文献综述
学号：0040509010
研究生：王新建
导师：吴建生教授姜传海教授研究方向：材料科学
论文题目：
学科：材料学
学院：材料科学与工程系
入学时间：2004年9月
开题时间：2005年10月20日
年月日
0 引言 (1)
1．大规模集成电路的发展以及铜互连工艺的概述 (2)
1.1．大规模集成电路的发展概况 (2)
1.2．ULSI中铝互连线的发展 (4)
1.3．ULSI中铜互连线工艺的提出、发展及存在的问题 (5)
1.3.1．铜互连工艺的提出 (5)
1.3.2．铜互连技术的主要问题 (8)
2．铜互连的扩散阻挡层的发展现状的概述 (10)
3．扩散基本理论以及铜互连薄膜中的二维扩散研究的现状 (12)
3.1．Fick扩散定律及扩散系数 (13)
3.1.1．Fick第二扩散定律 (13)
3.1.2．扩散系数的确定及Arrhenius公式 (14)
3.2．薄膜扩散理论 (14)
3.2.2．单晶薄膜的扩散动力学理论的研究 (15)
3.2.3．多晶薄膜扩散动力学理论的研究 (16)
3.3．溶质对晶粒间界扩散的影响 (21)
3.3.1溶质在高温时增加晶粒间界扩散 (21)
3.3.2溶质在低温时减小晶粒间界的扩散 (22)
3.4．铜薄膜中铜原子层间的扩散失效 (22)
4．铜互连膜合金化的研究现状 (23)
5．本课题的研究思想、研究目标和研究内容及可行性分析 (25)
5.1．本课题的研究思想 (25)
5.2．研究的内容、研究目标及拟解决的关键问题 (25)
6．年度研究计划及预期研究结果 (28)
7．目前的初步研究结果 (28)
参考文献 (31)
0 引言
金属化是集成电路一道重要的工序，在集成电路制造工艺中Al是最早使用的内连线材料，然而随着集成电路集成度的不断提高，铝线逐渐不能适应新的要求。其中电阻率偏高和易产生电迁移失效是Al线的主要不足。采用Cu作为内连线材料有以下优点：(a) 电阻率低。Cu的电阻率是1.7 μΩ·cm，比Al的电阻率2.7 μΩ·cm(200℃)低，降低了RC延迟，提高了集成电路的速度。(b) 降低损耗，窄的线宽消耗更少的能量。(c) 高的布线密度。窄的线宽意味着单位面积上可以有更高的布线密度，同时意味着减少布线的层数。(d) 高的抗电迁移能力。Cu的熔点比Al高，因此有更好的抗电迁移能力。
虽然Cu有良好的电学性能，但是集成电路是一个体系，引入Cu可能会产生新的力学和电学问题，引入Cu后主要产生以下问题：(a) Cu对Si有很强的扩散能力。Cu扩散到Si 中去会与Si发生反应导致集成电路失效。(b) Cu与Si基体的结合强度不高，易脱落。(c) Cu 在低温下(<200℃)易氧化，而且不会形成致密的氧化膜以防止进一步氧化。(d) Cu在热循环过程中要承受比Al更大的热应力。
为了解决上面的问题通常采用如下两种措施:(a)一般在Cu与Si基底之间镀一层扩散阻挡层以减缓Cu与Si基底的扩散和反应，同时提高Cu膜与Si基底的结合强度。(b)在Cu中加入合金元素以提高Cu的抗氧化、抗电迁移能力，同时提高Cu的力学性能。由于采用常规的气相沉积方法获得的扩散阻挡层的台阶覆盖性差，薄膜较厚，因此，合金化作为一种潜在的有效提高界面结合力以及阻止铜硅互扩散的方法，引起了越来越多的人的关住。
国内外已经对合金元素加入到铜互连线中的影响进行了较多的研究，然而，关于合金元素对铜/硅界面处的相互作用、界面反应以及元素间相互扩散的影响的报道还很少。近来，M. J. Frederick 和G. Ramanath的一篇文章对Cu-Mg/SiO2薄膜系统的界面发应以及相互扩散进行了报道。结果表明合金元素的加入对提高铜互连膜的性能较大影响。
本文就是针对铜互连工艺中的影响集成电路质量的铜硅互扩散，根据二维薄膜材料的扩散特点，对导电薄膜材料铜的扩散规律，铜硅界面相互作用以及合金元素对它们的影响进行研究和分析，以期能够消除或者减薄目前常用的扩散阻挡层。
1．大规模集成电路的发展以及铜互连工艺的概述
1.1．大规模集成电路的发展概况
九十年代以后，大规模集成电路（Large Scale Integration，LSI）工艺的发展仍然依照摩尔定律[1]（摩尔定律：每三年器件尺寸缩小2／3，芯片面积约增加1.5倍和芯片中的晶体管数目增加4倍。这就是由Intel公司创始人之一的Gordon E. Moore博士1965年总结出来的规律，被称为摩尔定律）所预言的发展速度急剧增加。集成电路技术目前已发展到甚大规模阶段，即ULSI（Ultra Large-Scale Integration）。每一个芯片所含的元器件数已达1亿个，相应其微细加工工艺己到达深亚微米级（小于等于0.35 μm）技术，并将继续向0.25 μm、0.18 μm、0.l μm发展，器件性能则向着更高速、低功耗方向发展。SIA[2]（Semiconductor Industry Association）在95年就曾预测未来10年内互连线的发展趋势是：IC的特征尺寸将达到0.07 μm，线宽0.08 μm，布线间距0.12 μm，介质厚度0.5 μm，电源电压将降到1伏，工作频率将达到0.1GHZ。而实际的发展己突破了这一预测。现在微细加工技术己从0.6 μm 提高到0.18 μm的水平；0.18 urn的IG位动态随机存取存储器（Dynamic Random Access Memory DRAM）己研制成功；256 M位的DRAM己进入大量生产阶段；具有64位速度位IGH的微处理器己宣告研制成功[3]。表1-1为世界集成电路技术发展趋势预测[4]。目前0.25 μm和0.18 μm已开始进入大生产。0.15 μm和0.13 μm大生产技术也已经完成开发，具备了
表1.1 世界集成电路技术发展趋势
Table 1.1 the development of technology world IC
大生产的条件。
随着集成电路特征尺寸的减小和集成密度的提高，金属互连在整个集成电路芯片中所占面积和成本愈来愈高。在深亚微米VLSI，曾有人统计过，一个芯片需要5－6层布线，其内部连线的总长度可达四公里，任何一点的互连线缺陷对芯片来说都是致命的。而一个复杂系统的失效，往往仅仅是由于一个芯片的故障引起的，因为对于一个串连系统，只要一个器件的失效就会导致整个系统的瘫痪，而对于一个并联系统，一个器件的失效会导致其他器件因承受过量应力而迅速毁坏。
现在的电子系统要求工作在更高的工作频率下，这要求更高的工作电流密度，也就要求更高的可靠性。但是，根据器件等比例缩小[5]（Scaling-down）的基本原理，器件特征尺寸的缩小导致了电流密度的上升，而金属化系统所受的影响最为严重。由1989年Gaginj[6]等人分析研究了尺度效应对金属化电流密度的影响，见表l－2。其中k为器件特征尺寸缩小的倍数，也就是金属化系统要缩小的倍数。从表中可见，当特征尺寸卜降k倍时，会使电阻、电流密度增大，产生的焦耳热急剧增加，加速了器件的失效。
表1-2 尺度效应对金属化布线参数的影响
Table 1-2 The scale effect in metallization interconnect
同时，随着互连线横截面积的减小，互连线层数的增加，导致RC时间常数增大，使得减小器件特征尺寸，提高晶体管工作频率和IC传输速度的努力受到制约。据估计，在0.25 μm 技术时，互连引线RC时间常数引起的时间延迟己与晶体管本身的延迟相当；当特征尺寸进一步减小时互连引线的时间延迟将成为突出问题。这一部分可以用以下公式来描述[7]：
τ = RC = (ρL/Wt) *(Kε0LW/tILD)
其中τ是指total signal delay, R是指金属层的电阻, C是指介电层的电容，ρ是互联金属的电阻率，L是指长度，W是指长度，t是指厚度，K是介电常数。由公式可见，选用电阻率比较小的金属材料作为互联材料，和选用介电常数比较小的介电材料是降低信号延时、提高时钟频率的两个主要方向。也是互连线材料选用的重要原则之一。
1.2．ULSI中铝互连线的发展
器件中的金属化工艺是指硅器件及集成电路在完成芯片制造工艺之后，制作欧姆接触和金属连接来完成整个电路的功能。集成电路的金属化的要求是：①与n型、P型硅衬底都形成欧姆接触：②与绝缘膜的粘阻性好；③阻抗低，最好在4×10-9Ω.cm以下；④结构稳定，不易发生电迁移及腐蚀现象；⑤易刻蚀；③淀积工艺简单；①成本低。
在采用铜互连线以前，金属化系统的两大分支是铝金属化系统和金金属化系统。由于金抗电迁徙能力远高于铝，而且其电阻率也远低于铝，因此在大功率器件中用的较多。但是，因为金的成本远高于铝，而且金/硅界面互溶问题严重，所以，在VLSI和小功率器件中普遍采用铝金属化系统。
铝应用于金属化系统中，具有以下的优点而被半导体器件和集成电路生产厂家广泛采用：①电阻率小：②与热生长的SiO2或淀积的介质膜有良好的粘附性；③能与半导体形成较低的欧姆接触；④便于淀积和光刻。
但是，随着微细加工线条尺寸的缩小，铝互连线的缺点也越来越显示出来[3,8,9]。首先铝的电阻率偏高(2.7 μΩ·cm)，RC延迟效应较强，降低集成电路的速度；其次，铝的熔点低，容易产生电迁移失效：即当集成电路工作时，铝互连线内会有一定的电流通过，导致铝互连线中的铝离子出现热激发，与电子产生动量交换，并沿着电子流的方向迁徙，这种传输过程在高温（T＞200 ℃）和大电流密度（j＞＝106 A/cm2）的作用下尤为显著。经过几小时至几百小时后，铝布线就会出现空洞、裂纹和晶瘤，从而造成集成电路开路失效，这就是电徙动现象，也称为电迁徙或电迁移[3]。产生电迁移失效的内因是铝布线内部结构的非均匀性，外因是高温和大电流密度。铝布线的条宽越窄，发生电迁移失效的几率就越大。随着集成电路集成度的不断提高，要求集成电路的特征尺寸越来越小，这样继续采用铝布线会严重影响集成电路的可靠性。
在高温下（大于400 ℃），硅会向铝中融解，形成化合物。时间越长，温度越高，融解的硅就越多，就形成了渗透坑。以后就是渗透坑逐渐长大的阶段，因为渗透坑表面自由能最小，所以硅饱和以后小坑逐渐长大，坑数减少，坑尺寸增大，最后导致短路或开路失效。同时，铝金属膜还存在较为严重的腐蚀，在通电的情况下，铝膜会发生电解腐蚀，造成器件失效。据统计有，有30～50％的集成电路失效是由铝互连线失效引起的。而且，铝的机械强度小，在工艺中容易划伤。
另外，互连线尺寸大，单层布线少；低温下不能沉积形成高纵横比的通道；易与高分子
材料粘附；很难平面化等也成为限制Al互连线广泛应用的缺点。其中电阻率偏高和易产生电迁移失效是Al互连线的主要不足[9]。
到了ULSI阶段，铝金属化布线系统随着互连引线横截面积的减小和互连线层数增加，互连线电阻变大，RC时间常数增大，使减小器件特征尺寸，提高晶体管工作频率和IC传输速度的努力受到制约，成为深亚微米集成电路速度提高的瓶颈。
综上所述，铝互连线已成为制约微电子技术发展的主要技术因素，使研究新的互连材料成为必然趋势。
1.3．ULSI中铜互连线工艺的提出、发展及存在的问题
1.3.1．铜互连工艺的提出
为了克服铝布线抗电迁移能力差的弱点，国外对铝布线作了种种的改进，例如：采用含2％硅或1％铜的铝合金布线：增大铝的晶粒尺寸；采用介质膜覆盖铝线，介质膜P2O5·SiO2，Si4·N3SiO2，Al2O3·SiO2等：采用以金为主的多层金属布线：以及使用铜互连[10-12]。
表1.3 几种不同互连线金属性能的比较
Table 1.3 The comparison of characteristic in metal interconnect material
从八十年代初开始，各大公司就开展了寻找铝的替代物的研究（见表1.3）。经过研究和比较，最后纷纷采用了铜互连技术。一般来讲，0.18 μm以下的IC布线必须要部分或全部采用铜互连线。1994年，欧洲西门子公司赞助了一个名为COIN（Copper Interconnection）的研究项目[13]，重点研究铜互连技术，美国Motorola公司已成功研制了高性能0.18 V，0.2 μm CMOS铜布线技术，它的第一批产品是静态随机存取存储器（Static Random Access Memory，SRAM）。IBM公司0.25 μm ULSI中采用全新的铜互连技术。此后，世界著名的半导体公司纷纷投入财力、物力、和人力，开展铜布线的研究与开发，并取得了丰硕的成果。
表1.4给出了世界主要半导体公司采用铜布线的进展情况[14]。从表l.4中可知，美国是首先采用铜布线的国家，IBM公司是开路先锋，日本比美国约晚两年左右，美国IBM公司于1997年9月在世界上首先研制成功CMOS－7铜布线工艺，并在1998年9月1日开始批量生产铜互连线商用IC，如400MHz POWER PC740／750微处理器，它主要用干台式、笔记本式PC和高档消费类电子设各。APPLE公司首先将IBM公司的铜布线IC用干第一流的主机，小型计算机和工作站，1998年底出样机，1999年批量生产。MOTOROLA和AMD 公司联合开发了铜布线技术，用于新一代IC，如蜂窝电话和联网装置用嵌入式IC、台式IC 中微处理器等，MOTOROLA公司子于1998年四季度批量生产铜布线500MHz POWER PC 芯片，AMD公司将铜布线技术用于K7微处理器，子1999年上市，TI公司子1999年下半年将铜布线用于更先进的DSP，其处理速度可比原来的产品快10倍。
经大量实践证明，正如图表所示的那样的，铜互连与铝互连相比有如下优点[15-18]：1）铜的电阻率比铝低，铜电阻率1.7 μΩ·cm，铝的电阻率为2.7 μΩ·cm，铜的电阻率仅表1.4给出了世界主要半导体公司采用铜布线的进展情况
Table 1.4 the development of copper interconnect in the main semiconductor company
（续） 为铝的60％（见表1-5）使铜互连中的RC 延迟明显减小，相应的互连线的功耗降低很多。铜与铝相比，导热系数是铝的3倍，散热性能更加优良。且当互连线线宽缩小到< 0.25 μm 时，Al 及其合金的电阻率已不能再满足使互连的时延同步降低的要求。铜与铝的基本参数比较如表1.4所示。
表1.5 铜与铝基本参数的比较
Table 1.5 the comparison of the basic parameter of copper and aluminum
2）与传统的铝互连线相比，铜具有抗电迁移和应力迁移特性强等优点。在相同的条件
下，铜发生电迁移的电流密度上限是5×106A/cm 2远大于铝的上限2×105A/cm 2，比较相同晶粒尺寸下的电迁移性能[18]，铜是0.77 ev 左右，纯铝为0.48 ev ，Al-4％Cu 为0.57 ev ，铜
互连线的抗电迁移性能提高了约两个数量级，大大提高了集成电路的可靠性[19]。在大
的电流密度下，Al 易发生电迁移。而且在300 ℃左右的工艺温度下，Al 薄膜上会形成突起,穿透相邻互连线之间的电介质绝缘层造成短路。因为铜的熔点要高于铝的熔点，铜互连线可以承受更大的电流密度，从而可以缩短连线的长度，减少布线的层数，提高集成的密度，降低集成电路的成本。
3）铜互连线与低介电常数（k < 4）的材料（取代布线层间的SiO 2）相结合，可以进一
步减小寄生电容。根据文献[20]中的模拟结果，若降低K 材料与铜互连结合使用，可以简化工艺，降低成本，并将RC 延时降低到原来铝互连的1/4～1/6。
表1-6
为微电子可靠性物理实验室对中科院微电子中心生产的铜互连进行了电学加速实验结果[21]。在T=150 ℃，J ＝3.5×106 A/cm 2下，互连线宽度为1 μm 的铜与铝及铝合金的中值寿命（互连线失效的数量达到测量互连线总数的50％所需要的时间）和扩散激活能
的比较结果。铜互连线与铝互连相比中值提高8倍左右。铜作为互连线金属化材料优势是明显的。
表1.6 不同互连材料的中值寿命及扩散激活能
Table 1.6 MTF value and Diffusion Activation energy of diffusion materials interconnects
因此，综上所述，铜是一种比较理想的互连材料，铜布线代替铝布线是一种发展趋势。它可使局域互连的传输速度改善10%，使整体互连的传输速度改善50%，保证集成度提高的同时也能提高速度性能。Cu还具有与通常采用的扩散势垒材料的反应性低等优点。
铜互连技术的研究和应用虽然取得了很大的进展，但由于采用了全新的材料和制造工艺，目前尚未达到成熟应用阶段，其技术尚待改善，但在不久的将来，铜布线代替铝来提高互连的可靠性是可以预料的。
1.3.2．铜互连技术的主要问题
与铝互连线相比，铜互连线虽然在改善RC延迟和可靠性方面有着很大的优势，当在实际应用中还存在着较大间题，这些问题影响着铜互连线的推广和应用。铜互连线技术的主要缺点是；
1．铜的工艺问题。采用铜互连线技术虽然可以简化工艺，但是铜的图形化加工十分困难[22]。对于铝互连线，主要是采用铝的氯化物来实现对铝的刻蚀。而对于铜，其氯化物或氟化物在低温下都是不易挥发的，不能采用传统干法对它进行等离子刻蚀，无法达到一定的刻蚀速率。而如果加温到200 ℃以上，会使传统的光刻胶融化。如果采用化学汽相沉积（CVD）或物理汽相沉积（PVD）沉积铜，由干铜的粘附性较差，需要先成长一层粘附层，增加了工艺的复杂度。关于铜互连及其相关工艺的研究及发展情况，已经进行了大量的报道[23-30]，这里就不再累述。尽管这些工艺在最近5年迅速发展，但是对于它们的深入基础理论的研究还不够，特别是从材料科学的领域还可以进行大量研究工组。
2．铜互连线中的失效机理问题。铜互连线作为一种新技术，在材料。工艺、布线结构上均有别于铝互连线，所以有其特殊的失效模式和失效机理。铜互连线中的失效主要为电迁
移失效和应力失效。其中包括诸如小尺寸接触和通孔的电迁移特性及热效应；多层互连中不同层互连线的电迁移行为；多层膜结构对电迁移的影响；不同膜沉积工艺对其本身晶体结构和相邻膜晶体结构、特性的影响等。可以说，自从铜互连工艺提出以来，其电迁移以及应力失效就一直是一个研究的重点，关于这方面的文章包括薄膜微观结构[31-35]、应力失效
[36-40]及二者的关系[42-44]和薄膜中的电迁移及电迁移过程中应力模拟分析[44-48]更是类不胜数。近年来的研究表明，形成竹节状的晶粒组织结构对互联膜的抗电迁移性能有很大的提高[49-50]。
3．铜互连线表面的氧化问题。铜很容易在空气中氧化和硫化。如果铜被氧化，其电阻
会直线上升，造成器件的不稳定。所以在实际应用中，铜甚至不应在较高的温度（高于100 ℃）下直接暴露在空气中，一般应在其上加钝化层。文献[51]对铜互连的表面氧化及其氧化机制进行了详细的报道。常见的防止铜互连膜的氧化是在表面应用一层阻挡层，S. P. Murarka 的研究表明，添加合金元素可能会成为一种防止铜互连氧化的有效的方法[52]。目前，关于合金元素对铜互连薄膜的影响的研究正引起越来越多的人的注意[53-59]，而这也为本次课题的提供了一定理论依据。
4．铜的沾污问题，也称“铜中毒”。铜在硅中属于填隙性杂质，如果铜原于扩散进入
硅器件，就会产生深能级受主杂质而降低器件的性能。虽然铜原于在介质中的扩散速度并不快，但是在有电场偏置的情况下，铜离子可以快速的扩散。目前，关于铜在硅中的扩散还没有一个确定的表达式，常用的铜在硅中的本征扩散可由式（2－l ）来表示[60]：
D = D 0 exp(-KT
E 0) = 4.7×10-3(cm 2/s) exp(-KT
eV 43.0) 一旦铜原子进入硅中，就会在硅中迅速扩散。使器件的性能受到很大的负面影响。铜在
200 ℃下容易与硅界面反应形成CuSi 3高阻化合物，降低其绝缘性能，引起介质穿通，使器件性能大犬降低[11,61]。
综上所述，Cu 在低温(< 200 ℃)下空气中很易氧化,其氧化层不具备防护作用；与常用
的电介质薄膜材料附着力差；在较低温度下形成Cu 的硅化物等等所有这些缺点都会对器件可靠性造成伤害。为了解决上面的问题通常采用如下两种措施：(a)一般在Cu 与Si 基底之间镀一层扩散阻挡层以减缓Cu 与Si 基底的扩散和反应，同时提高Cu 膜与Si 基底的结合强度。(b)在Cu 中加入合金元素以提高Cu 的抗氧化、抗电迁移能力，同时提高Cu 的力学性能。
2．铜互连的扩散阻挡层的发展现状的概述
目前在Cu与Si，Cu与SiO2之间加一合适的扩散阻挡层是成功应用Cu材料的关键。当前研究最多、最具吸引力的阻挡层材料是难熔金属(W, Ta, Ti, Mo, Cr)以及它们的氮化物。因为它们具有高的熔点、高热稳定性、优良的电导特性,以及与介质材料具有良好的附着性。[62-71]
以下是几种常用的阻挡层
A）纯金属
选择纯金属作为扩散阻挡层首先是因为金属有良好的导电性。所选择的金属应该与上下两种物质有很强的化学稳定性，且不互溶或互溶度很小。在集成电路制造工艺中W、Ta都是常用的阻挡层。利用纯金属作为阻挡层产生的主要问题是晶界扩散。纯金属在室温不能以非晶态存在，一般来说是多晶，而晶界扩散是薄膜中扩散的主要方式，这也是纯金属作为扩散阻挡层的主要缺点。
B）单晶阻档层
Tu和Rosenberg[72]研究了Pb/Ag/Au多层膜的扩散现象。其中一组试样中Ag膜和Au膜为单晶薄膜，另外一组试样Ag膜和Au膜为多晶薄膜，它们的平均晶粒尺寸为3.5 μm。其中Au 与Ag互溶，且与Pb形成化合物，而Ag与Pb不发生反应而且互溶度很小。对单晶薄膜的那组试样，多层膜在200℃退火48 h后，发现Ag膜完好，在可观测的范围内没有发现Pb和Au发生相互扩散，而对Ag膜为多晶的那组试样在200 ℃退火24h后发现在Pb-Au的界面有PbAu生成。这个实验表明单晶薄膜有很好的阻挡效果，这是因为单晶薄膜没有晶界、位错等扩散的快速通道。由于单晶薄膜对材料和工艺过程要求都很苛刻，如与基底材料的晶格匹配，故理论研究有价值，但在实际的集成电路生产工艺中很难采用单晶薄膜作为扩散阻挡层。
C）化合物阻挡层
化合物阻挡层突出的优点在于它优良的热稳定性和化学稳定性。金属的氧化物、氮化物是理想的阻挡层，它们对Cu，Au，Ag有很好的化学稳定性，而且这儿种金属的氮化物非常稳定，有很高的熔点。另外，金属阻挡层和单晶阻挡层的研究表明晶界是影响阻挡层阻挡效果的重要因素，化合物阻挡层中氧原子、氮原子如果在晶界、位错等快速扩散通道处塞积，将大大提高阻挡层的阻挡效果但作为一种理想的阻挡层必须同时具有很强的导电性。Nelson [73]研究表明Ti, Zr, W, Mo, Ta的氮化物和硼化物的导电性比纯金属还好，表1.5是文献[74]
表2.1 Ti、Zr、Ta、W、Mo的单质、氮化物、硅化物、硼化物、碳化物的电阻率Table2.1 The resistivity of Ti、Zr、Ta、W、Mo and of nitrides、silicides bordides、and carbides of these materials
收录的几种常用化合物阻挡层的电阻率。可以看出化合物阻挡层的电阻率和纯金属相差不多，甚至有更低的电阻率。
D) 非晶阻挡层和纳米晶阻挡层
非晶薄膜的晶界排列不规则，是非常理想的阻挡层[75]。利用非晶薄膜作为阻挡层，最大的问题是非晶阻挡层的晶化温度，因为非晶薄膜是一种亚稳、非平衡的结构。研究表明[76]，通常非晶薄膜的晶化温度约为1000 ℃，因此完全可以用作阻挡层。纯金属一般不能以非晶的形式存在，而非金属单质的非晶电阻率太高不适合作为阻挡层。较好的非晶阻挡层是金属和非金属的化合物。其中(Mo、Ta、Ti、Zr、W)-Si-N的三元化合物是目前研究较多的非晶阻挡层[68,75]，纳米晶阻挡层同样是性能非常好的阻挡层[76]，纳米晶阻挡层、非晶阻挡层的出发点与单晶阻挡层的想法相似，都是减少晶界的数量，但纳米晶阻挡层和非晶阻挡层在制备上要求不是很苛刻，成本不是很高，因此有实际应用价值。非晶阻挡层和纳米晶阻挡层往往依赖于制备工艺，对于同种化合物，用离子束辅助磁控溅射制备得到的是纳米晶或
者是非晶，而一般的磁控溅射沉积的则是多晶薄膜。应该指出的是扩散阻挡层不能从根本上抑制Cu与Si发生反应。因为Cu与Si的扩散依然存在，它只能减缓上述反应，阻挡层的失效是一个时间的函数。
绝大多数扩散阻挡层材料的热稳定温度均在550 ℃以上. 原子层沉积的WN x C y是目前最好的阻挡层材料[77]，W也是很好的阻挡层材料，多用于元器件中需要做成欧姆接触的部位。为了防止Cu外扩散到Si中破坏器件，必须对分布在IC各层中所有部位上的Cu导线和插件接头进行全封闭式的包敷。这样，互连中的另一个主要挑战是要显著减小包裹铜互连线的阻挡层厚度。当互连线的特征尺寸减小时，电阻较大的20nm厚的阻挡层将成为互连线剖面的重要部分，使其导电性能退化。因此，需要一种更薄的阻挡层，但仍能保持有效且与可能的纳米多孔低k介质材料相兼容，这就可能需要采用能对组分和厚度进行原子层控制新的生长工艺技术。因此，包敷的阻挡层应该足够薄，以使Cu导线的截面尽量大。在冶金上要求阻挡层薄膜是稳定的，不与Cu发生反应,但与Cu具有好的粘附性。阻挡层薄膜的表面特性和微结构对后续沉积生长的Cu 膜的结构和晶粒大小有强烈影响，它决定了Cu导线的电迁移可靠性，因此要求势垒薄膜的微结构对沉积Cu具有某种籽晶的作用。
综上所述可知，随着集成电路的集成化发展，对扩散阻挡层的工艺和性能要求越来越苛刻。并且由于采用常规的气相沉积方法获得的扩散阻挡层的台阶覆盖性差，薄膜较厚，在互连线尺寸越来越小的今天，扩散阻挡层在一定程度上减小了Cu的可用空间。从而限制了铜互连工艺的发展和应用。因此，寻求另外一种方法来阻止铜硅的互扩散，改善界面结合力就成为材料科学者们非常感兴趣的课题。
3．扩散基本理论以及铜互连薄膜中的二维扩散研究的现状
扩散是固体材料中的一个重要现象，也是材料科学研究领域中的一个重要的方面，目前对三维体材料中的扩散已经研究的相当普遍，而对二维薄膜材料中的扩散问题研究的相对薄弱些。但是随着电子工业的发展，特别是集成电路行业迅速发展，对于薄膜材料的需求越来越大薄膜材料中的扩散问题也越来越成为影响集成电路质量的重大问题之一，特别是近年来铜互连和原子层沉积工艺的出现，防止铜扩散也是关键的技术。本项目是针对影响集成电路质量的扩散问题，从材料科学的角度进行分析，根据二维薄膜材料的扩散特点，重点研究作
为导电薄膜材料铜的扩散规律。应当说明的是本项目是根据集成电路有关工艺所涉及的有关扩散的基础问题，从材料科学固体物理角度进行多学科、综合性分析探讨，而不是对具体的制造工艺（例如铜互连和原子层沉积工艺等）进行研究。
3.1．Fick 扩散定律及扩散系数
3.1.1．Fick 第二扩散定律
1858年菲克（Fick ）参照了傅立叶（Fourier ）于1822年建立的导热方程，获得了物质
从高浓度区向低浓度区迁移的定量公式，即Fick 第一扩散定律和Fick 第二扩散定律。这是针对固体材料中的体扩散而言的。由于大部分的扩散都是一个非稳态过程（即各点浓度随时间而变化），这里我们主要对Fick 第二扩散方程及其解进行一下讨论：
Fick 第二扩散定律：t t x C ??),(＝x
??（D x t x C ??),(） 其中D 为晶格扩散系数，如果D 和浓度无关，则上式可写成：t C ??＝D x
C 22?? Fick 方程的解按照扩散系统的边界条件的不同而不同。下面主要讨论一下二种情况：
1） 薄膜源扩散
设想在一根很长的金属棒的一段镀上一薄层溶质，其总质量为m 然后将它与另一根相
同的金属棒B 焊接起来，把薄层夹在中间。两棒不含溶质（即C ＝0），其横截面均匀，在一定温度下退后，那么可得到如下的溶质浓度C 沿x 方向分布和退火时间t 的关系式： C=Dt m
π2exp (-Dt x 42) (3.1)
若薄膜源物质向一方扩散，则扩散解相应为C ＝Dt m
πexp (-Dt x 42) 2） 半无限长物体的扩散
半无限长物体的扩散特点式，表面浓度保持恒定，而物体的长度大于Dt 4时，则扩散
解对应为：
C ＝C 0 [1-erf (β)] (3.2)
其中erf (β)＝βββd )exp(202?-π 定义为误差函数，β＝Dt x 2
其初始条件为t ＝0时，x >0, C ＝0; x < 0, C ＝C 0 其中，D 为晶格扩散系数。
此公式适用于铜薄膜在扩散阻挡层以及单晶硅衬底和多晶硅衬底的高温体扩散。
3.1.2．扩散系数的确定及Arrhenius 公式
根据式(3.1)就可以用实验的方法把扩散系数D 求出来：先做出c-x 的关系曲线，如果把
lnc 对x 2做曲线图，我们应该得到一根直线，其斜率为
Dt
41，退火时间已知，就可以求出扩散系数D 。
由扩散系数的表达式 D ＝D 0exp(-Q/RT ) 得到ln D ＝ln D 0－Q/RT
显然，ln D 与1/T 成直线关系，ln D 0为截距，为斜率。如果在几个不同的温度下测得
相应的扩散系数，就可以在半对数坐标系中绘出它们的关系直线。 3.2．薄膜扩散理论
由于在铜互连工艺中的失效问题大都是由于铜硅互扩散形成高阻硅化物（即所谓铜中
毒）以及电迁移，应力迁移和层间扩散失效等造成的（但主要是以铜互连线电迁移失效为主），而这一切都与铜原子的在铜薄膜，衬底以及界面处的扩散有关，即可以说铜原子的扩散可以说是铜互连失效的一个主要原因。因此，研究二维薄膜中原子的扩散规律就具有了重要的实践意义。
薄膜技术在许多方面都要求详细地了解金属薄膜间的相互扩散或相互作用，这是研究这
类现象的重要激励因素，并且就研究这个现象本身的价值来说，它已经具有足够的意义。1971年以后，由于韦弗[78]写的评论的结果，显著地增加了实验研究薄膜间相互扩散的数量。实际上，早在1942年，Coleman 和Yagley 就对Au 、Pb 薄膜之间的相互扩散进行了系统的研究。然而由于当时实验仪器和方法的限制，薄膜扩散研究还存在很大的困难。人们一直努力试图通过直接测量截面的深度分布来确定扩散的系数，直到D.Gupta 等人用背溅射截面连续剥离的方法而使薄膜的研究有了一个新的转折点[79]。随后，Eicke R. Weber 对硅中3d 族元素的扩散做了系统的研究和报道，并对3d 族元素在Si 中以带电形式存在，并在高温以及低
温下不同的扩散机理进行阐述[80]。而自从铜互连工艺发展以来，特别是近年来，人们对铜以及过渡族元素在Si 中的扩散形式以及扩散规律进行了较多的研究[81-89]。
金属薄膜中相互扩散有着与众不同的特征，最突出的一点是在低温下大规模的物质传输
过程，它不仅是由于可观测到的扩散时间可以很短，所以传输距离短，也由于薄膜能够包含大量缺陷的性质所造成的。一般情况之下，扩散距离是远小于平均的点缺陷间距，但是在电子薄膜中，即使是在低温下，由于晶界等扩散系数大于体扩散系数，因此，点缺陷的平均间距小于低温扩散距离。点缺陷的间距缺陷，除了控制着相互扩散过程之外，还能够显著提高参加扩散或参与反应的物质的数量，这些在平衡相图的概念中是不可理解的。因此，尽管关于薄膜扩散论题方面有着丰富的实验数据，但是至今还没有提出一个针对薄膜中大规模相互扩散的详细理论[90]。
3.2.2．单晶薄膜的扩散动力学理论的研究
在实际应用中很少有用单晶薄膜的，但是测量特殊生长的单晶薄膜间的相互扩散，能够
提供有关块体扩散率和激活能的明确数值。而这些数值，对于解释较为复杂实用的多晶薄膜的扩散过程来说，具有根本性的意义。
以二个可相互混容的金属A 和B 的单晶薄膜之间产生平面型的相互扩散为例，如图3.1
所示。图示出了合成的有效马塔诺界面，它是深度尺度的起始点。阴影面积是相等的。相图指出，温度T 时，在),,'(T t x C 上将没有突变点。这样，A 试样的原子有效传输可用D AB (X)来描述，这里D AB (x )＝D A C B (x )+D B C A (x )。
由菲克第二定律 :t t x C ??),(＝x
??（D t t x C ??),(） （3.3）
图3.1 不同扩散速率时，单晶可混容试样A 和B 的相互扩散。
Fig.3.1 interdiffusion of the miscible unit crystals A and B at different diffusivities
如果在任何瞬间时间t 中的距离用相对于Matano 界面的x ’来测量，以取代在同一时间
t 时相对起始界面的x ，那么方程式就可以简化。图3.1中说明了这种情况。其中Matano 界面(x ’=0)是在满足下列条件时，从物理学界面(x =0)转化过来的，也就是说，图3.1上的阴影区是相等的。
?0'C C A A dC x ＝?=-)
0'(0)'(x C A A dC x （3.4）
然后可以证明C A (x ,t)只是变量)'
(t x =λ的函数，这样式(2)可以写成 -2λλ
??c ＝)(λλ????C D （3.5） 用相应的进行积分，得到D (C ＝C 1)＝21dC dC d C C C ?==1
0λλ （3.6） 和体扩散的方程解一样，式（3.6）提供了一个手段，它是能够利用实验测定的，借助
于这个扩散样品中C 随深度的变化可求得浓度函数的数值，可以直接从C 相对的实验曲线中计算出斜率和积分，然后给出在实验温度时的扩散率，从而得到一曲线，由此求得激活能的实验值。
3.2.3．多晶薄膜扩散动力学理论的研究
对于目前通常采用的金属多晶薄膜，固态扩散有三个途径：晶格扩散、晶界扩散和表面
扩散，我们称之为短路扩散。其中晶格扩散是依靠空位的移动来完成，晶界扩散指离子流沿晶粒界面间隙扩散，表面扩散的途径是金属薄膜表面。对于多晶膜而言，是以晶界扩散为主。实验发现，三种扩散均是各向异性的，杂质的存在对扩散速率有一定的影响。一般来说，若杂质的加入带来新缺陷，则扩散加速。
表3.1 为不同金属薄膜的扩散激活能的比较
Table 3.1 Diffusion activation energy value of different metal film
表面扩散和晶界扩散较容易，晶格扩散最难。因为晶界和界面处的位错密度大，空位浓
度高，晶格畸变较大，能量较高。而晶格扩散主要是以空位扩散为主，晶格扩散比起晶界扩
散难度加大。一般而言，晶界的扩散激活能约为晶格的扩散激活能的0.6-0.7，金属外表面的扩散激活能比晶界的还要小。即一般来说表面扩散那系数最大，其次是晶界扩散系数，而点阵扩散的体扩散系数最小。
3.2.3.1．晶界扩散的特性
通常用示踪原子法观测晶界扩散现象，在试样表面涂以溶质或溶剂金属的反射醒同位素的示踪原子，加热到一定温度并且保温一定的时间。示踪原子由试样表面向晶粒与晶界内扩散，由于示踪原子沿晶界的扩散速度快于点阵扩散，因此示踪原子在晶界的浓度会高于在晶粒内，与此同时，沿晶界扩散的示踪原子又由晶界向其两侧的晶粒扩散。即其浓度分布形成一个等浓度线在晶界上比晶粒内部的深度大得多的分布。
晶界扩散具有结构敏感性，在一定温度下，晶粒越小，晶界扩散越显著；晶界扩散与晶粒位相、晶界结构有关；晶界上杂质的偏析或淀析对晶界扩散均有影响。
晶界扩散所起的作用因温度的高低差别很大，如图3.2所示[91]。
在较低的温度范围内，多晶体直线关系的斜率为单晶体的1/2，但是在700 ℃以上，两条直线相遇，而后是单晶体直线的延长，这说明温度低时，晶界激活能比晶内小得多，晶界扩散起重要作用；随着温度升高晶内得空位浓度逐渐增加，扩散速度加快，故占截面比例很小得晶界扩散，随温度得升高逐渐被晶内扩散所掩盖。
图3.2 Ag在单晶和多晶体中的自扩散系数
Fig.3.2 Self-diffusion coefficient of Ag in unit crystal and polycrystal
3.2.3.2．晶界扩散的理论模型
已经证明，与单晶薄膜不同，由于晶界的影响，在低温下多晶薄膜中也可以发生大规模的相互扩散。现在已经知道，沿晶粒间界的扩散要比通过块体晶格扩散快几个数量级。关于
Jx
Jy 图3.4 晶界单元内的扩散流 Fig.3.4 the diffusion current in a grain boundary unit 图3.3 从表面（y=0）择优沿晶界(GB)扩散后浓度分布示意图 Fig.3.3 the concentration profile after diffusion along grain boundary from
the surface (y=0) x y 1 2 晶粒间界的扩散现象，虽然早在1936年已经可以在资料中找到，但是正式地讨论它是在1951年，由费希尔，霍夫曼和特恩布尔进行的。经过这些年精心设计的晶粒间界扩散实验，已经提高了我们对晶粒间界的结构和化学的认识。现在，由于薄膜技术对制造平面微电子学元件的重要性，有许多学术年会致力于低温扩散和应用于薄膜的问题。然而由于扩散途径的多样性，多晶薄膜之间的低温扩散率不能用单一的扩散机理的概念来描述，相应地，晶粒间界扩散实验的数学解析一般要比晶格内部扩散的更为复杂。由于晶粒间界的扩散很少能够脱离晶格，所以扩散物质很可能渗入到相邻的晶格中去。它的渗透程度决定了动力学的模型。下面主要对二种晶界扩散的模型进行讨论。
1． 晶界扩散的Fisher 模型[91]
为了确定晶界的扩散系数D G ，Fisher 设计了一个实验。取双晶粒晶体，其表面垂直于
晶界，在表面涂覆一层放射性同位素随之进行扩散。如图3-3所示，由于晶界扩散比晶内扩散快得多，因此，对于晶粒1或2来说，除了有垂直于表面的扩散以外，还有垂直于晶界的扩散流。其可能的浓度分布也示于图3.3中。
设晶界宽度为δ，在其上沿y 方向取一段dy 。如图3.4所示，先研究这一小段晶
界内的扩散问题。
假设任何垂直于轴的平面 （平行于图示所在平面）都是对称平面，因此，Jz =0。设取
该小晶界单元的厚度为单位厚度，即取1，则在扩散过程中，该小单元晶界内的浓度变化率
博士论文摘要的写法 博士论文摘要的写法这对大部分在写论文的朋友来说是件头疼的事情，下面为各 位头疼的朋友们整理出来的博士论文摘要的写法的一些探讨。 摘要是论文内容的简要陈述，是一篇具有独立性和完整性的短文。摘要应包括本 论文的创造性成果及其理论与实际意义。博士论文工作无疑是博士研究生教育的重要 组成部分。我们如何着手博士论文摘要的写作呢?这里我们简单介绍一下博士论文摘要的写法。 摘要是一篇论文的微型版本，供读者粗略判断其价值，必须简短扼要。一般英文 论文的摘要，不超过200个词，中文论文也不用超过300个字，而且一般不分段落， 一段话即完成摘要。博士论文摘要可分段，字数可多些，但800个中文字已足够。 摘要是向读者叙述本文的创新点和它的价值，一般采取陈述方式。 包含三个组成部分： (1)问题说明。指明论文所要解决的问题，问题界定要清晰，并令读者意识到此问 题的价值所在。 (2)创新点。研究工作的贡献，即与众不同的新发现。创新点应占去摘要中大部分 篇幅。 (3)论证途径的说明。创新点论证过程不必叙述，但作者若在论证方法技术上有改 进和创新之处则可以写上。 博士论文摘要建议： 1、反映出整篇文章中心思想 让读者通过阅读论文摘要获得文章中心思想，然后做出是否继续阅读论文的决定。准确反映论文的研究内容，不能遗漏重要内容。同时注意采用规范的词术语，让本专 业外的读者或者相近专业的读者也能清晰的理解论文内容。 2、层次分明，逻辑性强 应注意层次分明、文字流畅、衔接自然、可读性强，保持上下文的逻辑关系、结 构严谨、言简意赅，语义确切，应体现出论文提出的新理论、新方法或采用的新材抖、新技术、新工艺。 3、字数得当
博士生开题报告 各位博士研究生： 为做好学位论文选题及开题报告工作，在填写后面的 《研究生学位论文开题报告登记表》前，请认真阅读下文《关于研究生学位论文选题及开题报告的规定》。登记表仅作为开题报告的格式，所留的空格不够时请自行加页。 根据《中华人民共和国学位条例暂行实行办法》中“研究生学位论文开题、答辩一般应公开举行，保密专业除外”的要求，我院研制了“研究生学位论文开题、答辩网上公告系统”，现已上网运行。 请全体研究生注意在张贴开题、答辩布告的同时，使用 此系统。从20xx 年1 月1 日起开题、答辩的研究生都须在网上公告，否则开题及答辩无效。 在完成表格中的论证内容、导师签署意见、通过评议组 专家评议、教研室以及院系签署意见后，请将《登记表》用 A4 纸打印1份，博士生请提交给研究生院学位办（从20xx 年9 月开始要求博士生到设在校图书馆的查新站对开题报告进行查新工作，故请同时提交查新结果1 份）。 关于研究生学位论文选题及开题报告的规定研究生学位论文工作是研究生培养的重要环节和主要内容。学位论文是研究生尤其是博士生学术水平和科研成果的集中表
现，是衡量研究生培养质量和水平的重要标志之一，而做好 学位论文选题和开题报告又是完成学位论文的前提和基础。 因此，为了切实保证研究生的学位论文质量，做好学位论文 选题及论文开题报告是十分必要的。 一、学位论文选题 选题是学位论文成败的关键。因此要求导师、导师组及研究生本人要十分重视选题工作。研究生应在大量阅读文 献、资料和充分调查研究的基础上进行选题。 博士学位论文选题要求达到前沿性、交叉性、急需性、实用性、创新性、可行性。具体要求如下： 1．选题必须具有学科的前沿性； 2．在选题上要注意学科间的相互交叉渗透； 3．选题要重视国家急需解决的重大课题； 4．选题要注重实用性，要面向国民经济的主战场； 5．选题的指导思想、技术路线等，必须有创新性，同时还应与科学发展趋势相一致； 6．选题要考虑到完成论文的可行性（如：经费、实验仪器、设备、加工、资料等）。选题不易过大，要能够在规定的时间内完成学位论文。 二、学位论文开题报告及查新 开题报告是对论文选题的科学性、先进性、可行性等的论证，是提高学位论文质量和按时完成学位论文的重要环
本科毕业论文开题报告中的文献综述怎么 写 开题报告是每个本科毕业生都要书写的，同时也让很多毕业生无从下手。这里小编带来的是本科毕业论文开题报告中的文献综述怎么写，有需要的小伙伴可以进来看看，参考参考！ 综述的主体格式 综述的主体一般有引言、正文、总结、参考文献四部分。 引言部分 引言用于概述主题的有关概念、定义，综述的范围、有关问题的现状、争论焦点等，使读者对综述内容有一个初步轮廓。这部分约200—300字。 正文部分 正文部分主要用于叙述各家学说、阐明所选课题的历史背景、研究现状和发展方向。其叙述方式灵活多样，没有必须遵循的固定模式，常由作者根据综述的内容，自行设计创造。一般可将正文的内容分成几个部分，每个部分标上简短而醒目的小标题，部分的区分也多种多样，有的按国内研究动态和国外研究动态，有的按年代，有的按问题，有的按不同观点，有的按发展阶段，然而不论采用何种方式，都应包括历史背景、现状评述和发展方向三方面的内容。
历史背景方面的内容：按时间顺序，简述本课题的来龙去脉，着重说明本课题前人研究过没有研究成果如何他们的结论是什么通过历史对比，说明各阶段的研究水平。 现状评述又分三层内容：第一，重点论述当前本课题国内外的研究现状，着重评述本课题目前存在的争论焦点，比较各种观点的异同，亮出作者的观点;第二，详细介绍有创造性和发展前途的理论和假说，并引出论据(包括所引文章的题名、作者姓名及体现作者观点的资料原文)。 发展方向方面的内容：通过纵(向)横(向)对比，肯定本课题目前国内外已达到的研究水平，指出存在的问题，提出可能的发展趋势，指明研究方向，提出可能解决的方法。 正文部分是综述的核心，篇幅长约1000――1500字。 总结部分(不是必须的) 在总结部分要对正文部分的内容作扼要的概括，最好能提出作者自己的见解，表明自己赞成什么，反对什么。要特别交待清楚的是，已解决了什么还存在什么问题有待进一步去探讨、去解决解决它有什么学术价值从而突出和点明选题的依据和意义。这一部分的文字不多，与引言相当。短篇综述也可不单独列出总结，仅在正文各部分叙述完后，用几句话对全文进行高度概括。
学位论文质量是评价教育硕士培养质量的重要指标之一,而论文选题又是教育硕士学位论文撰写的首要环节,是直接影响学位论文质量的重要一环;下面是有博士开题报告导师评语，欢迎参阅。 1、本文以官员问责制为题进行研究，能为解决我国官员问责制存在的问题提供参考和借鉴作用。在全文结构中，首先对官员问责制的现实意义进行了分析，然后再对我国官员问责制 2、以***为题进行研究。能为解决***-的问题提供参考和借鉴作用。在全文结构中，首先要调整基本概念提出问题，然后在对问题进行深入的分析，最后为**提出有效的建议。全文体现专业特色要求，部分与本分之间衔接的比较紧密，真正属于自己创新的内容还不是很多。总体上达到毕业论文要求。 3、全文以***为题。重点探讨出***的问题，然后针对问题提出有效的建议。全文结构符合要求，逻辑思路清晰，论据较充分，观点表达准确，语言流畅，论证方法教合理。参考的资料与主题结合紧密。 4、的困境进行深入的分析，最后提出化解困境的有效建议。全文体现专业特色要求，符合行政管理专业培养要求，参考的文献资料符合论文观点与主题的需要，实践论证还不够，但，真正属于自己创新的内容还不是很多。总体上达到毕业论文要求。 5、论文思路清晰，语句通顺。能很好的调查***-存在的问题。作者对于论文内容有一定的了解和熟悉。思路清晰，层次清晰，逻辑结构合理。观点表达准确。研究原理采用恰当。在论证过程中能有效的将专业原理与要研究的主题结合起来。个别地方论证的观点不是很明确，总体上达到毕业论文要求。 6、本文以官员问责制为题进行研究，能为解决我国官员问责制存在的问题提供参考和借鉴作用。在全文结构中，首先对官员问责制的基本原理问题进行了分析，然后再对我国官员问责制存在的问题进行深入的分析，最后为解决前面的问题提出有效的建议。全文体现专业特色要求，部分与本分之间衔接的比较紧密，真正属于自己创新的内容还不是很多。总体上达到毕业论文要求。 7、论文评语——优：论文选题符合专业培养目标，能够达到综合训练目标，题目有较高难度，工作量大。选题具有较高的学术研究(参考)价值(较大的实践指导意义)。该生查阅文献资料能力强，能全面收集关于考试系统的资料，写作过程中能综合运用考试系统知识，全面分析考试系统问题，综合运用知识能力强。篇幅完全符合学院规定，内容完整，层次结构安排科学，主要观点突出，逻辑关系清楚，有一定的个人见解。文题完全相符，论点突出，论述紧扣主题。语言表达流畅，格式完全符合规范要求;参考了丰富的文献资料，其时效性较强;没有抄袭现象。 8、全文结构基本合理科学，逻辑思路清晰，观点表达准确，语言流畅，论证方法较合理，参考的文献资料符合主题要求，从主题到内容符合专业要求，部分与本分之间衔接的比较紧密，但个别引文没有标著出来，真正属于自己创新的内容还不是很多，个别概念比较模糊，总体上达到毕业论文要求。
四川理工学院毕业设计（文献综述）红外遥控电动玩具车的设计 学生：程非 学号：10021020402 专业：电子信息工程 班级：2010.4 指导教师：王秀碧 四川理工学院自动化与电子信息学院 二○一四年三月
1前言 1.1 研究方向 随着科技的发展，越来越多的现代化电器走进了普通老百姓的家庭，而这些家用电器大都由红外遥控器操控，过多不同遥控器的混合使用带来了诸多不便。因此，设计一种智能化的学习型遥控器，学习各种家用电器的遥控编码，实现用一个遥控器控制所有家电，已成为迫切需求。首先对红外遥控接收及发射原理进行分析，通过对红外编码理论的学习，设计以MSP430单片机为核心的智能遥控器。其各个模块设计如下：红外遥控信号接收，红外接收器把接收到的红外信号经光电二极管转化成电信号，再对电信号进行解调，恢复为带有一定功能指令码的脉冲编码；接着是红外编码学习，利用单片机的输入捕捉功能捕捉载波的跳变沿，并通过定时器计时记下载波的周期和红外信号的波形特征，进行实时编码；存储电路设计，采用I2C总线的串行E2PROM(24C256)作为片外存储器，其存储容量为8192个字节，能够满足所需要的存取需求；最后是红外发射电路的设计，当从存储模块中获取某红外编码指令后，提取红外信号的波形特征信息并进行波形还原；将其调制到38KHZ的载波信号上，通过三极管放大电路驱动红外发光二极管发射红外信号，达到红外控制的目的。目前，国外进口的万能遥控器价格比较昂贵，还不能真正走进普通老百姓的家中。本文在总结和分析国外设计的基础上，设计一款以MSP430单片机为核心的智能型遥控器，通过对电视机和空调的遥控编码进行学习，能够达到预期的目的，具有一定的现实意义。 1.2 发展历史 红外遥控由来已久，但是进入90年代，这一技术又有新的发张，应用范围更加广泛。红外遥控是一种无线、非接触控制技术，具有抗干扰能力强，信息传输可靠，功耗低，成本低，易实现等显著优点，被诸多电子设备特别是家用电器广泛采用，并越来越多的应用到计算机系统中。 60年代初，一些发达国家开始研究民用产品的遥控技术，单由于受当时技术条件限制，遥控技术发展很缓慢，70年代末，随着大规模集成电路和计算机技术的发展，遥控技术得到快速发展。在遥控方式上大体经理了从有线到无限的超声波，从振动子到红外线，再到使用总线的微机红外遥控这样几个阶段。无论采用何种方式，准确无误传输新信号，最终达到满意的控制效果是非常重要的。最初的无线遥控装置采用的是电磁波传输信号，由于电磁波容易产生干扰，也易受干扰，因此逐渐采用超声波和红外线媒介来传输信号。与红外线相比，超声传感器频带窄，所能携带的信息量少扰而引起误动作。较为理想的是光控方式，逐渐采用红外线的遥控方式取代了超声波遥控方式，出现了红外线多功能遥控器，成为当今时代的主流。 1.3 当前现状 红外线在频谱上居于可见光之外，所以抗干扰性强，具有光波的直线传播特性，不易产生相互间的干扰，是很好的信息传输媒体。信息可以直接对红外光进行调制传输，例如，信息直接调制红外光的强弱进行传输，也可以用红外线产生一定频率的载波，再用信息对载波进调制，接收端再去掉载波，取到信息。从信
研究生论文开题报告范文 一、如何选择问题 我一起萦绕于怀的，是在写博士论文开题报告的一年多时间里，导师薛澜教授反复追问的一个问题：“你的 puzzle 是什么？”多少次我不假思索地回答“我的问题就是，中国的半导体产业为什么发展不起来。”薛老师问题以其特有的储蓄，笑而不答。我在心中既恼火又懊丧：这么简单的道理，这么明显的答案，到底哪儿不对了？ 奥妙就在于提出问题的“层次”。不同于政策研究报告，学术文章聚集理论层面、解决理论问题。理论是由一系列前设和术语构造的逻辑体系。特定领域的理论有其特定的概念、范畴和研究范式。只有在相同的概念、视角和范式下，理论才能够对话；只有通过对话，理论才能够发展。极少有硕博论文是创造新理论的，能这样当然，但难度很大。我们多数是在既有理论的基础上加以发展，所以，在提出问题时，要以“内行”看得懂的术语和明确的逻辑来表述。审视我最初提出的问题“中国半导体产业为什么发展不起来”，这仅仅是对现象的探询，而非有待求证的理论命题。我的理论命题是：“中国产业政策过程是精英主导的共识过程吗？”在这个命题中，“政策过程”、“精英政治”、“共识诉求”三个术语勾勒出研究的理论大体范围和视角。 其次，选择问题是一个“剥笋”的过程。理论问题总是深深地隐藏在纷繁复杂的现实背后，而发现理论问题，则需要使用理论思维的水平。理论思维的训练是一个长期积累的过程。不过初学者也不必望而却步，大体上能够分“三步走”：第一步，先划定一个“兴趣范围”，如半导体产业、信息产业、农村医疗、高等教育体制等，广泛
浏览相关的媒体报道、政府文献和学术文章，找到其中的“症结”或“热点”。第二步，总结以往的研究者大体从哪些理论视角来分析 “症结”或“热点”、使用了哪些理论工具，如公共财政的视角、社 会冲突范式等。第三步，考察问题的可研究性，也就是我们自己的研 究空间和研究的可行性。例如，西方的理论是否无法解释中国的问题？或者同一个问题能否用不同的理论来解释？或者理论本身的前提假设、逻辑推演是否存有缺陷？通过回答这些问题，我们找到自己研究的立 足点。不过还要注意我们研究在规定的一到两年时间内，是否可能完成？资料获取是否可行？等等。 最后，如何陈述问题？陈述问题实质上就是凝练核心观点的过程。观点理应来自对现实问题的思考和总结，而不是为了套理论而“削足 适履”。中国的政治、经济和社会发展充满动态的、丰富的景象，如 何才能用恰当的术语、准确的逻辑表述出来呢？雄心勃勃的初学者往 往提出宏伟的概念或框架，但我的建议是尽可能缩小研究范围、明确 研究对象，从而理清对象的内存逻辑，保证能在有限的时间内完成规 范的学 术论文。如“中国半导体产业政策研究”就是一个非常含糊的陈述，我们能够从几个方面来收缩话题：（ 1 ）时间：从 1980 年到2000 年；（ 2 ）对象：政府的叛乱者和决策行为，而不是市场、企业、治理结构等；（ 3 ）视角：政治和政府理论中的精英研究； （ 4 ）案例： 908 工程、 909 工程、 13 号文件和《电子振兴》， 这是发生在 1980 － 2000 年间半导体政策领域的两个重大工程和两 个重要文件。通过这样的明确界定，我们将目光集中在“政策过程”、“精英”、“共识”几个显而易见的概念上，问题也就水落石出了。 同时，问题清楚了，我们在筛选信息和资料时也就有了明确的标准， 在这个“信息冗余”的时代，能够大大提升研究效率。
宁波大学本科毕业设计(论文) 文献综述 题目论“法律关系本座说”对国际私法的影响指导教师尹力 学院法学院专业法学班级法学072班 学生姓名徐元媛学号074050428 开题日期2010年12月10日要求：一、说明材料来源情况；二、对课题的研究历史、研究现状等进行准确的分析与归纳并作出简要评述；三、表达自己的观点与主张，阐述该课题的发展动向和趋势；四、字数要求不少于3000字，可另附纸。 文献综述正文： 见附页 指导教师签字 年月日
附页： 关于“法律关系本座说”对国际私法的影响的文献综述论文题目：论“法律关系本座说”对国际私法的影响 法学072班 074050428 徐元媛 作为国际私法经典学说之一的“法律关系本座说”，一直备受研究者的关注而形成了诸多研究成果，它们或以学术专著为载体，或以学术论文的面目示人，主要围绕以下一些方面的问题展开讨论。 一、关于“法律关系本座说”的成因 萨维尼从根本上颠覆了冲突法主题的关注方式，而被公认为是冲突法世界的“哥白尼”。在实体法与超越实体法之间，萨维尼的独特身份、优雅节制的精神操守、先人的历史储备以及法律关系的格致工夫，这一切的风云际合为萨维尼奠定了重估一切价值所必不可少的历史机缘。因了这份缘分，冲突法革命在萨维尼的身上灿烂生发。①萨维尼对法律冲突问题进行了重估一切价值的尝试，因而最终产生了“法律关系本座说”这一据说是他“其他著作都比不上的最高影响”的理论成果。②关于“法律关系本座说”的成因，现有文献主要是从社会背景和哲学渊源两个方面进行了分析。 （一）社会背景 在18世纪末期，德意志仍然处于资本主义手工业的初级阶段，资本主义关系的发展非常微弱和缓慢。整个德意志处于封建农奴制和封建分裂割据局面。在德意志各邦国中，对历史发展具有重大影响的是普鲁士王国，也就是萨维尼的祖国。在普鲁士王国的发展过程中，“容克”始终是中坚力量，是这个国家的统治阶级。市民阶级在普鲁士的力量非常微弱。因此，从王权集中这个意义上讲，普鲁士君主专制要比西欧强得多。这里始终也没有出现像“三级议会”、“国会”这种王权与资产阶级联盟的机构。因此，普鲁士资本主义因素相当薄弱。在政治上，普鲁士王国是几次反法联盟的中坚力量。由此，招致拿破仑沉重的军事打击和异族的政治统治。法国大革命和拿破仑战争，是德意志民族觉醒的警钟，法国大革命提供了民族团结的范例，宣告了各民族的自由、平等，拿破仑在德意志以“革命者”的身份出现，同时又充当了贪得无厌的掠夺者。这就从正反两方面启动了德意志的民族意识和民族主义运动。从1800年起，德意志掀起了猛烈的民族运动。尽管这个时期民族主义是保守主义和自由主义的结合，但目标是一致的：要求民族团结，反对民族压迫，恢复德意志的独立性。 正是在这样的时代背景下，出现了一位法学宗师萨维尼，也产生了这位法学家伟大的法学思想。③（二）哲学渊源 ①张春良：《重估一切价值的尝试：萨维尼冲突法革命发生学之究竟》，《贵州大学学报（社会科学版）》2009第6期。 ②杜涛：《德国国际私法：理论、方法和立法的变迁》，法律出版社2006年版，第183页。
博士论文开题报告范文 A 一研究目标 本研究试图在GIS和遥感软件支持下，综合野外调查、遥感及定位数据，结合 专家系统、数据库、多媒体和网络技术，引入可视化技术、交互技术和虚拟现实技术，建立多维的热带亚热带植被信息系统，探讨3S技术在不同组织层次植被研究 中的应用如森林群落的水平和垂直分析、植被的时空动态模拟和预测、以及森林景观的格局研究等。 二研究内容和研究方法 GIS平台为ESRI ARCVIEW 3.x及其扩展模块，遥感软件为PCI GEOMATICA (?), 编程语言为C ，图形处理用OPENGL。主要的研究方法参见表1。 1 种群 Population:以距离为基础的种群分布格局、种间联结、邻体效应、种 间竞争、母树-幼苗空间关系等。 2 群落 Community:以面积为基础的重取样技术、各种面积曲线、冠层分析 等。 3 生态系统 Ecosystem:以地图为基础的植被分类、生产力或生物量估算、植 被水平或垂直分布等。 4 景观 Landscape: 以DEM为基础的景观格局结构、缀块分析、生境评价、虚 拟3D森林等。 5 植被信息系统:构建多维热带亚热带植被信息系统(图1)。 三拟解决的关键问题 1遥感生物信息提取
遥感影象的光谱特征、空间特征、极化特征和时间特性是我们鉴别各种物体和现象的依据。如何从遥感图象中识别植被、昆虫种群、大型动物等生物信息，则是建立多维生物地理信息系统的基础。通常是用植被不同波段的反射率及其它因子的组合来获得植被指数(VI)，并采用非监督分类或监督分类的方法，区分不同地物和不同植被类型，但只能用于较大的植被分类阶元;较小的植被单位如群丛必须结合实地调查和其它环境因子，能否直接利用遥感判断还有待于进一步研究。昆虫种群和大型动物的判定一般是根据这种昆虫的生境，也可以考虑标记和电子反射器的办法来定位。引入专家系统或者决策支持系统，模糊数学、遗传算法、神经网络理论，可以更加有效地和精确地进行识别。 2 时空数据模型和时空分析 传统的GIS面向的是只含空间维度和属性维度的SGIS(Static GIS)，而能够处理时间维度的GIS则称为TGIS(Temporal GIS)。时间维度具有和空间维度不一 1 A 样的特点，如何将空间数据模型的概念和方法引申到时空数据模型，是当前GIS研究的热点和难点之一。时空一体化的数据模型必须具有时空二维的拓扑特征，才能有效地提高数据质量和分析效率，减少数据存贮的冗余(陈晋等，1995)。生物学中涉及了许多时空分析问题，也发展了时序分析和生物地理统计的方法，但这些方法的理论和应用都有待完善。而且,现有的GIS软件均不能很好地完成这些分析。 3 专业组件设计 现有的许多GIS软件并不包含生物学专业模块;建立独立的完全面向生物学的GIS费时费力，而且也不必要。因此，组件GIS是不错的选择。我们可以用各种计算机语言或GIS软件附带的语言，编写出适用于生物学的控件或模块，组合到现有的GIS软件中。
博士学位论文的学术评语 篇一 建立了文学院图书分馆和文献研究中心。其中包括两个重点学科资料室、中文综合资 料室、基地班资料室、工具书资料室、古籍资料室、过刊室和现刊室。共计中外文专业藏 书7.78万册。 答辩质量：学生遵守答辩纪律，尊重答辩老师的建议，认真记录修改意见。学生对论 文研究过程与内容熟悉，能准确地把握文章的观点，掌握本专业及相关领域中应当了解的 知识，回答问题准确、完备。 兴趣广泛，爱钻研，课外爱读科普书，科普知识丰富，爱动手，动脑，在江阴市“魅 力科技，动感成长”活动中获机器人射门比赛二等奖。 (男,26岁) 求职位：计算机相关/弱电期望薪资：2000-3000元/月 目前职位：技术支持/维护学历：大专 工作经验：1-3年现居住地：杭州西湖区 联系电话：电子邮箱： 自我评价 有意从事计算机相关、弱电的职业 该课题选题新颖，紧密结合临床，设计合理，属于本学科研究热点，研究工作具有一 定的理论意义与实际价值。论文的内容与题目基本相符，结构完整，格式规范，层次清楚，条理分明，语言通顺流畅，内容丰富。文献材料收集丰富详实，基本涵盖了本学科相关的 主要文献，并对本学科发展趋势有一定的归纳作用。数据资料充分，论述过程严谨，思路
清晰，综合运用了所学知识解决问题，分析方法选用得当，结果可信。论文撰写严肃认真，推理符合逻辑，结论和建议具有现实意义，是一篇有较高学术价值的硕士生论文。 xxx同学的学位论文《基于数据挖掘的高校本科专业设置预测系统数据模型的分析和 研究》选题于教育部委托中山大学开展的高校本科专业设置预测系统项目。该论文研究成 果对于构建高校本科专业设置预测系统具有一定的先导性意义。 本文主要围绕着高校本科专业设置预测系统的数据模型这个问题展开分析和研究。论 文首先对已有的专业设置数据模型进行综述，分析其在功能性、预测性、分析性以及挖掘 性方面的不足之处，然后结合高校本科专业设置的实际需求，引入数据挖掘技术、数据仓 库和OLAP，构建基于数据挖掘的高校本科专业设置预测系统的数据模型。总的来说，论文框架清晰，逻辑严谨，行文体现了自己的学术思考及思辨结论，有自己的创见。 论文长于思辨和综合，而短于对实际需求和现实情况的考量，比如各用户对于专业设 置的需求以及数据挖掘中数据的可采集性及可用性等。建议今后在相关研究中采取更广泛 视角。 本文的写作符合硕士研究生毕业论文规范，学术水准较好，体现了两年学习的成果， 可进入答辩程序。 论文长于思辨和综合，而短于对实际需求和现实情况的考量，比如各用户对于专业设 置的需求以及数据挖掘中数据的可采集性及可用性等。建议今后在相关研究中采取更广泛 视角。 篇二 论文结构严谨，层次分明，采用了递进式的分析结构，逻辑性强，文笔流畅，表达清晰，重点突出。文章格式符合学术规范。反映作者具有较强的独立科研能力。论文表明作 者掌握了企业管理学专业的基本理论和分析方法， 学习犹如大海行舟，一个人只有顽强拼搏，才有驶向金色海岸的可能。老师希望你能 勇敢地面对学习中的任何困准，要相信自己的能力。只要你像一只辛勤的小蜜蜂，在花园 中采拮足够的花粉，就一定能酿出鲜美纯正的蜜来。新的一年，希望看到一个全新的你。 该课题选题新颖，紧密结合临床，设计合理，属于本学科研究热点，研究工作具有一 定的理论意义与实际价值。论文的内容与题目基本相符，结构完整，格式规范，层次清楚，条理分明，语言通顺流畅，内容丰富。文献材料收集丰富详实，基本涵盖了本学科相关的 主要文献，并对本学科发展趋势有一定的归纳作用。数据资料充分，论述过程严谨，思路 清晰，综合运用了所学知识解决问题，分析方法选用得当，结果可信。论文撰写严肃认真，推理符合逻辑，结论和建议具有现实意义，是一篇有较高学术价值的硕士生论文。
博士学位论文开题报告 博士学位论文开题报告 《说文》说礼 博士生： 指导教师： 一、文献综述： 《说文解字》是东汉许慎在收集经传的基础上对小篆所做的全面研究，是我国第一部字典，学术价值极高，研究者代不乏人，著作如林。据阳海清等编撰的《文字音韵训诂知见书目》说，《说文解字》及其研究性著作共计1849种，其著录部数之多，令人叹为观止。有清一代，对《说文解字》的研究非常盛行，并且取得了很大的成绩，其中特别突出的是段玉裁、桂馥、朱骏声、王筠说文四大家，王筠《说文释例》、《说文句读》重于形,桂馥《说文义证》偏于义,朱骏声《说文通训定声》侧重于声,独段氏注形音义三者并重。近10年来，《说文解字》的研究,有综合性研究、词义研究、“六书”研究、历史文化研究、体例研究、比较研究、方言研究和许慎《说文解字》研究等8 个方面的新成就，本时期《说文解字》研究显示出重视普及性研究和学科转向渐趋自觉等新特点。礼学研究可分为四类：以礼经以及其它儒家
经典中记载的礼为对象的礼经学，主干是三礼学，涉及对其它儒家经典（“十三经”）中记载的礼的研究；以仪制的撰作和仪制的研究为对象的礼仪学；对礼的本质、价值、功能和历史作用等问题进行理论性的论证和阐发的礼论；由礼在中国的泛化现象滋生的泛礼学。礼学研究在20世纪50年代之前一直是显学。孙诒让《周礼正义》是中国传统礼学研究的集大成之作，也宣告了传统礼学时代的终结。经过三四十年的沉寂后，礼学研究在我国学界逐渐得到复苏和重振，推出了一些相当分量的成果。特别是曹元弼、沈文倬、陈戍国师生三代，前后相续，成为20世纪以后礼学传承中引人注目的一脉。复旦大学杨志刚教授认为，现代礼学研究有以下特点：一是从比较早的时候起，就注意到从文化的角度审视中国古礼。“文化”概念的导入，给礼学研究这门传统学问注入了新的研究意识，二是形成了一种多学科、多方位的研究态势，拓展了现代礼学的研究领域，三是注重古代文献资料与新发现的考古资料、古文字资料以及民族学资料的互相印证，四是以沈文倬、杨宽等为代表，初步建立起新的研究范式。 二、选题背景及其意义 《说文解字》不单单是一部学术著作，该书对中国古代政治社会发展的影响也十分深远。2005年11月在河南漯河召开了首届许慎文化国际研讨会，学者对《说文》给予了非常高的评价。近代以来，戴震提倡以训诂明义理，学者多受其影响，致力于小学，但研究者多偏重于文字、音韵、训诂之学，将其当作经学附
中国网络大学 CHINESE NETWORK UNIVERSITY 本科毕业设计(论文)开题报告和文献综述如何写 院系名称：网络学院 专业： 学生姓名： 学号：123456789 指导老师： 中国网络大学教务处制 2015年11月20日
开题报告和文献综述如何写 开题报告如何写： 开题报告主要包括以下几个方面： （一）论文名称 论文名称就是课题的名字 第一，名称要准确、规范。准确就是论文的名称要把论文研究的问题是什么，研究的对象是什么交待清楚，论文的名称一定要和研究的内容相一致，不能太大，也不能太小，要准确地把你研究的对象、问题概括出来。 第二，名称要简洁，不能太长。不管是论文或者课题，名称都不能太长，能不要的字就尽量不要，一般不要超过20个字。 （二）论文研究的目的、意义 研究的目的、意义也就是为什么要研究、研究它有什么价值。这一般可以先从现实需要方面去论述，指出现实当中存在这个问题，需要去研究，去解决，本论文的研究有什么实际作用，然后，再写论文的理论和学术价值。这些都要写得具体一点，有针对性一点，不能漫无边际地空喊口号。主要内容包括：⑴ 研究的有关背景(课题的提出)：即根据什么、受什么启发而搞这项研究。⑵ 通过分析本地（校）的教育教学实际，指出为什么要研究该课题，研究的价值，要解决的问题。 （三）本论文国内外研究的历史和现状（文献综述）。 规范些应该有，如果是小课题可以省略。一般包括：掌握其研究的广度、深度、已取得的成果；寻找有待进一步研究的问题，从而确定本课题研究的平台(起点)、研究的特色或突破点。
（四）论文研究的指导思想 指导思想就是在宏观上应坚持什么方向，符合什么要求等，这个方向或要求可以是哲学、政治理论，也可以是政府的教育发展规划，也可以是有关研究问题的指导性意见等。 （五）论文写作的目标 论文写作的目标也就是课题最后要达到的具体目的,要解决哪些具体问题，也就是本论文研究要达到的预定目标：即本论文写作的目标定位，确定目标时要紧扣课题,用词要准确、精练、明了。 常见存在问题是：不写研究目标；目标扣题不紧；目标用词不准确；目标定得过高, 对预定的目标没有进行研究或无法进行研究。 确定论文写作目标时，一方面要考虑课题本身的要求，另一方面要考率实际的工作条件与工作水平。 （六）论文的基本内容 研究内容要更具体、明确。并且一个目标可能要通过几方面的研究内容来实现，他们不一定是一一对应的关系。大家在确定研究内容的时候，往往考虑的不是很具体，写出来的研究内容特别笼统、模糊，把写作的目的、意义当作研究内容。 基本内容一般包括：⑴对论文名称的界说。应尽可能明确三点：研究的对象、研究的问题、研究的方法。⑵本论文写作有关的理论、名词、术语、概念的界说。 （七）论文写作的方法 具体的写作方法可从下面选定：观察法、调查法、实验法、经验总结法、个案法、比较研究法、文献资料法等。 （八）论文写作的步骤
山东大学 博士学位论文开题报告题目： 培养单位 学科（专业） 导师 研究生 学号 开题报告日期 研究生院制 二〇一五年六月
说明 一、开题报告应包括下列主要内容 1．课题来源及研究的目的和意义 1.1．课题来源或研究背景 1.2．研究的目的及意义 2．国内外在该方向的研究现状及分析（文献综述） 2.1．国外研究现状 2.2．国内研究现状 （注意对所引用国内外文献的准确标注） 2.3．国内外文献综述的简析 （综合评述国内外研究取得的成果，存在的不足或有待深入研究的问题）3．前期的理论研究与试验论证工作的结果 4．学位论文的主要研究内容、实施方案及其可行性论证 4.1．主要研究内容 （撰写宜使用将来时态，不能只列出论文目录来代替对研究内容的分析论述） 4.2．实施方案及其可行性论证 5．论文进度安排和预期达到的目标（从确定博士论文选题收集文献写起） 6．学位论文预期创新点（要根据研究内容和国内外研究现状准确提炼，充分体现创新性） 7．课题研究已具备的和所需的条件、经费支持、导师组人员配备情况等 8．预计研究过程中可能遇到的困难、问题以及解决的途径 9．主要参考文献（应保证充足的文献阅读量，并且应有一定数量新近发表的前沿文献）。 二、开题报告字数应不少于1万字。 三、开题报告未通过的博士生，可于3个月后再次申请进行。两次未通过或无正当理由 到期未进行开题报告的博士生，将终止其攻读博士学位。 四、开题报告结束后，评审小组填写《博士学位论文开题报告评议表》，随开题报告一 同交培养单位留存备查。 五、字体、字号及其他要求 论文中所用中文字体（除各级标题外）为宋体，各级标题用黑体；论文中所用数字、英文为新罗马字体。
毕业论文文献综述参考范文 毕业设计(论文)文献综述 题目名称在高校体育教学中实施心理健康教育的研究 题目类别毕业论文 学院（系）体育学院/体育教育系 专业班级2003，23(1):18-21 [15]熊亚红,等.大学生心理健康状况与体育教学模式的探讨[J]. 现代教育科学,2005,(5):73-75 [16]熊亚红,等.大学生心理健康状况与体育教学模式的探讨[J]. 现代教育科学,2005,(5):73-75 [17]侯世勋，等.高校体育课加强心理健康教育之探讨[J].洛阳师范学院学报，2002，(5):110-102 [18]刘卫民，李平.体育教学中实施心理健康教育论纲[J]，湖北师范学院学报（自然科学版），2003，23(1):18-21 [19]熊亚红,等.大学生心理健康状况与体育教学模式的探讨[J]. 现代教育科 学,2005,(5):73-75 073021班 学生姓名 指导教师 辅导教师 完成日期 2006年2月16日 在高校体育教学中实施心理健康教育的研究 学生：体育学院 指导老师：体育学院
（长江大学体育学院湖北荆州 434020） [前言] 大学生心理问题发生的频率加快、范围加大和程度加深。有数据表明：“在我国20世纪 80年代中期，23%~25%的大学生存在心理障碍，90年代上升到25 %，近年来已达到30%，存在心理障碍的人数还在不断增多”。[1]使得我们不得不更加关心大学生心理健康问题。任长顺在《不同运动项目对大学生心理健康水平影响的调查研究》中提出“大学时期是大学生良好心理习惯的形成和心理逐渐走向成熟的关键时期，近年来随着现代人对健康认识的转变，有关大学生心理健康问题也越来越受到广泛关注。大学时期同时也是人的一生中心理变化最大的时期。他们既要应付生理变化带来的心理问题，还要应付社会环境变化产生的心理矛盾，常常处于错综复杂的心理矛盾之中。不可避免地会遇到多种多样的心理卫生问题”[2]。曾四清在《高校体育教学中培养学生心理健康的途径》中提到“心理疾病最重要的治疗手段是行为疗法”[3]，而刘卫平、李平等认为体育教学恰恰在这方而具有得天独厚的优势，“以思维活动为主要活动方式的文化课，由于学生的心理思想和外部行为不宜表现，所以在课堂中实施心理健康教育多以理性的说教为主，学生的主体参与水平仅处于较低的被动认同活动阶段，故难以实施有针对性、及时性的教育来改善增进他们的心理健康水平。相比之下，体育实践课由于它具有群体性、竞争性、艰苦性、娱乐性、释放性、外显性等特点，故可以看成它是个社会活动的缩影，或者说是社会活动模拟游戏化，人们沉浸在体育实践课活动中，会感受到丰富多变的刺激，也会体验到几乎和社会活动完全相同的精神磨难与心理冲突。所以，它更易于有效地把培养学生的心理健康意识与心理健康行为有机地结合起来，使学生能在寓心理健康教育于课堂身体活动的过程中主动加强主体的参与性，并充分地体验、领悟、内化，然后附诸实践直接接受实践的检验”。[4]正因为体育教育在这方面表现出来的优势，使得越来越多的专家学者关注体育对心理健康教育的积极影响。本课题主要是从平时的课堂教学出发，研究体育运动本身会对心理健康产生积极的影响、各种不同教学手段对学生的心理产生的不同影响以及心理健康教育的评价，使体育教师在课堂体育教学过程中渗透和实施心理健康教育更具操作性和可行性，从而促进大学生健康心理的形成，减少心理问题的发生。
博士论文开题报告范文 随着现代信息技术的迅猛发展，网络技术在教育中的应用日益广泛和深入，特别是Internet与校园网的接轨，为中小学教育提供了丰富的资源，使网络教学真正成为现实，同时也为中小学教育开辟了广阔的前景。陈至立部长在全国中小学信息技术教育工作会议上指出：“全国实施中小学‘校校通’工程，努力实现基础教育的跨越式发展。”“校校通工程的目标是用5年到10年时间，加强信息基础设施和信息资源建设，使全国90%左右独立建制的中小学校能够上网，使中小学师生都能共享网上资源，提高中小学的教育教学质量。”“校校通”工程的启动和发展，给中小学教学带来革新的机会，为学科教学信息化奠定了物质基础。如何有效地利用网上的资源，建构基于网络的现代教学模式是一个迫切研究的问题，而开展网络教学模式研究的重要理论基础之一就是网络教学的设计与评价。因此，开展网络教学的设计与评价的探索与实践研究有着十分重要的意义。 一、课题研究背景 （一）国内外的研究现状 1、网络教学的设计理论与方法的研究缺乏系统性 通过对国内外有关的学术刊物（如《电化教育研究》、《中国电化教育》、《EducationalTechnology》等）、教育网站和国际国内有关学术会议（GCCCE、ICCE、CBE等）的论文集进行分析，网络教学的设计研究主要是关于建构主义学习环境的设计和协作学习的设计等方面，缺乏系统的
研究。可以说，网络教学的设计理论的研究还处于初级阶段，还有很多问题需要去研究和探索。例如，在网络环境下如何利用网络资源进行主动学习、利用虚拟情境进行探究学习、利用通讯工具进行协商学习、利用工具进行创造学习的设计以及教师指导性活动的设计等方面，都值得我们去研究。 2、网络教学的评价研究才刚刚起步 随着Internet应用的普及，网络教学已成为一种重要的教学手段和教学场所。然而，与传统教学相比，网络教学的质量保证体系却显得不够完善、健全。如何保证网络教学的质量，建立一个行之有效的网络教学评价模型，已成为网络教学研究的一个重要课题。时至2000年，教育部批准全国31所高校建立网络教育学院，但却没有制定出如何保证网络教育质量的相关政策。美国国家教育政策研究所（TheInstituteForHigherEducationPolicy）于2000年4月也发表了一份名为“在线教育质量：远程互联网教育成功应用的标准”的报告，然而，这些文章（报告）也仅仅是描述性的定义网络教学的评价指标，而对如何组织评价、如何获取定量数据、评价数据如何促进教学等方面则很少涉及。目前，网络教学的支撑平台中的学习评价模块往往只含有测试部分，而缺乏相应的分析与反馈。 （二）课题研究的意义
文献综述和开题报告范文 篇一：开题报告和文献综述怎么写 开题报告和文献综述怎么写 （一）论文名称 论文名称就是课题的名字 第一，名称要准确、规范。准确就是论文的名称要把论文研究的问题是什么，研究的对象是什么交待清楚，论文的名称一定要和研究的内容相一致，不能太大，也不能太小，要准确地把你研究的对象、问题概括出来。 第二，名称要简洁，不能太长。不管是论文或者课题，名称都不能太长，能不要的字就尽量不要，一般不要超过20个字。 （二）论文研究的目的、意义 研究的目的、意义也就是为什么要研究、研究它有什么价值。这一般可以先从现实需要方面去论述，指出现实当中存在这个问题，需要去研究，去解决，本论文的研究有什么实际作用，然后，再写论文的理论和学术价值。这些都要写得具体一点，有针对性一点，不能漫无边际地空喊口号。主要内容包括：⑴研究的有关背景(课题的提出)：即根据什么、受什么启发而搞这项研究。⑵通过分析本地（校）的教育教学实际，指出为什么要研究该课题，研究的价值，要解决的问题。
（三）本论文国内外研究的历史和现状（文献综述）。 规范些应该有，如果是小课题可以省略。一般包括：掌握其研究的广度、深度、已取得的成果；寻找有待进一步研究的问题，从而确定本课题研究的平台(起点)、研究的特色或突破点。 （四）论文研究的指导思想 指导思想就是在宏观上应坚持什么方向，符合什么要求等，这个方向或要求可以是哲学、政治理论，也可以是政府的教育发展规划，也可以是有关研究问题的指导性意见等。 （五）论文写作的目标 论文写作的目标也就是课题最后要达到的具体目的,要解决哪些具体问题，也就是本论文研究要达到的预定目标：即本论文写作的目标定位，确定目标时要紧扣课题,用词要准确、精练、明了。 常见存在问题是：不写研究目标；目标扣题不紧；目标用词不准确；目标定得过高, 对预定的目标没有进行研究或无法进行研究。 确定论文写作目标时，一方面要考虑课题本身的要求，另一方面要考率实际的工作条件与工作水平。 （六）论文的基本内容 研究内容要更具体、明确。并且一个目标可能要通过几方面的研究内容来实现，他们不一定是一一对应的关系。大
博士研究生学位论文开题报告会的程序及内容要求 一、博士生学位论文开题程序可按下列程序进行： 1.专家组组长宣布报告会开始； 2.导师简要介绍报告人的基本情况和课题背景； 3.博士生陈述开题报告，时间一般为：30分钟左右； 4.专家和其他出席者提问，博士生回答问题； 5.专家组组长评议与总结； 6.专家组评定成绩并在开题报告书上签字。 二、博士生学位论文开题报告应包括以下内容： 1.论文选题的目的、意义和研究动态： ①课题来源，相关科研项目的基本情况； ②本选题的理论或应用价值； ③相关研究领域的现状和研究进展分析； ④在本选题领域中国内外研究成果简述； ⑤本选题的主要研究内容、重点和特点。 2.研究方案： ①技术方案（技术路线、技术措施）； ②实施方案所需的条件（技术条件、实验条件）； ③要解决的主要问题和技术关键； ④预期能达到的目标，可期望的创新成果； ⑤可能遇到的困难及应对； ⑥研究计划进度和经费预算。 3.主要参考文献目录： ①较全面地列出对开题报告有参考价值的文献，及在开题报告中引用他人的学术观点或学术成果所涉及的文献； ②参考文献应按在开题报告中出现的顺序列出； ③参考文献的数量，博士学位论文开题报告一般不得少于50篇； ④参考文献应能反映国内外新的学术成果，且一般应有1/2左右的外文文献； ⑤参考文献书写顺序应符合《北京工业大学学位论文撰写规范》的要求。 三、博士生学位论文开题报告由专家组进行评审并给出成绩。成绩考核以合格、不合格记。 1.具备下列条件者，开题报告成绩为合格： ①选题恰当，有一定的理论或应用价值，有较高的起点和一定的新意； ②具有独立搜集和综合分析资料的基本能力，能掌握与本研究方向的国内外动态，学术思想清晰； ③研究方案基本可行，基本掌握技术关键，对可能遇到的主要问题，分析基本正确，开题条件基本具备； ④研究工作计划安排合理，经费预算可行； ⑤口头陈述流利、简练，并能较正确地回答专家的提问。 2．有下列问题之一者，开题报告成绩为不合格：
文献综述写法及模板（修订） ◆关于文献综述的写法： 文献综述是对某一学科某一方面的专题搜集大量情报资料后经综合分析而写成的一种学术论文，它是科学文献的一种。文献综述是反映当前某一领域中某分支学科或重要专题的最新进展、学术见解和建议的，它往往能反映出有关问题的新动态、新趋势、新水平、新原理和新技术等等。 一、写文献综述的目的 1. 通过搜集文献资料过程，可进一步熟悉文献的查找方法和资料的积累方法；在查找资料过程的同时也扩大了知识面； 2. 查找文献资料、写文献综述是毕业论文选题及进行研究的第一步，因此学习文献综述的撰写过程也是为今后科研活动打基础的过程； 3. 通过文献综述的写作过程，能提高归纳、分析、综合问题的能力，有利于独立工作能力和科研能力的提高。 二、文献综述的特点 文献综述与读书报告、文献复习、研究进展等有相似的地方，它们都是从某一方面的专题研究论文或报告中归纳出来的。但是，文献综述既不像“读书报告”、“文献复习”那样，单纯把一级文献客观地归纳报告，也不像“研究进展”那样只讲研究进程，其特点就是“综”和“述”。 “综”是要求对文献资料进行综合分析、归纳整理，使材料更精练明确、更有逻辑层次； “述”是要求对综合整理后的文献进行比较专门的、全面的、深入的、系统的论述。 总之，文献综述是作者对某一方面问题的历史背景，前人工作，争论焦点、热点、难点，研究现状及发展前景等内容进行评论的科学性论文。 三、如何搜集阅读文献 写文献综述一般要经过以下几个阶段：选题，搜集阅读文献资料，拟定提纲（包括归纳、整理、分析）和成文，这里着重介绍一下如何搜集阅读文献。 选定题目后，要围绕题目进行搜集与文题有关的文献。关于搜集文献的有关方法很多，主要依选题而定，如看专著、年鉴法、浏览法、滚雪球法、检索法等等。一