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固晶机工程师培训资料

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一、目的:规范固晶机工程师日常工作,确保产品质量的提高及工作效率的提升。

二、对象:固晶机工程师

三、内容:

1.机械构成及维修

1.1 芯片控制器:由芯片工作台和推定器组成

芯片工作台主要由X、Y B马达和扩晶环固定座组成

X、Y马达控制Ahead晶片时,移到当前晶片位置马

达是控制晶片的旋转角度,当启动工作台启动旋转功能后

B马达开始工作,当Ahead当前晶片角度偏移量大于我们设定值时,B马达会

自动补偿角度偏差值。

推顶器主要由顶针、顶针帽、推顶马达和XY位置调整

螺丝组成,顶针是工作中顶起晶片,晶片离开蓝膜使吸嘴容易吸起晶片,顶针型号为0.022 X 10X 17MM,顶针的目

使用寿命为1KK,当顶针拆损或者达到使用寿命后需要及时更换。推顶马达是来顶起顶针,新更换顶针后,一般顶起主度不超过2300,如果顶起高

度小于2000 时,需调整推顶马达推顶位置,松开推顶马达固定推顶位置螺丝,可以用六角棒调整推顶初始位置。顶针帽是保护顶针受到外力损坏。XY 位置调整螺丝是用来调整顶针位置,使顶针顶起芯片在中心点。

工作夹具:由叠式载具、工作夹具、输入/输出升降机组成

叠式载具由Load Left Pin、Load right Pin、Separater 和下料盒马达组成,Load Left Pin 和Load right Pin 是用来调整支架接触时的中心点,一般中心点为22000,当马达失步时,需要对此中心点进行调整。Separater 是支架接触到Load Left Pin 和Load right Pin 后,用来分离支架,可以调整进出气压大小来调整Separater速度,X方向行程不可以调整,Y方向行程可以拆

开叠式载具面板,用六角扳手调整行程。下料盒马达是用来控制Load Left Pin和Load right Pin 动作,需定期对其进行保养,不然会造成下料不顺畅或者卡料。

工作夹具由Feed Pi n、In put Pin、Output Pin 和Output Kick 组成。进入Setup s Device

In dex ing Setup调整送爪间的配合,Feed Pin和In put Pin主要影响支架送到点胶和固晶位置的初始点,Output Pin 主要影响Input Pin 和Output Pin 配合时拉杯位置的一致性。

输入/输出升降机进料口现在采用叠式载具,输入升降机主要应用在双晶片上面,故没有使用。输出升降机由

YZ两个马达构成,YZ马达错位或者中心点偏移会造成卡支架,需定期保养马达,以免造成声音异常和马达失步。

点胶注射器及焊头

点胶注射器由点胶盘、点胶盘马达、点胶头、点胶XYZ动作马达组成。点胶盘储存一定胶量,保证持续使用,要求点胶盘表面的平整性,使点胶有均匀性。点胶盘马达使用24V 电压,要求点胶盘阻力和点胶盘轴承阻力小,避免点胶盘马达线圈烧坏。点胶头把胶水从点胶盘点

到碗杯,点胶顶部长度为80um,一般使用掉1 / 3后需要更换点胶头,使点胶具有均匀性

和集中性。点胶XYZ动作马达是控制点胶头的动作过程,其定期保养。

焊头由吸嘴、焊臂、气体、马达组成。吸嘴是吸起晶片和固定晶片的作用,吸嘴使用的型号有

X 0.35 四种型号,根据不同的产品选择吸嘴,吸嘴寿命为连接部位的间隙为20um ,当人为撞坏焊臂时,须对此项进

为了保证马达正常,每个月需要对

0.10X0.3.13X 0.3、0.15X 0.3、0.175

500K。焊臂是核心部件,焊臂的

行校正,焊臂的水平校正:装好冶具,关掉电源,用复印纸加白纸垫在顶针帽上,然后打开电源,手动拧动焊臂,并在复印纸上压一个痕迹,检查痕迹的轻重,根据痕迹的轻重来调整焊臂的水平调整螺丝,直到痕迹轻重一样。气体是用来吸取晶片和吹吸嘴用,弱气太大会影响造成胶飞,弱气太小易造成晶片反吸。马达是用来控制焊臂动作的,为了保证马达正常,每个月需要对其定期保养。

光学系统:Bond optical system 和Dispense optical 校正把校准镜片放在光学镜头的下方,

Error!Reference source not found

进入Setup s Vision & Optics^ Bond Alignment Setup 选择Field Of View 按[Enter]在'2 x 2mm ', ‘3 x 3mm ‘ 4x 4mm 之间转换。

我们选择3 x 3,然后按Enter确定,记下来你可以看到PR监视中的率色方框,手动调节光

学系统焦距和放大倍数直至可以看到较大的包含3x 3 方框,调节镜片位置和光线直至方框内获得清晰的图像,再次按Enter确认,PRS将检查和识别校准镜片的图像以确定视为视界

与你的设定相匹配,如果PR校准未成功,应再次进行精密调节和校准。

电路构成及维修

PC监控器:由伺服驱动箱,马达驱动I/O箱和电脑主机组成

伺服驱动箱由点胶、固晶、输入/输出料盒XYZ马达驱动电路组成马达驱动I/O 箱由各种数/模、模

/数转换、信号通道,信号分配接口组成电脑主机由系统软件、应用软件和硬件部分组成,系统软件使

用的是Windows 操作系统,

应用软件是Controller Software V5.47T03(升级前使用的旧版本是Controller Software

V5.43T03)、硬件是键盘、主板、CPU 内存。

PRS PC光学系统和电脑主机组成

光学系统CCD摄像机的工作原理是:被摄物体反射光线,传播到镜头,经镜头聚

焦到CCD芯片上,CCD根据光的强弱积聚相应的电荷,经周期性放电,产生表示一幅幅画面的电信

号,经过滤波、放大处理,通过摄像头的输出端子输出一个标准的复合视频信号。摄像机对我们生产

中目前影响最大的就是角度,摄像机角度偏转时爪取晶片也会偏。电脑主机由系统软件、应用软件和

硬件部分组成,系统软件使用的是Windows 操作系统,

应用软件是Vision Software V2.825,硬件是键盘、主板、CPU 内存。

机器的软件系统安装升级软件安装:版本升级和系统更新系统设置:主板设置和磁盘备份copy

熟悉菜单及熟练应用

包含Bond menu、Setup menu、SERV menu和Help menu下面的各项子菜单使用及应用(详

细请见技术员培训资料)

重要影响固晶项目

吸嘴未及时更换:会影响到机台吸晶及摆放晶片,当吸嘴使用到一定的次数以后,晶片的摆放在角度上会有所偏差,这时即可考虑更换一支新的吸嘴

顶针未及时更换:影响到晶片的上吸,以致最后影响到晶片的摆放。

未做季保养的影响:会造成机构生锈或脏污严重,引起机构运转不顺,影响机台运转与生产。

动作与程序Operation Flow :

6.1.更换吸嘴,步骤:

6.1.2 将pick arm 移到吹风的位置才可进行吸嘴的更换;

6.1.3 用六角扳手将旧的吸嘴取下;

6.1.4 换上新的吸嘴,注意要锁紧(配合套具);

6.1.5调节吸嘴和CCD的中心,保持在同一中心。

6.2 更换顶针,步骤:

6.2.1 先轻轻地旋掉顶针帽;

6.2.2 小心地拔出顶针,并换上新的顶针,须将顶针插到底;

6.2.3重新旋上顶针帽,旋时要小心并保持CCD十字中心维持在顶针帽孔的、中心;

6.2.4 调节顶针的高度,使顶针高度和顶针帽的高度持平(在up level 情况下,用显微镜观察);

6.2.5重新调节吸嘴、顶针和CCD的三点一线;

6.2.6 手动抓取晶片测试顶针的良好情况。

6.3 保养步骤:

6.3.1 停机,关掉电源

6.3.2 拆开左、右和后侧门

6.3.1 检查机台内部是否有粉尘,用真空吸枪吸清洁机台内部。

6.3.4 X、Y轴滑轨及导螺杆上油。,因上油空间不大,建议使用无尘布,沾润滑油涂抹,切勿使用金属棒或棉花棒,金属棒易伤害螺杆,而棉花棒会残留织棉及粉尘碍机械动作之精度。

6.3.5使用空压喷枪和试镜纸擦拭CCD镜头。

6.3.6 检查所有可动螺丝是否松动。

6.3.7 恢复机台各部件。

6.3.8 上电,重新开机。

6.3.9 初始化,检查机台的各功能是否良好。

7 设备常见异常讯息与解决手法Alarm Code & Solution

7.1 机台出现missing die 的情况,处理办法:

7.1.1 检查collect 是否诸塞,并用真空吹气;

7.1.2检查吸嘴、顶针和CCD十字中心是否三点一线,如不是应重新调整三点一线;

7.1.3 检查up level 的位置(顶针高度)是否恰当;

7.1.4以上情况均良好依然missing die,需将collect换下到显微镜下观察collect是否有受损坏,如果是,就要更换一个新的。

7.1.5此时依然missing die,就要取下顶针到显微镜下观察顶针是否有受损坏,如果是,就要更换新的顶针。

7.2 晶片摆放的不整齐,处理办法:

7.2.1检查吸嘴、顶针和CCD十字中心是否三点一线,如不是应重新调整三点一线;

7.2.2 检查pick level 和bond level 是否恰当;

7.2.3 检查delay 的数值是否恰当;

7.2.4 检查collect 是否完好,如损坏则更换;

7.2.5 检查顶针是否完好,如损坏则更换;

7.2.6 检查焊臂水平,如水平有问题则要重新调整焊臂水平。

7.3 miss ing die,处理办法:

7.3.1check collect vallum ;

7.3.2check pick die level;

7.3.3check ejector up level 。

7.4 点胶的量太多或太少,处理办法:

7.4.1 调整点胶头高度;

7.4.2 调整胶量的大小;

7.4.3 调整胶的均匀度;

7.5 PR 经常识别不到,处理办法:

7.5.1 检查焊接的目标偏差;

7.5.2重新测验焊接/拾取PR保证图像良好对比度和较高的单一性/边缘明显模板有

较高的分数。调整搜索范围,选定的方框内无类似的图像。

7.6 固晶位置不稳定,处理办法:

7.6.1 调节焊接Z 高度;

7.6.2 以垂直线校正摄像机中心点,夹头中心及推顶针中心;

7.6.3 增加拾取延迟;

7.6.4 增加焊接延迟;

7.6.5 增加向上推顶延迟;

7.6.6 增加推顶器真空延迟;

7.6.7 增加焊头拾取/焊接延迟;

7.6.8 调节焊臂水平高度。

7.7 固晶角度不稳定,处理办法:

7.7.1 尽量减少向上推顶高度(假如晶片能够被拾取);

7.7.2 保证推顶针位于孔的中心,或推顶针的中心位于孔的中心;

7.7.3 检查推顶针尖是否损坏或变平;

7.7.4 检查推顶针是否倾斜;

7.7.5 校准摄像机中心点,夹头中心和推顶针中心;

7.7.6 增加拾取延迟时间;

7.7.7 增加焊接延迟;

7.7.8 增加向上推顶延迟;

7.7.9 增加焊头拾取/焊接延迟。

7.8 晶片反倒,处理办法:

7.8.1 如三点校准不正确,则重新垂直校准摄像机中心、夹头中心和推顶针的中心;

7.8.2 如是在焊接途中碰到某物,则移除焊臂/夹头在焊接过程中碰到的任何障碍物;

7.8.3保证工作台能够紧密地夹持基片/LF,而无法浮动。

7.9 双晶:

7.9.1 清洁夹头或更新夹头;

7.9.2 增加焊臂高/低压力。

7.10 无晶处报警:

7.10.1 重新校准夹头真空传感器;

7.10.2 增加拾取高度;

7.10.3 增加向上推顶高度;

7.10.4 增加推顶延迟、拾取延迟、推顶器真空延迟。

7.11 旋转方向错误:

7.11.1 检查旋转焊臂编码器;

7.11.2 检查旋转皮带;

7.11.3 检查分度镜高度;、

7.11.4重新测验焊接/拾取PR保证图像具有良好的对比度和较高的单一性/边缘明显,在选定范围内无类似的图像。

7.12 跳过好的晶片skip good die:

7.12.1根据晶片的性质选择适当的校正方法,重新输入PR图像,在载入图像前;保证图像具有良好的对比度和较高的单一性;

7.12.2 调节光线设定,获得良好的图像对比度;

7.12.3 检查拾取高度、推顶高度和三点校准;

7.12.4 选择较低的缺陷检测等级;

7.12.5 扩大搜索范围。

7.13 跳过合格焊位:

7.13.1 模板超出搜索范围,则应扩大搜索范围;

7.13.2 调节光线设定,获得一致及良好对比度的图像;

7.13.3 选择较低的缺陷检查极限标准。

7.14 初始化错误,处理办法:

7.14.1检查所有使ADSP子插件板与CPU板连接的螺丝,它们必须连接牢固;

7.14.2检查CPU板上的LED,前面板上的两个LED应该亮

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