关于CST出荷到cell后,出现有基板无基板信息的现象,CF CIM侧对应方法如下:
1. CIM成员接到CF生管报告此事
2. CIM成员从各个方面了解到详细信息.(CST 编号\CEX时间\出荷时间等)
→可以通过联系生管、CF制造员、cell制造员、CF设备科物流组等了解当时出荷情况→在制造部办公室shipping PC上查找此CST的CEX时间及出荷时间
3．在shipping PC上查找当时Cassette exchange 完了时，有没有向CELL CIM发送“create lot From CF”信号及CELL 侧正常的答复——return code为0
→查找“create lot from CF”及CELL 侧的答复方法，见昨日李亮的邮件
→若以上的信号已发送成功并得到了cell侧的回复，则说明cell侧这些基板的信息。请直接进入到第4步
若发现没有向cell侧发送此信号或者发送信号的文件内容不正确或者没有收到cell 的侧回复，则需要做以下恢复措施。
①向cell 制造请求将此cassette 送回到CSD
②Casstte 到达CSD后，会到CSD 的RFID port进行check，此时要将CSD stop
→这个操作一定要和cell制造确定好时间点，CST上来后回直接到RFID port进
行check
→在RFID port进行check时，需要将CSD stop
因为按照出荷系统设计时，此时cell CIM会对此CST进行出荷申请，若此时不停止CSD，此CST将还会搬送到cell
③在CEX line PC上取消cell 侧对此CST的出荷申请
取消方法为：在line PC的UTY 按钮下点击“register monitor”会出来下面的
画面，按照右侧的设置，弹出底部的画面，将+3的1手动修改为0 即取消了当
前CST的出荷请求
④制定backship 计划，让此CST的基板回到CSC中
⑤再对这些基板制定出荷计划，放入到CSD中
⑥查看CST交换完毕后，CF CIM是否发送”create lot from CF”并是否收到CELL
回复。通常情况，此时信号传送是OK
⑦让CELL制造重新对此CST进行出荷申请，出荷完毕后。Cell 侧确认，OK后，则
解决了整个trouble
4．在shipping PC查看在此CST放入到lift后，有无向cell CIM 发送”change location”信号及cell侧对此信号的回复
→具体查找方法，请查看昨日李亮邮件
①若发现已经发送了此信号并得到了cell 侧的回复，则此问题需要cell 侧去对应
②若发现没有发送此信号给cell侧，有两个方法可以补救：
→cell 侧手动将已得到的基板信息和CST匹配（目前最简捷也是通常做法）
→让cell侧将CST送到CSD中，此CST会自动再次出荷到cell，当CST放入lift 完毕后，在CEX line PC上手动向cell 重新发送”change location”信号
手动发送的界面如下：（如果有看不懂的请查看SEFA移交的manual）
在line PC软件上方一排按钮中有一个“change shipping information”的按钮点击后，出现下面的画面，输入CST NO. message中选择“change location”
再点击send message （这些在厂商教育时，大家都应该知道的）
发送完毕后，就OK了。