电子行业、医药行业用水标准
半导体超纯水
测试项目单位可达到可接受报警临界
电阻率功25℃MΩ.cm18.2 18.2 17.9 17.5 溶解性二氧化硅ppb <0.2 <1 >3 >10 硼ppb
电子级水(ASTM D-19)：
分类项目电子一级E-I 电子二级E-II 电子三级E-III 电子四级E-IV
电阻率
(最小, Megohm.cm)
18
(95% 的时间),
不小于17
17.5
(90%的时间),
不小于16
12 0.5
SiO2 (总硅,最大, μg/L) 5 10 50 1,000 颗粒数(个/ml) 1 3 10 100
细菌(最大, ml) 1/1,000 mL 10/1,000 mL 10 mL 100 mL
总有机碳TOC
(最大, μg/L)
25 50 300 1,000
内毒素(EU/ml) 0.03 0.25 n/a n/a
铜(最大, μg/L) 1 1 2 500
氯(最大, μg/L) 1 1 10 1,000
镍(最大, mg/L) 0.1 1 2 500
硝酸盐(最大, mg/L) 1 1 5 500
磷酸盐(最大, mg/L) 1 1 5 500 钾(最大, μg/L) 2 2 5 500
钠(最大, μg/L) 0.5 1 5 1,000
硫酸盐(最大, mg/L) 1 1 5 500 锌(最大, μg/L) 0.5 1 5 500
电子一级E-I ：这种水将被分类作为微电子用水，被使用在生产宽度在1.0μm以下的产品设备上。这是超纯水在大容量和最临界状态的应用。
电子二级E-II: 这种水将被分类作为微电子用水，被使用在生产宽度在5.0μm以下的产品设备上。这种水应该是足够的为生产大多数大容积产品, 产品尺寸在
1.0μm 之上和在5.0μm以下。
电子三级E-III: 这种水将被分类作为微电子用水，被使用在生产宽度在5.0μm以上的产品设备上。这种等级的水可以被使用来生产稍大的组件和一些小的组
件，水中的痕量杂质不会产生影响。
电子四级E-IV:：电子级的水被分类可以作为非临界电镀用水和其它普通用途用水，这些水
由于储存在水箱因而会一直与大气相接触。
发电锅炉水（与锅炉压力和用途有关）
测试项目单位典型
电阻率，25℃MΩ.cm10-13
总硅ppb 5-20
ASTM 试剂水：
水的分类: I II A B
电阻率, M?.cm 18.2 1.0
TOC, ppb 10 50
Na, Cl, ppb 1 5
硅, ppb 3 3
细菌/100 mL 1 10
内毒素, EU/mL <0.03 <0.25
制药用水：
根据各个国家法律规定的不同其要求也有所不同（如USP_XXIII,XXIV）。注意，在美国，WFI要求作最终处理，采用蒸馏，或者膜分离。USP纯化水是被采用蒸馏、离子交换、电去离子技术或其它恰当的工艺将水纯化，遵从美国EPA（美国环保总署）饮用水规则，并且包含无额外物质存在。USP现在已经在日本和欧洲的JP和EP标准形成了联盟。
测试项目单位USP-24限度
电导率，25℃μS/cm<1.25 1级
pH 5.0-7.0
TOC μg/L 500
细菌cfu/mL <100
普通用途去离子（DI）水：
测试项目单位典型值
电阻率，25℃MΩ.cm>2