金刚石线锯的研究现状与进展
作者：周锐;李剑峰;李方义;路冬
作者机构：济南市经十路73号山东大学机械学院,济南,250061;济南市经十路73号山东大学机械学院,济南,250061;济南市经十路73号山东大学机械学院,济南,250061;济南市经十路73号山东大学机械学院,济南,250061
来源：现代制造工程
ISSN：1671-3133
年：2004
卷：000
期：006
页码：112-115
页数：4
中图分类：TG48
正文语种：chi
关键词：金刚石线锯;硬脆材料
摘要：金刚石线锯能够对硬脆材料进行精密、窄锯缝切割,已逐渐取代内圆锯,广泛应用于半导体和光电池切片加工,并在陶瓷、石英、木材等加工中显示出独特优势.对国内、外金刚石线锯研究现状进行总结,介绍该技术的最新进展.