第一章真空镀膜机工架系统设计
1.1研究目的及意义
1.1.1研究目的
随着人们生活水平的不断提高，越来越多的镀膜产品被广泛的应用，而与之相应的真空镀膜设备的制造也在镀膜技术的提升中变得愈加的重要。现在大部分的真空镀膜机仅能镀制一种膜，但是在实际工程中，有时需对同一工件或样品镀制两种不同的膜，重复定位会产生定位误差，使产品所镀的膜不均匀，这主要是由于镀膜机的工件架设计存在一定不足所造成的。本文将对于真空镀膜的工架系统设计进行研究，了解现有真空镀膜机工架系统设计的优点与不足。全面了解现状，了解真空镀膜机工架系统设计的发展与应用状况、熟知真空镀膜机工架系统设计的基本类型与特征，并在研究的基础之上提出合适观点。
1.1.2研究意义
本文是对真空镀膜机的工件架子系统进行了设计与分析，以半球型或半球壳型工件或样品为研究对象，采用三点支撑、升降换位以及样品自转的方式，使半球型或半球壳型工件或样品进行完全镀膜，确保工件或样品无漏镀现象。采用导轨装置使工件架平移至镀制第二种膜的位置，进行再次镀膜，可以实现对同一工件或样品镀制两种不同的膜，不仅避免了二次定位所产生的偏差与再次定位的繁琐，而且减少了二次定位给操作人员带来的安全方面的危险。运用solidworks 三维设计软件，对磁控溅射离子镀膜机的工件架系统的自转升降部分和平移部分进行了仿真装配与模拟运动，对装配和运动的零部件进行了动态的干涉检查，增加了设计的精确性，减少了生产成本与生产周期。
1.2真空镀膜设备的应用
真空蒸发镀膜最常用的是电阻加热法，其优点是加热源的结构简单，造价低廉，操作方便；缺点是不适用于难熔金属和耐高温的介质材料。电子束加热和激光加热则能克服电阻加热的缺点。电子束加热上利用聚焦电子束直接对被轰击材料加热，电子束的动能变成热能，使材料蒸发。激光加热是利用大功率的激光作为加热源，但由于大功率激光器的造价很高，目前只能在少数研究性实验室中使用。
溅射技术与真空蒸发技术有所不同。
“溅射”是指荷能粒子轰击固体表面（靶），使固体原子或分子从表面射出的现象。射出的粒子大多呈原子状态，常称为溅射原子。用于轰击靶的溅射粒子可以是电子，离子或中性粒子，因为离子在电场下易于加速获得所需要动能，因此大都采用离子作为轰击粒子。溅射过程建立在辉光放电的基础上，即溅射离子都来源于气体放电。不同的溅射技术所采用的辉光放电方式有所不同。直流二极溅射利用的是直流辉光放电；三极溅射是利用热阴极支持的辉光放电；射频溅射是利用射频辉光放电；磁控溅射是利用环状磁场控制下的辉光放电。
离子溅射镀膜机已经被广泛的运用于半导体集成电路、太阳能光伏、显示器、LED、触摸屏、化工及医药制造等行业中,因此,离子溅射镀膜机对我国制造行业的发展具有重要作用。本文从磁控溅射离子镀膜机的优点入手,对磁控溅射离子镀膜机工件架系统设计进行研究。
1.3国内外研究的概况
随着我国制造行业的快速发展，真空镀膜中常用的方法有真空蒸发和离子溅射。真空蒸发镀膜是在真空度不低于10-2Pa的环境中，用电阻加热或电子束和激光轰击等方法把要蒸发的材料加热到一定温度，使材料中分子或原子的热振动能量超过表面的束缚能，从而使大量分子或原子蒸发或升华，并直接沉淀在基片上形成薄膜。离子溅射镀膜是利用气体放电产生的正离子在电场的作用下的高速运动轰击作为阴极的靶，使靶材中的原子或分子逸出来而沉淀到被镀工件的表面，形成所需要的薄膜。
此外，将蒸发法与溅射法相结合，即为离子镀。这种方法的优点是得到的膜与基板间有极强的附着力，有较高的沉积速率，膜的密度高。对于现有的几种镀膜方法做出合理的了解。在原有的基础上做出创新与改进，并提出远见性话题。
真空镀膜技术是真空应用技术的重要组成部分，是一项综合的、应用范围很广的先进技术，是许多前沿学科发展的基础技术之一，同时也是当今信息时代中许多高新技术发展必不可少的手段。
真空镀膜技术及设备在当今和未来都拥有十分广阔的应用领域和发展前景，特别是在制造大规模集成电路的电学膜;数字式纵向与横向均可磁化的数据纪录储存膜:在能充分展示和应用各种光学特性的光学膜;在计算机显示用的感光膜:在TFT，PDP平面显示器上的导电膜和增透膜:在建筑、汽车行业上应用的玻璃镀膜和装饰膜;在包装领域用防护膜、阻隔膜;在装饰材料上具有各种功能装饰效果的功能膜，在工、模具上应用的耐磨超硬膜:在纳米材料研究方面的各种功能性薄膜等等都是真空镀膜技术及设备在!“泛应用的基础上得到的不断发展的领域。
从中国的真空镀膜技术及设备的发展历史来看，是从20世纪60年代开始的，从无到有，从模仿设计、自行研制到技术引进，并在技术引进的基础上促进了自行研制和发展，特别是在20世纪80 90年代我国的真空镀膜技术及设备都取得了长足的发展，在一些薄膜的应用领域里甚至得到了跨越式的进展。
但随着中国进入WTO和世界经济全球化进程的加快，我国的真空镀膜技术及设备已经面临和正在面临着国外拥有先进的真空镀膜技术和设备的跨国公司的强有力的竞争和挑战，这种竞争和挑战迫使我们要同世界贸易组织的其它成员国--样,在同等条件下参与整个世界市场的竞争。但机遇也伴随竞争和挑战降临，主要的机遇在于中国入世后将逐步成为世界各经济国的加工基地，同时设备制造的国际性。
优质配件的采购也将更容易，采购成本也会降低，国产设备的品质会得到大幅度的提高。从目前真空镀膜设备的市场发展现状来看，国外许多实力雄厚的真空镀膜设备生产商已在中国成立了许多合资或独资的加工企业，井将一些新的真空镀膜工艺技术和产品移植到这些企业中来。因此我国真空镀膜设备在今后三到五年内的主要市场除了国内的企业外，外商投资企业也是设备需求新的增长点。真空镀膜工艺技术的不断发展，也推动了真空镀膜设备的不断更新，真可谓是一代工艺、一代设备，而各类新的真空镀膜设备的出现，又为先进、复杂的工艺应
用于工业化生产提供了可靠的保证。
以下将从真空镀膜设备的几个主要应用领城，简述国内外真空镀膜应用技术及设备的基本现状及主要差距。
在光学应用领域。真空镀膜技术在光学领域的应用近年来是发展得非常快的。在各种光学零件的光学镀膜方面，主要是利用传统的电阻蒸发、电子束蒸发、低压等离子辅助镀膜、磁控溅射的方法来制备各种具有光学特性的镜片和棱镜，在有机或无机材料上镀宽带增透膜、红外膜、激光膜、冷光反射膜、热保护滤光片、宽带干涉光片、硬质增透膜等光学薄膜。
平面玻璃镀膜也是大面积光学镀膜应用的一种，它主要是利用高速磁控溅射技术在大面积的玻璃表面镀制膜层厚度均匀，并且具有各种光学特性的薄膜，如高透明度、色泽中性、低辐射率(Low-E)薄膜;低辐射率与太阳能控制(Low-Esun or sunbelt Low-E)的组合特性薄膜;具有各种透光特性和反射不同色彩的阳光保护膜(solar control); 用于汽车玻璃的透明、导电、防热辐射膜;用于TFT、PDP平板显示技术的透明导电膜和防护膜:用于光通讯方面的DWDM特性膜，用于背投电视的反射成像膜层等。
完成以上各种光学薄膜制备的设备是多种多样的，主要是箱式真空镀膜机、隧道式连续磁控溅射台等。目前国内外这类设备的主要生产厂家有:
2.国内主要厂家
与国外厂家同类设备相比，我国生产的设备主要的差距在于:
1.设备的自动化程度低，光学膜镀层控制精度低，达不到自动控制的要求;
2.设备的可靠性较差，电气控制以手动为主，全自动控制较少;
3.设备的研发落后于镀膜工艺技术的发展和市场的需求。与国外厂家同类设备相比，我国生产的设备主要的差距在于:1.设备的自动化程度低，镀层控制精度低;
4.设备的可靠性低，生产效率低;设备的结构形式落后，生产成本高。
发展国内真空镀膜设备需要更深的思考，真空镀膜设备的研制、技术水平与国外厂家设备的差距，观念上的差距创新意识不够。国内真空镀膜设备的生产厂家，主要考虑的是国内的中、低端市场，常常受用户给出的低价格所迫，以牺牲设备的性能和可靠性来贏得市场，而生产厂家也缺乏对设备研制的能付诸于实施的中长期规划。这样就使得对新技术、新工艺的应用迫切性降低，而给国外厂家创造了进入中国市场的大好机会。
国内厂家从观念上不是尽可能的利用新技术、新工艺研制出市场发展需要的优质、高可靠的新一代设备，用新技术、新工艺、新设备去引导市场需求的发展方向，而是被市场的某- -些临时需求所左右，其结果就是设备制造的技术水平与国外同类设备的差距不断加大，虽然能以低价格的设备参与竞争，但最终结果却是镀膜的产品质量不高(如对CR-39树脂眼镜片的镀制)。
规模和投入上的差距规模和投入的基础较为薄弱。目前国内的生产厂商以中、小规模居多，规模小，综合实力低，就算年产值达到6000 万元人民币的企业，其产值也仅是国外同等规模企业的1/ 15-1/ 20。由于大多数企业以国有资产为主，普遍经济效益不高，对新产品新技术的研制都存在投入较少的问题，这使企业的发展后劲不足。如何增加国内企业的创新实力，是我们目前面临着的一个急待解决的问题.
在新技术、新工艺的转换应用上的差距国内一些企业为适应市场的激烈竞争的环境，容易产生短期行为，造成产品低水平，以低价格竞争，加上某些厂产品自我开发能力不足，其产品设计就是低水平的抄袭，产品生产也是低水平的重复。生产厂家同大学和研究单位的新技术新工艺的转换应用上结合不紧密，使得有些在我国己研制出的新技术新工艺得不到有效、及时的转换和应用。
另一方面企业不能正确预测产品的发展方向，提不出产品更新换代的思路，有的能预测却拿不出用于研制的投入资金，使得一些大学和研究单位即使有能力参与也使不上劲。
产品质量上的差距由于国内的整体配套更新较慢，加工设备较差，加工手段不先进，造成产品的一致性差，产品质量在许多方面低于国外同类产品的水平。有一-些能提高产品质量的手段和方法，也因为要降低产品成本的原因和一些较为落后的生产工艺方式而无法得以应用。产品的整体设计质量也低于国外公司的技术水平。由于我国现在大多数真空镀膜设备的自动化操作水平低，都不随设备提供工艺技术，所以利用这些产品生产出的最终镀膜产品的质量是由用户的操作水平来作决定，而不是设备的性能就能决定产品的质量。
但是，中国真空镀膜设备的发展和应用也是有相对的优势。
资源上的优势我国有近20多个有- -定规模的真空镀膜设备的研制和生产厂家，并都拥有一-支有一定技术水平和研发能力的技术队伍和销售网络，从真空行业的组织机构来看，有中国通用机械真空设备行业协会和中国真空学会的组织、协调和指导，体系是健全的，整个真空行业是有凝聚力的。从全行业的研制生产规模和从业人数上来看都是具有-定优势的。
市场上的优势随着中国进入WTO以后，中国将逐步成为世界最大工业产品的
加工基地，中国范围内就有巨大的市场发展空间，同时中国国内的真空镀膜设备，由于价格上的优势，也正将市场扩大到泰国、新加坡、印度、马来西亚等亚洲发展中国家。因此，中国的真空镀膜设备的市场销售潜力是巨大的(国产真空镀膜设备的销售额在2亿多人民币，而进口的真空镀膜设备的销售总额在30亿人民币以上)。
研制和制造成本的优势国内的主要真空镀膜设备生产企业，同国外厂家相比都具备低的人工成本和低的加工设备和工作场地的租金成本(或资产占用费)。这也许是国外许多同类企业无法比拟的优势，同时也是中国成为世界制造业的最大的加工基地的必要条件之一。
1.4本章小结
最后，利用有限元理论和ANSYS有限元软件，对真空磁控溅射离子镀膜机的镀膜室壳体在200℃环境下，进行了静力分析与研究。对镀膜室壳体进行有限元建模、网格划分、施加一定量的载荷，对其结构的稳定性和安全可靠性进行验证，通过对计算结果的分析和研究，并结合镀膜室壳体的实际工作情况，提出了对镀膜室壳体的结构改进设计，改进设计后的镀膜室壳体在稳定性和可靠性方面有明显提高，完全满足工程实际需要。
高真空镀膜机,镀膜机是目前制作真空条件应用最为广泛的设备.其相关组成及各部件：机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、真空测量系统。
此外，将蒸发法与溅射法相结合，即为离子镀。这种方法的优点是得到的膜与基板间有极强的附着力，有较高的沉积速率，膜的密度高。
溅射比蒸镀和工作真空低一个数量级,所以膜层的含气量要比蒸镀高.蒸镀不适用于高溶点材料,如钼,钨,~~等.因为溶点高,蒸发太慢,而溅射的速度比蒸镀快很多.溅射不适用于低硬度材料,如非金属材料.溅射不适用于非导电材料.蒸镀不能控制厚度,而溅射可以用时间控制厚度.蒸镀不适应大规模的生产.蒸镀的电子动能比溅射小很多,虽然含气量少,但是膜层易脱落,溅射的膜均匀,蒸镀的膜中心点厚,四周薄.在国内蒸镀工艺比溅射工艺成熟.当然还有很多,一会也说不完.就看你主要想知道什么。
第二章真空镀膜机工件架系统方案分析
2.1真空镀膜机工架系统设计的基本参数
,W6m*L6m,W6m*L8m,
其他技术参数水压》=0.2Mpa,水温《=25℃，气压
0.5-0.8Mpa
备注镀膜设备的具体配置可根据客户的镀
膜产品工艺要求进行设计。
2.2支撑点的换位和自转设计
真空室(镀膜室)构造。由钟罩、蒸发器、挡板、轰击棒支架、烘烤炉等组成。如图 5
所示。钟罩和底板组成一个密封的真空室 ,在室内能进行各种操作 ,蒸发器由加热电极和蒸发源两部分组成 ,蒸发源有由钨丝绕成的螺旋状形式。蒸发源上面的挡板可转动。它能挡住一些奔向镀件的杂质蒸汽分子。放置镀件的支架可以转动 ,以便镀上均匀的膜层。
图5 :镀膜室
11 轰击棒;21 烘烤炉;31 烘烤电极及插头;41 工件架;
51 蒸发档板;61 范发源;71 蒸发电极
维护。在降钟罩的过程中,要保证钟罩边沿的密闭性。如果需要在真空镀膜机处于工作
状态时升钟罩 ,那么 ,首先要使钟罩与其它系统隔离(即高阀与予抽阀处于关闭状态) ,然后慢慢打开放气阀 ,最后才可升钟罩。如果钟罩升起后 ,需要降钟罩 ,再次对钟罩进行抽气时 ,首先要关闭放气阀 ,再慢慢打开予抽蝶阀 ,高阀仍处于原来的状态(关闭状态) 。
2.3工件平移部件的方案确定
真空镀膜机的构成，真空镀膜机由三部分组成( 见图 1) : 抽真空系统、电气系
统和镀膜室 ,其中抽真空系统包括机械泵和油扩散泵两部分。
图1 :真空镀膜机结构
11 真空室;21 热偶计规管;31 放气阀;41 予抽蝶阀;51 扩散泵出口阀;61 电离规管;71 高阀;
81油扩散泵;91 储气筒;101 机械泵
下面将主要通过镀膜机的抽真空系统、镀膜室以及用来测量真空度的复合
真空计三部分讨论真空镀膜机的工作原理及其具体操作维护。
抽真空前准备工作:保证循环水的畅通;保证放气阀处于关闭状态;检查电路 ,保证真空室升降器是否需要加油以保证其正常升降。
油扩散泵(次级泵)原理。其原理是利用高速定向运动的油蒸气使气体分子获得
定向移动的动能。在图 4 中给出了油扩散泵的结构图。油槽中的扩散泵油(硅油)
在真空中加热到沸腾时 ,产生的油蒸气流沿导流管上升 ,在经过各级喷嘴向下
高速喷出 ,随着喷嘴处低压区的形成 ,进气口处的气体分子便进入泵体内 ,并
且自上而下作定向流动 ,经排气口进入储气桶压缩存储 ,此后被前级泵(机械泵)
抽走 , 油蒸气则遇到水冷的扩散泵管壁后被冷凝凝结 ,回入泵体底部的油槽 ,重新被加热 ,如此循环工作 ,实现连续抽气 ,所以泵壁外有一段冷凝水管 ,从
而达到抽高真空目的。
图4 :油扩散泵的结构
维护。泵油具有蒸气压很低的特点 ,属高分子化合物 ,氧化变质后的泵油因由分子发生裂变 ,蒸气压升高 ,这将严重影响泵的极限真空度。在排气口处的压强维持在 1～0. 1Pa ,扩散泵的极限真空度可达 6. 67 ×10 - 4Pa 。
所以 ,油扩散泵的操作维护 ,在整个真空镀膜实验过程中 ,是至关重要的。
具体如下 :必须在前级泵(机械泵) 达到一定的压强(0. 1Pa) 后才能加热泵
油 , 使扩散泵工作; 在加热泵油之前; 必须先开冷却水 ,否则泵油的蒸气将沾污整个真空系统; 必须保证冷却水不能中断。
真空镀膜机安全管理规定 撰写人：___________ 部门：___________
真空镀膜机安全管理规定 真空镀膜设备是电阻加热式蒸发真空镀膜设备。操作人员必须详细阅读该机说明书，了解设备结构、工作原理、操作程序并由专业人员指导培训，熟练掌握各操作要领。经有关专业人员确认符合操作规范，方能独立上岗操作。 一、该机开机前应先检查电控柜的接线是否有松脱现象，接上电源，并检查真空室内电极绝缘性，钨丝接触是否可靠，工件架转动是否自如。联轴器，输入电极接触是否良好，各密封处特别是动密封处是否良好。还需检查扩散泵、旋片泵、罗茨泵、滑阀泵等的油量是否满足要求。提供的电源、气源，各种机械泵转向都应正确。注意：试验罗茨泵转向一定要在真空状态下进行。 经过上述检查，各项性能良好，才能进行抽气试机。如果镀膜室长期暴露大气，还必须进行“炼气”，就是按照操作规程，不进行镀膜，只让机械泵、扩散泵等连续抽气，察看真空度上升的稳定情况，若真空度保持稳定，才能进行下一步操作。一般“炼气”时间要达10小时以上。调试时主要检查： 1.真空检漏 2.检查极限压强 3.抽气时间 二、满足以上各项检查后，进入操作和使用： 1.在非特殊情况下，请勿以断拉闸(断电)方式停机。 2. 本设备通电及运行过程中，请勿触摸电气控制柜内部和外部用 第 2 页共 2 页
电器件，注意安全。 3. 确认安全无误时才能操作设备。 4. 不要将设备交给非本设备操作人员操作。 5. 设备及电源控制柜必须良好接地。 6. 非专业人员请不要维修本设备。 三、工作中还必须注意以下几点： 1.平时，整个系统要保持真空状态，工作前才充入气体，不要使真空室长期暴露在大气中; 2.真空室镀膜200-250次后，要清洗真空室和工作支撑架; 3.经常检查胶封是否良好，特别是动密封圈，定期给动密封圈加上真空脂; 4.定期检查电气元件，清除灰尘，更换烧坏的电器元件; 5.在真空状态下不得拆卸扩散泵和阀门; 6.罗茨泵、粗抽泵、维持泵要定期加油，换油(保持油面在油镜中心为佳); 7.充气阀门充气动作失灵时，必须进行检修; 8.镀膜完毕时先关闭真空测量计，再关闭精抽、前置阀，待精抽阀、前置阀完全关闭后才能充入大气，否则会烧坏电离规管，氧化扩散泵油 第 2 页共 2 页
真空镀膜机安全操作规程 一．开机前作到： 1.检查工作环境清洁、干净。 2.检查电线无破损，接地牢固。 3.检查真空室、镀膜转架及工位器具清洁、无油污。 4.机械泵、罗茨泵油位过半。 5.检查四只阀加注满3#真空脂，真空室转轴加注满3#真 空脂。 6.罗茨泵转轴处油杯加满机械泵油。 7.准备相关工位器具，适量J-7钨丝、ABOO型99.99％ 的铝丝。 8.接通水、气、电，气压0.5-0.6Mpa，水压0.3-0.4Mpa。二．操作要点： 1.通电，开启机械泵，3分钟后开启阀3，开扩散泵，预 热1-1.5小时。 2.镀膜转架装夹产品、铝丝、钨丝，转架进烘箱预热（温 度、时间符合工艺）。 3.开阀4，开启真空室，转架进真空室，卡销定位，试转 动平稳无异常振动。 4.关闭真空室，关阀4，关阀3，开阀2，开始抽气，开 启复合真空计。 5.当真空度达至-0.1Mpa时，开启罗茨泵。
6.当真空度达到1-1.5Pa（52-64格）时，关阀2，开阀3， 开阀1。 7.当真空度达到2×10-2Pa时，开启转动（转速符合工艺）， 分二次进行蒸镀（电压、时间符合工艺），蒸镀结束关 复合真空计。 8.停止蒸镀0.5-1分钟后关转动，关阀1，关罗茨泵。 9.开阀4，开真空室，拉出镀膜转架，取下成品，换装待 镀产品，装上铝丝，进行下次工作。 10.严守开关阀、泵的顺序步骤，防止损坏设备。 11.生产中注意产品安装到位牢固。 12.注意转架电极、紧固件是否松脱，及时加固补全。 13.及时更换断裂、积球、老化的钨丝。 三．关机及保养： 1.拉出转架后，关扩散泵，冷却1-1.5小时，后关阀3， 关机械泵。 2.关整机电源，关冷却水、关高压空气。 3.每星期检查清洁镀膜转架工装。 4.每三个月检查更换机械泵油。 5.每六个月检查更换罗茨泵油、扩散泵油。 制定：王思忠审批： 时间：2002.09.10 时间：
真空镀膜实验指导 真空镀膜常用的方法有蒸发镀膜、射频溅射镀膜和离子镀膜等。本实验通过介绍蒸发镀膜原理，掌握蒸发镀膜的操作方法。真空镀膜技术在电真空、无线电、光学、固体物理、原子能和空间技术中有广泛的应用。 1真空镀膜原理： 1.1蒸发镀膜机理 蒸发镀膜是真空镀膜的一种，它是在高真空条件下将物质加热到沸腾状态，沸腾出来的原子或分子溅落在固体材料表面，形成一层或多层膜的方法。凡是在沸腾温度下不分解或不变性的物质都可以用此法蒸镀成膜。 蒸发原子的成膜过程比较复杂，这里只能粗略描述如下：溅落原子首先被固体表面吸附，当表面温度低于某一临界温度时，原子开始“核化”——部分原子凝聚成团，出现若干“岛”，然后这些“岛”逐渐吸收周围的原子而长大，众多的“岛”相互连接成一片而成一块连续的膜。蒸发镀膜的条件主要有两个，分别介绍如下： 1.2高真空 我们希望蒸发出来的原子或分子不要受空气分子的阻挡而直接溅落到固体的表面，这样，蒸发镀膜的速度高，成膜质量也好。相反，如果真空度低，有大量的空气分子存在，一方面，蒸发出来的原子或分子与空气分子碰撞，阻碍了膜材分子的扩散，降低了蒸镀的速度，影响了膜的均匀性，另一方面，空气的导热使得膜材的温度不能很快地升高，必然要加大加热功率；更有甚者，空气的存在可能使膜材的某些成分氧化，引起成分变性；在连接着抽气机的情况下，若不能很快完成镀膜，膜料将被抽走。因此，蒸发镀膜需要在高真空条件下进行。当然，真空度也不需要绝对地高。事实上，只要分子的平均自由程大于膜材到基底的距离即可。如果膜材到基底的距离为10 --20cm，根据自由程公式 （d是分子的直径，n是分子数密度） 不难估计真空度在Pa以上就可以满足要求。 1.3材料洁净 材料的洁净包括膜料的洁净和基底材料的洁净。这一要求似乎是不言而喻的。如果材料中混有颗粒状或纤维状的杂质，将直接影响膜的均匀性和牢固度；如果混有可融的化学成分，将影响膜的物理性质，如亮度、表面张力、电导率等等。所以，膜材和基底的清洗工作必须认真对待。 2真空技术
仅供参考[整理] 安全管理文书 真空镀膜机安全管理规定 日期：__________________ 单位：__________________ 第1 页共4 页
真空镀膜机安全管理规定 真空镀膜设备是电阻加热式蒸发真空镀膜设备。操作人员必须详细阅读该机说明书，了解设备结构、工作原理、操作程序并由专业人员指导培训，熟练掌握各操作要领。经有关专业人员确认符合操作规范，方能独立上岗操作。 一、该机开机前应先检查电控柜的接线是否有松脱现象，接上电源，并检查真空室内电极绝缘性，钨丝接触是否可靠，工件架转动是否自如。联轴器，输入电极接触是否良好，各密封处特别是动密封处是否良好。还需检查扩散泵、旋片泵、罗茨泵、滑阀泵等的油量是否满足要求。提供的电源、气源，各种机械泵转向都应正确。注意：试验罗茨泵转向一定要在真空状态下进行。 经过上述检查，各项性能良好，才能进行抽气试机。如果镀膜室长期暴露大气，还必须进行炼气，就是按照操作规程，不进行镀膜，只让机械泵、扩散泵等连续抽气，察看真空度上升的稳定情况，若真空度保持稳定，才能进行下一步操作。一般炼气时间要达10小时以上。调试时主要检查： 1.真空检漏 2.检查极限压强 3.抽气时间 二、满足以上各项检查后，进入操作和使用： 1.在非特殊情况下，请勿以断拉闸(断电)方式停机。 2.本设备通电及运行过程中，请勿触摸电气控制柜内部和外部用电器件，注意安全。 3.确认安全无误时才能操作设备。 4.不要将设备交给非本设备操作人员操作。 5.设备及电源控制柜必须良好接地。 第 2 页共 4 页
6.非专业人员请不要维修本设备。 三、工作中还必须注意以下几点： 1.平时，整个系统要保持真空状态，工作前才充入气体，不要使真空室长期暴露在大气中; 2.真空室镀膜200-250次后，要清洗真空室和工作支撑架; 3.经常检查胶封是否良好，特别是动密封圈，定期给动密封圈加上真空脂; 4.定期检查电气元件，清除灰尘，更换烧坏的电器元件; 5.在真空状态下不得拆卸扩散泵和阀门; 6.罗茨泵、粗抽泵、维持泵要定期加油，换油(保持油面在油镜中心为佳); 7.充气阀门充气动作失灵时，必须进行检修; 8.镀膜完毕时先关闭真空测量计，再关闭精抽、前置阀，待精抽阀、前置阀完全关闭后才能充入大气，否则会烧坏电离规管，氧化扩散泵油及发生不必要的以外; 9.镀膜机在工作过程中，不得断水，若在工作过程中突然停电，应马上关闭精抽阀门，减少因系统漏气泵油的氧化; 10.关罗茨泵后一定要经过1分钟后才能关粗抽泵，否则会因为罗茨泵在转速较高时充入气体，会损坏罗茨泵。 第 3 页共 4 页
毕业设计 题目真空镀膜机电气控制系统 摘要 本文所研究的真空镀膜机是一种蒸发式卷绕系统的镀膜机，主要应用于PET、OPP、BOPP等塑料薄膜上蒸镀金属膜，也可应用于生产镀铝、镀锌铝或镀银锌铝电容膜。其总体结构主要由真空系统、卷绕系统、蒸镀系统及电控系统组成，通过PLC来实现对真空系统的各种泵、阀门等开关量的控制，通过三菱触摸屏实现后台管理、各种工艺参数的设定及控制功能，自动化程度较高，有利于生产效率的提高。 该电气控制系统主控单元是采用三菱PLC的FX系列的通过三菱触摸屏设置对纸张力、电机速度、蒸发舟的状态和蒸发量等工艺要求参数的控制，同时具有故障报警、保护路线的功能，由RS232/485串行接口、A/D转换模块和控制器等实现各种参数的传输、信息处理、检测控制功能。 文中首先对镀膜机的真空系统和整个蒸镀工艺过程进行了分析；并建立了卷绕系统中放卷、收卷的张力控制模型，找出影响张力的相关因素，并采用了模糊自适应整定PID控制算法作为卷绕系统张力控制策略，结果显示比传统的PID 控制效果好，适应性强；同时完成了控制系统软、硬件结构的论证分析和设计，设计过程中采用三菱PLC仿真软件对电气控制系统进行了模拟仿真，并实现上位机与PLC的通讯功能，仿真结果显示，该真空镀膜机自动化程度高，模拟蒸镀效果好，保证了镀膜质量。 关键词：真空镀膜机；可编程控制器；张力控制；人机界面；AutoCAD2007
ABSTRACT In this paper, Vacuum coating machine, which is developed by this paper is an evaporation-type winding coating machine, mainly used in PET, OPP, BOPP and other plastic film evaporated metallic film, also can be used in the production of aluminum, galvanized aluminum or silver plated zinc aluminum capacitor film. The composition of its overall structure is mainly composed of a vacuum system, winding system, evaporation system and electric control system; On the one hand, through the PLC to control pump of the vacuum system ,valve switch and so on, on the other hand, through Mitsubishi touch screen to conduct back-stage management and control and set all kinds of Process parameters, this will improve the degree of automation and Is conducive to the improvement of production efficiency. The electric control system of main control unit is controlled by Mitsubishi FX series, through Mitsubishi touch screen to set and control evaporation process on paper tension, motor speed, evaporation boat required parameters, besides fault alarm, protection route function. By RS232/485 serial interface and A/D conversion module controller to achieve various parameters transmission, information processing, detection and control function. Firstly, the vacuum system for coating machine and the evaporation process are analyzed in this paper; and the winding system of roll and the roll tension control model is established, then finding out the relevant factors that affect tension, and adopt the fuzzy adaptive tuning PID control algorithm as the winding tension control system, the results showed that compared with the traditional PID control effect, the fuzzy adaptive tuning PID control algorithm is better and have strong adaptability; at the same time completing the proof analysis and design of the control system of soft, hardware structure, the design process of electrical control system is simulated by using PLC simulation software and Mitsubishi, realize the communication between
操作规程编号：LX-FS-A73952 真空镀膜工安全操作规程标准范本 In The Daily Work Environment, The Operation Standards Are Restricted, And Relevant Personnel Are Required To Abide By The Corresponding Procedures And Codes Of Conduct, So That The Overall Behavior Can Reach The Specified Standards 编写：_________________________ 审批：_________________________ 时间：________年_____月_____日 A4打印/ 新修订/ 完整/ 内容可编辑
真空镀膜工安全操作规程标准范本 使用说明：本操作规程资料适用于日常工作环境中对既定操作标准、规范进行约束，并要求相关人员共同遵守对应的办事规程与行动准则，使整体行为或活动达到或超越规定的标准。资料内容可按真实状况进行条款调整，套用时请仔细阅读。 1．在机床运转正常情况下，开动机床时，必须先开水管，工作中应随时注意水压。 2．在离子轰击和蒸发时，应特别注意高压电线接头，不得触动，以防触电。 3．在用电子枪镀膜时，应在钟罩外围上铝板。观察窗的玻璃最好用铅玻璃，观察时应戴上铅玻璃眼镜，以防X射线侵害人体。 4．镀制多层介质膜的镀膜间，应安装通风吸尘装置，及时排除有害粉尘。 5．易燃有毒物品要妥善保管，以防失火中毒。 6．酸洗夹具应在通风装置内进行，并要戴橡皮
文件编号：GD/FS-9694 （操作规程范本系列） 真空镀铝机安全操作规程 详细版 The Daily Operation Mode, It Includes All The Implementation Items, And Acts To Regulate Individual Actions, Regulate Or Limit All Their Behaviors, And Finally Simplify Management Process. 编辑：_________________ 单位：_________________ 日期：_________________
真空镀铝机安全操作规程详细版 提示语：本操作规程文件适合使用于日常的规则或运作模式中，包含所有的执行事项，并作用于规范个体行动，规范或限制其所有行为，最终实现简化管理过程，提高管理效率。，文档所展示内容即为所得，可在下载完成后直接进行编辑。 1 目的：为了减少直至消除违章操作造成的工伤安全事故，为了减少直至消除违章或不规范操作对设备造成的损害，特制定本文件，为操作镀铝机提供正确指引。 2 范围：适用于本公司钟南街厂区所有镀铝机。 3 职责： 3.1 机长和辅助：执行本文件规定项目和内容。 3.2 主管：监督当班人员按本文件规定执行，负责日常巡查和纠正违章操作。 3.3 设备管理部：负责全厂区范围内巡回检查，
发现和取证各车间违章操作行为。 4 操作具体要求： 4.1工作准备 按本设备使用说明的各项要求，检查设备的供电、供水、供气、油位等各部分状态是否正常，保证三相电压＞370V,保证油水分离器处的气压＞ 0.55Mpa、冷却水进水压力＞0.2Mpa（LDL5的水压≥0.15 Mpa），＜0.3 Mpa,确保其通畅、可靠和安全。［备注：交接班时，关闭V2、V6 V1、V5后开启滑阀泵、打开气镇阀进行气镇半小时再关闭气镇阀（也可以在关闭V1、V5而且真空度≤90Pa（9×103）的情况下进行），并经常排放滑阀泵内的冷凝水,1-7月排放1次/3小时间;7-12月排放1次/5小时。 4.2 镀膜准备工作
第一章、对真空镀膜设备维护与保养的认识 真空镀膜设备有多种规格的单室机和多室连续机。真空镀膜设备的运行状况直接影响生产工艺、产品质量和生产进程等，为了使设备的运行状况良好，必须建立和完善设备的维护与维修制度、维护内容、维修标准等。 一、维护与维修制度，为了使真空镀膜设备在维护、维修及生产过程中出现问题能得到及时收集、传递、分析和处理而制定的管理制度。 1.有完善的制度和设备的使用操作规程。 A、维修人员在维修时应挂放正在维修牌，并切断电源以防他人使用机器设 备等。这也是对设备特别是维修和操作人员安全的重要保证。 B、真空镀膜机（其实不单是真空镀膜机，应该是所有的设备）必需要有详 细易懂的操作说明书（这份说明书是根椐各自厂内环境及实际情况编写的）。 而且在每个新学员工在操作机器之前要看懂，在指定的掊训人员监看下按照说明书一步一步操作。并在培训完后考核合格上岗。（附样本说明书） C、日常保养同样也要有标准化的作业指导书。这里面包括了作业之前的准 备工作（准备工具、清洁用品、必要冷却，吹水等等）及作业步骤，注意事项，事后检查（检查有无遗漏零部件，工具，及冷却水无有打开。）现场清理工作。（附作业指导书苑本） D、建立设备台帐。设备的台帐好比人一生的档案一样。从设备安装调试那 天起就应该记录设备的一些重要参数。（比如极限真空度，前级，预抽的真空度和时间，电流，电压等各方面数据，以及重大维修记录） E、保养记录表。第日点检，以及周期保养应该都要有记录（附表） F、异常维修记录表。记录处理每次异常发生的原因、检查的步骤、得出的 结论、处理的方法，以及预防被免再次发生的措施。（附表） 可能这些文字工作对有些师傅们觉得有些不耐烦。但我认为这样恰恰是起到了事半功倍的效果。既可以大大提高我们的分析异常的能力和速度，又减少了因为一些小的疏忽而酿成设备大的损伤。这些记录同时对企业和个人来说也是一笔重要的财富。 2.在工厂生产管理中设备的维护与维修是重要的一方面。应该有专职的、能力强的维修人员负责。
作 业 标 准 书 产品料号 三框 工 序 压铸-剥料-修批锋-抛进料口-精抛-素胚全检-电三价铬-全检-真空镀-全检 文件编号 JC-SOP-SC-087 产品名称 版次 A/0 成型参数及工序规范 工序图片说明 注意事项 模具温度（℃） 熔炉温度（℃） 喷嘴温度（℃） 130±30 440±20 450±20 喷嘴口径 射料时间（秒） 二次射料时间 13mm 0.7-1.2 -- 成型周期/秒 开模时间（秒） 喷雾时间（秒） 3.0±0.5s 手动喷雾 押出时间（秒） 冷却时间（秒） 射料速度 0.5-0.8s 3.0±0.5s 4-6转 射料压力（Kg/cm ） 锁模压力（Kg/cm ） 80-95kg 110±15kg 1、 确认模具装配OK ，模腔需干净无杂物，冷却水道通畅，喷嘴大小与 机台是否合适。模具编码为：JC-LW-38 (一模2穴)。 2、 确认压铸机使用正常。 3、 正确安装模具上机台，调试压铸机。 4、 调整压射参数，确认料温、模温与喷嘴温度OK 后进行首模生产。 5、 首件须品质及相关负责人确认OK 后方可生产。 6、 生产20-30模之间要加一次料。严格按照本产品制定之加料方式进行 加料。 7、 将放满产品之架车及时推至下一工序-----剥料。 1、 产品材料：3#锌合金。 2、 离型剂：水性锌合金专用离型剂。。 3、 产品外观要求无拉伤，气泡，水纹， 缺料，砂孔，变形，多料等。具体依据品质减压与合格标准书。 4、 加料方法：按产品规定循环添加，以 少量多次为原则。添加时需注意料温，不可低于400度。 5、 生产中异常应及时向上级汇报。 6、 注重环保，禁用六种有害物质。 仪器设备名称 数量 工、治具名称 数量 40T 锌压铸机 一台 钳子 一把 架台/手套 一张/一双 NO 修/制定日期 制作人 审 核 核 准 版本 制/修定内容 1 2014.02.20 张文定 A0 作业标准书 产品料号 三框 工 序 压铸-剥料-修批锋-抛进料口-精抛-素胚全检-电三价铬-全检-真空镀-全检 文件编号 JC-SOP-SC-087 产品名称 版次 A/0 工序规范 工序图片说明 注意事项 整模产品 130T 机台
编订：__________________ 单位：__________________ 时间：__________________ 真空镀膜机安全管理规定 (正式) Standardize The Management Mechanism To Make The Personnel In The Organization Operate According To The Established Standards And Reach The Expected Level. Word格式 / 完整 / 可编辑
文件编号：KG-AO-5029-36 真空镀膜机安全管理规定(正式) 使用备注：本文档可用在日常工作场景，通过对管理机制、管理原则、管理方法以及管理机构进行设置固定的规范，从而使得组织内人员按照既定标准、规范的要求进行操作，使日常工作或活动达到预期的水平。下载后就可自由编辑。 真空镀膜设备是电阻加热式蒸发真空镀膜设备。操作人员必须详细阅读该机说明书，了解设备结构、工作原理、操作程序并由专业人员指导培训，熟练掌握各操作要领。经有关专业人员确认符合操作规范，方能独立上岗操作。 一、该机开机前应先检查电控柜的接线是否有松脱现象，接上电源，并检查真空室内电极绝缘性，钨丝接触是否可靠，工件架转动是否自如。联轴器，输入电极接触是否良好，各密封处特别是动密封处是否良好。还需检查扩散泵、旋片泵、罗茨泵、滑阀泵等的油量是否满足要求。提供的电源、气源，各种机械泵转向都应正确。注意：试验罗茨泵转向一定要在真空状态下进行。 经过上述检查，各项性能良好，才能进行抽气试
机。如果镀膜室长期暴露大气，还必须进行“炼气”，就是按照操作规程，不进行镀膜，只让机械泵、扩散泵等连续抽气，察看真空度上升的稳定情况，若真空度保持稳定，才能进行下一步操作。一般“炼气”时间要达10小时以上。调试时主要检查： 1.真空检漏 2.检查极限压强 3.抽气时间 二、满足以上各项检查后，进入操作和使用： 1.在非特殊情况下，请勿以断拉闸(断电)方式停机。 2. 本设备通电及运行过程中，请勿触摸电气控制柜内部和外部用电器件，注意安全。 3. 确认安全无误时才能操作设备。 4. 不要将设备交给非本设备操作人员操作。 5. 设备及电源控制柜必须良好接地。 6. 非专业人员请不要维修本设备。 三、工作中还必须注意以下几点： 1.平时，整个系统要保持真空状态，工作前才充入气体，不要使真空室长期暴露在大气中;
真空镀膜机的详细结构 高真空镀膜机，镀膜机是目前制作真空条件应用最为广泛的设备。其相关组成及各部件：机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、真空测量系统. 下面本人详细介绍各部分的组成及工作原理。 一、真空主体——真空腔 根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用最多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M 等，腔体由不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。 二、辅助抽气系统 此排气系统采用“扩散泵+机械泵＋罗茨泵＋低温冷阱＋p olycold”组成 排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。 排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵（主要介绍罗茨泵）、油扩散泵三大部分组成。 机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用最广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。 机械泵有很多种，常用的有滑阀式（此主要应用于大型设备）、活塞往复式、定片式和旋片式（此目前应用最广泛，本文主要介绍）四种类型。 机械泵常常被用来抽除干燥的空气，但不能抽除含氧量过高、有爆炸性和腐蚀性的气体，机械泵一般被用来抽除永久性的气体，但是对水气没有好的效果，所以它不能抽除水气。旋片泵中起主要作用的部件是定子、转子、弹片等，转子在定子里面但与定子不同心轴，象两个内切圆，转子槽内装有两片弹片，两弹片中间装有弹簧，保证了弹片紧紧贴在定子的内壁。 它的两个弹片交替起着两方面的作用，一方面从进气口吸进气体，另一方面压缩已经吸进的气体，将气体排出泵外。转子每旋转一周，泵完成两次吸气和两次排气。当泵连续顺时针转动时，旋片泵不断的通过进气口吸入气体，又从排气口不断的排出泵外，实现对容器抽气的目的。为了提高泵的极限真空度，均将泵的定子浸在油里面这样，在各处的间隙中及有害空间里面经常保持足够的油，把空隙填满，所以油一方面起到了润滑作用，另一方面又起了密封和堵塞缝隙及有害空间的作用，防止气体分子通过各种渠道反流到压强低的空间去。 机械泵是从大气开始工作的，它的主要参数有极限真空，抽气速率，此为设计与选用机械泵的重要依据。单级泵可以将容器从大气抽到1.0*10-1PA的极限真空，双级机械泵可以将容器从大气抽到6.7*10-2帕，甚至更高。 抽气速率，是指旋片泵按额定转数运转时，单位时间内所能排出气体的体积，可以用下公式计算： Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸气结束时空腔截面积，L表示空腔长度，系数表示转子每旋转一周有两次排气过程，Vs表示当转子处于水平位置的时候，吸气结束，此时空腔内的体积最大，转速为n。
1. 目的/范围 规范镀膜操作工艺，确保安全生产。 2. 定义/缩写词 NA 3. 参考文件 NA 4. 职责与权限 本文件适用于高意光学镀膜中心镀膜工种，在所有工程师商讨通过之后有权改动其中内容。文件制定、执行者姜海，镀膜总工艺李全民对此文件有最终解释权。 5. 工具及设备 国产镀膜机及配件、分光光度计。 6. 作业内容 1膜厚控制方式：过正极值法、定值法和晶控法。 2镀膜操作步骤： 2.1镀膜员工基本要求： 每天早晨开机之前了解一天内所要镀的产品，镀每一灶之前都要检查核对派工内容，检查产品或试镀品的生产任务单号、数量、镀膜指标，跟据相应的指标找出《镀膜生产工艺卡》，无相应镀膜生产记录表，操作员有权利拒绝镀膜。 2.2开机： 2.2.1确认总电源、总气路、总循环水正常工作，开启镀膜机总电源。 (重要环节/语言很难描述的环节) 2.2.2北仪：依次开（维持泵）、机械泵、前级阀、扩散泵，扩散泵温 度到设定温度（须预热60分钟以上才能正常工作）。
南光：依次开机械泵、预阀、扩散泵（1#镀膜机260℃，7#镀膜 机230℃，8#镀膜机240℃），各阀门开关间隔5秒。 2.2.3依次开启真空计、晶控仪、膜厚控制仪、气体流量显示仪、光源 （预热80分钟，非正常工作下电流值调至工作状态的一半）、单 色仪控制器、工转电源、计时器和照明。 2.3热机 2.3.1如果超过8小时未开机，除7#镀膜机，其余都需要热机。各机台 大清洗之后，必须热机。 2.3.2 按照此文件依次执行抽低真空、抽高真空、镀膜前准备等各步 骤，开烘烤到100℃恒温10分钟。 2.3.3开启离子源、电子枪，使机器处于镀膜状态，镀Ta2O5膜料 10nm ，镀膜之后关闭电子枪，离子源，此操作为检验镀膜机各设 备是否处于正常工作状态。 2.3.4按此文件执行镀膜后步骤，以上步骤具体内容详见下文。 2.4抽真空前准备： 2.4.1北仪： 按充气阀对真空室充气，充气完毕关充气阀。
真空镀膜主要利用辉光放电(glow discharge)将氩气(Ar)离子撞击靶材(target)表面, 靶材的原子被弹出而堆积在基板表面形成薄膜。溅镀薄膜的性质、均匀度都比蒸镀薄膜来的好,但是镀膜速度却比蒸镀慢很多。新型的溅镀设备几乎都使用强力磁铁将电子成螺旋状运动以加速靶材周围的氩气离子化, 造成靶与氩气离子间的撞击机率增加, 提高溅镀速率。一般金属镀膜大都采用直流溅镀,而不导电的陶磁材料则使用RF交流溅镀,基本的原理是在真空中利用辉光放电(glow discharge)将氩气(Ar)离子撞击靶材(target)表面，电浆中的阳离子会加速冲向作为被溅镀材的负电极表面，这个冲击将使靶材的物质飞出而沉积在基板上形成薄膜。一般来说，利用溅镀制程进行薄膜披覆有几项特点：(1)金属、合金或绝缘物均可做成薄膜材料。(2)再适当的设定条件下可将多元复杂的靶材制作出同一组成的薄膜。(3)利用放电气氛中加入氧或其它的活性气体，可以制作靶材物质与气体分子的混合物或化合物。(4)靶材输入电流及溅射时间可以控制，容易得到高精度的膜厚。(5)较其它制程利于生产大面积的均一薄膜。(6)溅射粒子几不受重力影响，靶材与基板位置可自由安排。(7)基板与膜的附着强度是一般蒸镀膜的10倍以上，且由于溅射粒子带有高能量，在成膜面会继续表面扩散而得到硬且致密的薄膜，同时此高能量使基板只要较低的温度即可得到结晶膜。(8)薄膜形成初期成核密度高，可生产10nm以下的极薄连续膜。(9)靶材的寿命长，可长时间自动化连续生产。(10)靶材可制作成各种形状，配合机台的特殊设计做更好的控制及最有效率的生产。 光学镀膜 一、耐磨损膜（硬膜） 无论是无机材料还是有机材料制成的眼镜片，在日常的使用中，由于与灰尘或砂砾（氧化硅）的摩擦都会造成镜片磨损，在镜片表面产生划痕。与玻璃片相比， 有机材料制成的硬性度比较低，更易产生划痕。通过显微镜，我们可以观察到镜片表面的划痕主要分为二种，一是由于砂砾产生的划痕，浅而细小，戴镜者不容易察觉；另一种是由较大砂砾产生的划痕，深且周边粗糙，处于中心区域则会影响视力。 （1）技术特征 1）第一代抗磨损膜技术 抗磨损膜始于20世纪70年代初，当时认为玻璃镜片不易磨制是因为其硬度高，而有机镜片则太软所以容易磨损。因此将石英材料于真空条件下镀在有机镜片表面，形成一层非常硬的
真空镀膜机安全管理规定 Through the process agreement to achieve a unified action policy for different people, so as to coordinate action, reduce blindness, and make the work orderly. 编制：___________________ 日期：___________________
专业技术文件/ Technical documentation编号： 真空镀膜机安全管理规定 温馨提示：该文件为本公司员工进行生产和各项管理工作共同的技术依据，通过对具体的工作环节进行规范、约束，以确保生产、管理活动的正常、有序、优质进行。 本文档可根据实际情况进行修改和使用。 真空镀膜设备是电阻加热式蒸发真空镀膜设备。操作人员必须详细阅读该机说明书, 了解设备结构、工作原理、操作程序并由专业人员指导培训, 熟练掌握各操作要领。经有关专业人员确认符合操作规范, 方能独立上岗操作。 一、该机开机前应先检查电控柜的接线是否有松脱现象, 接上电源, 并检查真空室内电极绝缘性, 钨丝接触是否可靠, 工件架转动是否自如。联轴器, 输入电极接触是否良好, 各密封处特别是动密封处是否良好。还需检查扩散泵、旋片泵、罗茨泵、滑阀泵等的油量是否满足要求。提供的电源、气源, 各种机械泵转向都应正确。注意：试验罗茨泵转向一定要在真空状态下进行。 经过上述检查, 各项性能良好, 才能进行抽气试机。如果镀膜室长期暴露大气, 还必须进行炼气, 就是按照操作规程, 不进行镀膜, 只让机械泵、扩散泵等连续抽气, 察看真空度上升的稳定情况, 若真空度保持稳定, 才能进行下一步操作。一般炼气时间要达10小时以上。调试时主要检查： 1.真空检漏 2.检查极限压强 3.抽气时间 第2页/共5页
【最新】工厂实习报告最新【五篇】 工厂实习,我学会了与员工同事相处沟通的有效方法途径.积累了处理人际关系问题的经验方法,下面给大家分享一下关于工厂实习报告,希望对大家有帮助工厂实习报告1 1.实习目的 通过现场参观,讲课及班组学习,了解本专业在生产和科研中的重要地位,学习工厂和工程技术人员丰富的生产经验和生产技术管理手法及主人翁精神,加强组织纪律性.培养安全生产观念;结合学生就业,进行相关的就业指导.学习现代测控系统的基本原理与技术,如纤维检测原理,真空技术与仪器的关联,为进一步学习专业知识打下良好基础.概括为: 1.基本掌握所在实习单位的概貌及有关的生产设备,了解所在岗位所使用的仪器的工作原理,结构及测控系统的组成运行,维护知识,丰富和扩大专业知识. 2.巩固已学的知识,特别是专业基础课及专业课内容,以达到理论联系实际的目的.通过生产实习,学习和了解检测专业在生产领域的各个应用以及仪器仪表先进性的发展等知识,进一步培养分析问题和解决问题的能力. 3.到研究所这样集中着许多科学领域里的新材料.新设备.新工艺和新技术进行生产实习.其目的是要求我们能把所学过的理论知识与生产实际联系起来,着重培养自己的实际工作能力,拓宽知识面,提高对所学专业的认知. 4.通过参观学习,着重了解真空研究所的生产工艺流程,加深对电子仪器设备技术的了解,了解现代企业的管理与生产流程. 2.实习单位 沈阳真空技术研究所(以下简称真空所)位于沈阳市大东区万柳塘路号.沈阳真空技术研究所创建于_58年,是国内最早从事真空技术及真空成套设备研制与开发生产的研究所,原属于机械工业部,现隶属于中国机械工业集团有限公司. 该所是国家真空设备质量监督检验中心.全国真空技术标准化技术委员会(国际标准化组织(ISO/TC_2)的P成员).科技期刊>杂志的挂靠单位,同时也是中国真空设备行业协会副理事长单位及中国真空学会副理事长单位.所内现有员工_0多名,专业技术人员65名,其中教授级高级工程师5人,高级工程师_人,工程师及助工38人;并设有真空冶金.真空热处理.真空电工.真空镀膜.真空测量等领域,
JSD-300型真空镀膜机 使 用 说 明 书 安徽嘉硕真空科技有限公司
目录 1、概述 (3) 2、主要技术性能参数 (3) 3、设备安装 (5) 4、操作规程 (5) 5、使用注意事项、维护与保养 (7) 6、设备主要配置 (8) 7、技术资料清单 (9)
一、概述 JSD-300型真空镀膜机是我公司研发，用于真空蒸发镀光学薄膜、低熔点金属和合金薄膜等。设备由真空室、真空机组和电气系统组成，具有结构紧凑、方便移动、操作简单、维护方便的特点，特别适合小型企业、科研单位和高校的使用。 二、主要技术性能参数 1.真空室：φ300*H450mm； 2.基片架：放一个基片，可旋转（步进电机控制，转速连续可调，可加热0-300度连续可调）； 3.最大可镀工件直径：φ120mm； 4.极限真空度：1X10-4Pa; 5.抽气时间：大气压~8*10-3Pa小于20min； 6.蒸发：电阻式蒸发电极（2对） 功率：2KW； 7.开启方式：上翻盖结构； 8.真空系统：机械泵+分子泵； 设备结构介绍： 1.真空室 钟罩结构，上盖开启。不锈钢材质，前面配φ100观察窗、预抽接口、充气接口；内部有底 板、蒸发源等； 2.真空系统 采用分子泵+旋片式机械泵。采用真空波纹管连接，配有真空测量仪表，具备真空互锁机构； 3.电气系统 电气系统包括真空抽气机组控制、蒸发与烘烤控制、真空测量控制等部分组成。
系统示意图如下所示： 图1 JSD-300真空镀膜机示意图 调节旋纽 电控面板 电流表 蒸发开关 膜厚仪探头 步进电机 插板阀 预抽阀门 备用接口 分子泵电源 前门板 总开关 电离单元 观察窗挡板 真空室 陶封电极 电机控制器 电阻单元 真空计 膜厚仪 加热温控电源 封板 地脚 脚轮 观察窗 温控仪表
真空镀膜操作规程 准备： 1、开启设备总电源，稳压器，确认三相供电电压正常：370— 440V； 2、开启电容补偿器； 3、确认水池冷却水水量充足（见浮标尺）打开循环水泵； 4、根据工艺要求，确定是否需要启动冷水机以及启动几台冷水机；启动 前应确认冷水机入口水压-3kg ，内部增压泵旋转正常，可采用自动或手动方式启动； 5、确认各部分冷却水循环系统完好，确认扩散泵循环水工作正 常，紧急冷却系统准备就绪； 6、确认工艺气体气压不低于20 个大气压 7、装基膜： A 、领膜：镀膜工按生产任务单要求，从净化室中领到基膜时，应立即检 查该膜是否合格，有无花纹、斑点、划伤、污迹，收卷是否整齐等直接观测到的问题，如有应立即向生产主管报告，以决定是否采用； B、装轴：操作时必须带手套，将合格的基膜放在专用膜托架上，取一对尺 寸相同的轴安装好，安装时请注意膜的正反面，确认一切准备就绪了，即可吊装。吊装时必须轻拿轻放，严禁碰撞，必须保持基膜水平，以 免膜打滑引起螺纹状； C、装膜：确认冷辊无冷凝水后，即可装膜，装膜时不要对着膜讲话，
以保持膜面干净。注意不要碰透过率分析仪的探头，装膜时应保证 膜在冷辊的中心； D、按任务书车速要求设置镀膜速度、张力； E、试卷：引膜完成后，手动预卷几圈，打开张力控制器，启动冷辊、 收卷、卷膜（其中ITO膜卷1 —2m,前档膜和建筑膜卷20m ）。仔细观察膜是否走正，启动是否容易，冷辊是否与膜同步，走速是否 平稳，膜是否变形、起皱、划伤等等，并及时处置，最后用记号笔 在放料端画起始标志线； 8、按生产任务书要求确认各靶位、布气系统、电源配置正确， 靶材量充足，确认无其他物品遗忘在真空室内或小车上，关闭真空室； 抽真空 1、扩散泵预加热（约需40 分钟）：启动维持泵，确认运转正常后，打开维持阀（灯亮），逐一打开扩散泵； 2、低抽：确认真空室门已关闭启动计算机，进入镀膜系统监控程序，充气阀关闭，启动机械泵（ 1 、2），确认机械泵正常运行后，开预抽阀，五分钟后打开复合真空计，打开罗茨泵开关， （当真空达到1500Pa 时，罗茨泵允许信号灯（红灯）亮，再延 迟25 秒后，罗茨泵自动启动）；
LS152真空镀膜在线测厚仪 使用说明书Ｖ1.0 镀膜厚度的纵向、横向均匀度是镀膜制品重要质量和技术指标。镀膜产品的光密度（光密度 = LOG（1/透过率））和镀层厚度成正比例关系，镀层厚度越厚，光密度值越大，透过率越低。所以通过测量镀膜产品的光密度可以监控镀膜层的厚度。 真空镀膜在线镀层厚度检测装置，适用于各类镀膜生产线上，通过选择监控产品的可见光透过率，红外线透过率和光密度值（OD），来达到在线检测和分析产品镀层厚度，镀层厚度的均匀性等性能是否在工艺要求之内。以便操作人员及时了解产品质量，如有问题，及早发现及调整工艺，提高产品品质，降低产品的废品率。 此仪器提供双路的RS485通讯接口，标准的MODBUS通讯协议，方便和PLC，单片机，人机界面，组态王，电脑等通讯。镀膜机可以直接读取此设备的光密度数据，实现控制自动化（闭环控制）。 一：真空镀膜在线测厚仪的参数 1.测试波长：根据客户需要选择，目前有如下的选择： ●红外线：850 nm（默认选项，抗干扰能力强） ●可见光：白光 380nm-760nm ●绿光： 530nm 2.透过率测量精度：优于±1% 3.透过率分辨率：0.005%； 4.光密度测量范围：0.00 OD --- 5.00 OD 5.光密度的分辨率： 0.01 for 0.00 - 3.00 OD 0.05 for 3.00 - 5.00 OD 6.最大测量点数：36点 7.相邻探测头之间距离：最小70mm 8.发射接收探头之间距离：20mm 9.温度范围： -20°C --- +70°C
10.数据刷新周期：300ms 11.仪器整体尺寸： 100mm（宽）*230mm（高）* 长度(根据客户要求定制) 12.需真空法兰电极芯数：6根（不配电脑监控），9根（配电脑监控） 13.电源：220V AC/50Hz 14.通讯：双路RS485 二：真空镀膜在线测厚仪的特点 1. 一体化设计，结构简单，现场安装维护方便 2. 防尘设计 对于镀膜过程中的粉尘（如镀铝过程）会影响测量光学系统，该系统采用防尘设计，粉尘不会影响光学系统内部。如有粉尘，只需要定期擦拭清洁光学系统的镜头玻璃即可，方便维护。 3. 真空室的电子设计 真空环境中，和大气环境下有众多的区别，经过多次真空试验和现场应用，成功解决真空中电子器件的稳定性问题。 三：真空镀膜在线测厚仪的组成 1：设备分为三部分：探测系统、人机交互设备、电脑实时监控系统。 ●探测系统 主要包括光源，接收器，控制器和支架（测试点的多少，根据用户要求定制，测试点数一般是3的整数倍，如3、6、9、12、15等）。 ●人机交互设备 7寸LCD人机交互界面，显示各个测试点的透过率和光密度数据。实时数据，柱状图显示方式，上下限，基准值设置及显示，越限声音报警。 ●电脑实时监控系统（选配） 所有测试点数据的实时监控。包含实时显示、柱状图、上下阈值设定、实时曲线，越限报警等。透光率与光密度的显示可自由切换。 历史数据存储，分析和报表功能。整卷膜在其对应长度上，都有数据记录和分析。如果已知镀膜机的运行速度，可以出报表分析整卷膜在对应长度的光学指标，做到整卷膜镀层厚度和均匀性可追溯。 2：真空镀膜在线测厚仪示意图。