《芯片制造－半导体工艺制程实用教程》
学习笔记
整理：Anndi 来源：电子胶水学习指南（https://www.doczj.com/doc/6d9937503.html,）
本人主要从事IC封装化学材料（电子胶水）工作，为更好的理解IC封装产业的动态和技术，自学了《芯片制造－半导体工艺制程实用教程》，貌似一本不错的教材，在此总结出一些个人的学习笔记和大家分享。此笔记原发在本人的“电子胶水学习指南”博客中，有兴趣的朋友可以前去查看一起探讨之！
前言及序言（点击链接查看之）-----------------------------------1第1章半导体工业-----------------------------------------2—3第2章半导体材料和工艺化学品---------------------------4—5第3章晶圆制备-----------------------------------------------6第4章芯片制造概述---------------------------------------7—8第5章污染控制-------------------------------------------9—10第6章工艺良品率----------------------------------------11—12第7章氧化-----------------------------------------------13—14第8章基本光刻工艺流程—从表面准备到曝光------------15—17第9章基本光刻工艺流程—从曝光到最终检验------------18—20第10章高级光刻工艺-------------------------------------21—23第11章掺杂----------------------------------------------24—26第12章淀积----------------------------------------------27—29第13章金属淀积-----------------------------------------30—31第14章工艺和器件评估----------------------------------32—33第15章晶圆加工中的商务因素---------------------------34—35第16章半导体器件和集成电路的形成-------------------------36第17章集成电路的类型----------------------------------37—38第18章封装----------------------------------------------39—41 个人感慨----------------------------------------------------------41
第一章半导体工业
1、电子数字集成器和计算器（ENIAC）18000个真空三极管，70000个电阻，10000个电容，6000个开关，耗电150000W，成本约400000美元重30吨，占地140平方米宾夕法尼亚的摩尔工程学院于1947年进行公开演示；
2、晶体管（transistor）－传输电阻器。John Bardeen, Walter Brattin, William Shockley 共同荣获1956年诺贝尔物理奖；
3、每个芯片中只含有一个器件的器件称为分立器件（晶体管、二极管、电容器、电阻器）
4、集成电路（integrated circuit）平面技术（planar technology）Kilby&Noyce共同享有集成电路的专利；
5、集成电路中器件的尺寸（特征图形尺寸－微米）和数量时IC发展的两个共同标志。集成度水平（integration level）的范围：
小规模集成电路SSI 2－50（单位芯片内的器件数）芯片边长约为100mils 中规模集成电路MSI 50－5000（单位芯片内的器件数）
大规模集成电路LSI 5000－100000（单位芯片内的器件数）
特大规模集成电路VLSI 100000－1000000（单位芯片内的器件数）
超大规模集成电路ULSI >1000000（单位芯片内的器件数）芯片每边长约为500mils
储存器电路由其存储比特的数量来衡量；
逻辑电路的规模经常用栅极的数量来评价；
6、1960年1英寸直径晶圆；8英寸（约200毫米）12英寸（约300毫米）1英寸=
25.3mm
7、特征尺寸的减小和电路密度的增大带来了很多益处。在电路的性能方面时电路速度的提高、传输距离的缩短，以及单个器件所占空间的减小使得信息通过芯片时所用的时间缩短；电路密度的提高还使芯片或电路耗电量更小；
8、成本降低和性能提高这两个因素推动了固态电子在产品中的实用；据估计到2008年全世界工业生产的晶体管将达到每个人10亿个；
9、电子工业可分为两个主要部分：半导体和系统（产品），涵盖印刷电路板制造商；
半导体产业由两个主要部分组成：一部分是制造半导体固态器件和电路的企业，生产过程称为晶圆制造（wafer fabrication）,在整个行业有三种类型的芯片供应商，一种是集设计、制造、封装和市场销售为一体的公司；另一种是做设计和晶圆市场的公司，他们从晶圆工厂购买芯片；还有一种是晶圆代工厂，它们可以为顾客生产多种芯片
10、固态器件的制造阶段：
材料准备－晶体生长与晶圆准备－晶圆制造（前线工艺FEOL和后线工艺BEOL）－封装二氧化硅（沙子）－含硅气体－硅反应炉－多晶硅
11、场效应管（FET）；金属氧化物（MOS）；氧化掩膜；平面技术；外延；
12、1963年塑封在硅器件上的使用加速了价格下滑，绝缘场效应管（IFET），互补型MOS （CMOS）电路；
13、接触光刻机（contact aligner）、投射光刻机、离子注入机、电子束（E-beam）机、膜版步进式光刻机（Stepper）
14、工业控制的技术竞争：自动化、成本控制、工艺特性化与控制、人员效率
15、国家技术发展路线图（National Technology Roadmap for Semiconductor，NTRS）
第二章半导体材料和工艺化学品
1、原子结构：电子质子中子空穴（未填充电子的位置）
任何原子中都有数量相等的质子和电子；任何元素都包括特定数目的质子，没有任何两种元素有相同数目的质子；有相同最外层电子数的元素有着相似的性质；最外层被填满或者拥有8个电子的元素是稳定的；原子会试图与其他原子结合而形成稳定的条件。
2、导电率C＝1/ρρ为电阻率，单位为欧姆·厘米Ω·cm
3、电容：把一层绝缘材料夹在两个导体之间就形成的一种电子元件，电容的实际效应就是储存电荷C＝kEA/t C-电容k-材料的绝缘常数E-自由空间的介电常数（自由空间有最高的电容）A-电容的面积t-绝缘材料的厚度。
4、电阻R＝ρL/WD ρ为材料电阻率L为长度W为宽度D为高度
5、导体半导体相关特性：材料的电分类和掺杂半导体的性质空穴流（hole flow）
6、载流子迁移率：在电路中，我们对载流子（空穴和电子）移动所需能量和其移动的速度都感兴趣。移动的速度叫做载流子迁移率，空穴比电子迁移率低，在为电路选择特定半导体材料时，这是个非常值得考虑的重要因素。
7、半导体产品材料：
锗（熔点937度）－表面缺少自然发生的氧化物，从而容易漏电；硅（熔点1415度）
半导体化合物：砷化镓（GaAs）、磷砷化镓（GaAsP）、磷化铟（InP）、砷铝化镓（GaAlAs）、磷镓化铟（InGaP）。其中砷化镓（GaAs）、磷砷化镓（GaAsP）可用于发光二极管LED制造。
8、砷化镓（GaAs）有诸多优势：载流子的高迁移率、对辐射造成的漏电具有抵抗性、其半绝缘性使邻近器件的漏电最小化，允许更高的封装密度。即便如此砷化镓也不可能替代硅成为主流的半导体材料，因为其性能和制造难度之间的权衡。另外砷对人类使很危险的。
9、锗化硅：器件和集成电路的结构特色是用超高真空/化学气相沉积法（UHV/CVD）来淀积锗层。异质结构（hetrostructure）、异质结（heterojunciton）
10、铁电材料：PZT＆SBT，并入SiCOMS存储电路，叫做铁电随机存储器（FeRAM）
11、工艺化学品：当把芯片的制造成本加在一起时，其中化学品占总制造成本的40％
分子、化合物、混合物、离子（ion）、离子的（ionic）；固体、液体、气体、等离子体
12、物质的性质：（摄氏温标中改变一度比华氏温标中需要更多的能量）
温度：华氏温标（-491.4、32、212）、摄氏温标（-273、0、100）、开氏温标（0、273、373）华氏温标时德国物理学家Gabriel Fahrenheit用盐和水溶液开发的，盐溶液的冰点温度定为华氏零度。但由于纯水的冰点温度更有用，所以在华氏温标中水的冰点温度为32F，沸点温度为212F，两者相差180F。
密度（dense）、比重（specific gravity）蒸气密度（vapor density）
气压表示为英镑每平方英寸（psia），大气压或托（torr）；真空（vacuum）；毫米汞柱（manometer）酸、碱、溶剂：酸中含有氢离子（hydrogen ion），碱中含有氢氧离子（hydroxide ion）
材料安全数据表（MSDS）－美国联邦职业、安全和健康法案（OSHA）的规定
第三章晶圆制备
1、晶圆制备阶段：矿石到高纯气体（四氯化硅或者三氯硅烷）的转变－气体到多晶的转变－多晶（polysilicon）到单晶、掺杂晶棒的转变－晶棒到晶圆的制备；
2、原子在整个材料里重复排列成非常固定的结构，这种材料称为晶体（crystal）；原子没有固定的周期性排列的材料称为非晶体或者无定形（amorphous）；
3、晶体里的原子排列为晶胞（unit cell）结构－晶体结构的第一个级别；晶格（lattice）；硅晶胞具有16个原子排列成金刚石结构，砷化镓晶体具有18个原子的晶胞结构称为闪锌矿结构；
4、当晶胞间整洁而有规则地排列时，第二个级别地结构发生了，这样排列的材料具有单晶结构。单晶材料比多晶材料具有更一致和更可预测的特性，单晶结构允许在半导体里一致和可预测的电子流动；
5、晶向（crystal orientation），晶面通过一系列称为密勒指数的三个数字组合来表示，<100>晶向的晶圆用来制造MOS器件和电路，而<111>晶向的晶圆用来制造双极型器件和电路。
6、把多晶块转变成一个大单晶，給予正确的定向和适量的N型或P型掺杂，叫做晶体生长。直拉法CZ：籽晶放肩形成一薄层头部－等径生长－收尾，可形成几英寸长和直径大到12英寸或更多的晶体，200毫米晶圆晶体重约204kg，三天时间生长。高氧含量晶体；
液体掩盖直拉法LEC：用来生长砷化镓晶体，由于砷有有挥发性，一是通过给单晶炉加压来抑制砷的挥发，另一个是用一层氧化硼漂浮在熔融物上来抑制砷的挥发；
区熔法：不能像直拉法那样生长大直径的单晶，并且晶体有较高的位错密度，但不需要石英坩埚便会生长出低氧含量的高纯晶体。低氧晶体可用在高功率的晶闸管和整流器上；
7、晶体缺陷：点缺陷（空位）、位错、原生缺陷（滑移、孪晶）
8、晶体准备：
截断：用锯子截掉头尾；
直径滚磨：在一个无中心的滚磨机上进行的机械操作；
晶体定向、电导率和电阻率检查；
滚磨定向指示：主参考面、第二个参考面；
切片；
晶圆划号：使用激光点；
磨片：主要目的是去除切片工艺残留的表面损伤；
化学机械抛光CMP：制造大直径晶圆的技术之一，化学机械平面化（planarization）；
背处理：背损伤、吸杂、背面喷沙、背面多晶层或氮化硅的淀积；
双面抛光；
边缘倒角和抛光：边缘倒角是使晶圆边缘圆滑的机械工艺；
晶圆评估：直径及公差、厚度、晶体定向、电阻率、Res梯度、氧含量、氧化度、碳含量；
氧化；包装；晶圆外延。
第四章芯片制造概述
1、芯片制造的四个阶段：原料制作－单晶生长－晶圆制造、集成电路晶圆的生产(wafer fabrication)－集成电路的封装；
2、晶圆术语：
器件或叫芯片－Chip、die、device、circuit、microchip、bar
街区或锯切线－Scribe lines、saw lines、streets、avenues
工程试验芯片－Engineering die、test die
边缘芯片－Edge die
晶圆的晶面－Wafer Crystal Plane
晶圆切面/凹槽－Wafer flats/notche
4、电路设计：功能电路图（逻辑功能图）－示意图－电路版面设计（复合图composite）
5、光刻母版（reticle）和掩膜版：光刻母版是在玻璃或石英板的镀薄膜铬层上生成分层设计电路图的复制图。
6、晶圆测试：又称芯片测试（die sort）或晶圆电测（electrical sort）
第五章污染控制
1、半导体器件极易受到多种污染物的损害：微粒、金属离子、化学物质、细菌；
微粒：1cm=10000um, 人的头发直径约为100um，微粒的大小要小于器件上最小特征图形尺寸的1/10 倍；（1994年SIA将0.18um设计的光刻操作的缺陷密度定为0.06um下的135个）金属离子：可移动离子污染物（MIC），Na是最常见之一；化学品：以氯为代表；
2、污染引起的问题：器件工艺良品率、器件性能、器件可靠性；
3、污染源：空气、厂务设备、洁净室工作人员、工艺使用水、工艺化学溶液、工艺化学气体、静电；
4、空气
a.空气洁净等级标准209E：区域中空气级别数是指在一立方英尺（0.0283立方米）中所含直径为0.5微米或更大的颗粒总数。一般城市空气为500万级；
b、净化空气的方法：洁净工作台、隧道型设计、完全洁净室、微局部环境
高效颗粒搜集过滤器（HEPA过滤器）、空气层流立式（VLF）工作台、空气层流平行式（HLF）工作台、标准机械接口装置（SMIF）、晶圆隔离技术（WIT）、晶圆盒（POD）；
c、温度、湿度及烟雾
5、洁净室的建设：建筑材料－以不锈钢为主、洁净室要素－9种控制外界污染的技术
粘着地板垫、更衣区、空气压力、空气淋浴器、维修区、双层门进出通道、静电控制（静电放电电流ESD，防止静电堆积和防止放电）、净鞋器、手套清洗器
6、人员产生的污染：经过风淋的洁净室操作员，坐着时每分钟可释放10万到100万个颗粒、移动时会大幅增大。呼吸时也会排出大量水气和微粒；
7、工艺用水：城市系统中水包含的污染物有溶解的矿物、颗粒、细菌、有机物、溶解氧、二氧化碳。去除带电离子使水从导电介质变成阻抗，18MΩ水。清洁工艺用水至可接受的洁净水平所需的费用是制造厂的一个主要运营费用；
8、工艺化学品：一般溶剂、化学试剂、电子级和半导体级；
有几种技术可同时满足更洁净的化学品、更严格的工艺控制和较低的费用，其中一种是“点使
用”（point-of-use POU）化学混合器（BCDS的另一个版本）。大量化学品传输系统（BCDS）、点使用化学品再生（POUCG），ppm-百万ppb-十亿ppt-万亿
9、化学气体：纯度、水汽含量、微粒、金属离子；氧气钝化（OP）、晶圆舟（wafer boat）
10、设备：机械设备是最大的微粒污染源；每片晶圆每次通过设备后增加的颗粒个数（ppp）、每片晶圆每次通过的颗粒增加数（PWP）
11、洁净室的供给、洁净室的维护；
12、晶片表面清洗：颗粒、有机残留物、无机残留物、需要去除的氧化层；
前线（FEOL）清洗、后线（BEOL）清洗
颗粒去除（机械的）
通常的化学清洗（例如硫酸/氢气/氧气）
氧化物去除
有机物和金属去除（SC-1）
碱金属和氢氧化物的去除（SC-2）
水清洗步骤
芯片烘干
13、颗粒的去除：Vander Waals吸引力、z电势、Capillary引力；晶片刷洗器；高压水清洗；有机残留物、无机残留物、化学清洗方案（硫酸、硫酸和过氧化氢、臭氧）
14、氧化层的去除：RCA清洗，标准清洗-1 SC-1、标准清洗-2 SC-2
15 、室温和氧化的化学物质：臭氧化的去离子水、氢氟酸/过氧化氢/水/表面活性剂+兆声波（MEGASONIC）、双氧水+兆声波、氢氟酸稀释液（1%）、去离子水清洗+兆声波，（喷洒清洗-干法清洗-低温清洗CO2）；
16、水清洗：溢流式清洗器、喷洒式清洗、排放式清洗、超声波辅助进行的清洗和水冲洗、旋转淋洗烘干机（SRD）; 20000-50000Hz为超声波、850KHz为兆声波；
17、烘干技术：旋转淋洗烘干机、异丙醇（IPA）蒸气烘干机法、表面张力/麦兰（marangoni）烘干法
第六章工艺良品率
1、维持及提高良品率（yield）对半导体工业至关重要，三个主要的良品率被用来监控整个半导体工艺制程：
晶圆生产部门-良品率=晶圆产出数/晶圆投入数；
晶圆电测-良品率=合格芯片数/晶圆上的芯片总数；
封装-良品率=终测合格的封装芯片数/投入封装生产线的合格芯片数；
2、累积晶圆生产良品率：在晶圆完成所有的生产工艺后，第一个主要良品率被计算出来，称之为FAB良品率、生产线良品率、累积晶圆厂良品率或CUM良品率。要得到CUMl良品率，需要首先计算各制程站良品率（station yield=离开制程站晶圆数/ 进入制程站晶圆数），将各制程站良品率相乘即得整体的晶圆生产CUM良品率（典型值50%-90%）。
3、晶圆生产良品率的制约因素：
a.工艺制程步骤的数量；
工艺步骤增加，良率下降；工艺步骤增加同时提高了后四个制约良品率因素对制程中晶圆产生影响的可能性—数量专治。（对于商用半导体，75%的晶圆厂CUM良品率是赚取利润的底线，自动化生产线则要达到90%或以上）
b.晶圆破碎和弯曲；
手工和自动的操作、对晶圆的多次热处理、晶圆表面的平整性要求。
c.工艺制程变异；
工艺工程和工艺控制程序的目标不仅仅是保持每一个工艺操作在控制界限内，更重要的是维持相应的工艺参数稳定不变的分布。正态分布（normal distribution）+中心极限分布（central theorem distribution）
d.工艺制程缺陷；
工艺制程缺陷被定义为晶圆表面受到污染或不规则的孤立区域（或点），这些缺陷经常被称为点缺陷（spot defect），导致整个电路失效的缺陷称为致命缺陷（killer defect）。主要来源于晶圆生产区域涉及到的不同液体、气体、洁净室空气、人员、工艺设备和水等等。
e.光刻掩膜版缺陷。
一般有三种掩膜版引起的缺陷:第一种是污染物、第二种是石英板基中的裂痕、第三种是在掩膜版制作过程发生的图案变形（点、空洞、包含、突出、断裂、桥）
4、晶圆电测良品率的制约要素：
晶圆直径、芯片尺寸（面积）、工艺制程步骤的数量、电路密度、缺陷密度、晶圆晶体缺陷密度、工艺制程周期；
a.晶圆直径和边缘芯片：增大晶圆直径可减少边缘芯片比例，对晶圆电测良品率有正面影响
b.晶圆直径和芯片尺寸：增加芯片尺寸而不增大晶圆直径将会导致晶圆表面完整芯片的比例缩小，当芯片尺寸增加时需用增大晶圆直径以维持很好的晶圆电测良品率。
c.晶圆直径和晶体缺陷（晶圆直径和工艺制程变异）：增大晶圆的直径使得晶圆中心保留更多的未受影响的芯片从而提高晶圆电测良品率；
d.芯片尺寸和缺陷密度：对于给定的缺陷密度，芯片尺寸越大，良品率越低；
e. 电路密度和缺陷密度：对于给定的缺陷密度，电路密度越大，良品率越低；
f.工艺制程步骤的数量：随着工艺制程步骤数量的增加，除非采取相应措施来降低由此带来的影响，晶圆背景缺陷密度将增加，增加的背景缺陷密度会影响更多的芯片，从而使晶圆电测良品率变低；
g.特征图形尺寸和缺陷尺寸：较小的特征工艺尺寸使提高晶圆电测良品率增加了难度；
h.工艺制程周期：较长的工艺制程周期也使提高晶圆电测良品率增加了难度；
i.晶圆电测良品率公式：指数函数模型、Seeds模型、Murphy模型、负二项式模型；
5、封装和最终测试良品率：
封装工艺完成后，封装好的芯片会经过一系列的物理、环境和电性测试，总称为最终测试（final test），最终测试后得出第三个主要良品率。
6、整体工艺良品率：
整体工艺良品率是三个主要良品率的乘积，给出了出货芯片数相对最初投入晶圆上完整芯片数的百分比，它是对整个工艺流程成功率的综合评测。由特定电路的集成度、生产工艺的成熟程度（三个良品率）等决定。总体而言晶圆电测良品率是其中最低的一个环节，也是有更大提升空间的环节。
第七章氧化
1、二氧化硅层的用途：
a.表面钝化：保护器件的表面及内部、禁锢污染物在二氧化硅膜中；
b.掺杂阻挡层：掺杂物在二氧化硅的运行速度低于硅中的运行速度、二氧化硅的膨胀系数与硅接近；
c.表面绝缘体：氧化层必须足够厚，以免产生感应现象，称为场氧化物；
d.器件绝缘体：热生成的氧化层可以用来做硅表面和导电表面之间形成的电容所需的介电质；
e.器件氧化物的厚度与用途：
60—100埃隧道栅极
150—500埃栅极氧化、电容绝缘层
200—500埃LOCOS氧化
2000—5000埃掩膜氧化、表面钝化
3000—10000埃场氧化
2、热氧化机制：阶梯式升温方法，900-1000℃之间
a.生长氧化层会经历两个阶段：线性阶段（<1000埃）和抛物线阶段;
受限反应（transport limited reaction）、受限扩散反应（diffusion limited reaction）；b.一个加速氧化方法是用水蒸气（H2O）来代替氧气做氧化剂，氢氧基离子扩散穿过晶圆上的氧化层的能力比氧气快；
蒸气氧化（steam oxidation）、湿氧化（wet oxidation）、高温蒸气氧化（pyrogenic steam）；
c.氧化率的影响因素：
晶格方向（<111>比<100>快）、晶圆掺杂物的再分配（N型堆积、P型消耗）、氧化杂质、多晶硅氧化、不均与的氧化率及氧化步骤
3、热氧化方法：热氧化反应（thermal oxidation）-常压、高压、阳极氧化
4、水平炉管反应炉（diffusion furnaces or tube furnace）：反应室、温度控制系统、反应炉、气体柜、晶圆清洗站、装片站、工艺自动化；
a.反应室：高纯度石英（大于1200℃时易破碎称为钝化devitrification）或氮化硅材料；
b.温度控制系统：自动温度分布曲线控制系统（autoprofiling）、逐渐加温（ramping）、待机状态（idle）；
c.反应炉结构：一般有3-4个炉管，可用于同一种工艺或被设计成不同的操作；
d.气体柜（source cabinet）：气体控制面板（gas control panel）、气体流量控制器（gas flow controller）、物流控制器（mass flow meter）、丛林（jungle）、氧化源（干氧、水蒸气源、气泡发生器、干氧化、加氯氧化）
e.晶圆清洗站：自动清洗机（VLF湿槽）+漂洗机+干燥机
f.装片站：自动晶圆装载（石英舟、象鼻管elephant、桨paddle）、手动装载晶圆
g.氧化工艺的自动化：时间、温度、反应气体顺序及推进，推出速率等编入程序形成配方recipe
5、垂直炉管反应炉：层流状态（laminar gas flow）
6、快速升温反应炉：通常反应炉每分钟升温几度，快速升温炉可以每分钟十几度；
7、快速加热工艺（RTP）：RTP工艺是基于热辐射原理，其应用减少了工艺所需的热预算（thermal budget），用于氧化的RTP系统也叫做快速热氧化（Rapid Thermal Oxidation，RTO）系统。其他应用RTP技术的工艺包括：湿氧化、局部氧化、离子注入后的源极/漏极的活化、LPCVD 多晶硅、无定形硅、钨、硅化物、LPCVD氮化和LPCVD氧化。
8、高压氧化：采用高压后一种解决方案是降低反应温度，每增加一个大气压温度可以降30℃；另一种方案是用高压系统来维持正常的反应速度，减少氧化时间。
a.可以解决在局部氧化中（LOCOS）产生的“鸟嘴”问题；
b.氧化前晶圆的清洗：机械清洗—RCA湿洗—氢氟酸（HF）或稀释的氢氟酸清洗；
9、氧化工艺：实际的氧化是在炉管反应炉中，在不同的气体循环中进行的（氮气-氧气-氮气循环）
a.气源：氧气、氧气中的氯气（Cl2）、氯化氢（HCl）、三氯乙烯（TCE）或氯仿（TCA）;
b.后氧化评估：一些评估由操作员在线实行、另一些评估由质量控制实验室离线实施；
c.表面检测：高亮度紫外线下对每片晶圆进行检测；
d.氧化厚度：检测技术包括颜色比较、边缘记数、干涉、椭偏仪、刻纹针振幅仪和电子扫描显微镜；
e.氧化和炉管清洗：颗粒、污点及移动离子污染最小化；绝缘材料的强度；氧化层的折射率；
10、阳极氧化：硅晶圆连在正极（阳极）上，同时槽连在负极（阴极）上，两种均沉浸在KNO3溶液里。阳极氧化的基本应用是在晶圆表面形成参杂浓度的曲线；
11、热氮化：氮化硅膜（Si3N4），硅表面暴露在氨气（NH3）中而生成氮化硅。某些高级器件中也使用氧氮化硅膜。
第八章基本光刻工艺流程—从表面准备到曝光
1、光刻工艺是一种用来去掉晶圆表面层上所规定的特定区域的基本操作（Photolithography、Photo masking、Masking、Oxide、Metal Removal-OR,MR、Microlithography）
分辨率-resolution 特征图形尺寸-feature size 图像尺寸-image size 定位图形-Alignment or Registration 聚合-polymerization 抗刻蚀的-etch resistant or Resist or Photoresist 亮场掩膜版-clear field mask 光溶解-photosolubilization；
负胶+亮场或正胶+暗场形成空穴；负胶+暗场或正胶+亮场形成凸起；
2、光刻十步法：
表面准备—涂光刻胶—软烘焙—对准和曝光—显影—硬烘焙—显影目测—刻蚀—光刻胶去除—最终目检；
3、基本的光刻胶化学物理属性：
a、组成：聚合物+溶剂+感光剂+添加剂
普通应用的光刻胶被设计成与紫外线和激光反应，它们称为光学光刻胶（optical resist），还有其它光刻胶可以与X射线或者电子束反应；
负胶：聚合物曝光后会由非聚合态变为聚合状态，形成一种互相粘结的物质，是抗刻蚀的，大多数负胶里面的聚合物是聚异戊二烯类型的，早期是基于橡胶型的聚合物；
正胶：其基本聚合物是苯酚-甲醛聚合物，也称为苯酚-甲醛Novolak树脂，聚合物是相对不可溶的，在用适当的光能量曝光后，光刻胶转变成可溶状态；
化学放大光刻胶-chemically amplified resist 负胶光敏剂-Bis-aryldiazide 正胶光敏剂-O-naphthaquinonediazide
b、光刻胶的表现要素：
分辨率：resolution capability、纵横比-aspect ratio（光刻胶厚度与图形打开尺寸的比值、正胶一般比负胶有更高的纵横比）；
粘结能力：负胶的粘结能力通常比正胶强一些；
曝光速度、灵敏性和曝光源：反应速度越快，在光刻蚀区域晶圆的加工速度越快；灵敏性是与导致聚合或者光溶解发生所需要的能量总和相关的；波长越短的射线能量越高；
工艺宽容度：工艺维度越宽，在晶圆表面达到所需要尺寸的可能性就越大；
针孔：针孔是光刻胶层尺寸非常小的空穴，光刻胶层越薄，针孔越多，典型的权衡之一；
微粒和污染水平、阶梯覆盖度和热流程；
c、正胶和负胶的比较：
直到20世纪70年代中期，负胶一直在光刻工艺中占主导地位，到20世纪80年代，正胶逐渐被接受。两者相比优缺点如下：正胶的纵横比更高、负胶的粘结力更强曝光速度更快、正胶的针孔数量更好阶梯覆盖度更好，但成本更高、正胶使用水溶性溶剂显影而负胶使用有机溶剂显影；
d、光刻胶的物理属性：
固体含量：solid content 一般在20%-40%；
粘度：测试方法有落球粘度计量器、Ostwalk-Cannon-Fenske方法、转动风向标法、粘度单位是厘泊（centipoise），另一种单位称为kinematic粘度，它是centistoke，由粘度（厘泊）除以光刻胶密度而得到，默认温度为25度；
表面张力；折射系数：index of refraction，对于光刻胶其折射率和玻璃接近约为1.45；
储存与控制：光热敏感度、粘性敏感度、清洁度……
4、光刻工艺剖析：
a、表面准备：
微粒清除：高压氮气吹除、化学湿法清洗、旋转刷刷洗、高压水流；
脱水烘焙：低温烘焙（150~200℃），憎水性-hydrophobic 亲水性-hydrophilic
晶圆涂底胶：HMDS（六甲基乙硅烷）沉浸式涂底胶、旋转式涂底胶、蒸气式涂底胶；
b、涂光刻胶：
普通的光刻胶涂胶方法有三种：刷法、滚转方法和浸泡法，IC封装用光刻胶的涂布方法如下：静态涂胶工艺、动态喷洒、移动手臂喷洒、手动旋转器、自动旋转器、背面涂胶；
c、软烘焙:
热传递的三种方式：传导、对流和辐射；
常用的软烘焙加热方式如下：对流烘箱、手工热板、内置式单片晶圆加热板、移动带式热板、移动带式红外烘箱、微波烘焙、真空烘焙、
d、对准和曝光（A&E）:
对准系统的性能表现：对准系统包含两个主要子系统、一个是要把图形在晶圆表面上准备定位，另一个是曝光子系统，包括一个曝光光源和一个将辐射光线导向晶圆表面上的机械装置；
对准与曝光系统：光学（接触式、接近式、投影式、步进式），非光学（X射线、电子束）；
曝光光源：高压汞灯、准分子激光器、X射线及电子束；
对准法则：第一个掩膜版的对准是把掩膜版上的Y轴与晶圆上的平边成90°放置，接下来的掩膜都用对准标记（又称靶）与上一层带有图形的掩膜对准。对准误差称为未对准（misalignment）；光刻机的分类：接触式光刻机、接近式光刻机、扫描投影光刻机、步进式光刻机、分布扫描光刻机、X射线光刻机、电子束光刻机、混合和匹配光刻机；
曝光后烘焙（PEB）：驻波是使用光学曝光和正性光刻胶时出现的问题，一种减少驻波效应的方法是在曝光后烘焙晶圆，PEB的时间和温度的规格是烘焙方法、曝光条件以及光刻胶化学所决定的。
第九章基本光刻工艺流程—从曝光到最终检验
1、显影：通过对未聚合光刻胶的化学分解来使图案显影，显影技术被设计成使之把完全一样的掩膜版图案复制到光刻胶上。
a.负光刻胶显影：二甲苯或stoddart溶剂显影，n-丁基醋酸盐冲洗；
b.正光刻胶显影：碱（氢氧化钠或氢氧化钾）+水溶液、或叠氮化四甲基铵氢氧化物的溶液（TMAH）;
c.湿法显影：
沉浸-增加附属方法提高显影工艺，机械搅动、超声波或磁声波等；
喷射-对负胶而言是标准工艺，对温度敏感的正胶却不是很有效，隔热冷却（adiabatic cooling）；混凝-是用以获得正胶喷射显影工艺优点的一种工艺变化；
等离子去除浮渣-不完全显影造成的一个特俗困难叫做浮渣（scumming），用氧等离子去除；
d.干法（或等离子）显影：干法光刻胶显影要求光刻胶化学物的曝光或未曝光的部分二者之一易于被氧等离子体去除，换言之图案的部分从晶圆表面上氧化掉，一种DESIRE的干法显影工艺会使用甲基硅烷和氧等离子体
2、硬烘焙：与软烘焙一样通过溶液的蒸发来固化光刻胶，常见工艺流程如下:
显影—检验—硬烘焙—刻蚀；显影/烘焙—检验—刻蚀；显影/烘焙—检验—重新烘焙—刻蚀；硬烘焙温度的上限是以光刻胶流动点而定，高温烘焙会产生边缘线等不良现象；
3、显影检验（develop inspect DI）：目的是区分那些有很低可能性通过最终掩膜检验的晶圆、提供工艺性能和工艺控制数据、以及分拣出需要重做的晶圆；
a.晶圆被返回掩膜工艺称为重新工艺处理（rework或redo）<10% 5%比较理想
b.检验方法：人工检验（1倍检验）、显微镜检验（随机抽样random sampling）、关键尺寸（Critical Dimension，CD）、自动检验
c.显影检验拒收的原因：检验遵循“首先-不足”（first-fail basis）原理
碎晶圆、划伤、污染、小孔、MA、桥接、不完全显影、光刻胶翘起、曝光不足、无光刻胶、光刻胶流动、不正确的掩膜版、CD……
4、刻蚀：主要有湿法和干法刻蚀，两种方法的主要目标是将光刻掩膜版上的图案精确地转移到晶圆的表面，其他刻蚀工艺的目标包括一致性、边缘轮廓控制、选择性、洁净度和成本最低化；
a.湿法刻蚀：历史上的刻蚀方法一直是使用液体刻蚀剂沉浸的技术，对于晶圆被刻蚀剂污染的担忧由增加出口过滤器（point-of-use filter）来解决；不安完全刻蚀、过刻蚀（overetch）、各向异性刻蚀（anisotropic）、各向同性刻蚀（isotropic）、底切（undercutting）、选择性（selectivity）
■硅湿法刻蚀：硝酸加氢氟酸的混合水溶液，醋酸等可用来控制放热反应；
■二氧化硅湿法刻蚀：基本的刻蚀剂是氢氟酸(HF)，实际中用49%的氢氟酸与水或氟化胺与水混合。氟化胺[NH
■铝膜湿法刻蚀：对于铝和铝合金有选择性的刻蚀溶液是基于磷酸的（含有磷酸、硝酸、醋酸、水和湿化代理物16：1：1：2），可有效消除雪球（snow ball）等气泡现象；
■淀积氧化物湿法刻蚀：（铝膜上的二氧化硅钝化膜），一般用BOE溶液刻蚀，但容易造成Brown 或stain，受青睐的刻蚀剂是氟化胺和醋酸1：2的混合水溶液；
■氮化硅湿法刻蚀：180℃热磷酸溶液，一般光刻胶承受不了此温度和刻蚀速率，改用干法；■湿法喷射刻蚀：其主要优点是喷射的机械压力而增加了精确度、减小污染、可控性更强、工艺一致性更好，缺点在于成本以及压力系统中有毒刻蚀剂的安全性和对机器老化性的考验；
■蒸气刻蚀：用HF蒸气在密封的系统中进行（一种新的技术）；
■小尺寸湿法刻蚀的局限：
湿法刻蚀局限于3微米以上的图案尺寸；
湿法刻蚀为各向同性刻蚀导致边侧形成斜坡；
湿法刻蚀工艺要求冲洗和干燥步骤；
液体化学品有毒害；
湿法工艺具有潜在的污染；
光刻胶粘结力的失效导致底切。
b.干法刻蚀（dry etching）：等离子体、离子束打磨（刻蚀）和反应离子刻蚀（RIE）
■等离子体刻蚀：桶形刻蚀机（barrel etcher）、平面等离子刻蚀机、电子回旋加速器共振(ECR)、高密度反射电子、Helicon波、感应耦合等离子（ICP）、变压器耦合等离子体(TCP)等；
等离子体系统的刻蚀率由系统设计和化学品两个主要因素决定，其它因素是离子浓度和系统压力；辐射损伤（对晶圆的辐射radiation或对等离子体plasma的损伤、非导体损耗dielectric
wearout、下游等离子体downstream plasma）；
选择性是等离子体刻蚀工艺的一个主要的考虑事项，用于控制选择性的4种方法是刻蚀气体配比的选择、刻蚀率、接近工艺结束时的气体稀释来减缓对下层的刻蚀、在系统中使用结束点探测器，其他关注的问题还有：污染、残余物、腐蚀以及所有权成本；
■离子束刻蚀：离子束刻蚀是一个物理工艺，动力传输（momentum transfer）、喷溅刻蚀（sputter etching）或离子打磨（ion milling）；材料的去除是非常有方向性（各向异性），导致良好的小开口区域的精密度，因为是物理工艺，离子打磨的选择性差；
■反应离子刻蚀（RIE）：结合了前二者的优点，一个主要优点是在刻蚀硅层上的二氧化硅层，RIE系统已成为用于最先进生产线中的刻蚀系统；
■干法刻蚀中光刻胶的影响：残余的氧气会刻蚀光刻胶层、温度过高会使光刻胶被烘焙、再一个和温度相关的问题是光刻胶的流动倾向而使图案变形、边侧聚合物（sidewall polymer）沉积变成金属氧化物而难以去除；
5、光刻胶的去除：光刻胶去除剂被分成综合去除剂和专用于正胶及负胶的去除剂，它们也根据晶圆表层类型被分成有金属的和无金属的；
■无金属表面的湿法去除：硫酸和氧化剂溶液（过氧化氢或过硫酸盐胺）、硝酸做氧化剂；
■有金属表面的湿法化学去除：酚有机去除剂、溶液/ 胺去除剂、特殊湿法去除剂；
■干法去胶：等离子场把氧气激发到高能状态，因而将光刻胶成分氧化为气体由真空泵从反应室吸走Ashing；
■离子注入后和等离子去胶：一般地用干法工艺来去除或减少光刻胶，然后加以湿法工艺；6、最终目检：与显影检测是一样的规程，只是大多数的拒收是无法挽回的，在显影目检中应已被区分并从批料中拿出的晶圆叫做“显影目检漏掉”（develop inspect escapes）
7、光刻版制作：
主要步骤：玻璃/石英板的形成—沉积铬涂层—光刻胶涂层—涂层曝光—图案显影—图案刻蚀—光刻胶去除
工艺流程：电路平面设计—数字化—流程A+激光电子束直接写入流程B和流程C；
流程A图案产生-掩膜版-母版处理-接触印刷附属版-工作版处理-晶圆曝光（接触/接近/投射）；流程B光刻版-光刻版处理-晶圆曝光（stepper）；
流程C母版-掩膜版处理-晶圆曝光（接近/投射）
( 工作总结) 单位：____________________ 姓名：____________________ 日期：____________________ 编号：YB-BH-027303 中学体育教学工作总结精选Summary and selection of Middle School Physical Education
中学体育教学工作总结精选 中学体育教学工作总结精选(一) 本学期的八年级的体育教学工作，以体育课程标准为依据，以体育中考为目标，以增进学生健康为指导思想，积极开展多种形式的体育教育教学活动。切实做到教书育人，促进学生德、智、体全面发展。本着总结经验，取长补短，总结本学期体育工作如下： 一、抓好体育教学工作，落实工作目标 在教学中，从课堂教学要求出发，加强教育教学理论的学习，并进行有目的、有计划的进行教学实践，改进学习方式、教学方法和评价方式，认真钻研教材，掌握教学方法，抓住重点，突出难点，明确教学目的和要求，准确、生动、形象地给学生传授知识与技能。根据教学的任务和要求、结合学生的实际水平，认真备课、上课，向四十五分钟要质量。认真组织和指导学生开展第二课堂活动，使学生各方面得到发展。能根据学生的差异，做好学生的教育工作，找后进生谈心，了解他的情况，做好转化工作，尽力引导学生，鼓励多练习，多锻炼，努力提高体育教学成绩。经常性地对教学进行自查、总结，及时发现问题，解决问题。 1、在教育教学中，真诚公平地对待每一个学生，不体罚学生，能做耐心细
致的工作，让他们热爱学习，发挥特长，培养其素质。 2、在教学过程中，能根据教学进度和教学内容的安排，按照由易到难，由简到繁的原则实行多次重复练习，运动负荷由小到大，满足了不同类型学生的要求，使有效的完成教学任务， 3、在测试工作中，能按国家颁布的〈学生体质健康标准〉对学生进行教学和测试，积极开展阳光体育活动。 4、紧扣围绕中考考试项目训练。认真抓好学生200米跑的技术动作，引导好学生选项实习球和立定跳远 二、抓学生思想工作，促教学成绩的提高 1、学生上课积极性高，能在老师的要求下积极锻炼，对学生本身增强体质，矫正和补偿身心缺陷起到了很大的作用。严格要求学生，使他们养成了良好的行为习惯和正确的课堂常规。 2、通过体育课的锻炼，使那些有行动障碍的学生消除了自卑心理，感受到了学校、班级和老师的温暖，有利于学生在今后的学习过程中树立良好的自尊心，自信心，促进德、智，体等方面的全面发展。 3、整个体育教学，突出了实用性和趣味性的原则，既保证了学生得到积极锻炼，又使学生在学习过程中感到愉快，养成了锻炼身体的习惯。在教案的编写上，突出了个别化教学原则，尽量设计使每个学生都能有适合自己的活动内容和活动方式，增强学生的自信心。 4、通过不同类型的球类运动及游戏，提高学生身体的协调性，增加了学生对参加体育锻炼的兴趣，使学生能在课外活动时间自己组织进行较为简单的篮排球比赛活动。
初中教师个人工作总结2020年精选5 篇 在学校领导的关心、同事的支持与帮忙以及本人的努力下，无论在思想方面、工作方面、教学方面都取得了显著的提高。下面是给大家带来的教师工作总结，欢迎大家阅读参考，我们一起来看看吧! 教师工作总结1 一、思想品德方面 热爱本职，踏实工作，不追逐名利。为了适应时代发展的需要，勤奋学习，刻苦钻研，及时更新知识，不断提高教学和科研水平与本事。以认真负责的态度上好每堂课。以满腔的爱心关心学生，关心学生的成长，进取做好学生的思想政治工作，循循善诱，管教管导，既教书又育人，对学生一视同仁。做到深入学生，为学生排忧解难，为学生多办实事。能主动、认真地服从和配合学校各级领导安排的工作，与同事们团结协作，相互帮忙，共同完成学校交给的各项工作任务。 二、教育教学方面
本学期，本人能够强化教学常规各环节：在课前深入钻研、细心挖掘教材，做好教学工作计划，把握教材的基本思想、基本概念、教材结构、重点与难点;了解学生的知识基础，力求在备课的过程中即备教材又备学生，准确把握教学重点、难点，不放过每一个知识点，在课堂上，能够运用多种教学方法，利用多种教学手段，充分调动学生的多种感官，激发学生的学习兴趣，努力提高课堂教学效率，以学生发展为本，激发学生的求知欲，诱导学生主动探索、主动参与认知结构的过程，促使学生乐学，学会，会学;在课后，及时做好后进学生的思想工作及课后辅导工作;在自习课上，狠抓后进生的转化和优生的培养;同时，进行阶段性检测，及时了解学情，以便对症下药，调整教学策略。认真参加教研活动，进取参与听课、评课，虚心向同行学习，博采众长，提高教学水平。 三、课题研究方面 本学期，本人在学校教导处的领导下，围绕学校课题研究的总课题，进取撰写实施了“创设问题情境，构建初中历史高效课堂的研究”的子课题方案，及时总结教学心得体会和研究成果，为课题研究工作积累了资料，并进取在教学中进行实践。在课堂教学中，贯彻新课改的理念，进取推广先进教学方法，大胆进行自主、合作、探究学习方式的尝试，充分发挥学生的主体作用，
江南大学网络教育考试大作业 考试科目:《建筑设备概论》 一、大作业题目（内容）： 一、名词解释：（共20分） 1、建筑设备工程 答: 建筑设备工程:为建筑使用者提供生活和工作服务，满足人们舒适、安全、健康以及提高 工作效率的各种设施和系统的总称。包括给水、排水、热水供应、供暖、通风、供电、照明、消防、电梯、通讯、建筑自动化系统等设施和系统。 2、供暖系统设计热负荷 答：供暖系统设计热负荷:在设计室外温度下，为达到建筑室内要求的温度，供暖系统在单位 时间内向建筑物提供的热量。 3、建筑通风 答：建筑通风:是将室内被污染的空气直接或经过净化后排至室外，将新鲜的空气补充进来， 从而保持室内的空气环境符合卫生标准和满足生产工艺的要求。 4、集中空调系统 答：集中空调系统:指空气处理设备集中设置在空调机房内，空气经过集中处理后，经过风道 输送和分配到各个空调房间。 二、简答题（60分） 1、简述一般给水系统的组成。 答:一般给水系统的组成:引入管、水表结点、给水管道、卫生器具及其附件，还可包括水泵、水箱等升压和储水设备。 2、什么是建筑给水系统所需压力，如何计算? 答:建筑给水系统所需的压力，必须能将需要的流量输送到建筑物内最不利点的配水龙头或用 水设备处，并保证有足够的流出水头。可按下式计算: H=H1+H2+H3+H4 H1 是建筑给水引入 管处至最高、最远配水点的几何高度; H2是管内沿程水头损失与局部水头损失之和;H3是水 流经水表时所产生的水头损失; H4 是最高、最远点所需之流出水头。 3、简述自然通风特点。 答：自然通风是依靠自然的风压和自然热压所形成的压力使空气流动。通风的风量和风压受 气象条件的影响，通风量不够稳定，可靠性较差，通风条件比较灵活，但系统的初投资较少 无运行费用费用，安装管理比较方便。 4、简述热水供暖系统中膨胀水箱的作用。 答(1)能够容纳水受热后膨胀的体积，(2)排除供暖系统内的空气，(3)在机械热水循环系统中 可以用作控制系统压力的定压点。 5、简述空调系统的组成。 答：空调系统的组成:空气处理设备、风机、风道和送、回风口构成的整体设备。 6、简述影响空调房间气流组织的主要因素有哪些。 答:影响空调房间气流组织的主要因素有:
初中教师个人教育工作总结 初中教师在制定教学目标时，注意学生的实际情况，对此，应该要做一个总结。以下是收集整理的初中教师工作总结，希望对你有帮助。 一学期来，本人认真备课、上课、听课、评课，及时批改作业、讲评作业，做好课后辅导工作，广泛涉猎各种知识，形成比较完整的知识结构，严格要求学生，尊重学生，发扬教学民主，使学生学有所得，不断提高，从而不断提高自己的教学水平和思想觉悟，并顺利完成教育教学任务。回顾本学期的工作，有成功的喜悦，也有失败的教训，为使今后的工作做得更好，现总结如下。 一、政治思想方面。 本人在思想上严于律己，热爱党的教育事业。对自己要求更为严格，力争在思想上、工作上在同事、学生的心目中树立好的印象。即教书又育人，除对自已严格要求外，还利用一切合适的场所，对学生进行思想教育，提高班上学生的思想觉悟，教育学生热爱中国共产党，热爱社会主义祖国、同时热爱家乡。同一切不良的现象作斗争。本学期，积极参加各类政治业务学习，努力提高自己的政治水平和业务水平。 二、教育教学方面。 1、要提高教学质量，关键是上好课。 为了上好课，我做了下面的工作：
⑴课前准备备好课。①认真钻研教材，对教材的基本思想、基本概念，每句话、每个字都弄清楚，了解教材的结构，重点与难点，掌握知识的逻辑，能运用自如，知道应补充哪些资料，怎样才能教好。 ②了解学生原有的知识技能的质量，他们的兴趣、需要、方法、习惯，学习新知识可能会有哪些困难，采取相应的预防措施。③考虑教法，解决如何把已掌握的教材传授给学生，包括如何组织教材、如何安排每节课的活动。 ⑵课堂上的情况。组织好课堂教学，关注全体学生，注意信息反馈，调动学生的有意注意，使其保持相对稳定性，同时，激发学生的情感，使他们产生愉悦的心境，创造良好的课堂气氛，课堂语言简洁明了，克服了以前重复的毛病，课堂提问面向全体学生，注意引发学生学习的兴趣，课堂上讲练结合，布置好家庭作业，作业少而精，减轻学生的负担。 ⑶复习阶段。针对每一位学生展开复习，注意联系实际，画图，看图，培养学生的读图能力，指导学生根据图形相互之间展开提问，开拓思维。 2、要提高教学质量，还要做好课后辅导工作。 初中的学生爱动、好玩，缺乏自控能力，常在学习上不能按时完成作业，有的学生抄袭作业，针对这种问题，就要抓好学生的思想教育，并使这一工作惯彻到对学生的学习指导中去，还要做好对学生学习的辅导和帮助工作，尤其在后进生的转化上，对后进生努力做到从友善开始，比如，握握他的手，摸摸他的头，或帮助整理衣服。从
江南大学现代远程教育考试大作业 考试科目:《建筑设备概论》 一、大作业题目（内容）： 一、名词解释：（共20分） 1、建筑设备工程 答：对建筑物提供生活和工作的各种设备系统的总称（给排水、热水供应、煤气供应、采暖、通风、空调、供电、照明、消防及报警、电梯、通讯、电视等），给人们带来方便、安全、舒适的室内环境。 2、设计秒流量 答：按瞬时高峰给（排）水量制订的用于设计建筑给（排）水管道系统的流量。 3、局部通风 答：利用局部通风机或主要通风机产生的风压对局部地点进行通风的方法。 4、半集中空调系统 答：集中在空调机房的空气处理设备，仅处理一部分空气，另外在分散的各空调房间内还有空气处理设备。它们或对室内空气进行就地处理，或对来自集中处理设备的空气进行补充再处理。诱导系统、风机盘管系统就是这种半集中式空调系统的典型例子。 二、简答题（60分） 1、简述一般给水系统的组成。 答：给水系统由引入管、水表节点（水表井，水表，阀门等）、给水管网（干管，立管，支管）、给水附件（各种阀门，水龙头及各种仪表）、配水设备（各种卫生器具给水配件及配水龙头）、增压及蓄水设备（水泵，水池，水箱等）组成。 2、什么是建筑给水系统所需压力，如何计算？ 答：建筑给水系统所需压力即把水从供水口送到配水点（用水点）所需的压力。 计算公式为H=H1+H2+H3+H4-H5 式中H为给水管网所需压力；H1为供水点到配水点的静水压，及高程差；H2为供水点到配水点管路总水头损失，包括沿程水头损失和局部水头损失之和；H3是水表节点的水头损失；H4为配水点工作水压，建筑给水排水规范规定了各种用水设备的最低工作压力，一般取0.05MPa；H5为市政管网能提供的部分供水水压，需减掉这部分，如果有给水水池的话，H5值取零。 建筑给水系统是将城镇给水管网（或自备水源，如蓄水池）中的水引入一幢建筑或一个建筑群体供人们生活、生产和消防之用，并满足各类用水对水质、水量和水压要求的冷水供应系统。 3、简述建筑通风的主要任务 答：建筑通风的主要任务是控制生产过程中产生的粉尘、有害气体、高温、高湿、控制室内有害物量不超过卫生标准，创造良好的生产、生活环境、保护大气环境。 4、简述机械通风的特点 答：（1）不受气象条件影响；（2）通风效果稳定，工作可靠，调节灵活；（3）投资和运行费用高；（4）安装和管理麻烦。 5、简述按照空气处理设备的位置来分类，空气调节系统可以分为哪几种类型。 答：分为集中式空调系统、半集中式空调系统和局部式空调系统。 6、简述影响空调房间气流组织的主要因素有哪些。 答：（1）与设计安装的送风口、回风口的位置相关（2）与送风的风速相关（3）与送风区域的格局相关（4）与送风口的出风型式相关(风口的类型)（5）与送风温度也有一定的关系(冷空气下沉、热空气上浮)。
中学教师个人业务总结 一、加强学习，努力提高自身素质 二、以身作则，严格遵守工作纪律 三、强化常规，提高课堂教学效率 四、正视自我，明确今后努力方向 1、在课堂教学中充分利用多媒体课件，调动了学生的积极性，但对学生基础知识的训练不够，致使课堂教学效率不高; 2、对知识点的检查落实不到位; 3、对差生的说服教育缺乏力度，虽然也抓了差生，但没有时时抓在手上。 4、教学中投入不够，没能深入研究教材及学生。 1、进一步加强对新课改的认识，在推广先进教学方法、利用多媒体调动学生学习积极性的同时，努力提高课堂教学的效率。 2、狠抓检查，落实对知识点的掌握。将差生时时放在心上，抓在手上。 3、加强学生的阅读训练，开阔学生的视野，拓宽学生思路，提高学生解决问题的能力; 4、采取措施，加强训练，落实知识点。 5、加强对学生的管理教育，努力教学提高成绩。 教师是知识的化身，是智慧的灵泉，是道德的典范，是人格的楷模，是学子们人生可靠的引路人。换而言之，教师是学生美好心灵的塑造者。因此，我时刻以"德高为师，身正为范"这八个字提醒自己。无私奉献、以德立教、以身示教，用高尚的人格为每颗纯洁心灵的塑造而竭尽全力。
一、树立事业心，增强责任感热爱教育事业。 教书是手段，育人是目的。因此，我们教师在任何时候都不能忘记，自己不单单是为教书而教书的“教书匠”，而应是一个教育家，是人类灵魂的工程师。 “以情育人，热爱学生;以言导行，诲人不倦;以才育人，亲切关心;以身示范，尊重信任”。尊师爱生，是一种理性化的高尚情感， 对待学生，管而不死，严而不厉，爱在其中。教育是爱的共鸣，是 心和心的呼应。教师只有热爱学生，才能教育好学生，才能使教育 发挥最大限度的作用。可以说，热爱学生是教师职业道德的根本。 对学生冷漠，缺乏热情，决不是一个有良好师德的好教师。教师爱 学生体现在“严”和“慈”上。常言道：“严师出高徒。”又说：“严是爱，宽是害”。对学生不严格要求，严格训练，是难以培育 出跨世纪的可靠接班人和合格的建设者。 “自古雄才多磨难，从来纨绔少伟男”。所以，对学生不严不行。当然，严要得法，严要有度。慈，就是对学生要关心、爱护、宽容、尊重。充分鼓励学生的自尊和自信，关心学生的学习和成长进步， 使学生全面发展。教师要与学生平等相处，尊重学生、信任学生、 爱护学生、保护学生。教师对学生的爱，即是敬业精神的核心，又 是教师高尚品德的自我表现，既是育人的目的，又是教师教书这个 职业的具体表现。 二、用无限的师爱，开启每个学生的心灵。 三、用规范的言行，净化每个学生的心灵。 四、用奉献的人格，塑造每个学生的心灵。 踏上三尺讲台，也就意味着踏上了艰巨而漫长的育人之旅。选择了教师，也就选择了无悔的人生。将近十八年的教师生涯，我深深 地认识到蜡烛事业，春蚕事业的甘与苦。也深切感受到师德师风建 设的重要性。教师的天职是教书育人。因此，作为一个教师必须要 提高自己的道德素养和职业观念。只有严格要求自己的人才能获得 良好的发展，并能对学生严格要求。做一个同事满意，学生满意，
0绪论 0．1课程的性质与内容 1．建筑给水与排水 2．建筑采暖、通风与空气调节 3．建筑供配电与照明 4．建筑弱电与消防电气 0．2学习本课程的目的与任务 0．3建筑设备技术发展的概况和方向 ①现代高新技术广泛应用 ②新材料、新产品、新工艺快速发展，在暖通工程中引起了许多技术改革 ③工程设备安装工艺朝工厂化、装配化方向发展，不仅提高、保证了施工质量，而且大大加快了施工速度，能获得良好的经济效果。 ④为了与建筑设备工程技术的发展要求相适应，其设计、施工、安装的技术标准、规范也得到多次修订和逐步完善。 0．4本课程的特点与学习方法 1．书本知识与实践、实际的紧密结合 2．在学好本书的基础上，还应多看一些参考书 3．注意专业技术标准和规范的学习与熟悉 1 建筑室内给水工程 1．1室内给水系统 1．1．1室内给水系统的分类和组成 1．室内给水系统的分类 ①生活给水系统。 ②生产给水系统。 ③消防给水系统。 2．室内给水系统的组成 ①引入管 ②水表节点 ③干管 ④立管 ⑤配水支管 ⑥给水附件 ⑦升压和贮水设备 ⑧室内消防设备 1．1．2建筑给水系统的供水方式 1．室内给水方式的选择 ①给水系统简单，管道长度短，降低工程费用及运行管理费用 ②充分利用城市管网水压直接供水 ③供水应安全可靠，管理、维修方便 ④尽量采用共用给水系统 ⑤尽量采用循环给水系统 ⑥最低卫生器具配水点处的静水压强不宜大于0.45MP 2．建筑室内给水系统的基本供水方式 ⑴直接给水方式
⑵设有水箱的给水方式 ⑶设有水泵的给水方式 ⑷设有贮水池、水泵和水箱联合工作的给水方式 ⑸设有气压给水装置的供水方式 1．1．3高层建筑室内给水系统 1．串联分区给水方式 2．并联分区给水方式 ⑴并联分区单管给水方式 ⑵并联分区平行给水方式 3．减压给水方式 4．分区无水箱给水方式 1．1．4给水水质及其防止水质污染的措施 1．给水水质 2．防止水质污染的措施 ①饮用水管道不得因回流而被污染 ②生活饮用水管道不得与非饮用水管道连接 ③水箱溢流管不得与排水系统直接连接，必须采用间接排水 ④选用管材及配件时，要防止因材料腐蚀、溶解而污染水质 ⑤生活饮用水管道应避开毒物污染区，当受条件限制时，应采取防护措施 ⑥生活、消防合用的水箱（池），应有防止水质变坏的措施 1．2室内给水系统的管材、附件及设备 1．2．1室内给水管道的常用材料 1．钢管 2．塑料管 1．2．2室内给水用附件 1．配水用附件 ①截止阀式配水龙头 ②旋塞式配水龙头 ③混合配水龙头 2．控制附件 ①闸阀 ②截止阀 ③旋塞阀 ④止回阀 ⑤浮球阀 ⑥安全阀 1．2．3水表、水泵、水箱及气压给水装置 1．水表 2．水泵 ⑴水泵的作用和类型 ⑵离心式水泵的管路附件 ①充水设备 ②底阀 ③吸水管
初中体育教学工作总结5篇 体育课是体育教学的基本组织形式，主要使学生掌握体育与保健基础知识，基本技术、技能，实现学生思想品德教育，提高运动技术水平。以下是小编整理的初中体育教学 工作总结 ，希望对大家有帮助！ 初中体育教学工作总结1 一个学期的工作基本已结束，本人在学校领导下顺利了完成学校的各项工作。现在本学期 教育教学心得归纳如下： 本学期。本人在开学初就努力学习体育学科的基本知识，在《中国学校体育》博客圈里学习优秀体育教师的 工作心得 与体会，读书、看报就成为开学前每天的功课。由于本校是新开办不足二年的新校，在开 学初我们颂德学校就迎来了一批优秀而且年经的教师，有时还担心自己融入不到他们当中，这种担忧已经是多余了，通过一学期的相处，我已经成功的融入到这批新教师当中，并和他们相处非常开心，有的还成为了好朋友、好搭档。 本学期。本人担任八年级的体育教学，每星期15节课时。因此，我在开学初就根椐初中 的体育大纲和本区中考的情况，制定了本学期学期 工作计划 、单元工作计划、课时工作计划等。并根椐区教研室的行事历要求，制定本科组的科组工 作计划，而且严格按照各项计划制定合理，符合实际，并在教育教学中取得效果。 在教学方面。虽然担任八年级6个班和七年级1个班的教学，教学任务繁重。但我勇于面对各种困难，努力把工作做得更好。不过，在教学中还是遇到很多问题，比如：教案的编写，有时会因为学校工作较多没有认真去备好课就去上课，也导致课堂组织轮练，教学效 果欠佳；有时在课堂常规方面严格不够，导致集队时说话现象较严重；有时教学方法不够 灵活，导致课堂气氛沉闷；有时安全意识不强，导致学生受伤；有时师生关系处理不当，导致师生关系不愉快；这些问题都要在以后的工作中好好学习，好好反思总结。虽然本学期在教学经验上有所提高，特别是在上校级研讨课时，整体上得不错，对自己的观念有所 改变，在组织上课或编写教案都积累了一些心得，但以后还是要总结、改变。 在课余训练方面。本人担任学校乒乓球队的训练工作，在一开学初就出通知召集新老队员进行开会，制定本学期训练计划，针对每一个队员的技战术打法，科学合理地制定个人训
初中教师个人工作总结（精选8篇） 【第1篇】初中教师个人工作总结 本学期，为适应教学工作的要求，本人从各方面严格要求自己，积极向有经验的老师请教，结合本校的实际条件和学生的实际情况，勤勤恳恳，兢兢业业，使工作有计划、有组织、有步骤地开展，圆满完成了本学期的教育教学任务。为了使今后的工作取得更大的进步，现将本学期工作总结如下： 一、师德方面：加强修养，塑造“师德”。 我始终认为作为一名教师应把“师德”放在一个极其重要的位置上，因为这是教师的立身之本。“学高为师，身正为范”，这个道理古今皆然。从踏上讲台的第一天，我就时刻严格要求自己，力争做一个有崇高师德的人。我始终坚持给学生一个好的示范，希望从我这走出去的都是合格的学生，都是一个个大写的“人”。为了给自己的学生一个好的表率，同时也是使自己陶冶情操，加强修养，课余时间我阅读了大量的书籍，不断提高自己水平。今后我将继续加强师德方面的修养，力争在这一方面有更大的提高。 二、认真备课，不但备学生而且备教材备教法，根据教材内容及学生的实际，设计课的类型，拟定采用的教学方法，并对教学过程的程序及时间安排都作了详细的安排，认真写好教案。 二、增强上课技能，提高教学质量，使讲解清晰化，条理化，
准确化，生动化，做到线索清晰，言简意赅，深入浅出。在课堂上特别注意调动学生的积极性，让学生多动手，从而加深理解掌握知识。 三、博采众长，提高教学水平。欲给学生一滴水，老师先要有一桶水，尤其是在当今知识更新非常迅速的年代，为更好地适应教学工作。我明白：今天的学习就是为了明天的工作，教师自身素质的提高就是为了更好地干好教育工作。 四、认真批改作业：布置作业做到精读精练。有针对性，有层次性。为了做到这点，我常常上网去搜集资料，对各种辅助资料进行筛选，力求每一次练习都起到最大的效果。 五、做好课后辅导工作，注意分层教学。在课后，为不同层次的学生进行相应的辅导，以满足不同层次的学生的需求，避免了“一刀切”的弊端，同时加大了后进生的辅导力度。对后进生的辅导，并不限于学习知识性的辅导，更重要的是学习思想的辅导，要提高后进生的成绩，首先要解决他们心结，让他们意识到学习的重要性和必要性，使之对学习萌发兴趣。要通过各种途径激发他们的求知欲和上进心，让他们意识到学习并不是一项任务，也不是一件痛苦的事情。而是充满乐趣的。 六、积极推进艺术教育的培养。通过艺术改变提高学生的思维能力，改变他们的想法，增加学生的自信，让学生成为多才多艺之人。 七、狠抓学风。学生喜欢上我的课，对该科也比较有兴趣。上课的时候比较认真，大部分学生都能专心听讲，课后也能认真完成作业。但有少数几个学生，因为怕老师责备，学习上存在的问题不敢问
第四章供暖 单项选择题：(每题一分) 1. 集中采暖系统不包括( )。D A.散热器采暖 B.热风采暖 C.辐射采暖 D.通风采暖 2. 在民用建筑的集中采暖系统中应采用( )作为热媒。D A. 高压蒸气 B.低压蒸气 C.150~90℃热水 D. 95~70℃热水 3. 当热媒为蒸气时,宜采用下列哪种采暖系统?( ) C A.水平单管串联系统 B. 上行下给式单管系统 C.上行下给式双管系统 D. 下供下回式双管系统 4. 计算低温热水地板辐射采暖的热负荷时,将室内温度取值降低2℃,是因为( )。A A. 低温热水地板辐射采暖用于全面采暖时,在相同热舒适条件下的室内温度可比对流采暖时的室内温度低2~3℃ B.地板辐射采暖效率高 C.地板辐射采暖散热面积大 D.地板辐射采暖水温低 5. 散热器不应设置在( )。B A. 外墙窗下 B. 两道外门之间 C.楼梯间 D. 走道端头 6. 散热器表面涂料为( )时,散热效果最差。D A. 银粉漆 B.自然金属表面 C.乳白色漆 D.浅蓝色漆 7. 与铸铁散热器比较,钢制散热器用于高层建筑采暖系统中,在( )方面占有绝对优势。D A.美观 B.耐腐蚀 C.容水量 D.承压 8. 采暖管道设坡度主要是为了( )。B A.便于施工 B.便于排气 C.便于放水 D.便于水流动来源 9. 采暖管道必须穿过防火墙时,应采取( )措施。A A. 固定、封堵 B. 绝缘 C. 保温 D. 加套管 10. 采暖管道位于( )时,不应保温。B A. 地沟内 B. 采暖的房间 C. 管道井 D.技术夹层 11. 热水采暖系统膨胀水箱的作用是( )。C A. 加压 B. 减压 C. 定压 D. 增压 12. 与蒸气采暖比较,( )是热水采暖系统明显的优点。A A. 室温波动小 B. 散热器美观 C. 便于施工 D. 不漏水 13 . 民用建筑主要房间的采暖温度应采用：D A16～20℃B14～22℃C18～20℃D16～24℃ 14. 托儿所、幼儿园采暖温度不应低于： C A16℃B18℃C20℃D23℃ 15. 民用建筑集中采暖系统的热媒： B A应采用热水B宜采用热水C宜采用天然气D热水、蒸汽均可
中学体育教学工作总结 不知不觉，我担任城基实验中学初中体育教师工作一年了，在这一年我能较好的完成了体育工作，但在教学过程中还存在一些问题。现在我将这一年的工作情形总结如下。 一、教学工作： 初一的学生刚刚踏进初中校园，对体育的知识的了解还只是专门片面，加上他们躯体的发育还不是专门健全，为了他们在不久的今后中考能取得优异的成绩和使他们躯体能更健康的成长，开学时就为他们量身制定了打算，每节体育课都对他们的耐力及体能进行训练，让他们在了解人体生理机能变化规律并运用那个规律能够减少损害事故的发生的同时，增加他们的训练度，如此，学生尽快学好了技术，形成技能，在考试中部分学生也取得了比较优秀的成绩。 “欢乐体育，健康第一”的观念已深入全校每一位老师和学生的心中，因此本学期还开展了几次别开生面的各种小型体育活动，在各项体育活动中全体师生所表现出来的团结协作，拼搏向上的精神也十分令人难忘，校园文化建设又朝前推进了一大步，实施素养教育也成为了我们全校师生的实际行动。为了训练广播操竞赛的班级入场式和竞赛，每一位班主任老师都利用了一切能够利用的时刻，带领学生到操场上训练，有时碰上其他好几个班级也在训练，大伙儿就会找一切能够利用的地点去训练，正是有了这前期的认真预备，因此在竞赛那天，平常做操和站队看起来都不如何认确实学生都能够以他们最认确实态度，以他们最标准的姿势去完成每一个环节，每一个动作。看到学生如此的表现，确实让我们老师都感到专门兴奋。三人篮球赛是学校组织和安排的一项活动。体育组的老师依照学生的躯体及心理特点，设计好了活动方案，在举行活动的前一天，我们体育组的老师又一起开会商讨了活动中具体细节的安排。从场地环境的布置，每一竞赛的组织安排，活动成绩的评判，都落实到了具体的负责人。正是有了老师们这种团结协作，无私奉献的精神，我们学校的三人篮球赛能够说举行得专门成功。老师和家长们都认为如此的活动让学生得到了欢乐，也锤炼了大伙儿的组织能力，我所任教的班级也都取得了专门好的成绩，假如再举行一次如此的活动，我们会做得更好，也一定会取得更好的成绩! 二、两操工作： 学校“两操”是反映学生整风光貌的形象“工程”，是学校整体推进素养教育的一个窗口，抓好“两操”也是学校治理工作方面的一项重要内容。一学期来，体育组连续严格规范广播操进出场的纪律及做操质量，做到出操静、齐、快，动作规范、美观。不断改进广播操动作质量，树立领操员榜样榜样作用。加强对学生的思想教育，使学生真正认识到做操的重要性和必要性，培养学生重视做操、自觉做操、坚持做操，认真做操的良好适应。在专门短的时刻内有了专门大的提高。 三、训练工作： 我还担任了学校篮球队教练，利用学生的下午放学后时刻训练，但他们都不埋怨，专门快乐，一开始有的家长专门担忧小孩在训练过程中会耽搁学习，因此不准许他们参加训练班，学生表现出不愉快，我便努力地做好学生和家长的工作，思想工作做好了，训练比往常都要积极的多，他们都配合我。 三人篮球赛之后，教师组织和韩山师范学校的体育教育专业学生进行一场篮球友谊赛，因为本校打篮球教师人数有限，我组织篮球队几名技术比较突出学生配合教师和韩师队竞赛，学生在竞赛中表现出敢打敢拼的精神让我看得专门欣慰，尽管篮球队到现在还没有参加过区或市的竞赛，只是我相信，随着学生躯体的成长和这种无谓的精神，我们城基篮球队是能够和其他学校强队抗衡的。作为教练员和学生差不多上深有体会，我和队员积存资料，连
高中教师个人工作总结（精选5篇） 【第1篇】高中数学教师个人工作总结 本学期，我担任高ｘ年级数学教学工作，认真学习教育教学理论，从各方面严格要求自己，结合本班的实际条件和学生的实际情况，勤勤恳恳，兢兢业业，使教学工作有计划，有组织，有步骤地开展。为完成教育教学工作出勤出力，现对本学期教学工作作以下总结： 一、认真钻研教材，明确指导思想。 教材以数学课程标准为依据，吸收了教育学和心理学领域的最新研究成果，致力于改变小学生的数学学习方式，在课堂中推进素质教育，力求体现三个面向的指导思想。目的是使学生体会数学与大自然及人类社会的密切联系；体会数学的价值，增强理解数学和运用数学的信心；初步学会应用数学的思维方式去观察，分析，解决日常生活中的问题；形成勇于探索，勇于创新的科学精神；获得适应未来社会生活和进一步发展所必需的重要数学事实和必要的应用技能。 二、认真备好课，突出知识传授与思想教育相结合。 不但备学生而且备教材备教法，根据教材内容及学生的实际，设计课的类型，拟定教学方法，认真写好教案。每一课都做到“有备而来”，每堂课都在课前做好充分的准备，课后及时对该课作出总结，写好教学后记。 三、注重课堂教学艺术，提高教学质量。
课堂强调师生之间、学生之间交往互动，共同发展，增强上课技能，提高教学质量。在课堂上我特别注意调动学生的积极性，加强师生交流，充分体现学生学得容易，学得轻松，学得愉快，培养学生多动口动手动脑的能力。本学期我把课堂教学作为有利于学生主动探索数学学习环境，让学生在获得知识和技能的同时，在情感、态度价值观等方面都能够充分发展作为教学改革的基本指导思想，把数学教学看成是师生之间学生之间交往互动，共同发展的过程。提倡自主性“学生是教学活动的主体，教师成为教学活动的组织者、指导者、与参与者。”这一观念的确立，学生成了学习的主人，学习成了他们的需求，学中有发现，学中有乐趣，学中有收获，这说明：设计学生主动探究的过程是探究性学习的新的空间、载体和途径。 四、创新评价，激励促进学生全面发展。 我把评价作为全面考察学生的学习状况，激励学生的学习热情，促进学生全面发展的手段，也作为教师反思和改进教学的有力手段。对学生的学习评价，既关注学生知识与技能的理解和掌握，更关注他们情感与态度的形成和发展；既关注学生数学学习的结果，更关注他们在学习过程中的变化和发展。更多地关注学生已经掌握了什么，获得了那些进步，具备了什么能力。使评价结果有利于树立学生学习数学的自信心，提高学生学习数学的兴趣，促进学生的发展。 五、认真批改作业，做好课后辅导工作。 布置作业有针对性，有层次性，对学生的作业批改及时，认真分析并记录学生的作业情况，将他们在作业过程出现的问题做出分类
同济大学建筑学教材 大一上学期： 工业时代西方百年室内设计1850-1950，没课本 建筑概论1，《建筑概论》沈福煦 建筑设计基础（建筑学），没课本 大一下学期： 建筑概论2，《建筑概论》沈福煦 建筑史，《中国建筑史》（第三版）中国建筑工业出版社 《中国古代建筑史》（第二版）中国建筑工业出版社刘敦桢主编《外国建筑史》（19世纪以前）中国建筑工业出版社 《外国近现代建筑史》中国建筑工业出版社 《外国建筑史图说》同济大学出版社 大二上学期： 建筑设计原理1，《建筑形态设计基础》同济建筑系 大二下学期： 建筑物理（光），《建筑物理》第二版中国建筑工业出版社 建筑物理（热），同上 建筑物理（声），同上
建筑设计原理2，《世界现代建筑史》王受之 构造技术运用，《平面构成》黄刚编着，中国美术学院出版社 《色彩构成》钟镯珩编着，中国美术学院出版社 《立体构成》卢少夫编着，中国美术学院出版社 大三上学期： 电脑应用基础1，《AutoCAD xxxx入门到精通》，人民邮电出版社 建筑构造1，《建筑构造设计基础》科学出版社同济大学刘昭如编着 建筑设计原理3，《商业建筑设计》中国建筑工业书版社 建筑学专业英语1，《建筑学专业英语》（自编教材） 大三下学期： 电脑应用基础2，《3DS Max入门到精通》，希望出版社 《电脑辅助建筑渲染原理》，人民邮电出版社 建筑构造2，《建筑构造设计基础》科学出版社同济大学刘昭如编着 建筑学专业英语2，《建筑学专业英语》（自编教材） 建筑特殊构造，《建筑设计资料集》建筑工业出版社 建筑设计原理4，《山地建筑设计》中国建筑工业书版社 历史环境实录，《历届传统建筑测绘图集》（建筑历史教研室自编教材）大四上学期：
中学体育教学的工作总结 中学体育教学的工作总结1 在市教体委的领导，校长室的总体布置下，坚持德、智、体全面发展的正确方向，明确全民健身计划，在搞好学校体育工作的同时，紧紧围绕教育的实施，全神贯注抓好课堂教学，业余训练，使我校体育工作得到长足的发展，丰富了校园生活，增强了师生的身体素质，健全了学校体育教学制度。 1、校领导坚持党的教育方针，为提高我校的知名度，教学分层次，抓特色，努力探索教育教学经验。并能从有限的资金中拨出一定的经费，投入到学校的体育设施中，添置了一大批业训器材。 2、学校每学期都有工作计划，具有轻重、主次之分，安排到人，分管到位，并切实实施。有效地组织了校第十届田径运动会，每月一次的小型体育活动开展的顺利而又正常。 3、体育教师具有较强的事业性，现有三位专职体育教师，都具有良好的职业道德，上进性强，工作踏实务实，在课堂教学中重视学生的能力培养和素质的发展，编写的教案清楚、完整，上课规范、认真，严格执行教育常规。 4、认真带好学校的三支训练队——田径队、柔道队和
拳击队，训练刻苦，开拓进取，训练时间、质量保证。同时积极备战各级比赛，在本市及绍兴市的比赛中均取得较好成绩。 5、三位体育教师积极撰写各类教学论文，两人两篇在本市级论文评比中获奖。 6、认真组织和管理学校的两课两操，工作落实，职责到人。制定详细的考核评比制度，并落实检查、考核。 总之，我校的体育工作向着规范化、制度化、计划化的方向发展。介理也存在着不足之处：体育教师的`业训水平还有待提高；学校的活动开展还欠丰富；教师的业务钻研时间不够多。这些都将在以后的工作中逐渐改进和提高。 中学体育教学的工作总结2 转眼间又到了学期结束的日子，一学年即将过去，回顾过去的一学年，我能根据学校工作安排认真做好各项工作，但在教学过程中还存在一些问题，现就一学期来的情况总结如下： 一、教学工作方面： 在平时的教学工作过程中做到出全勤，从不无故迟到、早退。工作中全面贯彻教育方针和新的教学理念，按新课标的要求，结合新课程的理念和学生身心发展的规律制订行之有效的教学计划，从学生已掌握的知识技能出发，结合学校现有的情况，充分挖掘课程资源，认真备课。重视人体生理机能变化规律在教学过程中的运用。通过运用这个规律减少
初中教师年度考核个人工作总结免费 时间过的真快，转眼间，一年的教育教学工作有接近了尾声。本学年，我任初二年级的数学教学工作，一年来，我能认真执行学校教育教学工作计划，转变思想，积极探索，改革教学，收到很好的效果。为了克服不足，总结经验，为使今后的工作取得更大的进步，使今后的工作更上一层楼，现对本学年教学工作作出如下总结： 一、认真备课 为了使教学更加有序，每一课都做到“有备而来”，每堂课都在课前做好充分的准备，认真备课，备课时，不但备学生，而且备教材、备教法。根据教材内容及学生的实际，设计课的类型，拟定采用的教学方法，并对教学过程的程序及时间安排都作了详细的记录，认真写好教案。课后及时对该课作出总结，写好教后感，教学反思，写下自己执教时的切身体会或疏漏，记下学生学习中的闪光点或困惑，及时进行教学经验的积累和教训的吸取，以便今后改进课堂教学和提高教学水平。 二、注重课堂教学 我注重认真上好每一节课。本学期我把课堂教学作为有利于学生主动探索的数学学习环境，把学生在获得知识和技能的同时，在情感、态度价值观等方面都能够充分发展作为教学改革的基本指导思想，把
数学教学看成是师生之间学生之间交往互动，共同发展的过程。上课时注重学生主动性的发挥，发散学生的思维，增强上课技能，提高教学教学质量。在课堂上特别注意调动学生的积极性，加强师生交流，充分体现学生学得容易，学得轻松，觉得愉快，注意精神，培养学生多动口动手动脑的能力。注重综合能力的培养，有意识的培养学生的思维的严谨性及逻辑性，在教学中提高学生的思维素质.保证每一节课的质量。 三、做好课后辅导工作 学生学习能力各有不同，在课后，为不同层次的学生进行相应的辅导，以满足不同层次的学生的需求，避免了一刀切的弊端，同时加大了后进生的辅导力度。后进生通常有些是基础差，存在很多知识断层，这些都要特别注意给他们补课，把他们以前学习的知识断层补充完整，这样，他们就会学得轻松，进步也快，兴趣和求知欲也会随之增加。 四、认真批改作业 布置作业力求有针对性，有层次性。有布置就要有检查，因此我及时对学生的作业批改，认真分析并记录学生的作业情况，将他们在作业过程出现的问题做出分类总结，进行透切的讲评，并针对有关情况及时改进教学方法，做到有的放矢。还有一些是因为一直以来学习
江南大学现代远程教育第三阶段江南大学练习题答案共三个阶段，这是其中一个阶段，答案在最后。 考试科目:《建筑设备概论》空调与节能（总分100分） 学习中心（教学点）批次：层次： 专业：学号：身份证号： 姓名：得分： 一、单项选择题（20分） 1、确定空调系统的新风量，下列（）因素不必考虑。 A、室内空气的循环风量 B、室内人员的数量 C、需要排除的风量 D、维持正压所需新风量 2、空气调节冷热水温度，一般采用以下数值，下列不正确是（） A、冷水供水温度7℃ B、冷水供回水温差5℃ C、热水供水温度60℃ D、热水供回水温差5℃ 3、高层民用建筑通风空调风管，下列哪种情况可不设防火阀（C ） A、穿越防火分区处 B、穿越通风、空调机房及重要的火灾危险性大的房间隔墙和楼板处 C、水平总管的分支管段上 D、穿越变形缝的两侧 4、围护结构内表面温度不应低于（） A、室内空气干球温度 B、室内空气湿球温度 C、室内空气露点温度 D、室内空气相对湿度 5、锅炉间外墙的开窗面积，应满足（） A、采光、通风的要求 B、采光、通风、泄压的要求 C、通风、泄压的要求 D、采光、泄压的要求 6、房间较多且各房间要求单独控制温度的民用建筑，宜采用（） A、全空气系统 B、风机盘管加新风系统 C、净化空调系统 D、恒温恒湿空调系统 7、照明节能的一般原则是（） A、减少用灯数量 B、降低照明设计标准 C、在保证照明质量的前提下节能 D、加强照明管理 8、设置全面采暖的建筑物，其围护结构的传热阻（） A、越大越好 B、越小越好 C、对最大传热阻有要求 D、对最小传热阻有要求 9、对可能突然散发大量有害气体的生产厂房应设置（） 2
中小学体育教学工作总结 根据市教研室学期工作指导思想、要求和中小学体育学科教研工作要点，本学期主要完成以下工作： 一、实施新体育课程标准 本学期，新课程改革在南京市中小学全面实施，实施中小学《体育与健康课程标准》（以下简称课标）是本学期体育教研工作的重点。“好的开头是成功的一半”，为了抓好课程改革的起步，本学期着重抓了全体体育教师的培训和起始年级教学实验，转变教师的观念，建立新课程标准的基本理念，勇于实践，大胆改革，力求在体育课堂教学上有所改革、有所突破、有所创新。 1、举办各级各类教师培训班，认真学习课改实施方案及体育与健康课程标标 （1）参加省教研室举办的体育教研员新课改培训班 XX年6月4至7日，“江苏省体育教研员新课改培训班”在我市举办，这是江苏省首次举办的体育学科课改培训，各区县极为重视，积极报名参加。全市共15个区县中小学体育专、兼职教研员及部分骨干教师30人参加了培训。此次培训班不但听取了有关领导及国家课标领导小组专家对课程改革和课程标准的解读报告，对新课程的基本理念有进一步的理解，还通过观摩南京市宁海中学窦宁、夫子庙小学卫红、南师大附小任智新课标实验课以及南师大附小的体育大课间活动，加深了课程改革实践和操作层面的认识，为全市启动新课程改革奠定的基础。 （2）举办中、小学骨干教师新课程通识培训与体育课标培训班 XX年7月10至15日，南京市中小学课改培训正式启动，市教研室配合晓庄学院和市幼师，举办了南京市中、小学体育与健康课程标准培训者培训班，各区县体育教研员及骨干教师约90余人（中学40、小学50）参加了培训，培训班中听取了专家对课改实施方案及课标的解读，交流了课标实践操作体会及案例分析研讨，为区县级课标培训培养了一支骨干队伍。 （3）参加江苏省小学体育骨干教师新课标培训班 XX年8月，江苏省教研室小学体育骨干教师新课标培训班在扬州市举办，我市省级实验小学体育教研组长和部分骨干教师50多人参加了培训，参培人数为全省最多。培训班期间，正直酷暑高温季节，我市参培教师能坚持理论学习和新小学生广播操练习，并利用清晨和下午课后加班加点练习，在培训班结业汇报表演中，展示了我市体育教师的成果和风采，得到有关领导及专家的好评。 （4）参加人教社举办的中学《体育与健康》课程标准实验教科书（人教版） 教材及教参培训 XX年7月，中学《体育与健康》课程标准实验教科书（人教版）教材及教 参培训班在宁举办，由教材副主编藤子敬教授和上海浦东新区教育学院周师章教授主讲体育与健康教材与教参的特点及运用，我市中学体育教研员及部分体育教师30多人参加了培训。 （5）区县中小学体育教师新课程改革培训全面展开 开学初，对区县实施体育与健康课程标准的培训情况进行了调查，调查显示，各区县均利用开学前及开学初进行了课程改革实施方案的通识培训和体育与健康课程标准培训。据统
初中教师年度个人工作总结 一年来，本人热爱党，热爱人民,坚持党的教育方针，忠诚党的教育事业。思想端正，作风正派，服从领导的工作安排，办事认真负责。 在工作中，能充分调动学生的学习积极性，激发学生的学习情绪，合理运用教学手段，以学生为主体，教师作主导，以探究的方式创设教学情境，开拓学生思维，民挥学生的想象力，切实地向课堂四十分钟要质量。开学初，能很快要组织好班委会，选出班级骨干，努力培养班级骨干。例如杨金花、罗福权、邓丽花等同学，能积极配合老师抓好班风学风建设，创建优良的班集体，形成良好的班风学风。所以一年来，学生违法犯罪率为0，差生率为0，在学校中被评为先进班级。 在教学工作中，做到认真备课，认真批改作业，作业格式工整、规范，并养成良好的学习习惯。对个别的差生，能悉心辅导，经常面批作业，找出知识的薄弱环节，及时进行补漏。例如，自己经常利用课余时间，落班辅导学生，有针对性地制定帮教计划，有目的有计划地做好后进生的转化工作。在课堂上，采用多提问，多检查，及时疏导，及时反馈的形式，努力提高后进生的文化基础知识。同时，在班级中开展互帮互学小组，进行一帮一的学习活动，使学生端正思想，互相学习，互想促进，形成你追我赶的良好学习氛围。平时，自己还注意“两手抓”：一方面培养好尖子生，一方面通过尖子生辅导后进生，以先进帮
助后进，以好带差，促进双赢效果。例如，学期初，我制定了帮教计划，开展“伸出你的双手，帮助你的朋友”的互帮互学主题活动。定期检查，发现有进步的同学，及时表扬，奖励。这样，就充分调动了学生的学习积极性，掀起学习热潮。 在学生的思想教育工作中，做到谆谆善诱，耐心疏导，耐心教育。例如当时有一个调皮学生，他叫郭华富。他学习成绩差，经常逃学，在班级中是“小霸王”。我采取和他经常谈心的方法，与学生交朋友，做学生的知心人，与家长紧密配合，发现有一点儿进步的就及时表扬他，鼓励他，树立起他在班级中的威信。通过教育，他进步很快，后来还成为三好学生。 在工作之余，本人还努力钻研教材，分析每堂课成功在哪里，哪里存在不足，不断的总结经验，不断的充实自己的教学水平和班级管理水平。通过一年来的教学，在班级中，学生的学习风气形成了，组织纪律性变好了，作业能依时完成，劳动积极肯干，诚实有礼，互助互学，使学生得到了全面的发展。 本人申报考核等级：优秀 被考核人签名：吴×× 上一页下一页