电子工业超纯水设备新工艺
反渗透技术是目前电子工业超纯水设备中最先进的处理工艺同时也是处理效果最理想的处理工艺已经到达广泛应用。
反渗透（简称RO）是膜分离技术的一种。其原理是：用足够的压力使溶液中的溶剂（通常指水）通过反渗透膜分离出水，因它的运行与自然界的正常渗透过程相反，故称反渗透（或称逆渗透）。随着膜技术的发展，膜性能不断提高，反渗透技术将发展成为进行分离、分级、提纯和富集的化工分离新技术。反渗透技术的主要特点：能耗低、结构紧凑、操作简单、易维修、自动化程度高、不污染环境。反渗透技术广泛应用于给水处理、城市自来水的净化、制取电力、电子、医药、医疗和食品等行业的纯水及超纯水、注射用水和食用纯水的制备；海水和苦咸水的淡化；制取饮用水等。反渗透系统由其预处理及反渗透装置和后处理三部分组成。反渗透系统的核心是反渗透装置，预处理是反渗透装置能否长期稳定运行的前提，后处理用以满足不同处理对象的最终产水水质指标。反渗透（膜分离）法超纯水制造技术: 反渗透是用足够的压力使溶液中的溶剂(一般常指水)通过反渗透膜(一种半透膜)而分离出来，方向与渗透方向相反，可使用大于渗透压的反渗透法进行分离、提纯和浓缩溶液。反渗透膜的主要分离对象是溶液中的离子范围。反渗透法分离过程有如下优点：①不需加热、没有相变；②能耗少；过程连续
稳定；③设备体积小、操作简单，适应性强；④对环境不产生污染。反渗透纯水系统根据不同的源水水质采用不同的工艺。一般自来水经一级反渗透系统处理后，产水电导率＜10-20μS/cm，经二级反渗透系统后产水电导率＜5μS/cm甚至更低，在反渗透系统后辅以离子交换设备或EDI设备可以制备超纯水，使电阻率高达18兆欧姆.厘米。反渗透膜老化或受污染后，产水质量会下降. 反渗透超纯水设备: 反渗透水处理设备（膜分离）技术的应用使反渗透超纯水设备从传统的阳离子交换器、脱碳、阴离子交换器、复合离子交换器得到了一次进步。近年来开始在国外推广应用的EDI（电去离子）技术，则是超纯水制造技术的一次革命，从此进入了一个无需再生化学品，而能生产出高达18MΩ?CM的超纯水，用于半导体、集成电路等行业。国家经委也已将RO + EDI 成套技术的应用列入国家重点推广范围，对使用的企业给以政策上的优惠。
工业用水标准 电导率≤10μS/CM动物饮用纯水(医药)、普通化工原料配料用纯水、食品行业配料用纯水、普通电镀行业冲洗用去离子纯水、纺织印染用除硬脱盐纯水、聚脂切片用纯纯水、精细化工用纯水、民用饮用纯净水、其它有相同纯水质要求的用纯水. 电导率≤4μS/CM电镀化学品生产用纯水、化工行业表面活性剂生产用纯水、医用纯化水、白酒生产用纯水、啤酒生产用纯水、民用饮用纯净水、普通化妆品生产用纯水、血透纯水机用纯水、其它有相同纯水质要求的用纯水. 电阻率5~10MΩ.CM锂电池生产用纯水、蓄电池生产用纯水、化妆品生产用纯水、电厂锅炉用纯水、化工厂配料用纯水、其它有相同纯水质要求的用纯水. 电阻率:10~15MΩ.CM动物实验室用纯水、玻壳镀膜冲洗用纯水、电镀用纯纯水、镀膜玻璃用纯水、其它有相同纯水质要求的用纯水. 电阻率≥15 MΩ.CM医药生产用无菌纯水、口服液用纯水、高级化妆品生产用去离子纯水、电子行业镀膜用纯水、光学材料清洗用纯水、电子陶瓷行业用纯水、尖端磁性材料用纯水、其它有相同纯水质要求的用纯水. 电阻率≥17 MΩ.CM磁性材料锅炉用软化纯水、敏感新材料用纯水、半导体材料生产用纯水、尖端金属材料用纯水、防老化材料实验室用纯水、有色金属，贵金属冶炼用纯水、钠米级新材料生产用纯水、航空新材料生产用纯水、太阳能电池生产用纯水、纯水晶片生产用纯水、超纯化学试剂生产用纯水、实验室用高纯水、其它有相同纯水质要求的用纯水. 电阻率≥18 MΩ.CM ITO导电玻璃制造用纯水、化验室用纯水、电子级无尘布生产用纯水等其它有相同纯水质要求的用纯水
出水电导率≤10μS/CM的纯净水，白酒生产用纯水，啤酒生产 用纯水等，生产制造出水电导率≤5μS/CM的电镀用纯水设备、蓄 电池用水设备、镀膜玻璃钢纯水设备、生产制造出水电导率0.110μ S/CM的导电玻璃制造用水，实验室用超纯水。生产出水电阻率在 5-10MΩ.CM的锂电池、蓄电池生产用水，10~15MΩ.CM的电镀用水，光学材料清洗用水等等，生产制造电阻率≥17 MΩ.CM 磁性材料锅炉用软化水、敏感新材料用水、半导体材料生产用水、尖端金属材料用水等。生产制造电阻率≥18 MΩ.CM ITO导电玻璃制造用水、化验室用水、电子级无尘布生产用水等 制取高纯水的主要工艺为反渗透+EDI工艺和反渗透+抛光混床工艺或反渗透+EDI+抛光混床工艺，出水水质最小电阻率能达到10M Ω.CM，电阻率能达到18.5MΩ.CM，生产用纯水各行业标准不一，比如电池行业至少需要电阻率达到10MΩ.CM，电镀行业用水、镀膜玻璃用水一般要求达到15MΩ.CM，纯净水生产，白酒生产用纯水，啤酒生产用纯水一般只需达到电导率≤10μS/CM即可，一级反渗透工艺即可达到电导率≤10μS/CM，所以订购纯水设备，纯净水设备时先了解水质需要达到一个什么标准，然后再咨询厂家工艺的可行性及效益性，以最少的投入达到预期的纯水水质标准。 反渗透设备出水水质在各行业应用： 电导率≤10μS/CM 普通化工原料配料用水、食品行业配料用水，普通电镀行业冲洗用去离子水、纺织印染用除硬脱盐纯水、聚脂切片
典型超纯水工艺流程设 计方案 集团标准化小组：[VVOPPT-JOPP28-JPPTL98-LOPPNN]
1纯化水工艺设计方案：（产水水质标准达到的标准：中国药典2005版纯化水标准） 自来水→预处理→一级反渗透→一级EDI→UV杀菌→超滤除热原设备→用水 自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌→超滤除热原设备→用水 2注射用水工艺设计方案：（产水水质标准达到的标准：中国药典2005版注射用水标准） 自来水→预处理→一级反渗透→一级EDI→微滤→多效蒸馏除热原设备→用水 自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→微滤→超滤除热源设备→用水 3电厂高压锅炉给水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：工业锅炉水质GB1576-2001） 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→二级EDI→微滤→用水 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→微滤→用水 4微电子/半导体级超纯水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：中国电子工业部高纯水水质试行标准） 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→二级EDI→UV杀菌装置→超滤→用水 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→抛光混床→UV杀菌装置→超滤→用水 5实验室用分析级纯水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：分析级实验室用水标准 GB6682-2000） 自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌装置→超滤→用水 自来水→预处理→二级反渗透→一级EDI→UV杀菌装置→超滤→用水 进水电导率在400～1000μs/cm的含EDI设备的典型超纯水工艺流程设计方案 1纯化水工艺设计方案：（产水水质标准达到的标准：中国药典2005版纯化水标准） 自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌→微滤→用水 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→UV杀菌→微滤→用水 2注射用水工艺设计方案：（产水水质标准达到的标准：中国药典2005版注射用水标准） 自来水→预处理→二级反渗透→一级EDI→多效蒸馏除热源设备→用水 自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌装置→超滤除热源设备→用水 3电厂高压锅炉给水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：工业锅炉水质GB1576-2001） 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→混床→微滤→用水自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→二级EDI→微滤→用水 4微电子/半导体级超纯水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：中国电子工业部高纯水水质试行标准） 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→二级EDI→抛光混床→UV杀菌装置→超滤→用水
离子交换是一种特殊的固体吸附过程，它是由离子交换剂的电解质溶液中进行的。一般的离子交换剂是一种不溶于水的固体颗粒状物质，即离子交换树脂。它能够从电解质溶液中吸取某种阳离子或者阴离子，而把自身所含的另外一种带相同电荷符号的离子等量地换出来，并释放到溶液中去，这就是所谓的离子交换。按照所交换离子的种类，离子交换剂可分为阳离子交换剂和阴离子交换剂两大类。 离子交换 a、首先电解质离子(钙、镁、铁、钠等离子)穿过液膜进入树脂表面; b、离子进入树脂内部; c、离子交换; d、H离子或OH根离子向树脂外部扩散; e、H离子或OH根离子进入水中形成H2O。双床又称复床，复床是用阳、阴两种不同的离子交换的交换器的串联方式，如强酸性阳离子交换树脂和强碱性阴离子交换树脂串联的方式。这种阳床和阴床串联组成的设备称为复床，水先经过阳床除去带正电的离子(如Ca2+、Mg2+、K+、Na+)，并且置换出H+离子到水中;然后除去水中的阴性离子(如SO2-4、Cl-、HCO- 3)，并且置换出OH-离子到水中。同时，H+离子和OH-离子结合形成水H2O，从而达到去离子的作用。 混床 在同一个交换器中，将阴、阳离子交换树脂按照一定的体积比例进行填装，在均匀混合状态下，进行阴、阳离子交换，从而除去水中的盐分，称为混合床除盐处理。混合床的阴、阳离子交换树脂在交换过程中，由于是处于均匀混合状态，
交错排列，互相接触，可以看作是由许许多多的阴、阳离子交换树脂而组成的多级式复床，可相当于1000～2000级。因为是均匀混合，所以，阴、阳离子的交换反应几乎是同时进行的，所产生的H+和OH-随即合成H2O，交换反应进行得很彻底，出水水质高。 系统结构流程 前处理设备(多介质过滤设备、活性炭过滤设备)+离子交换设备=纯水 下面小编给大家推荐一家专业的反渗透纯水厂家：武汉玉泉净水设备有限公司。 武汉玉泉净水设备有限公司根据用户对水质和水量的要求，结合当地水质的具体情况，设计出最佳的水处理方案。特别在膜的分离技术（反渗透、超滤、微滤等）、水质深化除盐处理（复床、混床、EDI等）、工业锅炉软化水、地下水除铁锰及一体化净水设备、海水、苦咸水的淡化、中水和工业废水回收处理等方面具有丰富的实践经验。
超纯水设备制水工艺及详细技术方案 超纯水设备适用范围：本系统适用于树胶业清洗和生产用纯水。 工程类别：水处理系统销售、安装、服务。 系统总进水量：5m3/hr 系统产水量：2m3/hr@25℃ 系统回收率：55～70% 产水水质：电导率≤0.2μs/cm@25℃ 运行方式：自动运行(并具备手动操作功能)。 原水水源：自来水 原水设计温度：25℃ 制水工艺：RO反渗透+EDI连续电除盐〔或IX树脂离子交换〕主要配置： 预处理系统：原水箱、原水箱液位控制器、原水进水电磁阀、原水泵、PAM计量泵、多介质过滤器、活性炭过滤器、阻垢剂计量泵、管路、阀门。
RO反渗透系统：高压泵、反渗透膜、反渗透膜壳、膜架、控制系统、进水电磁阀、冲洗电磁阀、调压阀、高压开关、低压开关、精密过滤器。 储存系统：液位控制器、中间水箱。 EDI系统：〔工艺1)给水泵、模块、电源、流量计、压力表、电磁阀、在线电导仪、在线电阻仪、自动控制系统、机架。 IX系统：〔工艺2〕给水泵、再生泵、树脂容器、离子交换树脂、管路、阀门、机架。 工艺简介： 反渗透技术是一种高效率、低能耗能、无污染的先进技术，主要应用于纯水制备与海水淡化。反渗透技术是利用压力差为动力的膜分离过滤技术，通过压力差将H2O与源水中的无机盐、重金属离子、有机物、胶体、细菌、病毒等杂质严格分离。 EDI是一种电渗析技术和离子交换技术相融合的先进技术，系统能够通过电磁场通过阴、阳离子交换膜对阴、阳离子的选择性透过作用与离子交换树脂对离子的交换作用，在直流电场的作用下实现离子的定向迁移，从而完成水的深度除盐，系统能够完成树脂连续不断的自动再生，无需停机使用酸碱再生树脂，从而能连续制取高品质纯水。
工业超纯水机运行参数 一、技术规范及水质范围 1、工业超纯水机适用的水质范围 工业超纯水机进水有特定要求，检查进水水质是否符合标准十分重要。进水水质不符合标准将会导致膜元件的不可恢复性损害。 1：电导率：〈600US/CM 2：硬度： 500mg/L 4：色度：〈15 5：浊度：〈1NTU 6：游离氯〈 0.1PPM 7：SDI 〈 5 8：水温 5-45度 二：运行参数： 工作压力：1.0-1.5Mpa 产水量：3T/h
回收率：25% 进水压力〉2Kg 进水量〉8T/ h 特别注意：因本设备为涉水产品，应防止冰冻，冰冻能造成设备不可回复的损害，所以设备间应配有取暖设施。 3：水处理工艺流程： 增压泵石英机械过滤器活性碳过滤器树脂软化 RO装置高压泵保安过滤 4、产品功能 以市政自来水为源水，经过太空1号RO-3000S型水处理设备处理后，出水水质符合卫生部法监发[2001]161号文件附件4C《生活饮用水水质处理器卫生安全与功能评价规范-反渗透处理器》出水水质要求。 三：安装指导 1：设备尽量安装在干燥通风的地方，因为长期处于潮湿环境会造成电器设备和元件的损坏。
2：系统应置于便于操作者进入和维修的场地，四周应留有充足的空间。 3：选择安装地点时应尽量考虑前处理装置有较合适的位置，并符合这些工艺流程的摆放顺序。 4：前处理和主机按要求就位后，UPVC管道进行连接。 5：电器的安装工作必须要有合格的电器技术人员和工人进行，必须要用可靠的接地。 6：安装地点应保证夏夏季环境不高于40度，冬季高于4度。否则会对设备造成不可恢复的损坏。 7：纯水收集地点(如纯水箱入口处)的高度不应高于设备纯水出口处5m，否则会对逆渗透产生背压，造成逆渗透不可恢复和损坏。 8：纯水出口连接中不可安装任何阻碍纯水流出的装置 9：安装纯水连接管和浓水排放管的管径不应小于纯水出口和浓水的管径。 10：电器安装详见电路图。 四、操作方法： 1;各种设备的连接和安装
实验室超纯水机主要用途与原理 目前常用超纯水的工艺方法有蒸馏法、反渗透法、离子交换法、过滤法、吸附法、紫外氧化法等。超纯水机一般可以将水的纯化过程大致分为4大步，预处理(初级净化)、反渗透(生产出纯水)，离子交换(可生产出18.2MΩ.cm超纯水)和终端处理(生产出符合特殊要求的超纯水)。 超纯水主要用于： 动、植物细细胞培养用水 各种医疗用生化仪、分析仪、血液透析仪用水 分析试剂及药品配置稀释用水 生理、病理、毒理学实验用水 医院、医药制剂室及中心实验室用纯化水和高纯水 原子吸收光谱用水 试管婴儿用水 各种高效液相色谱、离子色谱用水 其他还广泛应用于高校、科研、药厂、电力、电子、医疗、疾控、环监、技监,大型工业纯水系统等重点行业 超纯水基本原理 1. 超纯水制备原理 实验室超纯水机通常由原水预处理系统、反渗透纯化系统、超纯化后处理系统三部分组成。预处理的目的主要是使原水达到反渗
透膜分离组件的进水要求，保证反渗透纯化系统的稳定运行。反渗透膜系统是一次性去除原水中98%以上离子、有机物及100%微生物(理论上)最经济高效的纯化方法。超纯化后处理系统通过多种集成技术进一步去除反渗透纯水中尚存的微量离子、有机物等杂质，以满足不同用途的最终水质指标要求。 2. 原水预处理系统 实验室超纯水机的预处理系统通常由聚丙烯纤维(PP)过滤器 和活性炭(AC)过滤器组成。对硬度较高的原水还需加装软化树脂过滤器。PP滤芯可高效去除原水中5μm以上的机械颗粒杂质、铁锈及大的胶状物等污染物，保护后续过滤器，其特点是纳污量大, 价格低廉。AC活性炭滤芯可高效吸附原水中余氯和部分有机物、胶体，保护聚酰胺反渗透复合膜免遭余氯氧化。软化树脂可脱除原水中大部分钙镁离子，防止后续RO膜表面结垢堵塞，提高水的回收率。 3.反渗透纯水系统 反渗透(Reverse Osmosis，简称RO)是以压力差为推动力的一种高新膜分离技术，具有一次分离度高、无相变、简单高效的特点。反渗透膜“孔径”已小至纳米(1nm=10-9m)，在扫描电镜下无法看到表面任何“过滤”小孔。在高于原水渗透压的操作压力下，水分子可反渗透通过RO半透膜，产出纯水，而原水中的大量无机离子、有机物、胶体、微生物、热原等被RO膜截留。 为使用户在使用过程中的操作方便，我厂生产的实验室超纯水机，选择国外著名厂商的配件，采用“反渗透膜法、紫外UV灭菌及终端过滤”的深度处理工艺，滤过原水中的无机盐、胶体、有机物、细菌、热原等不纯物;确保产品卓越的性能及其稳定性。实验室超纯水机整机一体化设计，集预处理系统、RO系统、超纯水系统、后处理系统于一体，易于操作、维护。还可以根据用户需要轻松实现功能升级。
工业电子超纯水设备设计方案 1.电子工业超纯水概述 半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大 规模、超大规模集成电路需用大量的纯水、高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高， 线宽越窄，对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级，分别为 18Mù.cm、15Mù.cm、10Mù.cm、2Mù.cm、0.5Mù.cm，以区分不同水质。 2.电子工业超纯水设备特点 电子工业超纯水设备通常由多介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理 系统、RO 反渗透主机系统、离子交换混床(EDI 电除盐系统)系统等构成主要设备系统。原水箱、中间 水箱、RO 纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水 质检测控制仪表、电气采用PLC 可编程控制器，真正做到了无人值守，同时在工艺选材上采用推荐和客户 要求相统一的方法，使该设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。 3.电子工业超纯水的应用领域 1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水; 2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水; 3、实验室和中试车间用超纯水; 4、汽车、家电表面抛光处理; 5、光电子产品; 6、其他高科技精微产品; 工业电子超纯水设备工艺流程说明：
1、第一级预处理系统：采用石英砂多介质过滤器，主要目的是去除源水中含有的泥沙、铁锈、胶体物质、 悬浮物等颗粒在20 m以上对人体有害的物质，系统可以自动(手动)进行反冲洗，正冲洗等一系列 操作。 2、第二级预处理系统：采用果壳活性碳过滤器，目的是为了去除水中的色素、异味、生化有机物、降低 水的余氯值及农药污染和其他对人体有害的污染物。系统可以自动(手动)进行反冲洗，正冲洗等一 系列操作。 3、第三级预处理系统：采用阳树脂对水进行软化，主要是降低水的硬度，去除水中的钙、镁离子(形成 水垢的主要成分)，可有效延长反渗透膜的使用寿命，并可进行智能化树脂再生。 4、第四级预处理系统：采用5um 孔径精密过滤器，使水得到进一步的净化，使水的浊度和色度达到优 化。保证RO 系统进水条件要求，保证设备的产水质量，延长设备的使用寿命。 5、反渗透(超滤)设备主机：采用反渗透(超滤)技术进行深度脱盐处理(进口美国反渗透膜)去除钙、 镁、铅、汞等对人体有害的重金属物质及其他杂质，降低水的硬度，脱盐率达99%以上，生产出符合 国家标准的纯净水。 6、微过滤装置：安装该装置主要是为防止微粒树脂颗粒从布水中滤出，造成二次水质污染，这主要是运 用在对水质特别高的场合。 杀菌系统：采用臭氧发生器(或紫外线杀菌器)，减少细菌二次污染，灭菌率可达99%以上，同时臭氧溶 于水形成富氧水，保证水的纯鲜。采用水气混合器使臭氧充分与水混合，达到最佳浓度比。
工业超纯水机水质标准范围 一、技术规范及水质范围 1、工业超纯水机适用的水质范围 工业超纯水机进水有特定要求，检查进水水质是否符合标准十分重要。进水水质不符合标准将会导致膜元件的不可恢复性损害。 1：电导率：〈600US/CM 2：硬度： 500mg/L 4：色度：〈15 5：浊度：〈1NTU 6：游离氯〈 0.1PPM 7：SDI 〈 5 8：水温 5-45度 二：运行参数： 工作压力：1.0-1.5Mpa 产水量：3T/h
回收率：25% 进水压力〉2Kg 进水量〉8T/ h 特别注意：因本设备为涉水产品，应防止冰冻，冰冻能造成设备不可回复的损害，所以设备间应配有取暖设施。 3：水处理工艺流程： 增压泵石英机械过滤器活性碳过滤器树脂软化 RO装置高压泵保安过滤 4、产品功能 以市政自来水为源水，经过太空1号RO-3000S型水处理设备处理后，出水水质符合卫生部法监发[2001]161号文件附件4C《生活饮用水水质处理器卫生安全与功能评价规范-反渗透处理器》出水水质要求。 三：安装指导 1：设备尽量安装在干燥通风的地方，因为长期处于潮湿环境会造成电器设备和元件的损坏。
2：系统应置于便于操作者进入和维修的场地，四周应留有充足的空间。 3：选择安装地点时应尽量考虑前处理装置有较合适的位置，并符合这些工艺流程的摆放顺序。 4：前处理和主机按要求就位后，UPVC管道进行连接。 5：电器的安装工作必须要有合格的电器技术人员和工人进行，必须要用可靠的接地。 6：安装地点应保证夏夏季环境不高于40度，冬季高于4度。否则会对设备造成不可恢复的损坏。 7：纯水收集地点(如纯水箱入口处)的高度不应高于设备纯水出口处5m，否则会对逆渗透产生背压，造成逆渗透不可恢复和损坏。 8：纯水出口连接中不可安装任何阻碍纯水流出的装置 9：安装纯水连接管和浓水排放管的管径不应小于纯水出口和浓水的管径。 10：电器安装详见电路图。 四、操作方法： 1;各种设备的连接和安装
我国电子工业超纯水水质试行标准、半导体工业用纯水指标、集成电路水质标准。电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。 电导率≤10μS/CM动物饮用纯水(医药)、普通化工原料配料用纯水、食品行业配料用纯水、普通电镀行业冲洗用去离子纯水、纺织印染用除硬脱盐纯水、聚脂切片用纯纯水、精细化工用纯水、民用饮用纯净水、其它有相同纯水质要求的用纯水. 电导率≤4μS/CM电镀化学品生产用纯水、化工行业表面活性剂生产用纯水、医用纯化水、白酒生产用纯水、啤酒生产用纯水、民用饮用纯净水、普通化妆品生产用纯水、血透纯水机用纯水、其它有相同纯水质要求的用纯水. 电阻率5~10MΩ.CM锂电池生产用纯水、蓄电池生产用纯水、化妆品生产用纯水、电厂锅炉用纯水、化工厂配料用纯水、其它有相同纯水质要求的用纯水. 电阻率:10~15MΩ.CM动物实验室用纯水、玻壳镀膜冲洗用纯水、电镀用纯纯水、镀膜玻璃用纯水、其它有相同纯水质要求的用纯水. 电阻率≥15 MΩ.CM医药生产用无菌纯水、口服液用纯水、高级化妆品生产用去离子纯水、电子行业镀膜用纯水、光学材料清洗用纯水、电子陶瓷行业用纯水、尖端磁性材料用纯水、其它有相同纯水质要求的用纯水.
电阻率≥17 MΩ.CM磁性材料锅炉用软化纯水、敏感新材料用纯水、半导体材料生产用纯水、尖端金属材料用纯水、防老化材料实验室用纯水、有色金属，贵金属冶炼用纯水、钠米级新材料生产用纯水、航空新材料生产用纯水、太阳能电池生产用纯水、纯水晶片生产用纯水、超纯化学试剂生产用纯水、实验室用高纯水、其它有相同纯水质要求的用纯水. 电阻率≥18 MΩ.CM ITO导电玻璃制造用纯水、化验室用纯水、电子级无尘布生产用纯水等其它有相同纯水质要求的用纯水，光伏光电行业。
工业纯水机 概述 依照各种原水水质和要求的不同，工业用水的制备工艺大体可分为预处理、脱盐和精处理三步。 工作原理 工业纯水系统设计结合化工行业用纯水的要求，制定出标准型适合在本行业使用的纯水系统。以下对系统的介绍： 离子交换纯水系统 本系统设计采用多介质过滤器、活性炭过滤器作及保安过滤器作为前级处理，有效除去原水中的悬浮物、泥砂、微粒、有机硅胶体、有机物、异味、余氯等杂质，使经过离子交换处理后的水质符合工业生产要求。在经过后端进行精处理系统（混床系统），使其产水水质满足生产用水的要求。离子交换设备-离子交换技术有相当长的历史，某些天然物质如泡沸石和用煤经过磺化制得的磺化煤都可用作离子交换剂。但是，随着现代有机合成工业技术的迅速发展，研究制成了许多种性能优良的离子交换树脂，并开发了多种新的应用方法，离子交换技术迅速发展，在许多行业特别是高新科技产业和科研领域中广泛应用。国内外生产的树脂品种达数百种，年产量数十万吨。 离子交换纯水设备原理描述 离子交换是一种特殊的固体吸附过程，它是由离子交换剂的电解质溶液中进行的。一般的离子交换剂是一种不溶于水的固体颗粒状物质，即离子交换树脂。它能够从电解质溶液中吸取某种阳离子或者阴离子，而把自身所含的另外一种带相同电荷符号的离子等量地换出来，并释放到溶液中去，这就是所谓的离子交换。按照所交换离子的种类，离子交换剂可分为阳离子交换剂和阴离子交换剂两大类。 离子交换的基本工作原理是
1、首先电解质离子（钙、镁、铁、钠等离子）穿过液膜进入树脂表面； 2、离子进入树脂内部； 3、离子交换； 4、H离子或OH根离子向树脂外部扩散； 5、H离子或OH根离子进入水中形成H2O。双床又称复床，复床是用阳、阴两种不同的离子交换的交换器的串联方式，如强酸性阳离子交换树脂和强碱性阴离子交换树脂串联的方式。这种阳床和阴床串联组成的设备称为复床，水先经过阳床除去带正电的离子（如Ca2+、Mg2+、K+、Na+），并且置换出H+离子到水中；然后除去水中的阴性离子（如SO2-4、Cl-、HCO-3），并且置换出OH-离子到水中。同时，H+离子和OH-离子结合形成水H2O，从而达到去离子的作用。 混床工作原理 在同一个交换器中，将阴、阳离子交换树脂按照一定的体积比例进行填装，在均匀混合状态下，进行阴、阳离子交换，从而除去水中的盐分，称为混合床除盐处理。混合床的阴、阳离子交换树脂在交换过程中，由于是处于均匀混合状态，交错排列，互相接触，可以看作是由许许多多的阴、阳离子交换树脂而组成的多级式复床，可相当于1000～2000级。因为是均匀混合，所以，阴、阳离子的交换反应几乎是同时进行的，所产生的H+和OH-随即合成H2O，交换反应进行得很彻底，出水水质高。 系统结构流程前处理设备（多介质过滤设备、活性炭过滤设备）+离子交换设备=纯水 应用范围 发电厂、热电厂.给水循环冷却（凝结）.水化工、石化工艺用水.化工反应冷却用水 预处理 包括砂滤、多介质过滤、软化、加氯、调节pH、活性碳过滤、脱气等。过滤可除去1～20微米大小的颗粒，软化和调节pH可防止反渗透膜结垢，加氯是杀菌。活性碳过滤是除去有机物和自由氯，脱气是清除溶于水中的CO2等。 脱盐 包括电渗析、反渗透、离子交换。电渗析的原理是在外加直流电场作用下利用阳离子和阴离子交换膜对离子选择性透过，脱盐率可达95%以上。反渗透是渗透现象的逆过程，在浓溶液上加压力，使溶剂从浓溶液一侧通过半透膜向稀溶液一侧反向渗透，脱盐可达98%，
2t/h超纯水处理设备 设 计 方 案 2012年3月 目 录 一、公司简介 (2) 二、设计依据 (2) 三、设计范围及原则 (3) 四、出水水质及水量要求 (3)
五、简易工艺流程 (4) 六、系统工艺要求及说明 (4) 七、设备性能 (9) 八、售后服务承诺 (18) 九、系统配置清单 (19) 十、工程造价 ................................................... 错误！未定义书签。 一、公司简介 二、设计依据 1、根据地区性水质条件设定水质条件，根椐用户地区同类厂家的水质资料及用水量等基础资料进行设计。 2、工业用水软化除盐设计规范GB 109-87。 3、RO系统设计参照《给排水设计手册》及美国陶氏 公司RO膜元件技术手册。
4、系统排水按室外排水设计规范GBJ14-87。 5、建筑给排水设计规范GBJ15-88。 6、反渗透设备标准按《反渗透水处理设备标准》CJ/T119-2000。 7、电气装置安装工程电气设备按试验标准GB50150-91。 8、管道的设计按纯化水用水标准进行设计。 9、通用电器设备配电设计规范GB50055-93。 10、城市区域环境噪声标准GB3096—93； 11、电气安装工程盘柜及二次回路接线工程施工及验收规范GB50171-92 三、设计范围及原则 1、进入纯水站的水源为自来水，根据客户地区的水质情况，其变化系数K≤1.5，处理系统排放的浓废水可直接排入市政综合管网。 2、纯水处理设施具有较大的适应性、应急性，可以满足水质及水量的变化，并考虑在突发或事故状态下的各种应急用水。 3、采用工艺具有可靠性，运行稳定，运转费用低，管理维护量特别小，纯水系统采用集成电路控制,自动化程度高。 4、系统管道均采用UPVC管路。 5、系统处理过程中选用工作泵均为多级离心泵，具有启动及运转功率小，无死角，噪音低，工作稳定等特点。 6、本工程设计范围为接入纯水处理站的给水管道起纯水出口为止的整个处理工艺、基础、电气等各专业的设计。 四、出水水质及水量要求 1、设计规模 系统工程设计规模为2.0t/h。 2、出水水质要求 系统出水水量 小时设计产水量为2.0t/h 系统出水水质 在线监测5MΩ以上 系统产水温度 60C°-70C°
每小时1吨工业超纯水设备技术方案配置及报价 一、定义： 超纯水指水质要求在1us以下或在10M欧姆以上的纯水。超纯水可广泛用于光学行业、光电行业、生物制药行业、电镀行业及电厂锅炉补给用水。 二、使用设备： 超纯水可以用下述设备制取： 2.1 反渗透设备+混床 2.2反渗透设备+EDI 三、设备的标准流程： 3.1 反渗透设备+混床流程： 原水箱---原水泵----全自动过滤器----碳滤器----软水器-----反渗透主机----纯水箱----提升泵---混床---用水点 以产水量为1T/H的超纯水系统为例，设备详细配置如下。 1、原水箱1个 容积：0.5m3 材质：PE 规格：￠840*H1200mm 2、增压泵1台 型号：HJ-02-40 参数：Q=2.0m3/h，H=28.0m，N=0.55KW，电源380V/3ph/50HZ 材质：不锈钢 功能：供给系统稳定的过滤压力 数量：1台 产家：特种泵 3、精砂过滤器1套 规格：Φ330×1370 流量：Q=2.0t/h 工作压力：0.15-0.25Mpa 材质：玻璃纤维钢 填料：级配石英砂，锰砂，有效滤层大于0.8m 管阀：F56A多路阀控制系统 出水水质：浊度小于1 数量：一台 功能：去除水中的悬浮物，泥沙杂质，有效地降低水的浊度。 4、活性碳过滤器1套 规格：Φ330×1370 流量：Q=2.0t/h 工作压力：0.15-0.25Mpa 材质：玻璃纤维钢 填料：20-40目椰壳活性炭，有效滤层大于0.8m 管阀：F56A多路阀控制系统 出水水质：色度小于2 数量：一台 功能：吸附水中的异味，改善水的口感，有效地降低水的色度
超纯水机的反渗透和脱气技术介绍 超纯水机中反渗透是一种借助于选择透过(半透过)性膜的工 力能以压力为推动力的膜分离技术，膜孔径小至纳米级，过滤精度在0.0001微米。 当系统中所加的压力大于进水溶液渗透压时，水分子不断地透过膜，经过产水流道流入中心管，然后在一端流出水中的杂质，如离子、有机物、细菌、病毒等，被截留在膜的进水侧，然后在浓水出水端流出，从而达到分离净化目的。 净源反渗透设备的特点： 净源反渗透系列设备可根据客户不同产水量要求，适用于2540,4040，8040单只或多只(串联)膜芯形式。其具有以下特点： (1)选用美国或日本进口RO膜芯，具有截留精度高，使用寿命长等显著特点; (2)所有管件阀门都选用卫生级不锈钢材料和进口品牌的PVC管件，既卫生美观，又经久耐用; (3)设备装置按客户要求量身定做，每小时产水量可从几百公斤到几百吨不等， (4)压力、温度，电导率等仪表配置齐全，数据真实可靠;
(5)仪表及电气系统、电气元件、自动加药系统以选用高档进口品牌为主，保障设备运行安全、稳定、可靠; (6)整套系统装置为紧凑的框架结构，框架为全不锈钢材质，外形美观，结实耐用; (7)可按用户不同的水质要求，选择采用一级或二级反渗透串联形式。 反渗透的应用领域： ⒈制取电子工业生产如显像管玻壳、显像管、液晶显示器、线路板、计算机硬盘、集成电路芯片、单晶硅半导体等工艺所需的纯水、高纯水; ⒉制取热力、火力发电锅炉，厂矿企业中、低压锅炉给水所需软化水、除盐纯水; ⒊制取医药工业所需的医用大输液、注射剂、药剂、生化制品纯水、医用无菌水及人工肾透析用纯水等; ⒋制取饮料(含酒类)行业的饮用纯净水、蒸馏水、矿泉水，酒类酿造水和勾兑用纯水; ⒌海水、苦咸水制取生活用水及饮用水;
实验室超纯水设备简介 电子级超纯水设备出水水质完全符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、 10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。 对水质的要求： 新兴的光电材料生产、加工、清洗;LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏、高品质灯管显像管、微电子工业、FPC/PCB线路板、电路板、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高，这也对超纯水处理工艺及产品的简易性、自动化程度、生产的连续性、可持续性等提出了更加严格的要求。 超纯水制备工艺： 1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→ 用水对象(≥18MΩ.CM)(传统工艺) 2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(最新工艺) 3、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17MΩ.CM)(最新工艺)
4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象 (≥15MΩ.CM)(最新工艺) 5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象 (≥15MΩ.CM)(传统工艺)
超纯水系统 设 计 方 案 目录 一、设计条件及出水水质 3
二、设计基本资料 4 三、主要组件设备说明 5 四、工艺方案流程及说明11 五、调试及售后服务内容12 一、设计条件及出水水质 1.1 进水主要水质指标：东莞市自来水 1.2 用户对出水要求： 出水量：超纯水9吨/小时 出水水质：主机系统超纯水：电阻率≥18MΩ.㎝25℃； 出水温度：常温。 1.3水质检测：随机自带有电导率仪，出水电导率在线显示。
1.4 设备最终产水量：纯水10吨/小时25℃；超纯水9吨/小时25℃； 1.5系统总进水量：15m3/h； 1.6一级反渗透的回收率≥60%； 1.7第一级反渗透的浓水直接排放； 1.8 CEDI装置回收率：85～95%,浓水回收为RO系统原水。 1.9 控制方式：PLC自动&手动控制。 二、设计基本资料 2.1 设计依据 （1）《中华人民共和国环境保护法》 （2）《中华人民共和国水污染防治法》 （3）《给排水构筑物施工及验收规范》（GBJ125-1989） （4）《给排水管道工程施工及验收规范》（GB50268-1997） （5）《给排水工程结构设计规范》（GBJ69-1984） （6）《低压电器设计规范》（GB50054-1995） （7）《水处理设备制造技术条件》（JB|T2932-1999） （8）相关反渗透膜生产厂家所提供技术资料。。 2.2、设计原则 1．采用成熟、先进的工艺，运行可靠，操作简单方便。
2．对反渗透膜清洗系统目前的建设投资于今后的运行费用做综合技术经济分析，尽可能用最少的资金达到理想要求。 3．根据厂方的实际情况，采用先进设备，占地少，投资省，运行费用低，操作管理方便。 4. 对回收统总费用投入的增量与回收系统运行的可靠性及发生故障时对环境的危害性作综合技术经济分析，尽可能用最少的资金投入达到系统运行安全可靠，操作简单方便。 5. 认真执行国家经济建设方针、政策和国家现行的技术标准、规范，遵守法律、法规。 三、主要组件及设备说明
电子工业超纯水设备 主要用途： 微电子产品生产用高纯水，半导体、显象管制造业用超纯水，集成电路板生产清洗用超纯水，蓄电池、锂电池、太阳能电池、干电池等生产用水。 工艺流程一：反渗透+混床
工艺流程二：反渗透+EDI设备
化学化工高纯水设备 主要用途： 纺织印染造纸用水；化学试剂生产用水；精细化学药剂生产用水；日用化妆品生产用水等。工艺流程：
RO+EDI超纯水处理设备 我公司从事的反渗透和EDI技术，属当今世界上最先进的脱盐技术，在电子、医药等行业水质净化、清洗、水质纯化以及废水处理有着广泛的应用。例如，在电子工业方面，可以作为线路板清洗用超纯水的处理设备，与其它技术诸如电渗析、离子交换和蒸馏相比，具有能耗低、脱盐率高、除菌能力强和操作简单、维护方便的特点，大大节省了运行、维修成本。而且没有废水排放。反渗透和EDI技术，在当今已涉足了生产的众多领域。我们的JHH-EDI超纯水系列产品在众多电子厂、制药厂以及科研实验室使用效果非常好，实际运行成本仅为传统离子交换的65%左右。我公司愿意为广大客户提供最好的超纯水工艺和设备，为贵司减少生产成本和提高生产效率尽一份力！
EDI超纯水处理设备 EDI 系统 EDI是将电渗析技术和离子交换技术有机结合形成的一种新型除盐技术。可以有效的去除水中全部离子，出水电阻率可稳定在15MΩ.CM以上，连续运行、无化学污染、水的利用率高，在高纯水制备工艺上有着广阔的应用前景。 EDI 装置是应用在反渗透系统之后，取代传统的混合离子交换技术（MB-DI）生产稳定的去离子水。EDI技术与混合离子交换技术相比有如下优点: ①水质稳定 ②容易实现全自动控制 ③不会因再生而停机 ④不需化学再生 ⑤运行费用低 ⑥厂房面积小 ⑦无污水排放。 高纯水水处理技术的发展史： 第一阶段：预处理—— > 阳床——> 阴床——> 混合床 第二阶段：预处理—— > 反渗透——> 混合床
超纯水设备满足电子级超纯水制取 需求
根据相关统计数据，2019年全球人工智能芯片市场规模将达到110亿美元。随着人工智能技术的成熟和数字基础设施的不断完善，人工智能芯片市场也迎来了快速增长期。预计2025年全球人工智能芯片市场将达到726亿美元。 2020年光电子产业博览于2020年11月30日-12月2日在北京国家会议中心举办。本届博览会覆盖光电子领域全产业链，聚焦行业应用，为制造商提供新思路及解决方案，终端买家精准对接，近年来，由于芯片制程对设计规则之需求朝更精密更细小的趋势发展，因而对行业用水的水质要求也越趋严格，在此背景下，莱特莱德超纯水设备已经成为行业用水新“潮流”。 超纯水设备通常由石英砂过滤器，活性碳过滤器，阻垢剂、精密过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人值守，使该设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。 超纯水设备工艺流程 自来水进入原水箱，通过原水泵增压，经砂滤器、炭滤器、阻垢剂加药、保安过滤器，到达反渗透单元，经两级反渗透过滤进入EDI
单元，抛光混床单元，EDI出水进入纯水水箱，此时水质的电阻率是15兆欧，经过抛光混床后，产水电阻率达到18兆欧，但是不进入水箱，直接进入用水点。因为水箱中若出现产水滞留，会影响产水水质。纯水供水设计为循环方式，经纯水供水泵增压，通过紫外线消毒器、抛光混床接入纯水供水管，到达使用点。 AI芯片经过数年的探索，已经开始在多个市场应用中初露锋芒。在这个过程当中，AI芯片发展的挑战和技术方向也逐渐明晰了起来。莱特莱德超纯水设备能连续稳定地制备出高质量的超纯水，不会因树脂再生而停止运行。设备的结构设计比较紧凑，占地面积很小，可以为企业节省大量空间。设备出厂前需要进行检验，设备故障概率小，日常维护和维修操作非常简单。
简述工业纯水设备工艺流程及应用分析 工业纯水设备一套完整的水处理系统由预处理系统、精处理系统、后处理系统三大部分组成。工业纯水设备使原水经PP滤芯、活性炭单元、软水器单元等预处理系统后，使水中的悬浮物、胶体、有机物、硬度、微生物等杂质含量大大降低，以减轻后续的反渗透、电除盐等精处理系统的处理负荷，延长其使用寿命。 工业纯水设备材质：聚丙烯热熔纤维滤芯。 工业纯水设备特性：10μm滤孔能截留水中的颗粒物质(如自来水中常有的泥沙、铁锈)，降低浊度，但不能滤除细菌和离子物质。 工业纯水设备规格：10寸(250㎜)/20寸(500㎜)。 活性炭单元 活性炭的比表面积很大，且布满了孔径极小(10～30埃)的微孔，对有机物胶体、余氯、铁离子等有明显的吸附滤除作用。台式纯水机、净水器等常用10寸/20寸活性炭滤芯。大型纯水机组常用玻璃钢/不锈钢材质的活性炭滤罐。 工业纯水设备工业纯水设备软水器单元
大中型纯水系统常使用全自动软水器以除去原水中的钙镁离子。全自动软水器由钠离子树脂罐、再生盐箱及多路控制阀组成，能够设定程序控制运行，自动再生(时间型/流量型两种控制方式)，再生时利用虹吸原理吸盐，再注水化盐，再生时间通常为2小时。 工业纯水设备工艺流程： 流程一： 自来水——活性炭过滤器——阳床——除碳器——阴床——(混床)可选 流程二： 自来水——砂过滤——炭过滤——软化树脂——保安过滤——RO膜过滤——中间水池——混床 流程三： 自来水——砂过滤——炭过滤——软化树脂——保安过滤——RO膜过滤——中间水池——EDI电除盐系统——后置过滤工业纯水设备常规工业纯水设备技术参数：
500L/H超纯水设备方案 书 （双级RO+EDI） （采用美国反渗透膜原件） （编号：SD-1100707） 三达水（北京）科技有限公司 2019年10月5日 公司简介 三达水（北京）科技有限公司，是一家专业从事软化水、纯水、超纯水、污水处理技术开发、制造、营销和服务于一体的高科技实体。致力水环保领域的工程承包、项目运营及环保技术、产品的研发、制造。业务领域涉及给水处理、污水处理、生活小区水环境规划、工业废水处理、工业用水处理。以自己的核心技术和市场开拓能力为依托，充分利用社会资源，推动水环保事业的发展。公司聚科、工、贸于一体，为各类客户群提供专业的、全面的、集中的服务。 三达公司以人为本，以用为本，竭诚提供优质新型的水处理设备。拥有先进的水处理技术、可编程全自动水处理设备及相关设备；
拥有合理的工艺流程和计算机辅助管理软件为支撑的专利技术解决方案；完善的服务体系、专业精良的服务队伍及通畅的渠道，在方案提供设计、项目设计、工程施工、项目运营等方面为用户提供全方位的服务。 三达公司凭着优质的性能和服务，在市场上建立了良好的口碑。我公司愿和各界人士携手同道，永续共荣。 一、设计基础 1.1本方案涉及的流程及设备是为了满足：贵公司生产工艺用水项目，要求 如下： 1.1.1产水用途：结晶提纯用水 1.1.2系统总进水量：预处理：1. 5m3/hr 1.1.3系统出力：一级RO纯水处理：0.8m3/hr；回收率：60%； 二级RO纯水处理：0.6m3/hr；回收率：75%； 25%的浓水回流至一级RO纯水系统 EDI纯水处理：0.5m3/hr；回收率: 90%； 10%的浓水回流至二级RO纯水系统 1.1.4终端产水水质：EDI电阻率：≥15MΩ.CM 1.1.5运行方式：自动运行（并具备手动操作功能）。 1.1.6供水方式：连续产出（24小时运行）。 1.2本方案主要依据如下： 1.2.1原水水源：自来水 1.2.2原水设计温度：6℃ 1.2.3原水水质分析：用户提供的原水水样（水质分析报告见附件）。 1.2.4设计界线：原水箱装置进口至成品水箱出口（详见控制点的工艺流 程图）。 1.2.5其他涉及的设计基础条件将在技术讨论中确定。 1.3系统对外界要求：
半导体生产用EDI超纯水设备技术工艺介 绍 2019年8月27日
半导体行业的生产对水质要求非常严格，半导体生产用超纯水设备采用先进制水技术，保证设备出水水质符合行业用水需求。 半导体行业用超纯水设备工艺 预处理→UF系统→一级反渗透→PH调节→级间水箱→二级反渗透→中间水箱→中间水泵→紫外线杀菌器→微孔过滤器→EDI装置→氮封水箱→增压水泵→抛光混床→循环增压泵→用水对象(≥18MΩ.CM) 半导体的生产过程中，涉及到的用水有生产用水和清洗用水。它的用水要求必须是超纯水，因为只有超纯水才能符合水质的标准，因此半导体生产用超纯水设备起到重要作用，已经得到广泛认可。下面莱特莱德小编来为大家分享半导体生产用超纯水设备工艺流程： 原水箱→原水泵→全自动多介质过滤器→全自动活性炭过滤器→还原剂加药装置→全自动软化过滤器→保安过滤器→一级高压泵→一级反渗透系统→一级RO水箱→PH调节装置→二级高压泵→二级反渗透系统→二级RO纯水箱→EDI增压泵→UV杀菌器→脱气膜→精密过滤器→EDI装置→EDI纯水箱→纯水泵→抛光混床→0.22u膜过滤器→生产线用水点半导体生产用超纯水设备工作原理 超纯水装置供给原水进入EDI系统，主要部分流入树脂/膜内部，而另一部分沿膜板外侧流动，以洗去透出膜外的离子，树脂截留水中的容存离子，被截留的离子在电极作用下，阴离子向正极方向运动，阳离子向负极方向运动，阳离子透过阳离子膜，排出树脂/膜之外，阴离子透过阴离子膜，排出树脂/膜之外，浓缩了的离子从废水流路中排出，无离子水从树脂/膜内流出。 半导体生产用超纯水备工艺 1、预处理-反渗透-水箱-阳床-阴床-混合床-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-精密过滤器-用水对象 2、预处理-一级反渗透-加药机(PH调节)-中间水箱-第二级反渗透-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象 3、预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm 精密过滤器-用水对象 4、预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制抛光混床-TOC分解器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象(新工艺)