一个空间频率的滤波器.而它的成像特性和像质评价则可以用物像之间的频谱之比来表示.这个对比特性就是所谓的光学传递函数1用光学传递函数来评价光学系统的成像质量是前面方法的发展1它是基于把物体看作是由各种频率的谱组成的.也就是把物体的光场分布函数展开成傅里叶级数(物函数为周期函数*或傅里叶积分(物函数为非周期函数*的形式1因此光学传递函数反映了光学系统的频率特性.它既与光学系统的像差有关.又与系统的衍射效果有关.并且以一个函数的形式定量地表示星点所提供的大量像质信息.同时也包括了鉴别率所表示的像质信息1因此光学传递函数被公认为目前评价光学系统成像质量比较客观0有效的方法1  万方数据 -收稿日期!)##’S#+S)$ 作者简介!樊翔("#//S*.男.江西南昌人.硕士生.主要从事光学测量仪器方面的研发1

《互换性与技术测量》实验指导书(三个实验,前两个必做,最后一个演示和选做)

实验一直线度误差的测量 一、实验目的 掌握按“节距法”测量直线度误差的方法。 二、测量原理及数据处理 对于很小表面的直线度误差的测量常按“节距法”,应是将被测平面分为若干段,用小角度度量仪(水平仪、自准直仪)测出各段对水平线的倾斜角度,然后通过计算或图解来求得轮廓线的直线度误差。本实验用合像水平仪。 具体测量方法如下: 将被测表面全长分为n段,每段长l=L/N应是桥板的跨距。将桥板置于第一段,桥板的两支承点放在分段点处,并把水平仪放在桥板上,使两者相对固定(用橡皮泥粘住)记下读数a1(单位为格)。然后将桥板沿放测表面移动,逐段测量下去,直至最后一段(第n段)。如图1每次移l,并要使支承点首尾相接,记下每段读数(单位为格)a1、a2、……a n。最后按下列步骤(见例)列表计算出各测量点对两端点连线的直线度偏差Δh i,并取最大负偏差的绝对值之和作为所求之直线度误差。 [例]设有一机床导轨,长2米(L=2000mm),采用桥板跨距l=250mm,用分度值c=0.02mm/m的水平仪,按节距法测得各点的读数a i(格)如表1。 表1

也可用作图法求出直线度误差,如图2。 作图法是在坐标纸上,以导轨长度为微坐标,各点读数累积为纵坐标,将测量得到的各点读数累积后标在坐标上,并将这些坐标点连成折线,以两端点连线作为评定基准,取最大正偏差与最大负偏差的绝对值之和,再换算为线值(μ),即为所求之直线度误差。 测量导轨直线度误差时,数据处理的根据,可由下图看出:(图3) A i — 导轨实际轮廓上的被测量点(i =0、1、2、……、n ); a i — 各段上水平仪的读数(格); Y i — 前后两测量点(i -1,i )的高度差; h i — 各测点(A i )到水平线(通过首点A 0)的距离(μ),显然 1 'i n i i h y == ∑

数字式光学传递函数测量和透镜象质评价

实验八 数字式光学传递函数的测量和像质评价实验 1.实验目的 了解光学镜头传递函数测量的基本原理; 掌握传递函数测量和成像品质评价的近似方法; 学习抽样、平均和统计算法。 2. 基本原理 光学传递函数(Optical transfer function, OTF )表征光学系统对不同空间频率目标的传递性能,广泛用于对系统成像质量的评价。 傅里叶光学证明了光学成像过程可以近似作为线形空间中的不变系统来处理,从而可以在频域中讨论光学系统的响应特性。任何二维物体ψo (x , y )都可以分解成一系列x 方向和y 方向的不同空间频率(f x ,f y )简谐函数(物理上表示正弦光栅)的线性叠加: o o (,)(,)exp 2(),(1)x y x y x y x y f f i f x f y df df ψπ∞∞ -∞-∞??= Φ+???? 式中Φo (f x ,f y )为ψo (x , y )的傅里叶谱,它正是物体所包含的空间频率(f x ,f y )的成分含量,其中低频成分表示缓慢变化的背景和大的物体轮廓,高频成分则表征物体的细节。 当该物体经过光学系统后,各个不同频率的正弦信号发生两个变化:首先是调制度(或反差度)下降,其次是相位发生变化,这一综合过程可表为 i o (,)(,)(,),(2)x y x y x y f f H f f f f Φ=?Φ 式中Φi (f x ,f y )表示像的傅里叶谱。H (f x ,f y )称为光学传递函数,是一个复函数,它的模为调制度传递函数(modulation transfer function, MTF ),相位部分则为相位传递函数(phase transfer function, PTF )。显然,当H =1时,表示像和物完全一致,即成像过程完全保真,像包含了物的全部信息,没有失真,光学系统成完善像。 由于光波在光学系统孔径光栏上的衍射以及像差(包括设计中的余留像差及加工、装调中的误差),信息在传递过程中不可避免要出现失真,总的来讲,空间频率越高,传递性能越差。 对像的傅里叶谱Φi (f x ,f y )再作一次逆变换,就得到像的复振幅分布:

互换性与技术测量实验指导书.

互换性实验指导书 机械工程学院

实验一量块的使用 一、实验目的 1、能正确进行量块组合,并掌握量块的正确使用方法; 2、加深对量值传递系统的理解; 3、进一步理解不同等级量块的区别; 二、实验仪器设备 量块;千分表;测量平板;被测件。 三、实验原理 量块的测量平面十分光洁和平整,当用力推合两块量块使它们的测量平面互相紧密接触时,两块量块便能粘合在一起,量块的这种特性称为研合性。利用量块的研合性,就可以把各种尺寸不同的量块组合成量块组。 四、实验内容与步骤 (一)实验内容 采用合理的量块组合,测量被测零件尺寸高度。 (二)实验步骤 1.用游标卡尺测量被测件 2.据所需要的测量尺寸,自量块盒中挑选出最少块数的量块。(每一个尺寸所拼凑的量块数目不得超过 4块,因为量块本身也具有一定程度的误差,量块的块数越多,便会积累成较大的误差。) 3.量块使用时应研合,将量块沿着它的测量面的长度反向,先将端缘部分测量面接触,使初步产生粘合力,然后将任一量块沿着另一个量块的测量面按平行方向推滑前进,最后达到两测量面彼此全部研合在一起。

4.将研合后的量块与被测件同时放到测量平板上,在测量平板上移动指示表的测量架,使指示表的测头与量块上工作表面相接触,转动指示表的刻度盘,调整指示表示值零位。 5.抬起指示表测头,将被测件放在指示表测头下,取下量块,记录下指示表的读数。 6.量块的尺寸与指示表的读数之和就是被测件的尺寸。 7. 记录数据; 五、思考题 量块按“等”测量与按“级”测量哪个精度比较高?

实验二常用量具的使用 一、实验目的 1、正确掌握千分尺、内径百分表、游标卡尺的正确使用方法; 2、掌握对测量数据的处理方法; 3、对比不同量具之间测量精度的区别。 二、实验仪器设备 外径千分尺;内径百分表;游标卡尺;轴承等。 三、实验原理 分度值的大小反映仪器的精密程度。一般来说,分度值越小,仪器越精密,仪器本身的“允许误差”(尺寸偏差)相应也越小。学习使用这些仪器,要注意掌握它们的构造特点、规格性能、读数原理、使用方法以及维护知识等,并注意要以后的实验中恰当地选择使用。 四、实验内容及实验步骤 (一)实验内容 1、熟悉仪器的结构原理及操作使用方法。 2、用外径千分尺、内径百分表、游标卡尺测量轴承内、外径。 3、对所测数据进行误差处理,得出最终测量结果。 (二)实验步骤 1、用游标卡尺测量轴承外径的同一部位5次(等精度测量),将测量值记入下表中,并完成后面的计算: ⑴平均值:将5次测量值相加后除以5,作为该测量点的实际值。 ⑵变化量:测量值中的最大值与最小值之差。 入上表中,并完成后面的计算: ⑴平均值:将5次测量值相加后除以5,作为该测量点的实际值。 ⑵变化量:测量值中的最大值与最小值之差。 ⑶测量结果:按规范的测量结果表达式写出测量结果。 3、内径百分表测量步骤: (1)内径百分表在每次使用前,首先要用标准环规、夹持的量块或外径千分尺对零,环规、夹持的量块和外径千分尺的尺寸与被测工件的基本尺寸相等。 (2)内径百分表在对零时,用手拿着隔热手柄,使测头进入测量面内,摆动直管,测头在X方向和Y方向(仅在量块夹中使用)上下摆动。观察百分表的示

光学测量原理与技术

第一章、对准、调焦 ?对准、调焦的定义、目的; 1.对准又称横向对准,是指一个对准目标与比较标志在垂直瞄准轴方向像的重合或置 中。目的:瞄准目标(打靶);精确定位、测量某些物理量(长度、角度度量)。 2、调焦又称纵向对准,是指一个目标像与比较标志在瞄准轴方向的重合。 目的: --使目标与基准标志位于垂直于瞄准轴方向的同一个面上,也就是使二者位于同一空间深度; --使物体(目标)成像清晰; --确定物面或其共轭像面的位置——定焦。 人眼调焦的方法及其误差构成; 清晰度法:以目标和标志同样清晰为准则; 消视差法:眼睛在垂直视轴方向上左右摆动,以看不出目标和标志有相对横移为准则。可将纵向调焦转变为横向对准。 清晰度法误差源:几何焦深、物理焦深; 消视差法误差源:人眼对准误差; 几何焦深:人眼观察目标时,目标像不一定能准确落在视网膜上。但只要目标上一点在视网膜上生成的弥散斑直径小于眼睛的分辨极限,人眼仍会把该弥散斑认为是一个点,即认为成像清晰。由此所带来的调焦误差,称为几何焦深。 物理焦深:光波因眼瞳发生衍射,即使假定为理想成像,视网膜上的像点也不再是一个几何点,而是一个艾里斑。若物点沿轴向移动Δl后,眼瞳面上产生的波像差小于λ/K(常取K=6),此时人眼仍分辨不出视网膜上的衍射图像有什么变化。 (清晰度)人眼调焦扩展不确定度: (消视差法)人眼调焦扩展不确定度: 人眼摆动距离为b ?对准误差、调焦误差的表示方法; 对准:人眼、望远系统用张角表示;显微系统用物方垂轴偏离量表示; 调焦:人眼、望远系统用视度表示;显微系统用目标与标志轴向间距表示 ?常用的对准方式; 22 22 122 8 e e e D KD αλ φφφ ???? ''' =+=+ ? ? ???? 121 11e e l l D α φ'=-= 22 21 118 e l l KD λ φ'=-= e b δ φ'=

光学传递函数的测量和评价解读

光学传递函数的测量和评价 引言 光学传递函数是表征光学系统对不同空间频率的目标函数的传递性能,是评价光学系统 的指标之一。它将傅里叶变换这种数学工具引入应用光学领域,从而使像质评价有了数学依据。由此人们可以把物体成像看作光能量在像平面上的再分配,也可以把光学系统看成对空间频率的低通滤波器,并通过频谱分析对光学系统的成像质量进行评价。到现在为止,光学传递函数成为了像质评价的一种主要方法。 一、实验目的 了解光学镜头传递函数的基本测量原理,掌握传递函数测量和成像品质评价的近似方 法,学习抽样、平均和统计算法,熟悉光学软件的应用。 二、基本原理 光学系统在一定条件下可以近似看作线性空间中的不变系统,因此我们可以在空间频率域来讨论光学系统的响应特性。其基本的数学原理就是傅里叶变换和逆变换,即: dxdy y x i y x ](2exp[,ηξπψηξψ+-=?? (,( (1 ηξηξπηξψψd d y x i y x ](2exp[,(,(+=?? (2 式中,(ηξψ是,(y x ψ的傅里叶频谱,是物体所包含的空间频率,(ηξ的成分含量,低频成分表示缓慢变化的背景和大的轮廓,高频成分表示物体细节,积分范围是全空间或者是有光通过空间范围。

当物体经过光学系统后,各个不同频率的正弦信号发生两个变化:首先是调制度(或反 差度下降,其次是相位发生变化,这一综合过程可表为 ,(,(,(ηξηξψηξφH ?= (3 式中,(ηξφ表示像的傅里叶频谱。,(ηξH 成为光学传递函数,是一个复函数, 它的模为调制度传递函数(modulation transfer function, MTF ,相位部分则为相位传递函数(phase transfer function, PTF 。显然,当H =1时,表示象和物完全一致,即成象过程完全保真,象包含了物的全部信息,没有失真,光学系统成完善象。由于光波在光学系统孔径光栏上的衍射以及象差(包括设计中的余留象差及加工、装调中的误差,信息在传递过程中不可避免要出现失真,总的来讲,空间频率越高,传递性能越差。要得到像的复振幅分布,只需要将像的傅里叶频谱作一次逆傅里叶变换即可。 在光学中,调制度定义为 min max min max I I I I m +-= (4 式中max I 、min I 表示光强的极大值和极小值。光学系统的调制传递函数可表为给定空间频率 下像和物的调制度之比: (ηξ,M TF = ,(,(ηξηξo i m m 一般说来,MTF 越高,系统像越清晰,我们说光学传递函数往往就是指调制传递函数。调制 传递函数随视场变化而变化,我们可以通过调制传递函数的各个不同值来评价光学系统的成 像质量。

互换性与测量技术实验指导书(2016-2017-1-32)课件

《互换性与技术测量实验》实验指导书 (2016-2017-1) 互换性与技术测量教研组编 机械工程学院 2016年08月 班级: 学号: 姓名:

目录 实验一长度测量 (3) 实验二表面粗糙度测量 (9) 实验三齿轮齿圈径向跳动的测量 (13)

实验一长度测量 一、实验目的 1.了解和掌握杠杆千分尺、和立式数显光学计的测量原理、主要结构及使用方法。 2.应用上述仪器检验光滑极限量规。 3.巩固尺寸公差的概念,学会由测得数据判断零件合格性的方法。 二、仪器结构及工作原理 1.杠杆千分尺 杠杆千分尺相当于外径千分尺与杠杆式卡规组合而成,其外形如图1-1(a)所示。它的工作原理与杠杆式卡规及千分尺相同。可以用作相对测量,也可以作绝对测量。杠杆式卡规的工作原理如图1-1(b)所示。 (a)(b) 图1-1杠杆式卡规的工作原理图 当测量杆1移动时,使杠杆2转动,在杠杆的另一端装有扇形齿轮,可使小齿轮3和装牢在小齿轮轴的指针4转动,在刻度盘5上便可读出示值。为了消除传动中的空程,装有游丝6。测量力由弹簧8产生。为了防止测量面磨损和测量方便,装有退让器9。 杠杆千分尺刻度值有0.001毫米和0.002毫米两种(现在使用的是前者),表盘的示值范围±0.02毫米,测量力是500-800克,测力变化不大于100克。 2.立式数显光学计 立式光学计又称光学比较仪,集光电、机电于一体,是我国最先进的数显式光学仪器。直接测量可以达到10毫米。测量结果可以根据需要选择工、英制在显示屏上显示,也可以在任意位置置零。当被测工件大于10毫米时,在测量前用量块(或标准件)对准零位,被测尺寸与量块尺寸的差值在屏幕上读得。 立式数显光学计对五等量块和一级精度的量块,球形和圆柱形工件得直径和不圆度,线型、板型、金属及非金属薄膜的厚度和平行度进行高精度测量。 仪器基本度量指标:

(教学)互换性与技术测量实验

实验一 外螺纹中径的测量 一、实验目的 熟悉测量外螺纹中径的原理和方法。 二、 实验内容 1. 用螺纹千分尺测量外螺纹中径。 2. 用三针测量外螺纹中径。 三、测量原理及计量器具说明 1. 用螺纹千分尺测量外螺纹中径 图1为螺纹千分尺的外形图。它的构造与外径千分尺基本相同,只是在测量砧和测量头上装有特殊的测量头1和2,用它来直接测量外螺纹的中径。螺纹千分尺的分度值为0.01毫M 。测量前,用尺寸样板3来调整零位。每对测量头只能测量一定螺距范围内的螺纹,使用时根据被测螺纹的螺距大小,按螺纹千分尺附表来选择,测量时由螺纹千分尺直接读出螺纹中径的实际尺寸。 图 1 2. 用三针测量外螺纹中径 图2为用三针测量外螺纹中径的原理图,这是一种间接测量螺纹中径的方法。测量时,将三根精度很高、直径相同的量针放在被测螺纹的牙凹中,用测量外尺寸的计量器具如千分尺、机械比较仪、光较仪、测长仪等测量出尺寸M 。再根据被测螺纹的螺距p 、牙形半角 2 α 和量针直径m d ,计算出螺纹中径2d 。由图2可知: )(222CD AD M AC M d --=-= 而 2sin 22 αm m d d BD AB AD +=+== ????? ? ??+2sin 112αm d

4 2α Pctg CD = 将AD 和CD 值代入上式,得: 22 2sin 1 12ααctg P d M d m +????? ? ? ?+ -= 对于公制螺纹,0 60=α,则 P d M d 866.032+-= 图 2 为了减少螺纹牙形半角偏差对测量结果的影响,应选择 合适的量针直径,该量针与螺纹牙形的切点恰好位于螺纹中径处。此时所选择的量针直径m d 为最佳量针直径。由图3可知: 2 cos 2α P d m = 对于公制螺纹,0 60=α,则 P d m 577.0= 在实际工作中,如果成套的三针中没有所需的最佳量针直径时,可选择与最佳量针直径相近的三针来测量。 量针的精度分成0级和1级两种:0级用于测量中径公差为4—8μm 的螺纹塞规;1级用于测量中径公差大于8μm 的螺纹塞规或螺纹工件。 测量M 值所用的计量器具的种类很多,通常根据工件的精度要求来选择。本实验采用杠千分尺来测量(见图4)。杠杆千分尺的测量范围有0—25,25—50,50—75,75—100mm 图 3 图 4 四种,分度值为0.002mm 。它有一个活动量砧1,其移动量由指示表7读出。测量前将尺体5装在尺座上,然后校对千分尺的零位,使刻度套筒管3、微分筒4和指示表7的示值都分别对准零位。测量时,当被测螺纹放入或退出两个量砧之间时,必须按下右侧的按钮8 使量

光学非接触式三维测量技术

光学三维测量技术及应用 摘要:随着现代科学技术的发展,光学三维测量已经在越来越广泛的领域起到了重要作用。本文主要对接触式三维测量和非接触式三维测量进行了介绍。着重介绍了光学三维测量技术的各种实现方法及原理。最后对目前光学三维测量的应用进行了简单介绍。 1 引言 随着科学技术和工业的发展,三维测量技术在自动化生产、质量控制、机器人视觉、反求工程、CAD/CAM以及生物医学工程等方面的应用日益重要。传统的接触式测量技术存在测量时间长、需进行测头半径的补偿、不能测量弹性或脆性材料等局限性,因而不能满足现代工业发展的需要。。 光学测量是光电技术与机械测量结合的高科技。光学测量主要应用在现代工业检测。借用计算机技术,可以实现快速,准确的测量。方便记录,存储,打印,查询等等功能。 光学三维测量技术是集光、机、电和计算机技术于一体的智能化、可视化的高新技术,主要用于对物体空间外形和结构进行扫描,以得到物体的三维轮廓,获得物体表面点的三维空间坐标。随着现代检测技术的进步,特别是随着激光技术、计算机技术以及图像处理技术等高新技术的发展,三维测量技术逐步成为人们的研究重点。光学三维测量技术由于非接触、快速测量、精度高的优点在机械、汽车、航空航天等制造工业及服装、玩具、制鞋等民用工业得到广泛的应用。 2 三维测量技术方法及分类 三维测量技术是获取物体表面各点空间坐标的技术,主要包括接触式和非接触式测量两大类。如图1所示。 图1 三维测量技术分类

2.1 接触式测量 物体三维接触式测量的典型代表是坐标测量机(CMM,Coordinate Measuring Machine)。CMM是一种大型精密的三坐标测量仪器[1],它以精密机械为基础,综合应用电子、计算机、光学和数控等先进技术,能对三维复杂工件的尺寸、形状和相对位置进行高精度的测量。 三坐标测量机作为现代大型精密、综合测量仪器,有其显著的优点,包括:(1)灵活性强,可实现空间坐标点测量,方便地测量各种零件的三维轮廓尺寸及位置参数;(2)测量精度高且可靠;(3)可方便地进行数字运算与程序控制,有很高的智能化程度。 早期的坐标测量机大多使用固定刚性测头,它最为简单,缺点也很多[2]。主要为(1)测量时操作人员凭手的感觉来保证测头与工件的接触压力,这往往因人而异且与读数之间很难定量描述;(2)刚性测头为非反馈型测头,不能用于数控坐标测量机上;(3)必须对测头半径进行三维补偿才能得到真实的实物表面数据。针对上述缺陷,人们陆续开发出各种电感式、电容式反馈型微位移测头,解决了数控坐标测量机自动测量的难题,但测量时测头与被测物之间仍存在一定的接触压力,对柔软物体的测量必然导致测量误差。另外测头半径三维补偿问题依然存在。三维测头的出现可以相对容易地解决测头半径三维补偿的难题,但三维测头仍存在接触压力,对不可触及的表面(如软表面,精密的光滑表面等)无法测量,而且测头的扫描速度受到机械限制,测量效率很低,不适合大范围测量。 2.2 非接触式测量 非接触式测量技术是随着近年来光学和电子元件的广泛应用而发展起来的,其测量基于光学原理,具有高效率、无破坏性、工作距离大等特点,可以对物体进行静态或动态的测量。此类技术应用在产品质量检测和工艺控制中,可大大节约生产成本,缩短产品的研制周期,大大提高产品的质量,因而倍受人们的青睐。随着各种高性能器件如半导体激光器LD、电荷耦合器件CCD、CMOS图像传感器和位置敏感传感器PSD等的出现,新型三维传感器不断出现,其性能也大幅度提高,光学非接触测量技术得到迅猛的发展。 非接触式三维测量不需要与待测物体接触,可以远距离非破坏性地对待测物体进行测量。其中,光学非接触式测量是非接触式测量中主要采用的方法。 3 光学非接触式三维测量的概述 光学非接触式三维测量技术根据获取三维信息的基本方法可分为两大类:被动式与主动式。如图2所示[3]。 主动式是利用特殊的受控光源(称为主动光源)照射被测物,根据主动光源的已知结构信息(几何的、物体的、光学的)获取景物的三维信息。被动式是在自然光(包括室内可控照明光)条件下,通过摄像机等光学传感器摄取的二维灰度图像获取物体的三维信息。

高精度光学测量微位移技术综述

word格式文档 高精度光学测量微位移技术综述 *** (******大学光电**学院,重庆400065) 摘要 微位移测量技术在科学与工业技术领域应用广泛。光学测量微位移技术与传统测量方法相比,具有灵敏度高、抗电磁干扰能力强、耐腐蚀、防爆、结构简单、体积小、重量轻等优点。本文介绍了几种高精度光学测量微位移的方法,从激光三角法、激光干涉法、光栅尺法、光纤光栅法、X射线干涉法和F-P干涉法几个类别对各种微位移测量原理和仪器进行了系统的分析和比较,并对各种方法的特点进行了归纳,对光学微位移测量方法的发展趋势进行了概括。 关键词:微位移测量,高精度,光学测量,发展趋势 1 引言 随着科学技术的发展,微小位移的检测手段已发展到多种,测量准确度也不断提高。目前,高分辨力微位移测量技术主要分为包含电学、显微镜等测量方法的非光学测量技术和以激光干涉测量为代表的光学测量技术两大类。电学测量技术又包括电阻法、电容和电感法以及电涡流法等,其中,电容和电感法发展迅速,较为常用。目前,三端电容传感器可测出5×10-5μm的微位移,最大稳定性为每天漂移几个皮米[1]。而显微镜测量技术种类较多,主要有高性能透射电子显微镜、扫描电子显微镜、扫描探针显微镜(包括扫描隧道显微镜和原子力显微镜)等二十多个品种[2]。按光学原理不同,光学测量技术可分为激光三角测量[3]、光杠杆法[1,4]、光栅尺测量法[5]、光纤位移测量法[5]和激光干涉法等,测量分辨力在 专业资料整理

几十皮米到几纳米之间。此外,利用X射线衍射效应进行位移测量的X射线干涉技术近年来备受关注,其最大特点是以晶格结构中的原子间距作为溯源标准,可实现皮米量级的高分辨力,避免了光学干涉仪的各种非线性误差[6]。现将主要的具有纳米量级及以上分辨力的微位移测量技术概括如表1所示。 纵观位移测量技术的发展历程,如果说扫描探针技术为高分辨力位移测量领域带来了革命性变革,那么近几十年来激光技术的发展则将该领域带入了一个崭新的时代。由表1可见,目前电容传感器和SPM的测量分辨力也很高,但它们的共同缺陷是当溯源至国际标准长度单位时,必须借助激光干涉仪等方法进行标定和校准。根据1983年第17次度量大会对“米”的新定义,激光干涉法对几何量值溯源有着天然优越性,同时具有非接触测量、分辨力高、测量速度快等优势。本文将对目前主要的光学微位移测量技术介绍和比较分析。 表1 常用微位移测量技术 仪器种类分辨力/nm 测量范围 电容传感器0.05-2 10nm-300μm 电感传感器 5 10μm SPM 0.05 1-10μm 激光三角测头 2.5 100-500μm 光纤位移传感器 2.5 30-100μm 双频激光干涉仪0.1 >10m 光栅尺0.1-10 70-200mm X射线干涉仪0.005 200μm F-P干涉仪0.001 5nm-300μm 2 光学微位移测量技术概述 2.1 激光三角法微位移测量技术 随着工业测量领域的不断扩展以及对测量精度和测量速度的不断提高,传统的接触式测量已经无法满足工业界的需求。而非接触测量由于其良好的精确性和

光学测试技术复习资料

光学检测原理复习提纲 第一章 基本光学测量技术 一、光学测量中的对准与调焦技术 1、对准和调焦的概念(哪个是横向对准与纵向对准?) P1 对准又称横向对准,指一个目标与比较标志在垂轴方向的重合。调焦又称纵向对准,是指一个目标像与比较标志在瞄准轴方向的重合。 2、常见的五种对准方式。 P2 压线对准,游标对准。。。。 3、常见的调焦方法 最简便的调焦方法是:清晰度法和消视差法。p2 二、光学测试装置的基本部件及其组合 1、平行光管的组成、作用;平行光管的分划板的形式(abcd )。P14 作用:提供无限远的目标或给出一束平行光。 组成:由一个望远物镜(或照相物镜)和一个安置在物镜 焦平面上的分划板。二者由镜筒连在一起,焦距 1000mm 以上的平行光管一般都带有伸缩筒,伸缩筒 的滑动量即分划板离开焦面的距离,该距离可由伸 缩筒上的刻度给出,移动伸缩筒即能给出不同远近 距离的分划像(目标)。 2、什么是自准直目镜(P15)(可否单独使用?),自准直法? 一种带有分划板及分划板照明装置的目镜。Zz 自准直:利用光学成像原理使物和像都在同一平面上。 3、;高斯式自准直目镜(P16)、阿贝式自准直目镜(P16)、双分划板式自准直目镜(P17)三种自准直目镜的工作原理、特点。P15—p17(概念,填空或判断) 1高斯式自准直目镜缺点--分划板只能采用透明板上刻不透光刻线的形式,不能采用不透明板上刻透光刻线的形式,因而像的对比度较低,且分束板的光能损失大,还会产生较强的杂光。 2阿贝式自准直目镜---特点射向平面镜的光线不能沿其法线入射,否则看不到亮“+”字线像。阿贝目镜大大改善了像的对比度,且目镜结构紧凑,焦距较短,容易做成高倍率的自准直仪。 主要缺点:直接瞄准目标时的视轴(“+”字刻度线中心与物镜后节点连线)与自准直时平面 (a )"+"字或"+"字 刻线分划板; (b )分辨率板; (c )星点板; (d )玻罗板

互换性与技术测量实验指导书

互换性与测量技术实验指导书 北方工业大学机械实验室 2017 年3 月

实验一尺寸测量 实验1-1 用立式光学计测量轴径 一、实验目的 1.了解立式光学计的测量原理。 2.熟悉用立式光学计测量外径的方法。 二、实验内容 用立式光学计测量工件的外径 三、测量器具 1.立式光学计 2.块规 四、测量器具简介 立式光学计是一种精度较高、结构简单的常用光学仪器。常用来检定 5 等、 6 等量块、光滑极限量规及测量相应精度的零件。 (五)测量步骤: 1、按被测零件的基本尺寸组合所需量块尺寸。一般是从所需尺寸的未位数开始选择,将选好的量块用汽油棉花擦去表面防锈油,并用绒布擦净.用少许压力将两量块工作面相互研合。 2、将组合好的块规组放在工作台上,松开横臂紧固螺钉,转动调节螺母,使横臂连同光管缓慢下降至测头,与量块中心位置极为接近处(约0.lmm 的间隙)将螺钉拧紧。 3、松开光管紧固螺钉,调整手柄,使光管缓馒下降至测头与块规中心位置接触,并从目镜中看到标尺象,使零刻线外于指标线附近为止。调节目镜视度环,使标尺像完全清晰 (可配合微调反光镜)。锁紧螺钉,调整微调旋钮,使刻度尺像准确对好零位。 4、按压测帽提升杠杆2?3次,检查示值稳定性,要求零位变化不超 过l/10 格,如超过过多应寻找原因,并重新调零(各紧固螺钉应拧紧但不能过紧,以免仪器变形)。 5、按下测帽提升杠杆,取下规块组,将被测部件放在工作台上(注意一定要使被测轴的母线与工作台接触,不得有任何跳动或倾斜)。 6、按压测帽提升杠杆多次,若示值稳定,则记下标尺读数(注意正负号)。此读数即为该测点轴线的实际差值。

刀口法测量光学传递函数

刀口法测量光学传递函数 *** ****大学,****,2120100607 摘要:光学传递函数是定量描述成像性能的完备函数。但是对于实际的光电成像器件,通过解析法建立这一函数的表达式又非常困难,因此光学传递函数的实测技术就很重要。本文简要介绍的光学传递函数及其性质,指出了光学传递函数测量中的刀口法的两种情况,并且对两种刀口法进行了详细的介绍。 关键词:光学传递函数测量刀口法 一、引言 1938年,佛里塞把傅立叶处理的方法用于照相底片的分辨率试验,提出了应该用亮度呈正弦分布的鉴别率板来检验光学系统。1946年杜弗运用傅立叶变换的处理方法来分析光学系统,为光学传递函数奠定了理论基础。1962年8月在慕尼黑举行的第六届国际光学会议上,光学传递函数(OTF, Optical Transfer Function)第一次统一提出,简称OTF。 用光学传递函数来评价光学系统的成像质量是基于把物体看作是由各种频率的谱组成的。因此光学传递函数反映了光学系统的频率特性.它既与光学系统的像差有关.又与系统的衍射效果有关.并且以一个函数的形式定量地表示星点所提供的大量像质信息.同时也包括了鉴别率所表示的像质信息。因此光学传递函数被公认为目前评价光学系统成像质量比较客观、有效的方法。 光学传递函数已被广泛地应用在像质评价、光学设计和光学信息处理等方面。而且,人们越来越倾向于采用OTF作为光学或光电成像系统像质评价的重要参数。随着现代应用要求的不断提高,光学系统的结构也越来越多样化,这些系统的设计、加工和装调也越来越多的将OTF作为其质量评价的标准,这对光学传递函数测量的适用性和可靠性提出了更高的要求。 随着大容量高速度数字计算机的发展和高精度光电测试技术的改进,使光学

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