FST-02薄膜热缩性能测试仪测量结果的比较研究
摘要：目前，国内包装行业多数采用恒温油浴和烘箱来进行薄膜收缩率的检测，而较少测试收缩力值，对ISO 14616-1997与DIN 53369-1976等国际、国外的标准也知之甚少。文章介绍了常用的收缩率测试标准，并重点介绍ISO 14616与DIN 53369收缩力值的测试方法；采用ISO 1461 6的方法通过试验对低密度聚乙烯LDPE、非结晶型共聚酯PETG、单向拉伸聚苯乙烯OPS、多层共挤聚烯烃POF和双向拉伸聚丙烯BOPP五种材料进行测试。试验表明，通过该方法不仅可以检验聚乙烯、乙烯共聚物及其混合物的收缩性能，也可检验其他热收缩膜的收缩性能。
关键词：收缩膜,热缩力,冷缩力,收缩率,ISO 14616
热收缩膜包装是目前广泛使用的一种包装形式，具有包装紧实、透明美观、适应性强等特点，常用于饮料、日化、烟草、肠类等产品的包装。热收缩膜属于高分子材料，收缩原理为高温拉伸时，分子链段在拉伸方向上取向，无序卷曲的分子链段进行有序排列，当温度急速降低时，分子链段取向结构与内应力被“冷冻”，当高聚物再次被加热到拉伸时的温度时，分子链段发生解取向，恢复到无序卷曲形态，宏观上即表现为热收缩。收缩力与收缩率是判定收缩性能好坏的主要指标，目前常使用恒温油浴和烘箱对材料收缩性能进行测试。
1 检验标准
1.1 采用恒温油浴测试
采用恒温油浴对收缩性能进行测试，具有代表性的国家标准有GB/T 19787-2005《包装材料聚烯烃热收缩薄膜》和GB/T 13519-1992《聚乙烯热收缩薄膜》。测试方法为采用120±2℃的恒温油浴将试样加热一定的时间后取出，冷却后测量材料横纵向尺寸的变化，以此计算薄膜收缩率。计算公式如下：
式中：S为收缩率（%）；L0为加热前试样的长度（mm）；L为加热后试样的长度（mm）。
该方法的优点是油浴温度控制稳定，能较好地控制薄膜收缩率检验环境，结果可靠。但是该方法只能用于检验收缩率，而无法测试收缩力值。
1.2 采用烘箱测试
GB/T 10003-2008《普通用途双向拉伸聚丙烯（BOPP）薄膜》、GB/T 16958-2008《包装用双向拉伸聚酯薄膜》和GB/T 15267-94《食品包装用聚氯乙烯硬片、膜》中规定利用烘箱对薄膜的收
缩率进行测试。即将试样放入恒温烘箱中，在一定温度下加热一段时间后，取出冷却，测量试样横纵向尺寸的变化，计算收缩率，公式与采用恒温油浴测试的相同。
该方法较少用于收缩膜测试，一般用于测试拉伸型薄膜的收缩率。另外，该方法无法测试收缩力值。
1.3 其他
1.3.1 DIN 53369-1976标准
DIN 53369-1976（以下简称DIN 53369）《塑料薄膜检验方法收缩力的测定》中采用无行程力学测试装置测试试样收缩力，该标准专门用于测定塑料薄膜的收缩力值。此标准中，收缩力值是指在薄膜受热后所产生的力值，测试时需将试样夹持在固定夹具间，夹具不得因受到收缩力值而产生位移，否则将使测试值变小。该标准可测试塑料薄膜的最大热收缩力、一定温度下的收缩力、冷却到室温后的收缩力和与时间有关的收缩力。其中，冷却到室温后的收缩力即冷缩力，是指从加热腔中取出试样后20min的收缩力值。该标准方法可检测试样的收缩力，但未规定收缩率的测试方法。
1.3.2 ISO 14616-1997标准
ISO 14616-1997（以下简称ISO 14616）《塑料聚乙烯、乙烯共聚物及其混合物的热收缩薄膜.收缩应力的测定》规定了试样的热缩力、冷缩力、热缩应力、冷缩应力与收缩率的测试方法[8]。对收缩力的测试采用无行程力学测试装置，测试原理与DIN 53369一致。该标准中对冷缩力的定义与DIN 53369不同，指的是试样从加热腔中取出后冷却过程中出现的最大收缩力。ISO 14616采用位移法测试薄膜的收缩率，即采用高精度位移传感器，精确测量因塑料薄膜收缩而使夹具产生的位移量。收缩率计算公式为：
该标准是现阶段唯一同时规定收缩力与收缩率测试方法的标准。
2 试验
目前，我国国家标准中没有与ISO 14616类似的检验方法，该方法在实际中应用也不是很广泛，但随着收缩膜技术的发展，对此类薄膜收缩性能的测试要求将越来越全面与严格，该方法必将得到更广泛的发展与应用。然而，ISO 14616主要针对聚乙烯、乙烯共聚物及其混合物而制定，其标准曲线也具有一定的针对性，不能作为评判其他薄膜收缩率特性的标准。
本文采用ISO 14616中所述方法，对常见收缩膜收缩力与收缩率进行检验，验证该方法对其他常见薄膜热收缩性能测试的可行性。
2.1 试验材料
低密度聚乙烯LDPE、非结晶型共聚酯PETG、单向拉伸聚苯乙烯OPS、多层共挤聚烯烃POF和双向拉伸聚丙烯BOPP。
2.2 试验仪器
本次试验采用济南兰光机电技术有限公司的FST-02薄膜热缩性能测试仪，可用于检测薄膜的热缩力、热缩应力、冷缩力、冷缩应力、收缩率等热缩性能。
2.3 试验方法与结果
测试前先将试样在标准环境（23℃ 50%RH）中调节24h，然后将试样裁为15mm宽，120~150 mm长的试样条。将试样一端固定在夹具上，另一端固定在力值传感器（收缩率工位固定住位移传感器上），通过试样夹持装置将试样送入已预热到试验温度的试验腔中进行测试。仪器自动检测试样的热缩力、冷缩力、收缩率等性能，并计算热缩应力与冷缩应力。
2.3.1 热缩力与冷缩力的关系
在标准要求的温度下，测试试样的热缩力、冷缩力与收缩率。根据ISO 14616要求，在该试验温度下，最大热缩力值应出现在15～30S之间。LDPE、OPS、POF和BOPP材料分别检测六组，每种材料的试验结果平均值见表1：
表1 试样热缩性能测试结果（ISO 14616）
比较各材料的热缩力与冷缩力（如图1），可以发现LDPE的冷缩力明显大于其热缩力，其试验结果与ISO 14616标准中所示的聚乙烯、乙烯共聚物及其混合物收缩力典型曲线（如图2）一致；PETG、POF和BOPP的热缩力大于冷缩力，而OPS的冷缩力稍大于热缩力。这表明材料的冷缩力与热缩力的大小关系与材料类型密切相关。在DIN 53369中也明确说明“不同的薄膜，冷缩力
与热缩力之间的关系是不同的”。因此，在评判薄膜收缩力值特征时，应结合材料自身的热缩性能特征，综合考虑热缩力与冷缩力两个方面的因素。
图1 热缩力与冷缩力比较
图2 收缩力与收缩率的测定——收缩现象的典型动力学实例（ISO 14616）FST-02薄膜热缩性能测试仪采用空气加热试样，因加热方式不同，其收缩率结果不能与采用恒温油浴测试的收缩率结果等同比较。但采用该方法可有效比对不同材料间的收缩率，为材料加工与选择提供指导与依据。
2.3.2 ISO 14616与DIN 53369冷缩性能测试方法比较
在上述标准介绍中提到DIN 53369与ISO 14616所指的冷缩力有所不同，分别为平衡20min 后的冷缩力值与最大的冷缩力值。本次试验选择60μm的LDPE与PETG，比较最大冷缩力与20min 后的冷缩性能之间的关系。
表2 ISO14616与DIN 53369冷缩性能比较
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从试验结果中可以看出，用FST-02正常试验模式测试出的收缩率与在室温平衡20min后的收缩率相同。分析原因为，在材料进入试验腔加热时，材料分子链段解取向，试样收缩。在热缩期间，链段已快速恢复至自然卷曲形态，进入无序化的热运动平衡态，故试样在出加热腔后，其收缩率已稳定。
对于冷缩力，在试样从加热腔中退出后，冷缩力会有一个急速的增大过程，在达到最大值后，会有小幅的下降。如按照DIN 53369测试冷缩力，其结果会比ISO 14616的冷缩力测试值偏小。因此，这两个标准方法的冷缩力试验结果之间不具可比性。在实际应用中，可根据材料的实际应用场合选择测试方法，如冷缩力的最大值对产品包装有较大影响，则选择ISO 14616所示方法进行检验，反之，如薄膜冷缩后的常态收紧力值较为重要，则可选择DIN 53369。
3 结语
ISO 14616虽然是针对聚乙烯、乙烯共聚物及其混合物材料提出的收缩性能测试方法，但其收缩力测试原理与DIN 53369相同，而且收缩率测试结果稳定可靠，具有实用性和参考性。试验
表明，对其他常用收缩膜的收缩性能测试也完全可以借鉴该方法。并且，通过ISO14616可以测试热收缩膜在试验温度下的收缩力与收缩率随时间变化的情况，有效指导包装生产参数设置，控制产品包装质量。
另外需要明确的一点是，由于加热方式不同，采用恒温油浴、烘箱测试收缩率与位移法对于收缩率的测试结果之间不具备可比较性。不同材料间收缩性能的比较需基于同一标准。
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实验三干涉显微镜测量薄膜厚度 一、实验目的 1． 掌握干涉显微镜的工作原理及使用方法； 2． 用干涉显微镜测量薄膜厚度。 二、实验说明 2.1 实验原理 把显微镜和光波干涉仪结合起来设计而成的显微镜为干涉显微镜。干涉显微镜的类型很多，常用的干涉显微镜是以迈克耳逊干涉仪为原型，其原理却都是以劈尖干涉为基础的，下图1为劈尖干涉的示意图： 若在两块平面玻璃间垫一细丝，即形成一个空气劈尖（为便于说明问题图中夸大了细丝的直径）。当一束单色光射入时，则在空气劈尖（n=1）上下两表面所引起的反射光线将相互干涉。若这两束光的光程差恰为半波长的奇数倍时，则发生相消干涉而呈现暗色条纹；若光程差为半波长的偶数倍时，发生加强干涉而得到明亮条纹。一定的明暗条纹对应一定的厚度，所以这些干涉条纹也叫等厚条纹。条纹间的距离l ，随劈尖的夹角而变化，越小，l 越大。 在迈克耳逊干涉仪中，只要某一光程差发生变化，就要引起干涉场中条纹移动，光程差每改变半个波长()，则干涉条纹移动一个条纹间距。故待测样品表面若存在局部不平, 结果会导致干涉条纹发生弯曲, 条纹弯曲的程度是样品表面微观凹凸不平程度的反映, 只要测出条纹的弯曲量就可以求出样品表面的凹凸量。根据这一原理, 可借助该仪器来测量镀膜膜层的厚度. 设M 1、M 2是两个不严格垂直的理想平面，则得到等厚干涉直线条纹。若表面M 2上有沟槽，干涉条纹将发生弯曲或断折，如图2所示。沟槽的深度h 由式（4—1）决定。 （4—1） θθ2λe H h ?= 2λ 图 1 劈尖干涉的示意图图2表面沟槽及干涉条纹的形状图3薄膜与其干涉条纹的形状
式中，Ｈ为干涉条纹曲折量，e 为条纹的间距。若用白光照明，e 是指两根接近黑色的干涉条纹中心间的距离。这时λ取540nm （绿光λ=0.53μm=5300?）。若被测件的部分表面镀有厚度为h 的薄膜，则只要测量出干涉条纹间距e 和因镀膜而引起的干涉条纹位移量Ｈ，就可算出该薄膜的厚度。如图3所示。 2.26JA 型干涉显微镜的光学系统及构造 2.2.1 6JA 型干涉显微镜的光学系统 本实验用的是6JA 型干涉显微镜, 其光学系统如图1所示, 属于双光束干涉系统。光源1发出的光经聚光镜2投射到孔径光阑4平面上, 视场光阑5不在照明物镜6的前焦面上, 光经分光板7, 被分成两部分: 一部分反射, 另一部分透射. 被反射的光经物镜8射向标准反射镜M1, 再由M1 反射, 射向目镜14; 而从分光板上透射的光线通过补偿板9、物镜10射向工件表面M2, 再由M2反射, 射向目镜14. 在目镜分划板13上两束光产生干涉. 从目镜中可以观察到干涉条纹. 若样品表面平滑,则干涉条纹是平直的. 图五 6JA 型干涉显微镜构造 11a 5b 5a 105 131113 2 2a 2b 2c 14897a 44a 3 15 8 7 16 1b 1c 图4 6JA 型干涉显微镜光学系统 1-光源 2-聚光镜 3,11,15-反光镜 4-孔径光阑 5-视场光阑 6-照明物镜 7-分光板 8,10-物镜 9-补偿板 12-转向棱镜 13-分划板 14-目镜 16-摄影物镜
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安全综合测试仪操作规程 示范文本 In The Actual Work Production Management, In Order To Ensure The Smooth Progress Of The Process, And Consider The Relationship Between Each Link, The Specific Requirements Of Each Link To Achieve Risk Control And Planning 某某管理中心 XX年XX月
安全综合测试仪操作规程示范文本使用指引：此操作规程资料应用在实际工作生产管理中为了保障过程顺利推进，同时考虑各个环节之间的关系，每个环节实现的具体要求而进行的风险控制与规划，并将危害降低到最小，文档经过下载可进行自定义修改，请根据实际需求进行调整与使用。 1. 安全性能综合测试仪及被测产品所使用的电源插座 均应为完好无损的固定插座。禁止使用规格不符的插座。 插座破损应及时更换。 2. 安全性能综合测试仪及被测产品所使用的电源插座 均应为完好无损的固定插座。禁止使用规格不符的插座。 插座破损应及时更换。 3. 测试过程中，严禁操作人员身体及仪器带电部位和 被测负载壳体，谨防触电。 4. 启动测试仪：按下面板电源开关，测试仪随即启 动。延时5秒后，显示自检界面。 5. 自检：确认接线盒上未连接待检设备后再按确认 键，仪器自检。自检无误，自动进入主菜单。
6. 选择测试后，根据不同规格型号的产品设立几个测试组，在主菜单下，按确认键，首先设置密码，然后在每一行的行首按上移键或下移键来选择绝缘、接地、耐压、泄漏、启动等测试项，根据测试要求设置各项目测试条件、报警值、测试时间，用左右移动键设定增减的参数值。 测试项目设置值时间 接地电阻25A，≤0.1Ω1秒 耐压试验220V工作电压1800V，10 mA 1秒 115V工作电压1500V，10mA 泄漏电流220V工作电压233V，≤1.5mA 2秒 115V工作电压115V，≤1.5mA 7. 将被测产品的电源插头插在接线盒，测试夹夹住被测产品金属外壳。 8．禁止重复关机，每次开关机间隔10秒以上，当测
薄膜晶体管的定义： Thin Film Transistor (薄膜场效应晶体管)，是指液晶显示器上的每一液晶象素点都是由集成在其后的薄膜晶体管来驱动。从而可以做到高速度高亮度高对比度显示屏幕信息。TFT属于有源矩阵液晶显示器。 补充：TFT（ThinFilmTransistor）是指薄膜晶体管，意即每个液晶像素点都是由集成在像素点后面的薄膜晶体管来驱动，从而可以做到高速度、高亮度、高对比度显示屏幕信息，是目前最好的LCD彩色显示设备之一，其效果接近CRT显示器，是现在笔记本电脑和台式机上的主流显示设备。TFT的每个像素点都是由集成在自身上的TFT来控制，是有源像素点。因此，不但速度可以极大提高，而且对比度和亮度也大大提高了，同时分辨率也达到了很高水平。 TFT ( Thin film Transistor，薄膜晶体管）屏幕，它也是目前中高端彩屏手机中普遍采用的屏幕，分65536 色及26 万色，1600万色三种，其显示效果非常出色。 平板显示器种类： 经过二十多年的研究、竞争、发展，平板显示器已进入角色，成为新世纪显示器的主流产品，目前竞争最激烈的平板显示器有四个品种： 1、场致发射平板显示器（FED）； 2、等离子体平板显示器（PDP）； 3、有机薄膜电致发光器（OEL）； 4、薄膜晶体管液晶平板显示器（TFT-LCD）。 场发射平板显示器原理类似于CRT，CRT只有一支到三支电子枪，最多六支，而场发射显示器是采用电子枪阵列（电子发射微尖阵列，如金刚石膜尖锥），分辨率为VGA（640×480×3）的显示器需要92.16万个性能均匀一致的电子发射微尖，材料工艺都需要突破。目前美国和法国有小批量的小尺寸的显示屏生产，用于国防军工，离工业化、商业化还很远。 等离子体发光显示是通过微小的真空放电腔内的等离子放电激发腔内的发光材 料形成的，发光效应低和功耗大是它的缺点（仅1.2lm/W，而灯用发光效率达80lm/ W以上，6瓦/每平方英寸显示面积），但在102～152cm对角线的大屏幕显示领域有很强的竞争优势。业内专家分析认为，CRT、LCD和数字微镜(DMD)3种投影显示器可以与PDP竞争，从目前大屏幕电视机市场来看，CRT投影电视价格比PDP便宜，是PDP最有力的竞争对手，但亮度和清晰度不如PDP，LCD和DMD投影的象素和价格目前还缺乏竞争优势。尽管彩色PDP在像质、显示面积和容量等方面有了明显提高，但其发光效率、发光亮度、对比度还达不到直观式彩色电视机的要求，最重要的是其价格还不能被广大家用消费者所接受，这在一定程度上制约了彩色PDP 市场拓展。目前主要在公众媒体展示场合应用开始普遍起来。 半导体发光二极管（LED）的显示方案由于GaN蓝色发光二极管的研制成功，从而一举获得了超大屏幕视频显示器市场的绝对控制权，但是这种显示器只适合做户外大型显示，在中小屏幕的视频显示器也没有它的市场。 显示器产业的专家一直期望有机薄膜电致发光材料能提供真正的象纸一样薄的 显示器。有机薄膜电致发光真正的又轻又薄，低功耗广视角，高响应速度（亚微妙）
指引 1.目的 指导规范测试员正确操作安全性能综合测试仪，保证操作过程安全，有效验证电子电器产品是否符合安规和设计标准。 2.范围 适用于测试员使用安全性能综合测试仪对各种电子电器产品进行安规测试操作指导。 3.操作步骤 3.1开机 在各连接线正确连接后,打开前面板电源开关,测试仪随即启动,显示功能菜单界面（图一）。 3.2选取测试组 在功能菜单界面下,利用前面板上的↑↓键将光标移动到“选测试组”项，然后按←键或→键选择测试组,共15组（01-15），按“确认”键，选定所选组别（图二）。 图一图二 3.3设置测试组 在菜单功能下，选择“设置XX组”项（图三），按“确认”键，进入设置测试组界面（图四） 图三图四 每次进入设置界面，光标位于第一行行首，在每一行行首，按↑键或↓键可以循环选择“接地”、“绝缘”、“耐压”、“泄漏”、“功率”功能或空行，每项所对应的参数随之变化，用←键或→键移动光标选择待设定的参数，用↑键或↓键增减参数设定值，当光标移至行首或行尾时用←键或
指引 →键换行，按“确认”键保存该组设置，返回功能菜单，按“停止”键放弃设置，返回功能菜单。 3.4测试 在确认被测灯体接线无误后,将测试夹夹住被测灯体金属外壳后按下前面板的<启动键>即开始测试(在测试过程中只有<停止键>有效停止测试).在测试过程中如没有任何异常现象发生,则测试通过,合格指示灯(绿色)长亮且仪器蜂鸣器响一声,报警灯接口给出合格信号,当测试项不全合格及发生异常时,报警指示灯(红色)亮且仪器蜂鸣器响三声,报警灯接口给出不合格信号。 3.5在测试过程中<测试界面>常出现的几组英文字母其含义 3.5.1 OK:测试合格 3.5.2 NG:测试不合格 3.5.3 PT:测试出现异常,进行软件保护,这时须通知相关维护工程人员 3.5.4 HP:测试出现异常,进行硬件保护,这时须通知相关维护工程人员 3.6关机 测试议在关机前先按<停止>键退出测试状态,关断输入稳压电源,去掉测试盒上的被测灯具,然后关断测试仪前面板上的电源开关。 4.安全操作注意事项 4.1禁止操作 4.1.1禁止重复开关机,每次开关机间隔时间应在30S以上 4.1.2禁止擅自打开测试议机壳,测试仪必须由相关维护工程人员维护 4.2测试中注意事项 4.2.1测试仪必须良好可靠接地 4.2.2操作人员必须佩戴绝缘手套 4.2.3如果暂时离开操作区或并不马上进行测试,必须关断电源 4.2.4测试过程中,绝对禁止碰触仪器测试端和被测灯具,以免触电 4.2.5万一发生异常时,请立即按<停止>键,停止测试,并关闭电源 4.2.6测试仪在关机前,须去掉测试线上的负载,然后才关掉电源
OUPU 湿膜厚度测试仪 使用说明书
基本概述 湿膜测厚仪又叫湿膜测厚规、湿膜测试仪、湿膜检测仪、湿膜厚度测量仪、湿膜测厚仪厂家、湿膜测厚仪价格、梳式湿膜测厚仪、湿油漆测厚仪、湿涂层如何检测、湿膜卡、湿膜片、湿膜厚度卡具有测量误差小、可靠性高、稳定性好、操作简便等特点，是控制和保证产品质量必不可少的检测仪器，广泛地应用在制造业、金属加工业、化工业、商检等检测领域。
欧谱梳式湿膜厚度规是测量色漆、清漆等各种涂料湿膜涂刷厚度的测量工具，数值以微米(m m)表示。湿膜厚度规适用于平整的基板上，测量精度高。本厚度量程为10～100m m、20～200m m、250～700m m、50～750m m、50～950m m、25～2000m m、25～3000m m七种规格供选择，以适应不同行业的需要。 使用方法： 各种涂料施工后，立即将湿膜厚度规稳定垂直的放在平整的湿膜涂层表面，将湿膜厚度规从湿膜中移出，即可测得湿膜涂层的厚度。湿膜厚度应是在被湿膜浸润的那个最短的齿及邻近那个没有被浸到的齿之间。以同样方式在不同的位置再测取两次，以得到一定范围内的代表性结果。 使用完毕后，将湿膜厚度规洗净、揩干。
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安全性能综合测试仪的介绍及技术指标 安全性能综合测试仪一般应用于各种家用电器、整机产品的电器安全检测。 一、电器安全测试六个项目：耐压、绝缘、接地、泄漏、低压启动、功率 二、内置隔离变压器，测试安全可靠 三、内置15″显示器和工控机，Windows操作键面具有显示、存贮、报警、统计、打印等功能 四、单项或多项自动测试，测试项目可选，测试顺序可选，测试时间由用户设定。 五、技术测试指标： 1、耐压测试： 输出电压范围：0-5000V， 漏电流范围：0-2.00-20.00mA 测试精度：5%， 时间设置范围：1-99S 2、绝缘电阻测试： 测试电压：DC：500V/1000V 精度：5% 绝缘电阻范围：0.5-200MΩ， 精度：5% 时间设置范围：2-99S 3、接地电阻测试： 测试电流：DC：10/25A 精度：5%
接地电阻测量范围：0-600mΩ 精度：5% 时间设置范围：2-99S 4、泄漏电流测试： 输出电压：0-280V可调（一般为1.06倍或1.11倍输入电压），泄漏电流测量范围：0-2.00- 20.00mA，精度：5% 泄漏功率：3KV A/4KV A/5KV A可选。时间设置范围：2-99S 5、低压启动： 输出电压：0-280V可调（调压器调节）， 电流范围：0.020-20A 精度：0.5% 时间设置：2-99S 6、功率测量： 输出电压：1.0倍输入电压（调压器调节） 电压测量范围：0-280V 电流测量范围：0.020-20.00A 功率测量范围：0-3KV A/4KV A/5KV A 功率因数测量范围：0.10-1.00， 以上精度：0.5级 六、安全性能综合测试仪的出厂默认容量一般在3KV A（如需加大容量，用户需指定） 来源:https://www.doczj.com/doc/6818455260.html,/fsxiangyi/2012110818.html
东南大学材料科学与工程 实验报告 学生姓名班级学号实验日期2014.9.5 批改教师 课程名称电子信息材料专业方向大型实验批改日期 实验名称台阶仪测试薄膜厚度实验报告成绩 一、实验目的： 掌握测试薄膜厚度原理和方法，了解台阶仪操作技术。 二、实验原理： LVDT是线性差动变压器的缩写，为机电转换器的一种。利用细探针扫描样品表面，当检测到一个高度差别则探针做上下起伏之变化，此变化在仪器内部的螺旋管先圈内造成磁通量的变化，再有内部电子电路转换成电压讯号，进而求出膜厚。LVDT线性位置感应器，可测量的位移量小到几万分之一英寸至几英寸。 LVDT的工作原理是由振荡器产生一高频的参考电磁场，并内建一支可动的铁磁主轴以及两组感应线圈，当主轴移动造成强度改变由感应线圈感应出两电压值，相比较后即可推算出移动量。三、实验步骤： （1）开机准备 （2）放置样品 （3）参数设置 （4）扫描结果分析 （5）数据保存 四、实验内容： Si基底上沉积金属Cr薄膜的厚度的测量 五、实验结果与分析： 样品：硅片上镀铬薄膜； 实验参数：长度1000μm；持续时间40s；针压力3mg；表面轮廓是Hills and Valleys.
由实验曲线及数据，可得薄膜厚度约为（868.8-617.0）=251.8μm。 六、思考题： 1、对于用台阶仪对非完美薄膜的厚度测量，Step Hight的M和R Cursor点 的选择？ 两个点分别选在图线中的拐点处，这样倾斜的曲线会水平，比较容易得到薄膜的厚度 2、怎么样才能得到一个比较shape的台阶？ 在制备时在衬底上覆盖一个形状规则比如长方形的陪片，且覆盖片要尽量薄，边缘应整齐，这样产生的台阶才会陡峭，方便测量
薄膜厚度和消光系数的透射光谱测量方法 项目完成单位：国家建筑材料测试中心 项目完成人：刘元新 鲍亚楠 孙宏娟 王廷籍 摘 要 本文提出薄膜厚度和消光系数的标准曲线测量法，论述了方法的测量原理和测量程序。该法的膜厚的测量范围为~80nm 到2000nm ；膜厚的测量误差大约为13nm 。 关键词 薄膜、厚度、消光 自洁净玻璃的自洁净性能、低幅射玻璃的低幅射性能都与其膜层的厚度、折射率和消光系数有着密切的关系[1]。近代微电子学装置，如成像传感器、太阳能电池、薄膜器件等都需要这些参数[2] 。这些参数的数据是薄膜材料、薄膜器件设计的必不可少的基础性数据。 通常都是单独测量这些参数，薄膜厚度用原子力显微镜、石英震荡器、台阶仪、椭偏仪、干涉法来测量。薄膜折射率的测量就比较麻烦，因为它是波长的函数，它可以用基于干涉、反射原理的方法测量。从薄膜的吸收谱就可测量其消光系数。显然，取得这些数据是很麻烦、很费时、成本也很高，特别是对于纳米级薄膜。 2000年，美国Princeton 等大学提出[2] ，从物理角度建立透射光谱模型，调整模型中的未知的参数，即薄膜厚度、折射率、消光系数，使透射光谱的理论曲线同实验曲线重合，这就同时取得薄膜的厚度、折射率、消光系数等数据。他们用这种方法同时测量了“玻璃-薄膜” 系统的薄膜的厚度、折射率、消光系数等数据。显然，这是取得这些数据的简便、快速、低成本的方法，是这领域的一个发展趋势。 镀膜玻璃的透射光谱既包含玻璃参数的信息，也包含薄膜参数的信息，如果能从中解析出薄膜参数的信息，也就得到了薄膜参数的测量值，这就是透过光谱法测量薄膜参数的基本思路。本文基于这个基本思路提出测量薄膜参数的另一方法，姑且称为标准曲线法，方法的原理是基于这样的实验现象，即薄膜的吸收越强，镀膜玻璃的透过率越低；在薄膜吸收的光谱区内，薄膜越厚，镀膜玻璃的透过率也越低；这就是说，镀膜玻璃在指定波长处的透过率T 是薄膜厚度t 和薄膜消光系数 的函数， ),,(λκt T T = 但镀膜玻璃透过率和薄膜参数有什么函数关系？这就是本文要研究的问题。知道这函数关系之后，如何利用这函数关系测量薄膜参数？这也是本文要研究的问题。
1．0目的 规范操作方法，保证设备在正常运行的情况下得到安全有效的使用。 2．0适用范围 适用于仪迪MN42系列综合安全性能测试仪对产品的测试使用工作。 3．0参考文献 仪迪原出厂的《MN42系列综合安全性能测试仪使用指南》 4．0操作部骤 4．1使用前准备 4．1．1★购置交由第三方权威部门（如计量所）进行计量检测合格后方可投入使用。 4．1．2按要求接通好各输入和输出端口及外置设备，具体操作按出厂说明书交由专业人员完成 4．1．3★使用前先将仪器外壳接地，地面上垫塑胶垫绝缘，以保证操作者安全。 4．2操作过程 4．2．1★检视仪器计量合格标识是否在有效期内，如是方可使用，不是通知相关部门送检合格后使用。 4．2．2接通AC220V电源，开启必要的外置设备（如稳压电源、调压电源等），开启仪器电源开关。 4．2．3★仪运行情况点检；断开所有被测的电器或样品，按仪器面板上的“▼▲”选择“本机自检”按“确认” 键后仪器会自行进行运行检测，如异常仪器会报警提示，请关机约2分钟后重新开机自检，合格使用，如 仍出事异常知相关部门维修合格使用。（也使用一台固定的已知参数的电器进行仪器的点检工作，按照正 常的测试流程核实测数据即可） 1 2 3 4 4．2．4测试参数设置；按仪器面板上的“▼▲”选择“测试组”再按“确认”，出现“A、B、C、D、E、F” 字样，再按仪器面板上的“A”按设置即可进入设置界面，按仪器面板上的“ 设置类别和项目，按仪器面板上的“▼▲”改变设置数值，每一行首名称按“▼▲”都可改变测试项目“接 地、耐压、泄漏、功率、绝缘”，根据不同需要改变不同的测试顺序，一般设置顺序“接地”在最前，“功 率”在取后，具体设置参数按相关要求和相关检验标准。不合格设置分“遇不合格项继续”和“遇不合格 项停止”，“遇不合格项停止”表示某一项目不合格立即停止测试，“遇不合格项继续”表示某一项目不合 格还可以继续测试下面的项目，如果只想测试一个项目，将其他项目设为空就可，设置完成后按“保存”， 进入下一组设置。全部设置完成后就可进测试步骤了。 1 2 3 4．2．5测试选择；按不同产品要求按仪器面板上的“▼▲”选择“测试组”再按“确认”选择相应的组别（如消毒柜对应的测试数据是“A组”就选择“A”，确认反回即可。
“薄膜晶体管的制备及电学参数”调研报告 （青岛大学物理科学学院，应用物理系） 摘要：20世纪平板显示技术的出现，把人类带入了信息社会，人类社会从此发生了质的飞跃。而平板显示的核心元件就是薄膜晶体管TFT(nlin Film Transistor)，一种在掺杂硅片或玻璃基底上通过薄膜工艺制作的场效应晶体管器件。将半导体氧化物作为有源层来制作TFT用于平板显示中，不仅能获得较高迁移率，器件性能优越，而且制造工艺简单、低温下可以获得，显示出了巨大的应用前景。本文综述了薄膜材料的制备方法，薄膜晶体管的发展历程与应用以及其结构、工作原理和测试表征方法。 关键词：薄膜材料，薄膜晶体管，制备，表征方法 Abstract:In the 20th century,the emergence of the flat panel display technology has brought human beings into the information society．Since then the human society happened a qualitative leap．The core component of flat panel display is the thin film transistor(TFT)，it is a field effect transistor device produced by thin film technology on the doped-silicon or glass．If we use the semiconductor oxide as the active layer，not only we can get a higher mobility，bu also the device performance call be enhanced．And the manufacturing process is simple，low temperatures also can be obtained,which shows a great prospect．The preparation method of thin film materials is reviewed in this paper, the development and application of thin film transistor and its structure, working principle and test method are characterized, Keywords: Thin film materials, thin film transistor, manufacture, characterization methods 前言 薄膜材料是指厚度介于单原子分子到几毫米间的薄金属或有机物层。当固体或液体的一维线性尺度远远小于它的其他二维尺度时，我们称这样的固体或液体为膜。薄膜材料具有良好的韧性、防潮性和热封性能，应用非常广泛。例如：双向拉伸聚丙烯薄膜（BOPP）、低密度聚乙烯薄膜（LDPE）、聚酯薄膜（PET）、镀铝薄膜、半导体氧化物薄膜等等。近几年来，以氧化锌、氧化铟、氧化锡等半导体氧化物及其合金为有源层的透明薄膜晶体管备受关注，并已取得了突破性进展。这些氧化物是优异的光电材料，具有高光学透过率、生长温度低、击穿电压高、电子迁移率高等优点，从而可以获得更好、成本更低的薄膜晶体管，并且也为新型薄膜晶体管的发展带来了契机。氧化物薄膜晶体管作为极具发展潜力的新型薄膜晶体管，具备了许多传统TFT无法比拟的优点，但是也存在诸多问题有待进一步解决。例如，如何解决外界环境对器件性能的影响，优化工艺从而降低成本，如何制作出性能优越、具有实用价值的器件等，这些都是现在研究面临的问题。本文的主要调研对象，包括氧化锌以及有机薄膜作为有源层的薄膜晶体管。 薄膜晶体管的发展历程 1925年，Julius Edger Lilienfeld首次提出结型场效应晶体管(Field
Filmetrics光学膜厚测量仪 产品名称: Filmetrics光学膜厚测量仪 产品型号: F20、F30、F40、F50、F70、F10-RT、PARTS 产品展商: 岱美有限公司 简单介绍 美国Filmetrics光学膜厚测量仪，测量膜层厚度从1nm到3.5mm。利用反射干涉的原理进行无损测量，可测量薄膜厚度及光学常数。测量精度达到埃级的分辩率，测量迅速，操作简单，界面友好，是目前市场上最具性价比的膜厚测量仪设备。设备光谱测量范围从近红外到紫外线，波长范围从200nm到1700nm可选。凡是光滑的，透明或半透明的和所有半导体膜层都可以测量。 Filmetrics光学膜厚测量仪的详细介绍 其可测量薄膜厚度在1nm到1mm之间，测量精度高达1埃，测量稳定性高达0.7埃，测量时间只需一到二秒, 并有手动及自动机型可选。可应用领域包括：生物医学（Biomedical）, 液晶显示(Displays), 硬涂层(Hard coats), 金属膜(Metal), 眼镜涂层(Ophthalmic) , 聚对二甲笨(Parylene), 电路板(PCBs&PWBs), 多孔硅(Porous Silicon), 光阻材料(Thick Resist),半导体材料(Semiconductors) , 太阳光伏(Solar photovolt aics), 真空镀层(Vacuum Coatings), 圈筒检查(Web inspection applications)等。 通过Filmetrics膜厚测量仪最新反射式光谱测量技术,最多4层透明薄膜厚度、n、k值及粗糙度能在数秒钟测得。其应用广泛，例如: 半导体工业: 光阻、氧化物、氮化物。 LCD工业: 间距(cell gaps)，ito电极、polyimide 保护膜。 光电镀膜应用: 硬化镀膜、抗反射镀膜、过滤片。 极易操作、快速、准确、机身轻巧及价格便宜为其主要优点，Filmetrics提供以下型号以供选择: F20 : 这简单入门型号有三种不同波长选择(由220nm紫外线区至1700nm近红外线区)为任意携带型，可以实现反射、膜厚、n、k值测量。 F30:这型号可安装在任何真空镀膜机腔体外的窗口。可实时监控长晶速度、实时提供膜厚、n、k值。并可切定某一波长或固定测量时间间距。更可加装至三个探头，同时测量三个样品，具紫外线区或标准波长可供选择。
薄膜厚度的测量 ——台阶仪安装操作说明 一、台阶仪的安装 1、硬件的安装 1）打开电脑机箱盖，将台阶仪自带的电视卡插入PCI扩展槽，插好后将电脑机箱盖合上; 2)接上台阶仪电源线，将台阶仪上的USB线和视频线与电脑箱连接； 2、软件的安装 1）打开电脑机箱和显示器，将台阶仪自带的光盘插入电脑光驱； 2）将光盘上所有的内容都复制到电脑C盘根目录下； 3）安装光盘中的两个驱动程序，安装完成后重启计算机; 4）计算机重启后将拷入C盘中的注册表文件导入，导入成功后将台阶仪操作软件图标发送到桌面； 二、台阶仪的操作 1、台阶仪的标定 1）打开电脑机箱和显示器，打开台阶仪电源，等待10秒后将电脑桌面上的操作软件打开，几秒后自动弹出两个对话框，点击确认后进入操作界面； 2）拿出标定用的标准样品，拿出样品后立即合上盒盖，防止灰尘进入；
3）打开台阶仪保护盖，将标准样品贴紧样品台滑到台中央； 4）调节样品台位置，使标样在探针正下方； 5）点击操作软件上的“Setup”按键，设置扫描参数，将Speed设置为0.07mm/sec，Length设置为0.6mm，Range设置为10microns，Stylus Force设置为1mg，Filter Level设置为4，点击OK进行确认； 6）点击Engage，观察标准样品与探针所处的位置，如果样品台阶中央不在探针下方，点击Z+将探针升高，通过调节样品台使标准样品处于探针的正下方，合上保护盖，点击Engage，继续观察标准样品与探针的位置，如此反复操作，直到标准样品的台阶在探针的正下方；7）点击Scan，并点击确认扫描对话框，台阶仪自动进行扫描，扫描结束后，探针自动复位，测出的数据会自动弹出来； 8）用鼠标引动R,M光标，（R为参照光标，M为测量光标）到台阶的两侧，点击Level Date将台阶的曲线调平； 9）在曲线图窗口中点击鼠标右键，选择Size Cursors，将R,M光标线进行展开到适合宽度，然后点击鼠标右键将M光标移动到台阶上，窗口的右上角就会显示出台阶的平均高度； 10）重复7-9的步骤，反复测量几次，带测量数据稳定后，在曲线图窗口点击右键，选择Calibrate Height，在弹出的对话框中填写1063?，点击确定； 11）重复7-9的步骤，将测量出的台阶数据和标准样品给出的数据对比，一般来说只有几个?的差别； 12）台阶仪标定完成；
OU3500 漆膜测厚仪 使用说明书
基本概述 漆膜测厚仪又叫干漆膜测厚仪、干油漆漆膜测厚仪、漆膜测厚仪价格、油漆漆膜涂层测厚仪、漆膜厚度测厚仪、漆膜厚度检测仪、干漆膜测厚仪价格、漆膜涂层测厚仪、油漆漆膜涂层测厚仪、玻璃鳞片防腐层测厚仪、玻璃鳞片涂层测厚仪、玻璃片涂层测厚仪、防腐磷片测厚仪、电镀镀层测厚仪、热镀锌锌层测厚仪、镀锌层测厚仪、镀锌厚度检测仪、电镀涂层测厚仪、镀涂层测厚仪价格、两用型涂层测厚仪、镀层涂层测厚仪、涂层厚度测厚仪、便携式涂层测厚仪、数字式涂层测厚仪、两用涂层测厚仪、油漆涂层测厚仪、铁基/非铁基涂层测厚仪、电子涂层测厚仪、非磁性涂层测厚仪、涂层镀层测厚仪、高精度涂层测厚仪、表面涂层测厚仪、漆膜厚度测量仪是便携式、快速、无损、精密地进行涂、镀层厚度的测量。既可用于实验室，也可用于工程现场。本仪器能广泛地应用在电镀、防腐、航天航空、化工、汽车、造船、轻工、商检等检测领域。
附表一： 功能OU3500F OU3500N OU3500FN 测量原理磁性涡流磁性/涡流测量范围标准配置探头（F1/N1)：0 1250μm 测量精度±（3%H+1）μm（零点校准）±（1%H+1）μm（二点校准） 统计量平均值(MEAN)、最大值(MAX)、最小值(MIN)、测试次数(NO)、标准偏差(S.DEV) 存贮和统计500个测量值 零点校准√√√二点校准√√√删除功能√√√自动关机√√√蜂鸣声提示√√√错误提示√√√ 标准配置主机、F1探头、基 体、校准片、说明 书、包装箱 主机、N1探头、 基体、校准片、说 明书、包装箱 F1(N1)探头、基 体、校准片、说明 书、包装箱 选配件F400、N400、 F1/90、F10、 CN02 F400、N400、 F1/90、F10、 CN02 F400、N400、 F1/90、F10、 CN02、打印机、 通讯软件