西安工业学院
薄膜技术与光学检测重点实验室
2005年3月
目录
1.概述
2.宽束冷阴极离子源原理
3.宽束冷阴极离子源主要性能
4.离子源的基本结构与供电电源
5.离子源的安装
6.离子源的使用
7.离子源的维护及常见故障排除附录：离子源电源原理图
1. 概述
宽束冷阴极离子源是离子束辅助蒸发技术的关键设备。该源具有结构简单、操作方便、污染小、寿命长等特点。已成功地应用于多种金属膜（Al，Ag，Au等），介质膜（ZnS，MgF2，TiO2，SiO2，Al2O3，Sn:In2O3等）的离子束辅助蒸发。
通常，为适应不同尺寸真空镀膜室的使用要求，需制成不同口径的离子源，以保证离子束的辐照面积以及均匀性的要求。为提高装置的使用灵活性，将两个以上结构相同的宽束冷阴极离子源体（称之为多体）安装到较大尺寸的真空镀膜室中，这样用较小口径的离子源，可以获得较大范围的离子束。同时，各个离子源还可以单独使用。
2.宽束冷阴极离子源原理
多体宽束冷阴极离子源的各个离子源，具有相同的工作原理和结构尺寸。
图2.1为离子源原理示意图。气体在阳极电压Vd的作用下发生辉光放电，等离子体中的离子将向上阴极和下阴极运动；电子将向阳极运动，同时，在轴向磁场的作用下，电子作螺旋运动，由于电子运动路径增大，电子与气体碰撞几率增加。气体电离效率增大，使等离子体维持一定的浓度。在阴极电压Va的作用下，离子由下阴极和引出极组成的引出系统引出。
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1.上阴极；
2.阳极；
3.下阴极；
4.引出极
图2.1离子源原理示意图
引出离子的能量：E = e [ Va+Vd ] (电子伏特) (2.1)
引出离子的电流：I ∝Va3/2 (2.2)
4.1离子源基本结构示意图
3.宽束冷阴极离子源的主要性能
单个离子源的主要性能如下：
1、引出离子束口径：φ3cm
2、引出离子束能量：400～1200ev 可调 （测试距离20cm ）
3、离子束束流密度：30～120 μA/cm 2
4、离子束流密度±5%均匀范围：600ev 大于φ10cm
5、离子源工作真空度：5?10-3～3?10-2 Pa
6、离子源工作气体：O 2，Ar ，N 2，空气等
7、离子源外形尺寸： φ94?90
4.离子源的基本结构与供电电源
4.1基本结构
如图4.1所示，上阴极组包括进
气管1，上阴极3，阳极5等；外壳2；
引出极组6；磁棒组4；绝缘套7。
装配离子源时，按照上阴极组，
磁棒组，绝缘套，引出极组的顺序安
装，拆卸维护则按照相反的顺序。
4.2供电电源
由放电与引出两部分组成，分别记为“阳极I ”，“阳极II ”和“阴极”（对两体离子源而言）。
电源的电路原理图见附录。
电路的前后面板如图4.2所示。
4.2电源前、后面板示意图 1、2：阳极I 电压、电流表；
3、4：阳极II 电压、电流表；
5、6：阴极电压、电流表；
7、9、12：阳极I 、阳极II 、阴极调节旋钮；
8：保险；
10：指示灯；
11：开关；
13：电源插座；
14：地线；
15、16、17：阴极、阳极II 、阳极I 。
电源与离子源相接时，将阴极同时与
两个离子源的上阴极相连；将阳极I 、阳极
II 分别与两个离子源的阳极相连即可。
5.离子源的安装
宽束冷阴极离子源可以安装在镀膜室内任意位置。
离子源安装时，需两个主要附件：一是气，电接头；二是离子源支架。
气，电接头为离子源提供气体和电源通路，可视镀膜机的具体情况专门设计，通常安装在镀膜机备用孔上。
支架设计成可调的形式，使两个离子源的工作角度和相对位置可调，可视使用要求具体设计。
气，电接头在安装、使用过程中应保证其密封和绝缘性能良好；支架的设计和使用不可影响镀膜过程。对多体离子源，气路在真空室内用三通（对双体）将气体分至各个离子源。
6.离子源的使用
多体离子源的每个离子源既可同时工作，又可单独工作，只需通过调节相应的阳极电源即可。
各个离子源调节按照下列步骤进行：
1、检查离子源电源接线是否正确，有无短路现象；气路是否通畅，有无漏气；一切正常后即可开始工作。
2、待钟罩内本底真空达到要求后，通过针阀向离子源内充入工作气体，冲气过程应缓慢，视对工作真空度的要求控制气流量。
3、 打开电源开关（包括放电电源和引出电源）。增大阳极电压（阳极I 、II ……分别调节）直到放电电流表有指示；然后增大阴极电压，引出离子束。由于阴极电压与阴极电源的负载大小有关，所以应配合调节阳极电压来调整阴极电压直到所需。一般规律是：放电开始时增加阴极电压，阳极电流迅速增加，而阳极电流增大时 ，阴极电压又因阴极电流增大而减小。要使离子源工作在最佳状态，应使阳极电流维持40mA 左右。
注意：
离子束能量由阴极电压和阳极电压共同决定。
离子束能量E(ev)=e(阴极电压Va+阳极电压Vd)
在维持阳极电流不变的前提下，调节阴极电压大小即可得到所需能量的离子束。
按照上述步骤进行操作时动作要轻缓，只要步骤正确，即可得到稳定的工作状态。
7.离子源的维护及常见故障排除
7.1离子源的维护
离子源的定期维护对保证其正常使用非常重要，维护重点是对各个受污染的部件进行清洗，清洗时将离子源按照正确顺序拆开，用500号砂纸轻轻擦除各个部件上的污染物，然后用干净的丝质手帕沾乙醇乙醚混合液擦净即可。
离子源拆卸后必须保证正确的装配，不要轻易改变装配尺寸，以防离子源性能变化，（主要装配尺寸包括：阳极与上阴极端面间距离1mm，阳极与下阴极间距离7mm）。在装配时应当注意保证引出系统中下阴极和引出极两个多孔栅上各个孔的对准。安装完毕用万用表测量一下阴阳极之间有无短路现象，阴极与外壳是否短路。
7.2离子源常见故障排除
附录：离子源电源原理图
第三部分原理 瓦利安半导体设备有限公司 VIISta HCS 目录 章节章节编号 原理介绍…………………………………………………………………E82291210 控制原理………………………………………………---………………E82291220 离子注入操作原理………………………………………………………E82291230 第1页
介绍 第1页
VIISta HCS型高束流离子注入机是高自动化的生产工具。此离子注入机可以将单一离子类别掺杂剂的离子束注入到硅片中。 首先利用Varian 控制系统（VCS）产生工艺配方，在配方的基础上制定产生离子束的确切标准。工艺配方的设计目的包括：控制掺杂剂种类的选择，控制剂量、控制离子束的能量、注入角度等以及工艺步骤等等。 在阅读本章之前，请阅读第二章安全方面内容。 一、系统单元组成 VIISta HCS 可以分为三个有用的重要的单元：离子源单元、离子束线单元、工作站单元。 1、离子源单元 离子源子单元包括产生，吸出、偏转、控制，和聚焦，离子是有间接加热的阴极产生再由吸极取出（由D1电源与吸级装置构成），在取出工艺过程中，为了得到离子束更好的传输和低的离子束密度，离子束将被垂直聚焦。被取出的离子束通过一个四极的透镜，在进入90度离子束磁分析器之前离子束被聚焦，在磁分析器中，绝大多数不需要的离子将被分离出去。 离子源模块的主要结构，包括离子源围栏内部分和安全系统，支持分布各处的主要动力组件。还有离子源控制模块，源初始泵抽，涡轮分子泵抽，工艺气体柜，离子源和（套）管路。离子源围栏与安全系统要互锁，这是为了防止在正常注入操作过程中有人员接近。如果任何一扇门打开，或者任何维护、伺服面板被移动，高压电源和有害气体流就会通过互锁系统关闭。VIISts HCS 系统使用的不是高压工艺气体，就是需要安全输送系统的工艺气体。VSEA提供的标准工艺气体有三氟硼烷、砷烷和磷烷。 2、离子束线控制单元 离子束线控制子系统包括从90度磁偏转区域到70度磁偏转区域，在这些区域，离子束将会被减速、聚焦、分析、测量以及被修正为平行、均匀的离子束。从90度磁偏转区域到70度磁偏转区域中，离子束先被增速，再被减速。离子源与控制离子束线的四极透镜，协同D1、D1抑制极，D2、D2抑制极动力一起，提供水平与垂直聚焦控制。90度磁偏转协同判决光圈一起实现对离子的筛选分析。预设法拉第杯测量离子束强度。最终，离子束在70度偏转磁场中，协同多组磁极和顶部和底部的磁棒，被调整为方向平行，分布均匀的离子束。 离子束离开离子源模块之后进入离子束线模块。离子束首先通过离子源四极透镜（源四极透镜，Q1）调整离子束使其竖直方向 第1页
郑州科技学院 《模拟电子技术》课程设计题目：有源音箱 学生姓名： 专业班级： 学号： 院（系）: 指导教师： 完成时间：2012年月日
目录 摘要.............................................................................................................................................................. - 3 - 第1章前言................................................................................................................................................ - 4 - 1.1 本设计的意义................................................................................................................................. - 4 - 1.2有源音箱的认识.............................................................................................................................. - 4 - 第2章有源音箱的系统介绍...................................................................................................................... - 5 - 2. 1有源音箱的组成............................................................................................................................. - 5 - 2. 2有源音箱的工作原理..................................................................................................................... - 5 - 2. 3有源音箱的主要元件介绍............................................................................................................. - 7 - 2.3.1 TDA2822M的介绍及其应用电路 ...................................................................................... - 7 - 2.3.2 1N4007二极管参数及耐压............................................................................................... - 8 - 第3章有源音箱系统硬件设计.................................................................................................................. - 9 - 3.1稳压电源电路图的设计.................................................................................................................. - 9 - 3.2 前置放大电路的设计................................................................................................................... - 10 - 第4章PCB板的设计............................................................................................................................... - 11 - 4.1 设计软件的介绍........................................................................................................................... - 11 - 4.2 设计步骤....................................................................................................................................... - 11 - 4.3 PCB板图设计中应注意的要点 ................................................................................................... - 12 - 第5章电路故障及解决方法 (14) 第6章结束语 (15) 答谢辞 (16) 参考文献 (17)
濮阳市鸿宇压力容器有限公司 空气炮 安装使用说明书 执行标准：GB150 TSGROO3-2007 制造许可证：TS-2011 出版日期：2008年9月
感谢您选购本公司产品！为了保证安全并获得最佳效能，安装、使用产品前，请详细阅读本使用说明书并妥善保管，以备今后参考。 目录 1、主要用途及适用范围 (1) 2、产品特点 (1) 3、工作原理 (2) 4、空气炮安装示意图 (3) 5、KQP-B 型空气炮外形图 (4) 6、KQP—B型空气炮技术参数 (5) 7、空气炮安装图 (6) 8、技术参数 (7) 9、安装技术要求 (7) 10、附件组装图 (8) 11、空气炮安全操作规则 (9) 12、空气炮的维护与保养 (10) 13、故障分析与排除 (11) 14、使用安全禁止事项 (12) 15、售后服务 (13)
16、质量承诺 (13) 主要用途及适用范围 物料在料仓内滞留起拱，已成为各种类型的料仓不可避免的共同弊病。要改善料仓内 物料的流动性，以最安全、最节能、最迅速的方法破除料仓起拱、堵塞、粘仓，保持生产过程的连续性，就必须设置最先进、最理想的破拱助流装置。原煤仓堵塞是火力发电厂经常遇到的问题，对原煤仓有很大危害，轻者引起磨煤机出力下降，重者引进自燃，甚至爆炸。 我公司生产的空气炮、疏松机等疏通设备目前已在多家电厂使用，实际清堵效果理想，自动化程度高，维修工作量极少。代替了人工捅捣、炸药爆炸、机械震动、滑磨板等一些效果差、不安全且耗资大的破拱助流办法。不仅降低了劳动强度，确保了生产安全，还给企业带来了无形的经济效益。无公害，无污染，是目前世界上公认的最先进、最经济、最 理想、最环保、最安全的破拱助流设备。 产品特点 *快速喷爆，有效破坏架桥，解决堵塞问题； * 组合空气炮，作用力大， * 静音动作，噪音低；无污染; * 无泄漏设计，有效利用能量； * 不会压缩料桶内原料； * 最低限的维护保养：简单移动部件、无马达、无轴承、无需润滑； * 强而有力的喷爆力；有效范围广； * 弹簧复位，确保活塞喷爆后立即复位，以阻挡料桶内脏污物质反串入空气炮；
Broad-Beam Industrial Ion Sources 工业用宽光束离子源Staff of Kaufman & Robinson, Inc. H.R. Kaufman 考夫曼博士Technical Note KRI-01
介绍 一束宽的离子束通常直径几厘米或更大。光束直径也比德拜长度大得多，德拜长度是电场能穿透等离子体的典型距离。如果一束宽光束要保持在接近地电位，它就必须被中和(参见Tech. Note KRI-02)。为了中和，在离子束的每一体积中必须有大约相等数量的电子和带正电的离子。对于绝缘的目标，电子和closed-drift离子到达的数量必须相等。目标可以是溅射靶材，也可以是衬底。宽离子束中的离子能不超过2000ev。(单电荷离子通过2000伏特的电势差“跌落”获得2000 eV的能 量。)为了使损伤最小化，能量通常为1000 eV或更少。这里不考虑高能注入型的应用。只考虑防止加工表面损伤从而下降离子能量。宽束离子束有两大类:栅格型和无栅格型。 栅格离子源 栅格离子源的示意图如图1所示，其中描述了直流放电。离子是由圆形或长方形放电室中的放电产生的。可以使用几种类型的电子发射阴极。如图1所示热灯丝类型。离子也可以通过射频放电产生，而射频放电不需要电子发射阴极。通过束流电源，放电室保持在正电位。离子通过屏极上的小孔和加速器栅格被加速，这些栅格一起被称为离子光学。 可以使用不同的网格结构。最常见的是双栅极光学。直流放电时，屏栅极接近阴极电位。通过RF放电，屏栅极与束流电源的正端形成回路。正离子从正极放电室通过离子光学加速到达近地电位的目标。加速器栅格相对周围的真空室是负电位，以防止电子从中和器通过离子光学倒退。假设一个单电荷离子，在使用这类离子源时，离子获得的能量(单位为eV电子伏特)等于束流阳极电压，单位为V。 图一：有栅极离子源原理图 栅极离子源的工作压力在0.5毫托或以下。离子束的输出取决于离子光学设计。束流随着栅格间距的增大和孔径的增加而增大。根据栅格的形状和栅格中孔径的相对位置，离子束可以聚焦到一个小区域，平行，或者聚焦到一个大区域。对于给定的离子光学，离子束电流Ib取决于栅格之间的总电位差. 低电压下离子束电流急剧减小。通过增加负加速电压，可以在低电压下获得较大的离子束电流。但是一个大的负电压可以导致离子束散射，以至于到达目标的离子流实际上是减少了。三栅极光学可以在负电压较大的情况下减小光束散射，但效果有限，而且还会有其他的缺点。 无论使用何种离子光学器件，栅格离子源在低离子能量下都无法达到无栅格端霍尔离子源的离子电流容量。提供对离子轨迹控制的离子光学系统也是栅格离子源中最昂贵的部分，需要最多的维护。
齐鲁理工学院 实习报告 实习名称专业见习 学院机电工程学院 专业自动化 班级自动化二班 学生姓名金高翔 学号 201410532019 实习地点电气信息工程训练中心 指导教师赵韶华谷海雷 实习起止时间：2015年10月26至 2015年10月 I
目录 一．实习目的 (1) 二．实习任务与要求 (1) 三．实验元器件 (1) 四．实习的主要内容 (1) 4.1有源音箱的工作原理 (1) 4.2装配要点 (1) 4.3主要元件 (2) 4.4功能说明 (4) 4.5实验步骤 (4) 五．实习总结 (5) 六．附录 (6) 6.1总体电路原理图 (6) 6.2有源音箱的组成 (6) 6.3有源音箱完成图 (7)
一．实习目的 1.掌握电烙铁的正确使用方法，能够独立的完成简单电子产品安装与焊接。 2.掌握有源音箱的工作原理以及各元器件的作用。 3.熟悉有源音箱的制作与调试方法。 4.练习和掌握电子工艺的基本要求，了解电子产品的生产的工艺文件，对照电路原理图，能看懂接线图，理解图上的符号及图注并与实物能一一对应。 二．实习任务与要求 1.完成有源音箱的焊接。 2.完成后的有源音箱能够连接电脑、手机、MP3、收音机等播放设备，能够精确的调节音量大小和较好的保真度。 三．实验元器件 集成功放D2822N，电阻(1.3kΩ.1.8 kΩ.2.2Ω)，电容（1000uf.470uf.100uf.104），导线若干，AC220输出，智能万用表，40W电烙铁，扬声器，变压器(220:9)，In4148芯片，二极管。 四．实习的主要内容 4.1 有源音箱的工作原理 从信号源得到信号经运放推动再送到后级放大推动扬声器。有源音箱又称“主动式音箱”。通常是指带有功率放大器的音箱，如多媒体电脑音箱、有源超低音箱，以及一些新型的家庭影院有源音箱等。有源音箱由于内置了功放电路，使用者不必考虑与发达器匹配的问题，同时也便于用较低电平的音频信号直接驱动。此外，还有一些专业用内置功放电路的录音监听音箱和采用内置电子分频电路和放大器的电子分频音箱也可归入有源音箱范畴。 4.2装配要点 装配前识别不同的元器件，以及判别所装配的元器件性能的好坏，是保证装配电子产品质量的重要步骤。识别元器件及参数，需要具备相关知识；而判别元器件性能的好坏可通过外观检查、仪器测试来完成。一般情况下，是运用万用表进行元器件好坏的粗略判别。 1
杭州电子科技大学 实验报告 实验名称：有源音箱制作 指导教师：徐敏，臧寿池 学生姓名：范超杰 学生学号：14051414 学生班级：14058911 专业：物联网工程 一、实习目的 1、在电子线路实习中锻炼学生的动手操作能力，能把自己所掌握的理论知识利用于现实实践中，从而更好的加深知识点。学会看懂电路原理图，认识各种器具，学会使用电烙铁等基本实验器材。 2、掌握有源音箱的工作原理以及各元件的作用。 3、掌握焊接有源音箱的方法并调试。 二、报告内容 题目1、参照原理图列出有源音箱的元器件表，并写出各元件的参数。 答： 1、电阻
2、电容 3、二极管 4、集成电路 5、螺丝，导线若干，13根跳线 题目2、参照原理图说出图中几个元器件的作用、电路组成及工作原理。答：
（1）左右声道发大电路：当音频信号由LVi,RVi端输入，经电位器LP1RP1音量控制后，在经过 LR1,LC1,LR2衰减耦合后输入到IC2(TDA2030)信号输入端1脚，经IC2放大后，音频信号由IC2 4脚输出驱动左声道扬声器发声。其中LC2,LR3,LR4用来调整放大器的增益。LC3、LR5为补偿电容和补偿电阻器。LR6、LR7为保护电阻器。 （2）低频声音信号放大电路：左声道音频信号LVi和右声道音频信号RVi 经 R1,R2.C1,IC1B混合后，经过由R4,R5,C2,C3,IC1A组成的低频滤波器滤波后，低频信号经过C4输出，再由低音音量电位器RP2控制音量后，至IC4的信号输入端①脚，低频信号经IC4放大，输出放大的低频信号，驱动低音扬声器发声。其中C5,R7,R8用来调整放大器的增益，C6,R9为补偿电容和补偿电阻。 （3）当220V交流电源经过开关S闭合后，电流经熔断器FU,变压器T一次线圈回到零线。此时变压器二次侧输出两路12V交流电，经VD1,VD2,VD3,VD4,C1,C2,C3,C4整流滤波后，输出+16V直流电压分别向以上3部分电路供电。R1和VL组成电源指示电路，VL 为发光二极管。 题目3、写出在安装调试过程中遇到的问题与故障并对其分析。 答： 重放音噪声大对于交流噪声大的故障，可首先检修一下电源的滤波电容是否存在故障。若是集成电路功率放大器，可用电压检查法检查一下功率放大器的输出端得直流工作电压是否正常，以确定是否为功率发大集成电路的内部电路原因而产生噪声。 （1）如果交流噪声不是太大，可用一只2200F的电容并接于电源滤波电容的两端进行试机。 （2）如果某一个声道有重放噪声，可以检查一下功能转换开关是否接触不良。 （3）对于在调节转动音量电位器而出现噪声，可以用无水酒精清洗音量电位器，或更换一只新的音量电位器。 三、转折频率fp C2=0.22uF，C3=0.1uF，R4=R5=10k? C2=1.414/[(2πfp)R]，C3=0.707/[(2πfp)R] fp=110HZ 四、有源音箱电路图 五、总结
空气炮安全操作规程示范 文本 In The Actual Work Production Management, In Order To Ensure The Smooth Progress Of The Process, And Consider The Relationship Between Each Link, The Specific Requirements Of Each Link To Achieve Risk Control And Planning 某某管理中心 XX年XX月
空气炮安全操作规程示范文本 使用指引：此操作规程资料应用在实际工作生产管理中为了保障过程顺利推进，同时考虑各个环节之间的关系，每个环节实现的具体要求而进行的风险控制与规划，并将危害降低到最小，文档经过下载可进行自定义修改，请根据实际需求进行调整与使用。 空气炮安全操作规程 1、巡检安全注意事项 1在空气炮工作或待命工作时，绝对禁止人员下到仓内 或进行空气炮检修。○2确认空气炮保持在加压状态。 3巡检时，应避免耳朵贴近快速释放阀，以免冲击气流 损伤耳膜。 4未经许可不得擅自更改自动控制箱的循环喷爆程序及 编组参数，严禁随意实施手动喷炮。 2、正常清料安全操作规程 1确认仓内无人作业及无人正在检修空气炮后在清料口 挂上“禁止入内”警示牌。 2打开气源和空气炮的进气阀，关闭排气阀。
3确认空气炮保持在加压状态。 4确认下游设备处于正常运行状态，特别要注意排料口物料畅通。 5确认每盒空气炮贮气罐内的压力在0.5MPa以上。 6打开空气炮自控箱的电源或手动电磁阀按钮，喷爆空气爆特别注意电磁阀或推动按钮的激励时间不得超过1秒钟。 7待空气炮贮气罐内的压力大于0.5MPa后，可进行下一轮循环喷炮。 请在此位置输入品牌名/标语/slogan Please Enter The Brand Name / Slogan / Slogan In This Position, Such As Foonsion
信号发生器 本人介绍一下信号发生器的使用和操作步骤. 1、信号发生器参数性能 频率范围：0.2Hz ~2MHz 粗调、微调旋钮 正弦波, 三角波, 方波, TTL 脉波 0.5" 大型 LED 显示器 可调 DC offset 电位 输出过载保护 信号发生器/信号源的技术指标: 波形正弦波, 三角波, 方波, Ramp 与脉波输出 振幅>20Vp-p (open circuit)； >10Vp-p (加 50Ω负载) 阻抗50Ω+10% 衰减器-20dB+1.0dB (at 1kHz) DC 飘移<-10V ~ >+10V, (<-5V ~ >+5V 加 50Ω负载) 周期控制 1 : 1 to 10 : 1 continuously rating 显示幕4位LED显示幕 频率范围0.2Hz to2MHz(共 7 档) 频率控制Separate coarse and fine tuning 失真< 1% 0.2Hz ~ 20kHz , < 2% 20kHz ~ 200kHz 频率响应< 0.2dB 0.2Hz ~100kHz； < 1dB100kHz~2MHz 线性98% 0.2Hz ~100kHz； 95%100kHz~2MHz
对称性<2% 0.2Hz ~100kHz 上升/下降时间<120nS 位准4Vp-p±1Vp-p ~ 14.5Vp-p±0.5Vp-p 可调 上升/下降时间<120nS 位准>3Vpp 上升/下降时间<30nS 输入电压约 0V~10V ±1V input for 10 : 1 frequency ratio 输入阻抗10kΩ (±10%) 交流 100V/120V/220V/230V ±10%, 50/60Hz 电源线× 1, 操作手册× 1, 测试线 GTL-101 × 1 230(宽) × 95(高) × 280(长) mm,约 2.1 公斤 信号发生器是为进行电子测量提供满足一定技术要求电信号的仪器设备。这种仪器是多用途测量仪器,它除了能够输出正弦波、矩形波尖脉冲、TTL电平、单次脉冲等五种波形，还可以作频率计使用，测量外输入信号的频率 1．信号发生器面板： （1）电源开关； （2）信号输出端子； （3）输出信号波形选择；
离子源的功能和原理 3、离子辅助镀膜的薄膜特性： 1、镀层与工件表面同时存在物理气相沉积及化学反应，故镀层结合力高。 2、膜层均匀致密、韧性好； 3、光谱特性稳定，温漂小 4、吸水性减少 5、折射率升高 6、粗糙度降低 7、激光阈值降低 8、膜层发雾，光散射增加 4、离子源参数、性能比较
离子源简介－考夫曼离子源 阴极钨丝加热发射热电子；电子与气体原子或分子碰撞； 气体电离在放电室形成等离子体； 多孔栅极产生加速电场； 离子被加速电场引出、加速、获得能量；中和钨丝产生电子； 磁场对电子运动进行约束，增加离化率； 中和电子对引出离子中和形成等离子体。 考夫曼离子源工作原理 （Kaufman Ion Source） 离子源简介－考夫曼离子源 优点： 栅极加速能量大 离子可聚束能量调节范围宽结构较为简单 缺点： ×离子源结构仍复杂×馈入氧、氮等反应气体阴极中毒 ×更换阴极灯丝困难×不属主流，较少采用 离子源简介－射频离子源射频离子源工作原理 射频放电将气体电离 在放电室形成等离子体 多孔栅极产生加速电场；中和钨丝产生电子； 离子被加速电场引出、加速、获得能量； 中和电子对引出离子中和形成等离子体。离子源简介－射频离子源
特点 优点： 栅极加速能量大 离子可聚束能量调节范围宽适用反应气体离子束辅助主流 缺点： ×结构复杂，稳定性差×价格昂贵×栅极需经常维护×辐照均匀区较小离子源简介－霍耳离子源 阴极钨丝发射热电子向阳极迁移电子与气体原子碰撞使其离化磁场中电子形成霍耳电流产生电场 离子被霍耳电场加速引出、加速 阴极热电子对引出离子中和形成等离子体。 霍耳离子源工作原理 （Hall Ion Source） 离子源简介－霍耳离子源特点 优点： PowerIon-C-10A 典型参数 离子束流：5 A 离子能量：20-50 eV 无栅极、结构简单、维护简单 适用反应气体离子束辅助主流产品离子束流大易于控制等离子体中性以低能大束流工作 缺点：
音箱电路图分析精编版 MQS system office room 【MQS16H-TTMS2A-MQSS8Q8-MQSH16898】
漫步者音箱电路图分析 漫步者C1多媒体音响由功放主机、两个小音箱和一个低音炮组成。功放主机仅有一本字典的体积，可很方便地安置在电脑桌上。它摒弃了低音音箱内置功放的设计方式，克服了桌面放不下、控制不方便的缺点；增加了高保真耳机输出端子，实现接通耳机断开音箱的单独听功能。功放电路不像大多数有源音箱那样采用三块TDA2030的通用方式，而是采用TDA7379四通道功放IC。其中，两路OTL作左右声道输出、两路OTL组成BTL功放电路，使低音炮输出功率达20W。 下图是根据实物绘制的整机电路图。输入口莲花插座可驳接VCD、DVD等影音设备，3.5mm插座可连接MP3、随身听等。电源部分也比较特殊，双13V经全波整流后成18V.主电源，作为主功放TDA7379的电源和两块双运算放大器NE5532和4558的正电源。其中，一路13V经半波整流和79LO9稳压后给两块运放提供负电源。输入信号与两组电源通过CN-VOL插座与前置电路连接。TDA7379与电源电路、输入输出插座设计在一块电路板上，左右声道和超重低音信号通过CN-TONE与前置电路板连接。TDA7379的（7）脚是待机控制脚，在按下待机开关后，18V电源经两只蓝色高亮发光二极管和两只1kΩ电阻接地，蓝光照亮音量控制钮，并给（7）脚提供高电平使功放开始工作。当待机开关抬赶时，待机回路断开，发光二极管熄灭，功放截止。但耳机放大器仍然工作着，使单独听时处于省电和音箱静音状态。 前置电路的NE5532是左右声道信号放大电路。音量电位器的使用方法比较特殊，电位器的20kΩ电阻直接作为（2）、（6）脚的偏置，而中间滑动臂却作信号输入端。此IC也是耳机驱动放大器，（1）、（7）脚输出通过R1O7、C101、 R1O8、C1O2输出到耳机插座。在耳机插头插入插座后，插座里的簧片被顶起，连接后边电路的触点断开，后边电路失去信号而静音。拔出耳机插头，信号进入后边电路。左右声道的信号一路送到由高音调整电位器绰成的高音提升网络，在经过调整后通过CN-TONE插座输入到TDA7379的（5）、（11）脚，经内部两路OTL电路功率放大后通过C511、C512耦合输出。由IC101放大后的左右声道信号另一路是通过R114、R115合并成全音频信号。经过由IC2一半组成的低通滤波器滤除中高音，提升低音后形成超重低音信号由（1）脚输出。信号经低音音量电位器后一路经C503提供给TDA7379的（4）脚。另一路送入IC2的另一半反相输入端（6）脚，由（7）脚输出通过C504加到TDA7379（12）脚。因为要使两个OTL放大器组成BTL电路，必须在两路输入端分别输入相位相反的信号，才能使两路输出形成推挽式放大。BTL电路输出功率可达到单个OTL的2～3倍。两个OTL电路输出中点都是电源电压的一半，（1）、（15）脚之间没有直流电压，因此不需要输出电容，直接驳接低音音箱。
空气炮清堵器使用说明书 郑州欧亚空气炮有限公司
前言 郑州欧亚空气炮有限公司是国内首家生产空气炮清堵器的专业公司，持有压力容器制造许可证，已通过ISO9001：2000质量管理体系认证。空气炮清堵器是在有关设计研究院的协助下，研制成功的一种高能量理想的料仓破拱清堵助流装置。 物料在料仓内滞流起拱，已成为各种类型的料仓不可避免的共同弊病。要改善料仓内物料的流动性，以最安全、最节能、最迅速在破除料仓起拱、堵塞、粘仓，使其保持生产过程的连续性，就必须设置最先进最理想的破拱清堵助流装置。 我公司生产的空气炮清堵器，经机电部第六设计研究院、天津水泥工业设计研究院审定，机电部郑州机械研究所进行性能测定，各项技术指标均达到国际同类产品水平，荣获省、市名优产品证书及科技成果奖，质量稳定，被国家建材、化工、机电行业定为生产空气炮清堵器的定点企业。产品已在国内各行业广泛应用，并打入国际市场。 2005年与中国科学院合作采用矢量推进技术，使空气炮能量进一步得到提高，并申请了国内、国际专利。 空气炮清堵器具有结构简单、安装方便、冲击力大、噪音低、安全、节能、自动控制、连续工作等优点。
一、用途 空气炮清堵器是防止和清除各种类型料仓、料斗、水泥预热器窑和管道分叉处及矿山溜井、溜坡的物料起拱，粘仓闭塞等现象的专用装置。对混凝土、钢、木或塑料制成的仓、斗均可适用。广泛用于煤矿及井下煤仓、洗煤厂、水泥厂铸造厂、火力发电厂、烧结厂、煤气厂、化肥厂、化工厂、铝厂、制碱厂、钢铁厂、焦化厂、制药厂、矿山、码头、粮食、饲料加工厂、混凝土加工厂等拥有料仓、料斗、输送管道和溜井的厂矿企业。 二、特点 1．安全可靠: 空气炮清堵器是按国家规定的容器规范进行设计、制造的。由于空气炮的喷射是瞬间的，每次使用的空气量有限，因此不会对仓、斗等构筑物产生大的振动和对仓壁的冲击。采用无火花开关，对周围介质没有爆炸危险。 2．能量大、能耗低: 空气炮清堵器是利用储存在贮气罐中的气体以突然爆发所产生的气流冲击力，直接作用于物料闭塞事故区，破拱清堵助流。由于空气炮清堵器是间歇工作，每次充气时间很短，因此比其它清堵助流装置所消耗的能源都低。 3．噪音低：膨胀释放压缩空气的声音几乎全部被仓中的物料所吸收，又是间歇工作，所以噪音低于工业企业噪音卫生标准。 4．安装维修方便：在料仓易被阻塞的适当部位，切割一个孔或设计时设计予留孔，把管座焊接或用混凝土稳固在仓壁上，然后与空气炮喷射管直接连接，炮体用螺旋扣或钢条悬吊于仓壁或其它构筑物上，以加强炮体的稳固性。无需使用专用工具。 三、工作原理 空气炮清堵器是以突然喷出的压缩空气的强烈气流，以超过一马赫的速度或高于音速的速度直接冲入贮存散装物料的闭塞事故区，这种突然释
提纲： Anode layer ion source的基本结构和演化 正交场放电，为什么是阳极层？ 阳极层加速原理，溅射的影响，离子束的发射效率与放电模式（低压/高压）的关系。 在DLC中应用的难点 短路？在一些电介质薄膜沉积中呢？ Physics and engineering of crossed-field discharge devices—Abolmasov 正交场放电器件可分为下图所示几个类型，图中每种构型都满足漂移形成闭合路径。三种主要构型为：圆柱、环形和平面构型。被约束在漂移路径内的电子行程足够长，增加了对本底气体的离化几率。
电子的漂移运动形成Hall电流， 除此之外，电子在垂直磁力线方向的运动形成阳极感受的放电电流， 考虑到 在强场近似下，。如果考虑电子的反常输运，。 注意，在沿着磁力线方向上，碰撞会阻碍电子运动；而在垂直于磁力线方向上，迁移需要碰撞，其频率与电子运动能力成正比。假设，电子的larmor轨道大部分时间内是完整的。电子的随即运动步长与无磁场时是一致的。那么，我们可以认为B场为等效气压。 宽束离子源的引出往往是通过包含加速-减速功能的多孔栅极引出的。栅极引出的离子束可以精确地控制离子能量和剂量，但并不适用于低能离子束应用。这是因为栅极之间的空间电荷效应 d即是栅极间距。（更高的引出束流意味着更高的电压） 无栅极离子源
无栅极离子源起源于空间推进器项目。该种Hall离子推进器分为两类：SPT和TAL，前者和后者的区别在于延长的加速通道和绝缘壁的使用。由于TAL不需要电子发射器（阴极灯丝）辅助运行，使其更适宜工业应用。 TAL中，如图2(d)，轴向电场建立在阳极和阴极极靴之间，形成环形加速通道。极靴之间形成径向磁场。正交场驱使电子沿角向运动，阻止了电子向阳极的直接流动——主要的电位降发生在阳极附近的磁化电子云中（阳极鞘）。该电位降将离化区的离子加速远离放电通道。由于无离子鞘，TAL的离子流不受空间电荷限制。 TAL应用在工业生产中的变种ALIS，其离子能量分布范围很宽（这是因为不同离化位置的电位不同），离子束的平均能量（veeco的说法是60%）。该离子源适用于需要能量大于100eV、分散束流、较宽能量分布情况的应用，同时，应用领域可以接受一定数量的溅射污染。由于没有灯丝，ALIS也可在反应气体下放电。 End-Hall源也属于无栅极离子源范畴，但不同于TAL。End-Hall源的磁场是轴向发散的，导致其放电机制有很大不同。在较低的碰撞频率下（），电子与发散磁场作用，产生了离子的加速场。这种机制也就限制了其运行的上限为，且需要中和器。 放电模式的分类 尽管存在不同的放电构型，正交场放电的 共性还是明显的，如上述提到的Hall电流。 不过，目前尚未有一个关于正交场放电的 完备理论。这导致设计正交场放电设备的 尝试是建立在实验基础上的。本文认为四 种基本构型：penning放电、ALIS、圆柱磁 控和平面磁控，可以用Schuurman分类描 述。 在低气压下（<10-4Torr），电子约束时间远 长于离子渡越时间。因此放电是纯粹的电 子等离子体。低压放电有两个区间：低磁
有源音箱电路图 时间：2012-08-16 来源：我爱方案网作者： 关键字：有源音箱电路图 有源音箱 所谓有源音箱通常是指带有功率放大器的音箱，如多媒体电脑音箱、有源超低音箱，以及一些新型的家庭影院有源音箱等。又称为“主动式音箱”。有源音箱由于内置了功放电路，使用者不必考虑与放大器匹配的问题，同时也便于用较低电平的音频信号直接驱动。 有源音箱电路图 一般情况下，有源音箱内的功率放大器绝大部分采用晶体管或集成电路，采用电子管功率放大器来制作的有源音箱几乎是凤毛麟角，但是如果要追求单色甜美，还是应采用电子管来制作有源音箱。 电子管功率放大器的特点是音色柔和而温暖，层次清晰而透明，高音细腻入微，中音清澈明亮，低音浑厚饱满。用它来欣赏音乐，谐音丰富，悦耳动听。晶体管功率放大器的特点是音色清丽冷艳，高音穿透力强，中音宏亮清晰，低音刚强有力，用它来倾听爵士乐与摇滚乐将独领风骚。 有源音箱的制作并不困难，如果有现成的音箱即可进行安装、卸下部分部件，将装好的功率放大器安置在其中，安装部位应根据箱体的结构而定，电子管有源音箱的内部结构示意如图1所示。 图1 电子管的有源音箱
图2 有源音箱电路图 有源音箱简单的理解就是需要通过一定的声音放大设备来播放音乐，不能够直接通过音箱便发出声音的音箱就是有源音箱，官方一点的说法：有源音箱又称为“主动式音箱”。通常是指带有功率放大器的音箱，如多媒体电脑音箱、有源超低音箱，以及一些新型的家庭影院有源音箱等。有源音箱由于内置了功放电路，运用者不用思索与放大器匹配的标题，同时也便于用较低电平的音频信号直接驱动。 有源音箱是指在音箱内部装有自配功放的一类音箱。这些功放是特地用于推进音箱内的喇叭，由于停止了特地的匹配设计，所以这些功放都能较好地用于推进音箱内的喇叭，从而让运用者不需再去思索功放的功率有多大以及阻抗能否匹配等问题。 另外，由于在音箱内还装有在放大器的前边便停止分频的电子分频器以及每台功放仅仅担任放大一段频率的声频信号，所以放大器的效率常常能够做得高些，失真也相对能够小些。 要说现在国内市场上最好的有源音箱是哪个的话，小编觉得应该就是漫步者有源音箱了吧，相信很多喜欢音箱的朋友们也会抱有同样的看法，漫步者在音箱的影响力绝对是独一无二的，它生产的有源音箱在质量和音质效果，加上自己独创的功率放大器，绝对可以称得上世界上最好的有源音箱之一。
The prerequisite for vigorously developing our productivity is that we must be responsible for the safety of our company and our own lives. （安全管理） 单位：___________________ 姓名：___________________ 日期：___________________ 空气炮安全操作规程(最新版)
空气炮安全操作规程(最新版)导语：建立和健全我们的现代企业制度，是指引我们生产劳动的方向。而大力发展我们生产力的前提，是我们必须对我们企业和我们自己的生命安全负责。可用于实体印刷或电子存档（使用前请详细阅读条款）。 空气炮安全操作规程 1、巡检安全注意事项 1在空气炮工作或待命工作时，绝对禁止人员下到仓内或进行空气炮检修。○2确认空气炮保持在加压状态。 3巡检时，应避免耳朵贴近快速释放阀，以免冲击气流损伤耳膜。 4未经许可不得擅自更改自动控制箱的循环喷爆程序及编组参数，严禁随意实施手动喷炮。 2、正常清料安全操作规程 1确认仓内无人作业及无人正在检修空气炮后在清料口挂上“禁止入内”警示牌。 2打开气源和空气炮的进气阀，关闭排气阀。 3确认空气炮保持在加压状态。 4确认下游设备处于正常运行状态，特别要注意排料口物料畅通。 5确认每盒空气炮贮气罐内的压力在0.5MPa以上。
6打开空气炮自控箱的电源或手动电磁阀按钮，喷爆空气爆特别注意电磁阀或推动按钮的激励时间不得超过1秒钟。 7待空气炮贮气罐内的压力大于0.5MPa后，可进行下一轮循环喷炮。 XX设计有限公司 Your Name Design Co., Ltd.
通用2.1声道有源音箱电路图分析及维修方法 一、电源电路（图纸的最下面部分）：220V市电经过保险管（F1A），和开关S后进入变压器初级，变压器的次级输出双12V交流，双12V送入由VD1组成的桥式整流电路电路，经过桥式整流和C14，C15（3300UF/25V）的滤波后，输出的空载电压约为正负16V左右（2×12V），即A+为正16V，A-为负 16V。 正负16V为三块功放芯片TDA2030，UTC2030提供电源。另一路经过R21、R22的降压后，由B+，B-输出约正负12V为低音前置放大和低通滤波器IC4提供电源电压。在本图纸当中，前置放大的供电并没有采用78/7912三端稳压电路，摩机爱好者在更换两个3300uF电容时，也可以考虑加入LM7812/7912为前置提供更为稳定的工作电压。 二、左右声道放大电路（卫星箱功放电路），因左右声道作原理完全一致。这里我只以图纸的左声道为例作个介绍。如图，RIN为右信号输入端，经过耦合电容C23进入音量电位器，（音量电位器有三个引脚，与C23连接的是输入端，输出端也叫滑动端、另一引脚为接地端），调整音量后信号进入由R1/C3组成的高音提升电路，此电路可以提升一定量的高音信号，使声音更加清晰。尔后信号经过耦合电容C1进入右声道功放，型号为TDA2030的1脚，经过功率放大后，由TDA2030的第四脚输出，推动右喇叭发声。 图中的R7为反馈电阻，R7/R9为决定TDA2030芯片的放大倍数。因此，调整R7的阻值，就可以调整放大倍数。R11/C7为扬声器补偿网络。 三、超低音电路。由左右声道信号经两个10K隔离电阻R5、R6后混合送至C11耦合电容，尔后信号进入IC4 JRC4558的3脚，图中IC4A为超低音的前置放大器。R201T将此放大器的放大倍数设置为6倍左右（R17/R18），经过前置放大后，才能保证足够大的驱动电压，获得足够大的音量。4558的1脚为前置输出，经R19后进入由IC4B、C9、C10、R20组成的低通滤波器。低通滤波器的作用是滤除200Hz以下的低频信号，R20和C10决定截止频率（具体每个厂家的截止频率设置略有不同）。IC4B输出后经C19与重低音音量电位器的输入端相连接，调整超低音的音量后，由电位器滑动端输出进入超低音功放电路
开封大学机电工程学院 《模拟电子技术》课程设计任务书
目录 1 概述 1.1 音响的介绍 1.2 音响的作用意义 1.3 名词解释 2电路方案的论证与选择 2.1分立元件组成功率放大器 2.2集成功率放大器电路 2.3电路方案的选择 3 核心元器件介绍 3.1 LM1875的介绍 3.2 直流稳压电源 4 画出系统方框图 5 单元各电路设计与计算 6 画出完整的电路图 7 心得体会
2.0结构有源音箱电路设计 1 概述 1.1 音响的介绍 音响技术的发展经历了电子管、晶体管、场效应管的历史时期，在不同的历史时期都各有其特点。通过音响放大器设计，使我们认识到一个简单的模拟电路系统，应当包括信号源、输入级、中间级、输出级和执行机构。信号源的作用是提供待放大的电信号，如果信号是非电量，还须把非电量转换为电信号，然后进入输入级，中间级进行电流或电压放大，再进入输出级进行功率放大，最后去推动执行机构做某项工作。 1.2 音响的作用意义 细心观察我的身边，现在音响可以说是无处不在，做为一个现代人，我们已经离不开音响。它的出现与使用，丰富了我们的生活，而在实际生活中，它更是不可取代。娱乐、工作、学习……生活的方方面面都有它的身影。音响将我们的生活带入了一个全新的世界 音响放大器是将电信号还原成声音信号的一种装置，还原真实性将作为评价音箱性能的重要标准。满足家庭需要，因为社会压力大，所以家里需要更能释放压力，怡情养性的Hi-Fi器材。特别在中国，因为消费力的提高，在Hi-Fi上的投资会有一个较长的增长期。而且中国人房子不大，车子少，旅游也不多，所以Hi-Fi和家庭影院会是一种很好的娱乐方式。 1.3 名词解释 音响系统：包括3个环节：音源、功率放大器和音箱 有源音箱：又称为“主动式音箱”。通常是指带有功率放大器的音箱，如多媒体电脑音箱、有源超低音箱，以及一些新型的家庭影院有源音箱等。有源音箱由于内置了功放电路，使用者不必考虑与放大器匹配的问题，同时也便于用较低电平的音频信号直接驱动。一些有源音箱不仅将功放集成到音箱内，还将解码器也集成到音箱内部，可以直接接受数字信号，这就是数字有源音箱。虽