1.目的:
1.1编拟本静电防护外围环境设施检测办法是要以一有系统之管制方式,以求
达到本厂静电防护设备之完善管理检测系统.
1.2避免经过长时间使用,防护设备或材料由于自然或人为之破坏以致丧失其
ESD作用.
2.范围:
适用于XX电子有限公司,保护ESD敏感性电子组件及产品所使用的所有相关材料.
3.权责:
3.1工程部:负责制订静电防护外围设施材料检测规范.
3.2各相关部门:依循静电防护外围设施材料检测办法实施,及相关资料归档.
4.参考文件:
4.1 ANSI/EIA-625
4.2 ANSI/ESD S20.20-1999
5.定义及相关朮语:
5.1 ESD(Electrostatic Discharge):静电放电
5.2 EOS(Electrical Over Stress):电压过应力
5.3CGP(Common Ground Point)共同接地点
5.4 EPA(ESD Protected Area)静电防护区
6 流程图:
6.1 无.
7 内容
7.1.导电地板测试
Floor Materials test spec:
Resistance to Ground point : 104Ω~ 106Ω
Resistance top to top :104Ω~ 106Ω
测试仪器:数显式双锤表面阻抗测试器(测试电压:10V)
7.1.1测试方法
7.1.1.1将表面阻抗测试仪拨至10伏檔位.
7.1.1.2用潮湿的抹布将地面和双锤擦拭干凈.
7.1.1.3连接表面阻抗测试仪,分别将双锤放在地板上或一端放在地板上
另一端接接地测试点.(注意两测试点的距离不可超过90cm)
7.1.1.4按住测试键(约3秒)后,读取仪器上所显示的数值.
7.1.2作业规范
7.1.2.1平均每1000平方英尺必须有壹个测试点.
7.1.2.2地板检测及清洗周期为每30天1次.
7.1.2.3地板清洗时需先用洗地机将地板澈底洗干净,再进行打腊将地板
表面恢复原貌及光亮的最佳方式,打腊后的地板须经ESD检测合格
方可.
7.2 ESD接地系统量测
ESD Common Ground test spec:
ESD Ground Resistance:R > 10 Ω
测试仪器: MK-8406 数显Ground System Monitor
7.2.1测试方法
7.2.1.1插上电源,按下极性选择开关,此时极性灯亮方可测试,否则表示
接线极性错误.
7.2.1.2开启主机电源,此时屏幕显示OPEN FAIL字样,且有警报声伴随.
7.2.1.3插入测试线,并将测试末端之鳄鱼夹夹在欲测的接地在线.
7.2.1.4警报声随即停止,此时屏幕显示出测试值及OK字样.
7.2.2作业规范
7.2.2.1生产线ESD工作站变更时,变更产线之部门应及时通知部门ESD负
责人对其重新检测;否则后果由变更部门负责.
7.2.2.2 ESD接地系统检测周期为每30天1次.
7.3 设备接地系统量测
Device Ground test spec:
Device Ground Resistance:R > 10Ω
测试仪器: MK-8406 数显Ground System Monitor
7.3.1测试方法
7.3.1.1插上电源,按下极性选择开关,此时极性灯亮方可测试,否则表示
接线极性错误.
7.3.1.2开启主机电源,此时屏幕显视OPEN FAIL字样,且有警报声伴随.
7.3.1.3插入测试线,并将测试末端之鳄鱼夹夹在欲测试的机器外壳上
7.3.1.4警报声随即停止,此时屏幕显示出测试值及OK字样.
7.3.2作业规范
7.3.2.1生产线的设备变更时,变更产线之部门应及时通知部门ESD负责
人对其重新检测;否则后果由变更部门负责.
7.3.2.2 设备接地检测周期为每30天1次.
7.4 静电衣帽测试
Antistatic Smock test spec:
Resistance Antistatic Smock top :106Ω ~ 109Ω
测试仪器: 数显式双锤表面阻抗测试器(测试电压:100V)
7.4.1测试方式
7.4.1.1将表面阻抗测试仪拨之100伏檔位.
7.4.1.2用潮湿的抹布将铅锤擦拭干凈.
7.4.1.3连接表面阻抗测试仪,将衣服展开平放于普通绝缘桌面上.
7.4.1.4分别将双锤放在衣服的两个袖口除处(注意两锤间的距离保持在
90cm内).
7.4.1.5按住测试键(约3秒)后,读取仪器上所显示的数值.
7.4.2验收规范
7.4.2.1静电衣帽验收标准值为106Ω~109Ω.
7.4.2.2静电衣帽验收量为5%(含100件内);验收时出现0.5%不良时应及
时给予判退货.
7.4.2.3在线作业员静电衣检测周期为每30天1次.
7.5导电车测试
Conductive Racks Mats test spec:
Resistance Conductive Racks Mats top :104Ω ~ 109Ω
测试仪器: 数显式双锤表面阻抗测试器(测试电压:100V)
7.5.1 测试方式
7.5.1.1将表面阻抗测试仪拨之100伏檔位.
7.5.1.2用潮湿的抹布将车子表面和铅锤擦拭干凈.7.5.1.3连接表面阻抗
测试仪,分别将双锤一端放在车子上另一端放在导电地板上.(注
意两测试点的距离不可超过30cm)
7.5.1.4按住测试键(约5秒)后,读取仪器上所显示的数值.
7.5.2作业规范
7.5.2.1导电车必须在规定的日期内按控管标签准时检测检测,否则后果
由使用部门负责.
7.5.2.2导电车的导电轮必须每30天清洗1次.
7.5.2.3导电车检测周期为每30天1次.
7.6 导电桌垫测试
Conductive Table test spec:
Resistance Table top :106Ω ~ 109Ω
测试仪器: 数显式双锤表面阻抗测试器(测试电压:100V)
7.6.1测试方法
7.6.1.1将表面阻抗测试仪拨之100伏檔位.
7.6.1.2用潮湿的抹布将桌垫表面和铅锤擦拭干凈.
7.6.1.3接表面阻抗测试仪,分别将双锤放在桌垫上或一端放在桌垫上另
一端接ESD接地点.(注意两测试点的距离不可超过90cm)
7.6.1.4按住测试键(约5秒)后,读取仪器上所显示的数值.
7.6.2作业规范
7.6.2.1桌垫检测周期为每个月1次.
7.6.2.2导电桌垫必须经1MΩ的电阻接地,且每日上班前要对其进行清洁.
7.6.2.3工作台或流水线之桌垫在2米内必须有一接地线接地.
7.7 导电容器(料盒,导电箱)的测试
Antistatic Container test spec:
Resistance Container top :104Ω ~ 106Ω
测试仪器:简易型表面阻抗测试仪
7.7.1测试方法
7.7.1.1用潮湿的抹布将待测物体擦拭干凈.
7.7.1.2将表面阻抗测试仪放置与待测物体上(注意:测试仪背面导电轨
要与被测物体充分接触).
7.7.1.3按下面板上的TEST键,读取LED灯亮处所显示的值.
7.7.2作业规范
7.7.2.1 所有物料在ESD防护区内必须做好静电防护动作.(如:包装或储
存时使用静电屏蔽袋,翠盘,真空包装袋,静电泡棉;运输时使用
静电箱,导电料盒,导电车;维修及作业时使用导电毛刷,防静电
溶剂瓶,导电镊子,防静电套板).
7.7.2.2 所有容易产生静电的物料或绝缘材质必须使用离子风扇.
7.8其它静电产品的测试
屏蔽袋: 109
Ω ~ 10
11
Ω泡棉: 10
9
Ω ~ 10
11
Ω
输送带: 109
Ω ~ 10
11
Ω毛刷: 10
4
Ω ~ 10
6
Ω
镊子: 104
Ω ~ 10
6
Ω溶剂瓶: 10
9
Ω ~ 10
11
Ω
手套: 106
Ω ~ 10
9
Ω瓦楞纸: 10
4
Ω ~ 10
6
Ω
测试仪器:简易型表面阻抗测试仪
7.8.1测试方法
7.8.1.1用潮湿的抹布将待测物体擦拭干凈.
7.8.1.2将表面阻抗测试仪放置待测物体上(注意:测试仪背面的导电轨
要与被测物体充分接触).
7.8.1.3按下面板上的TEST键,读取LED灯亮处所显示的值.
7.8.2作业规范
7.8.2.1 ESD防护区外严禁使用不防静电和静电放电物质来贮存(普通塑
料袋,塑料盒,普通泡棉)所有容易产生静电或静电放电的物品(如:
塑料袋,梳子)未经ESD人员确认严禁带入ESD防护区内.
7.8.2.2 ESD防护区外物料包装或储存时使用静电屏蔽袋,真空包装袋;
运输时使用静电箱,导电料盒,导电车.
7.9 各设备的EOS测试(烙铁头、输送带、屏幕接头、电动起子)
7.9.1测试方法
7.9.1.1取三用电表将指针播到AC250V以上檔位.
7.9.1.2将红棒接到待测设备外壳.
7.9.1.3黑棒分别接触电源接座的基准线孔、大地孔及ESD接地线.
7.9.1.4得到三个数值,记录于EOS检查记录表.
基准线大地孔 ESD接地线
正常数值应小5.5V(如果
正常数值应小于0.3V 正常数值应小于0.3V 大于标准值既为漏电，原因
是大地孔未接地)
7.9.2作业规范
7.9.2.1每日上班前各线全能员必须对其在线治﹑工具及进行EOS检测,
并认真填写记录.
7.9.2.2 领班在线检测过程如有发现漏电时应及时反应给部门负责人.
7.10静电手环(脚环)检验.
7.10.1测试方法
7.10.1.1将有线静电环内部金属片紧贴检验者手腕上,
7.10.1.2静电环鳄鱼夹子与静电仪夹子相交(手不要触碰夹子相结处,以
免测试不准确)
7.10.1.3另一只手按下“PRESS HERE”检测结果如下:
中间绿灯亮(GOOD)且有响声：静电环回路检测正常
左边红灯亮(HIGH)：静电环阻抗偏高
右边红灯亮(LOW)：静电环阻抗偏低
7.10.2 作业规范
7.10.2.1静电手环的佩戴和检测时内部金属片必须紧贴皮肤.
7.10.2.2静电环在作业当中严禁擅自借给他人使用.
7.10.2.3每次检测前,请先用800Kohm和10Mohm标准电阻件对其静电环
测试仪进行验证.
7.11导电鞋检验.
7.11.1测试方法
7.11.1.1先将两脚站于踏板上,按下测试按钮.
7.11.1.2亮绿灯(PASS)时,表示导电鞋良好.
7.11.1.3亮红灯(HI-FAIL)或红灯(LOW-FAIL)时,表示导电鞋不良应立即
更换.
HI FAIL: R＞35MΩ PASS: 750KΩ≦R≦35MΩ LO FAIL:R＜750KΩ
7.11.2 作业规范
7.11.2.1导电鞋检测时,请勿将鞋子湿水,以免测试不准确.
7.11.2.2所有人员(包括来宾)进入EPA生产车间时必须做导电鞋检测,
否则严禁入内.
7.11.2.3导电鞋检测时严禁代替他人做测试记录.
7.12各设施材料静电压的测试
测试仪器: 静电压测试仪
7.12.1测试方法:
7.12.1.1将电源打开后按着测试键测试大气静电压后,转动归零旋扭将
静电压归零.
7.12.1.2按着测试键将测试光源对准待测面,看到两点圆形光源.
7.12.1.3摩擦待测物体,同时将测试仪缓慢接近测试面.
7.12.1.4当两点圆形光将重合读取液晶显示之KV/INCH值.
8.0 参考文件、附件及编号
8.1静电防护标准:EIA-625