高速激光点阵光刻机的设计
殷庆纵 1，刘吉 2
【摘要】为了制作大尺寸激光防伪商标，开发了高速激光点阵光刻机。该光刻机以工控机为上位机，ARM LPC2138和单片机STC12C5401AD为下位机，采用直线电机直接驱动X-Y工作台，实现了高速高精度定位。
【期刊名称】电子技术应用
【年(卷),期】2012(038)005
【总页数】4
【关键词】激光直写；直线电动机；光刻；光栅；ARM LPC2138；单片机
【文献来源】https://https://www.doczj.com/doc/775862045.html,/academic-journal-cn_application-electronic-technique_thesis/0201234937570.html
激光全息防伪技术是采用激光作为光源，通过复杂的光路设计，记录拍摄物体图像信息的干涉条纹等图像，通过光刻机对光刻胶进行刻蚀，再经过显影和电铸制作全息母板，用特殊的机械模压设备进行大量廉价的复制。在普通光照明下，承载这种干涉条纹的复制品材料呈现出变换的色彩、三维的图像文字信息以及动态变化的时空信息[1-2]。全息母板制作技术复杂，涉及刻蚀显影工艺、电化学工艺等，其中最为关键的技术是光刻机根据图像信息对光刻胶进行刻蚀。传统的点阵光刻机采用静态曝光的工作模式，工作效率低，难以实现大尺寸防伪商标的制作。本文介绍了一种单光束激光点阵光刻机的设计，该设备采用双向逐行扫描、动态曝光的工作方式，使光刻工作速度提高了10～12倍，解决了大尺寸防伪商标制作难的问题，提高了防伪商标制作的技术水平。
1 光刻机的工作原理与主要技术指标