基于共用接地的工控系统通信抗干扰技术
多晶硅生产技术中最为成熟的是改良西门子法，其所涉及的高压启动系统，还原系统，隔离柜和转换柜的设计以及SCADA控制系统都属于多晶硅电源系统的重要部分。在实际施工过程中，克服工控系统通信干扰成为了首要问题。我公司通过理论研究、经验转化、方案提出、实验设计、结果验证设计出一套抗干扰能力强、运行稳定可靠的基于共用接地的抗干扰技术，保证了多晶硅电源系统的正常运行，为自动化工控系统的抗干扰布局积累了经验。
标签：多晶硅电源系统；工控系统；共用接地；耦合干扰；抗干扰技术
Abstract：The maturest polysilicon production technology is the modified Siemens method，which involves the design of high voltage startup system，reduction system，isolation cabinet and conversion cabinet，as well as SCADA control system，which all belong to the important part of polysilicon power supply system. In the actual process of construction，overcoming the communication interference of industrial control system has become the primary problem. Through theoretical research，experience transformation，scheme proposal，experiment design and result verification，our company has designed a set of anti-interference technology based on common grounding with strong anti-interference ability and stable operation，which ensures the normal operation of polysilicon power supply system. It has accumulated experience for anti-interference layout of automatic industrial control system.
Keywords：polysilicon power supply system；industrial control system；common ground；coupling interference；anti-interference technology 引言
多晶硅半导体材料的研发技术，不仅与电子信息技术产业不可分割，也和光伏产业息息相关。生产出合格的多晶硅材料，要求生产工艺精细严格高标准，生产设备稳定可靠抗干扰。
2016年以来，中国稳坐光伏产业第一大国的交椅，装机总量和增速均为世界第一，对多晶硅依赖严重。据数据统计，2016年多晶硅的进口量占消费量的四成以上，国产化依旧有很大的上升空间。
目前，多晶硅生产最为成熟的首选方式是改良西门子法多晶硅还原法[1]。其原理是采用化学气相沉积（Chemical Vapor Deposition，CVD），具体是在高温条件（1100℃左右）下，以高纯硅为核芯，使用还原性强的气体高纯氢对三氯氢硅以此生成对晶硅，再在高纯硅上进行沉积生长，其部分副产物和副产热都可以回收再利用。