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MEMS作业答案

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作业2

1、正型和负型光刻胶具有什么样的特点?

正型光刻胶,其未感光部分能被适当的溶剂溶除,而感光部分则留下,所得的图形与光刻掩模图形相反,有较高的固有分辨力(1μm,甚至更小)、较强的抗干法腐蚀能力和抗热处理能力。负型光刻胶,其感光部分能被适当的溶剂溶除而留下未感光的部分,所得的图形与光刻掩模图形相同,有较强的粘附性和较强的抗湿法腐蚀能力,而且成本低。

2、腐蚀和剥离工艺对光刻工艺的要求有什么不同,试画图说明?

剥离工艺是一些特殊工艺中形成图形的比较简单的物理方法,优点是可以使用多种材料组合,允许多层金属蒸发,允许腐蚀较困难的多层金属布线,避免了因干法和湿法腐蚀带来钻蚀(undercut)和腐蚀问题。剥离工艺注重的是光刻胶所形成的形貌,它是剥离工艺的关键(如图1)。光刻胶经过特殊处理后形成适合剥离的光刻胶的形貌图。

3、淀积和外延有什么区别?为什么外延出的是单晶,淀积出的是多晶?对基底、设备环境要求如何?

作业3

1、结合淀积和外延的区别说明清洗工艺的重要性。(例,淀积SiO2与外延硅)

作业4

从加工尺度,使用材料丶核心工艺等角度简述体硅工艺和表面工艺的各自特点区别

国外MEMS发展大致状况介绍 Microsoft Office Word 97 - 2003 文档

1.1 MEMS概况 1.1.1 MEMS的定义 MEMS是微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)的英文缩写。MEMS是美国的叫法,在日本被称为微机械,在欧洲被称为微系统,它是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的,目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域,从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分,它是在融合多种微细加工技术,并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。 MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业,采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。MEMS技术正发展成为一个巨大的产业,就象近20年来微电子产业和计算机产业给人类带来的巨大变化一样,MEMS也正在孕育一场深刻的技术变革并对人类社会产生新一轮的影响。目前MEMS市场的主导产品为压力传感器、加速度计、微陀螺仪、墨水喷咀和硬盘驱动头等。大多数工业观察家预测,未来5年MEMS器件的销售额将呈迅速增长之势,年平均增加率约为18%,因此对对机械电子工程、精密机械及仪器、半导体物理等学科的发展提供了极好的机遇和严峻的挑战。 微机电系统MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)是一种全新的必须同时考虑多种物理场混合作用的研发领域,相对于传统的机械,它们的尺寸更小,最大的不超过一个厘米,甚至仅仅为几个微米,其厚度就更加微小。采用以硅为主的材料,电气性能优良,硅材料的强度、硬度和杨氏模量与铁相当,密度与铝类似,热传导率接近钼和钨。采用与集成电路(IC)类似的生成技术,可大量利用IC生产中的成熟技术、工艺,进行大批量、低成本生产,使性价比相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。完整的MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通讯接口和电源等部件组成的一体化的微型器件系统。其目标是把信息的获取、处理和执行集成在一起,组成具有多功能的微型系统,集成于大尺寸系统中,从而大幅度地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。 1.1.2 MEMS的相关技术主要有以下几种: 1.微系统设计技术主要是微结构设计数据库、有限元和边界分析、CAD/CAM仿真和模拟技术、微系统建模等,还有微小型化的尺寸效应和微小

2018年清华大学核研院硕士复试名单

2018年清华大学核研院统考硕士生复试工作安排 一、复试分数线与复试名单 复试名单发布方式:1.通过清华大学研究生招生网查询;2.电子邮件通知。 二、复试安排 (1)资格审查 时间:2018年3月16日(周五)上午8:30-9:30。 地点:清华大学能科楼A座113室。 相关细则见清华大学研究生招生网《2018年硕士研究生招生复试和录取工作的有关规定》。所提交材料恕不退还。 对提供成绩单的补充要求:已获得毕业证书的考生的成绩单,应为大学四年完整成绩单(包含毕业设计成绩);应届考生的成绩单,应包含前7个学期的全部成绩。 凡未进行资格审查或资格审查未通过的考生一律不予录取。(2)复试面试 时间:2018年3月19日(周一)全天。 地点:清华大学能科楼。 面试顺序及具体考场安排将于资格审查时通知。 面试时携带初试准考证及身份证。并请考生自带9份资料,每份材料包括:本科时期成绩单复印件(必需)、一页的个人自述(必需)、其他材料如学术论文、获奖证书复印件等(自愿)。所提交材料恕不退还。

(3)复试笔试 于2018年3月16日进行,具体时间、地点另行通知,请及时关注个人电子邮箱。 (4)缴纳复试费 见清华大学研究生招生网《2018年硕士研究生招生复试和录取工作的有关规定》。在复试前完成缴费。 三、总成绩计算办法(按满分1000分计) 总成绩按照满分1000分计算,具体计算办法是:总成绩=初试成绩+复试笔试成绩+复试面试成绩。初试总分按500分计算,复试笔试总分按100分计算,复试面试总分按400分计算。复试面试成绩由面试小组成员分别按满分100分打分,平均分*4为考生的复试面试成绩。 录取原则:按不同专业进行总成绩的排序,在同一专业内从高至低择优录取。 四、体检等通知见清华大学研究生招生网 所有考生均需要参加体检。 参加复试考生名单(含调剂)

MEMS技术基本术语词汇

MEMS Technology Basic MEMS Terminology Acceleration: Acceleration is the change in linear velocity. Accelerometer: An accelerometer is a sensor that measures acceleration. Analog Output Sensor: An analog output sensor provides a voltage that is proportional to its input stimulus. Digital Output Sensor: A digital output sensor provides a discrete binary code that is proportional to its input stimulus. Angular Acceleration: Angular acceleration is the rate of change of angular velocity over time. Angular Velocity: Angular velocity is the rate of change of angular displacement with respect to time. Angular Displacement: Angular displacement is the relative change in angular position. Coriolis Force: When an object is moving in a periodic fashion (either oscillating or rotating), rotating the object in an orthogonal plane to its periodic motion causes a translational force in the other orthogonal direction. Gyroscopes measure angular rate by measuring the Coriolis Force generated when an internal vibrating mass is rotated. Dead Reckoning: Dead Reckoning is a method of determining position using a combination of previous position, direction, and acceleration. A gyroscope can be used to measure rate of rotation, which is integrated once to obtain heading information. An accelerometer can be used to measure acceleration, which is integrated twice to obtain distance traveled.

2018年清华大学核能与核技术工程考研(085226)考试科目、参考书目、复习经验---新祥旭考研

2018年清华大学核能与核技术工程考研(085226)考试科目、参考书目、 复习经验 一、招生信息 所属学院:工程物理系 所属门类代码、名称:工学[08] 所属一级学科代码、名称:工程硕士[0852] 二、研究方向 01(全日制)核能与核技术工程 02(非全日制)核能与核技术工程 三、考试科目 1、初试考试科目: ①101思想政治理论 ②201英语一 ③301数学一 ④836普通物理(力学、热学、电磁学、光学、近代物理) 2、复试考试科目: 复试专业综合考试内容:热工基础、力学基础、核物理、辐射防护、信号与系统五选一。 四、参考书目 《大学物理》一、二、三册清华大学出版社(第二版)张三慧 五、复习指导 一、参考书的阅读方法 (1)目录法:先通读各本参考书的目录,对于知识体系有着初步了解,了解书的内在逻辑结构,然后再去深入研读书的内容。 (2)体系法:为自己所学的知识建立起框架,否则知识内容浩繁,容易遗忘,最好能够闭上眼睛的时候,眼前出现完整的知识体系。

(3)问题法:将自己所学的知识总结成问题写出来,每章的主标题和副标题都是很好的出题素材。尽可能把所有的知识要点都能够整理成问题。 二、学习笔记的整理方法 (1)第一遍学习教材的时候,做笔记主要是归纳主要内容,最好可以整理出知识框架记到笔记本上,同时记下重要知识点,如假设条件,公式,结论,缺陷等。记笔记的过程可以强迫自己对所学内容进行整理,并用自己的语言表达出来,有效地加深印象。第一遍学习记笔记的工作量较大可能影响复习进度,但是切记第一遍学习要夯实基础,不能一味地追求速度。第一遍要以稳、细为主,而记笔记能够帮助考生有效地达到以上两个要求。并且在后期逐步脱离教材以后,笔记是一个很方便携带的知识宝典,可以方便随时查阅相关的知识点。 (2)第一遍的学习笔记和书本知识比较相近,且以基本知识点为主。第二遍学习的时候可以结合第一遍的笔记查漏补缺,记下自己生疏的或者是任何觉得重要的知识点。再到后期做题的时候注意记下典型题目和错题。 (3)做笔记要注意分类和编排,便于查询。可以在不同的阶段使用大小合适的不同的笔记本。也可以使用统一的笔记本但是要注意各项内容不要混杂在以前,不利于以后的查阅。同时注意编好页码等序号。另外注意每隔一定时间对于在此期间自己所做的笔记进行相应的复印备份,以防原件丢失。统一的参考书书店可以买到,但是笔记是独一无二的,笔记是整个复习过程的心血所得,一定要好好保管。

清华考博辅导:清华大学核能与新能源技术研究院考博难度解析经验分享

清华考博辅导:核能与新能源技术研究院考博难度解析及经验分享清华大学核能与新能源技术研究院2019 年博士研究生招生实行“申请―审核”制,符合《清华大学2019 年招收攻读博士学位研究生简章》中报考条件的申请人提交相关材料,依据考生申请材料的综合评价结果确定差额综合考核名单,经综合考核后择优推荐拟录取。强军计划、少数民族骨干计划、论文博士等采取相同的办法同时进行。 一、院系简介 核研院筹建于1958年,始建于1960年1月。早期称清华大学原子能基地,1962年起名为清华大学试验化工厂(简称试化厂)。1979年3月经学校批准更名为核能技术研究所(简称核能所)。1990年11月10日,经国家教委批准更名为核能技术设计研究院(简称核研院)。2003年9月经清华大学2003-2004学年度第1次校务会议讨论通过,更名为核能与新能源技术研究院(简称核研院)。更名后原有设计院资质保留,名称仍为“清华大学核能技术设计研究院”。核研院俗称“200号”,这是屏蔽试验反应堆最初在校内基建项目的编号。 1964年,清华大学有关专业师生在此建成了自行设计的屏蔽试验反应堆,完成了动力堆屏蔽实验,此后又与有关部门合作,完成了溶剂萃取法核燃料后处理新技术研究,为我国核能事业做出了重要贡献。 1989年11月,核研院设计建设的5兆瓦低温核供热试验反应堆建成并运行成功,它是世界上首座投入运行的“一体化自然循环壳式供热堆”,也是世界上第一座采用新型水力驱动控制棒的反应堆,至今已完成了核能热电联供、低温制冷和海水淡化等一系列试验。目前我国第一座200兆瓦低温核供热工业示范堆的设计工作,已被国家批准立项由核研院承担。 核研院负责承担的国家863高技术研究与发展计划项目10兆瓦高温气冷实验反应堆,于1995年6月开始动工兴建,2000年12月建成达到临界,2003年1月实现满功率并网发电。模块式球床高温气冷堆被国际核电界公认为21世纪新型核电站的首选堆型之一。这座先进反应堆的建成,使我国成为世界上为数不多的掌握了高温气冷堆技术的国家之一。 近年来,核研院研究成功了国际领先的分离高放废液的中国“TRPO流程”和国际首创的“钴60集装箱检测系统”,受到国内外专家的高度评价。 40多年来,核研院完成了几十项国家重点科研任务,取得了一批重要科研成果。有160项成果获部委级科技成果奖,18项成果获国家级奖,139项专利获权。1990年12月,核研院荣获国家教委、国家科委命名的“全国高等学校科技工作先进集体”称号。1992年4月,

2018年清华大学核研院核科学与技术考研科目、参考书目、复习经验-新祥旭考研辅导学校

2018年清华大学核研院核科学与技术考研科目、参考书目、复习经验考试科目: 参考书目: 836普通物理(力学、热学、电磁学、光学、近代物理) 《大学物理》一、二、三册清华大学出版社(第二版)张三慧 838材料科学基础-物理化学 《材料科学基础》清华大学出版社,1998 潘金生,仝建民,田民波 《物理化学(上,下册)》高等教育出版社,1990 傅献彩等 《无机材料科学基础(硅酸盐物理化学)》武汉工业大学出版社,1996 陆佩文 839材料科学基础-固体物理 《材料科学基础》清华大学出版社,1998 潘金生,仝建民,田民波 《固体物理》清华大学出版社,2003 韦丹 《固体物理学》高等教育出版社,1988 黄昆 815化学 《现代化学基础》高等教育出版社胡忠鲠 《大学化学》高等教育出版社傅献彩

学习经验分享 一、参考书的阅读方法 (1)目录法:先通读各本参考书的目录,对于知识体系有着初步了解,了解书的内在逻辑结构,然后再去深入研读书的内容。 (2)体系法:为自己所学的知识建立起框架,否则知识内容浩繁,容易遗忘,最好能够闭上眼睛的时候,眼前出现完整的知识体系。 (3)问题法:将自己所学的知识总结成问题写出来,每章的主标题和副标题都是很好的出题素材。尽可能把所有的知识要点都能够整理成问题。 二、学习笔记的整理方法 (1)第一遍学习教材的时候,做笔记主要是归纳主要内容,最好可以整理出知识框架记到笔记本上,同时记下重要知识点,如假设条件,公式,结论,缺陷等。记笔记的过程可以强迫自己对所学内容进行整理,并用自己的语言表达出来,有效地加深印象。第一遍学习记笔记的工作量较大可能影响复习进度,但是切记第一遍学习要夯实基础,不能一味地追求速度。第一遍要以稳、细为主,而记笔记能够帮助考生有效地达到以上两个要求。并且在后期逐步脱离教材以后,笔记是一个很方便携带的知识宝典,可以方便随时查阅相关的知识点。 (2)第一遍的学习笔记和书本知识比较相近,且以基本知识点为主。第二遍学习的时候可以结合第一遍的笔记查漏补缺,记下自己生疏的或者是任何觉得重要的知识点。再到后期做题的时候注意记下典型题目和错题。 (3)做笔记要注意分类和编排,便于查询。可以在不同的阶段使用大小合适的不同的笔记本。也可以使用统一的笔记本但是要注意各项内容不要混杂在以前,不利于以后的查阅。同时注意编好页码等序号。另外注意每隔一定时间对于在此期间自己所做的笔记进行相应的复印备份,以防原件丢失。统一的参考书书店可以买到,但是笔记是独一无二的,笔记是整个复习过程的心血所得,一定要好好保管。

2018年清华大学核能与新能源技术研究院考研复试经验分享【盛世清北】

2018年清华大学核能与新能源技术研究院考研复试经验分享 【盛世清北】 摘要:距离2019年考研结束时间仅有月余,如果能在初试中成功,便意味着你有机会实现人生目标。但这仅仅本阶段的一个成功,想要完成人生中的质的飞跃,还需要在考研复试中脱颖而出,在此,盛世清北为大家准备了考研复试经验分享,希望对大家有所帮助。 是不是初试的高分就一定意味着面试时绝对的优势?对于这个问题没有一个确切的统计,但是很多事实告诉我们:许多高分的同学因为复试面试表现不佳,不得不考虑调剂,而分数“擦边”的学生却找到了很好的导师。其实,像这样的事情每年都会发生,已经不再是传奇 在初试中取得高分的同学,意味着其在理论知识与智力素质方面比很多人都具有优势,但与所有上线的同学相比,却不具有本质的差别。面试主要考查的是学生的灵活性、逻辑性、应变性等整体素质,所以不论初试成绩是高是低,考生都应该以平和地心态去认真准备。分数高的考生应该戒除自傲心理,沉着应战。分数低的考生则更应学会冷静地分析形势,从容备战。事实上,从确定复试分数线的那一刻开始,所有上线的考生都处在同一条起跑线上,成功或淘汰的几率几乎是相同的。所谓“在机会面前,人人都是平等”,如果你上了录取线,不论分数高低,都需要调整好心态,不骄不躁,不卑不亢,认真应对。 考研复试要是遇到冷场怎么办?遇到冷场的话肯定会对老师的印象有所影响。所以还是先来看看有关应对考研冷场的锦囊妙计。 1、防患于未然 第一,面试前一定要对可能问及的知识进行准备,形成答题的固定模式,做到反复记忆。特别是那些基本已经确定的固定内容,必须做到烂熟于胸。 第二,对面试时可能会出现的各种情况,做到提前预估,比如考官追问,考官故意“冷场”等,做好应对方案,在熟记知识的基础上,对答题技巧反复练习。 第三,要在考前进行模拟“面试”,尽可能的模仿考场情况,对自己不断提问,训练自己克服紧张情绪,熟练应对各种突发情况。 2、补救小办法 1.任何时候都要看上去非常“自信”,哪怕出现冷场。俗话说“当众讲话时,没有人知道你的讲稿下一句是什么”。最直接的方法就是,虽然心中焦急万分,但仍然要微笑的看着考官的眼睛,尽量不要表现出“抓耳挠腮”、“手足无措”的样子,直到自己找到打破

清华大学核反应堆物理分析

1、热中子反应堆内,瞬发中子的平均寿期比自由中子的半衰期( )。 A、短的多; B、长的多; C、一样大。     1、某压水堆采用二氧化铀作燃料,其复集度为2.43%(重量),密度为104公斤/米2,计算:当中子能量为0.025ev时,二氧化铀的宏观吸收截面和宏观裂变截面(复集度表示铀-235在铀中所占的重量百分比)。

2、某反应堆堆芯由铀-235、水和铝组成,各元素所占的体积比分别为0.002,0.600和0.398,计算堆芯的总吸收截面 (0.025ev)。 3、求热中子(0.025ev)在轻水、重水和镉中运动时,被吸收前平均遭受的散射碰撞数。 4、试比较:将2.0M电子伏的中子束减弱到1/10所需的铝、钠和铝和铅的厚度。 5、一个中子运动两个平均自由程及1/2个平均自由程而不与介质发生作用的几率分别是多少? 6、堆芯的宏观裂变截面为5米-1,功率密度为20×106瓦/m3,求堆芯内的平均中子通量密度。

7、有一座小型核电站,电功率为15万千瓦,设电站的效率为27%,试估算该电站反应堆额定功率运行一小时所消耗的铀-235数量。 8、某反应堆在额定功率500兆瓦下运行了31天后停堆,设每次裂变产生的裂变产生的裂变产物的放射性活度为1.08×10-16t-1.2居里,此处t为裂变后的时间,单位为天,试估计停堆后24小时堆内裂变产物的居里数。 9、1)计算并画出中子能量为0.025电子伏时的复集铀的参数η与复集度的函数关系。

2)有一座热中子反应堆,无限增值系数为1.10,快中子裂变因子,逃脱共振几率和热中子利用系数三者的乘积为0.65,试确定该堆所用核燃料铀的复集度。 10、某反应堆堆芯由铀-235、水和铝组成,各元素所占的体积比分别为0.002,0.600和0.398,求堆芯的中子温度、热中子平均宏观截面和热中子利用系数。设堆芯是均匀的,介质温度为570开, (ξσs)H2O=0.4567×10-26米2,(ξσs)Al=0.1012×10-28 米2, (ξσs)U=0.126×10-28米2,堆芯的热中子能谱为麦克斯韦谱。 11、计算温度为535.5开、密度为0.802×103的水的热中子平均宏观吸收截面。

清华大学核反应堆物理分析

1、热中子反应堆内,瞬发中子的平均寿期比自由中子的半衰期()。 A、短的多; B、长的多; C、一样大。 1、某压水堆采用二氧化铀作燃料,其复集度为2.43%(重量),密度为104公斤/米2,计算:当中子能量为0.025ev时,二氧化铀的宏观吸收截面和宏观裂变截面(复集度表示铀-235在铀中所占的重量百分比)。 2、某反应堆堆芯由铀-235、水和铝组成,各元素所占的体积比分别为0.002,0.600和0.398,计算堆芯的总吸收截面(0.025ev)。 3、求热中子(0.025ev)在轻水、重水和镉中运动时,被吸收前平均遭受的散射碰撞数。 4、试比较:将2.0M电子伏的中子束减弱到1/10所需的铝、钠和铝和铅的厚度。

5、一个中子运动两个平均自由程及1/2个平均自由程而不与介质发生作用的几率分别是多少? 6、堆芯的宏观裂变截面为5米-1,功率密度为20×106瓦/m3,求堆芯内的平均中子通量密度。 7、有一座小型核电站,电功率为15万千瓦,设电站的效率为27%,试估算该电站反应堆额定功率运行一小时所消耗的铀-235数量。 8、某反应堆在额定功率500兆瓦下运行了31天后停堆,设每次裂变产生的裂变产生的裂变产物的放射性活度为1.08×10-16 t-1.2居里,此处t为裂变后的时间,单位为天,试估计停堆后24小时堆内裂变产物的居里数。 9、1)计算并画出中子能量为0.025电子伏时的复集铀的参数η与复集度的函数关系。 2)有一座热中子反应堆,无限增值系数为 1.10,快中子裂变因子,逃脱共振几率和热中子利用系数三者的乘积为0.65,试确定该堆所用核燃料铀的复集度。

谈论MEMS技术原理及优势

谈论MEMS技术原理及优势 可能大部分对MEMS还是比较陌生,但其实MEMS在生活中早已无处不在了,智能手机、手环、汽车、无人机、VR/AR头戴式设备等,都应用了MEMS器件。 既然MEMS应用这么广泛了,那么它到底是什么技术呢?稍安勿躁,听笔者慢慢道来。 1 、谈谈MEMS技术原理 MEMS是微机电系统,英文全称是MicroElectromechanicalSystem,。是指尺寸在几毫米乃至更小的传感器装置,其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。简单来说,MEMS就是将传统传感器的机械部件微型化后,通过三维堆叠技术,例如三维硅穿孔TSV 等技术把器件固定在硅晶元(wafer)上,最后根据不同的应用场合采用特殊定制的封装形式,最终切割组装而成的硅基传感器。受益于普通传感器无法企及的IC 硅片加工批量化生产带来的成本优势,MEMS 同时又具备普通传感器无法具备的微型化和高集成度。 MEMS主要涉及微加工技术,机械学/固体声波理论,热流理论,电子学,生物学等等。MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米,相比之下头发的直径大约是50微米。MEMS传感器主要优点是体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成等,是微型传感器的主力军,正在逐渐取代传统机械传感器,在各个领域几乎都有研究,不论是消费电子产品、汽车工业、甚至航空航天、机械、化工及医药等各领域。 2 、MEMS是替代传统传感器的唯一选择 模拟量到数字化、大体积到小型化以及随之而来的高度集成化,是所有近现代化产业发展前进的永恒追求。MEMS被看作是替代传感器的唯一可能选择,也可能是未来构筑物联网感知层传感器最主要的选择之一。其有以下优势: 优势一:微型化

MEMS技术发展综述

MEMS技术发展综述 施奕帆04209720 (东南大学信息科学与工程学院) 摘要:对于MEMS技术进行简要的介绍,了解其诞生与发展,所涉及的学科领域,目前的研究成果以及在生活、军事、医学等方面的应用。目前MEMS在我国的发展已取得一定成果,在21世纪可以有更大的突破,其未来在材料、工艺、微器件、微系统方面也具有巨大的发展空间。 关键词:MEMS、传感器、微制造技术 一、MEMS简介 微机电系统(micro electro mechanical system,MEMS)是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域,其起源可以追溯到20世纪50~60年代,最初贝尔实验室发现了硅和锗的压阻效应,从而导致了硅基MEMS传感器的诞生和发展。在随后的几十年里,MEMS得到了飞速发展,1987年美国加州大学伯克利分校研制出转子直径为60~120/μm的硅微型静电电机;1987~1988年,一系列关于微机械和微动力学的学术会议召开,所以20世纪80年代后期微机电系统一词就渐渐成为一个世界性的学术用语,MEMS技术的研究开发也成为一个热点,引起了世界各国科学界、产业界和政府部门的高度重视,经过几十年的发展,它已

成为世界瞩目的重大科技领域之一。 二、MEMS涉及领域及作用 MEMS技术涉及电子工程、机械工程、材料工程、物理学、化学以及生物医学等学科。MEMS开辟了一个新的技术领域,它的研究不仅涉及元件和系统的设计、材料、制造、测试、控制、集成、能源以及与外界的联接等许多方面,还涉及微电子学、微机构学、微动力学、微流体学、微热力学、微摩擦学、微光学、材料学、物理学、化学、生物学等基础理论 三、MEMS器件的分类及功能 目前,MEMS技术几乎可以应用于所有的行业领域,而它与不同的技术结合,往往会产生一种新型的MEMS器件。根据目前的研究情况,除了进行信号处理的集成电路部件以外,MEMS内部包含的单元主要有以下几大类: (1)微传感器: 主要包括机械类、磁学类、热学类、化学类、生物学类等。其主要功能是检测应变、加速度、速度、角速度(陀螺)、压力、流量、气体成分、湿度、pH值和离子浓度等数值,可应用于汽车、航天和石油勘探等行业。

清华考博辅导:清华大学核科学与技术考博难度解析及经验分享

清华考博辅导:清华大学核科学与技术考博难度解析及经验分享根据教育部学位与研究生教育发展中心最新公布的第四轮学科评估结果可知,全国共有20所开设核科学与技术专业的大学参与了2017-2018核科学与技术专业大学排名,其中第一的是清华大学,排名第二的是西安交通大学,排名第三的是中国科学技术大学。 作为清华大学实施国家“211工程”和“985工程”的重点学科,工程物理系核科学与技术一级学科在历次全国学科评估中均名列第一。 下面是启道考博整理的关于清华大学核科学与技术考博相关内容。 一、专业介绍 核科学与技术是一门由基础科学、技术科学及工程科学组成的综合性很强的尖端学科。本学科主要研究核能科学与工程、核燃料循环与材料、核技术及应用、辐射防护及环境保护。 清华大学工程物理系核科学与技术专业在博士招生方面,划分为6个研究方向: 082700 核科学与技术 博士研究方向:01 裂变能科学与工程;02 核聚变与等离子体物理;03 同位素分离、应用与机械;04 核技术及应用;05 辐射防护及环境保护;06 医学物理与工程此专业实行申请考核制。 二、考试内容 清华大学核科学与技术专业博士研究生招生为资格审查加综合考核形式,由笔试+专业面试构成。其中,综合考核内容为: 工程物理系研究生招生工作小组组织材料审查组对全部申请人的材料进行审阅,根据综合评价结果择优确定参加综合考核名单, 通知申请人参加综合考核。 材料审查流程: 工程物理系各学科根据考生专业方向,组成至少3位评审专家对申请材料逐一审核,百分制打分,并取平均分,由高到低排序,遴选部分申请人参加综合考核,原则上各学科入围综合考核的人数与招生计划人数比例不超过3:1。各学科如分组审查材料,需对各组间成绩进行标准化处理。 综合考核形式及项目: 综合考核由综合专业基础考试和综合面试组成。 笔试:《数学与物理》。笔试时间为1.5小时,满分100分,考察专业基础知识和英语

MEMS技术与IC技术的主要差别

MEMS技术与IC技术的主要差别(转) miracle 发表于: 2010-5-21 09:22 来源: 半导体技术天地 与传统的IC器件相比有重大差别。从工艺上看,尽管MEMS技术是在集成电路(IC)技术的基础上发展起来的,MEMS技术沿用了许多IC制造工艺。 经过几十年的研究与开发,MEMS器件与系统的设计及制造工艺逐步成熟,但产业化、市场化的MEMS器件的种类并不多,还有许多MEMS仍未能大量走出实验室,充分发挥其在军事与民品中的潜在应用,还需要研究和解决许多问题。究其原因,在于MEMS器件是属于多域值器件,与传统的IC器件相比有重大差别。从工艺上看,尽管MEMS技术是在集成电路(IC)技术的基础上发展起来的,MEMS技术沿用了许多IC制造工艺。但同时,还发展了许多新的微机械加工工艺,如体微机械加工工艺、表面微机械加工工艺、LIGA工艺、准LI GA工艺和微机械组装技术等。从器件种类上看,MEMS器件与IC器件相比种类繁多,有光学MEMS,射频MEMS(RFMEMS),生物MEMS等,不同的MEMS其结构和功能差异很大,应用环境也大不相同。归纳起来,MEMS与IC之间的主要差别是: 1)IC本质上是平面器件,典型的MEMS不是; 2)IC依赖于隐埋于IC表面之下的效应,而MEMS通常是表面效应器件; 3)IC无活动的零部件,而典型的MEMS是活动器件; 4)IC的制作工艺方式使得它在以大圆片形式流入小心控制的IC标准生产线之前对环境相对地不敏感,而大圆片形式的MEMS到它封装好之前对环境都非常敏感。这就使得MEMS 制造的每道后工序-划片、装架、引线制作、封装密封等都与IC不同且花费非常昂贵; 5)IC器件主要是电信号,而MEMS器件有机械、光、电、多种信号; 6)IC主要是表面加工工艺,而MEMS有多种加工工艺; 7)IC主要是半导体材料,而MEMS有多种加工材料。 由于MEMS技术与IC技术相比在材料、结构、工艺、功能和信号接口等方面存在诸多差

清华考研复试班-清华大学核科学与技术考研复试经验分享

清华考研复试班-清华大学核科学与技术考研复试经验分享 专业介绍 核科学与技术是一门由基础科学、技术科学及工程科学组成的综合性很强的尖端学科。本学科主要研究核能科学与工程、核燃料循环与材料、核技术及应用、辐射防护及环境保护。 招生人数与考试科目 清华大学核科学与技术属于工程物理系,5个研究方向, 01(全日制)核能科学与工程 02(全日制)核燃料循环与材料 03(全日制)核技术及应用 04(全日制)辐射护及环境保护 05(全日制)医学物理与工程 2019年计划招生2人其考试科目为: ①101 思想政治理论②201 英语一③301 数学一④836 普通物理(力学、热学、电磁学、光学、近代物理) 复试时间地点 笔试时间 3月15日下午14:00-16:00,地点:刘卿楼110、104 面试时间 3月16日上午8:50-18:10,地点:刘卿楼219 复试内容 1、英文自述(5分钟) 2、论文阅读分析 + 提问(考生提前40分钟到刘卿楼213抽论文) ●请概述论文的主要观点; ●如果你对论文的主要观点有不同意的地方,请说出原因; ●请说出论文是否在写作方面有不足的地方,应如何改进; ●请说出你自己对论文所写研究方向的见解。 3、专家提问、打分 复试材料

(1)准考证; (2)有效身份证件原件及一份复印件; (3)毕业证书(应届生带学生证)原件及一份复印件; (4)一张1寸免冠照片(体检表用); (5)考生自述(包括政治表现、外语水平、业务和科研能力、研究计划); (6)大学期间成绩单原件或档案中成绩单复印件(加盖档案单位红章)。 不论是否录取,所交材料含成绩单一律不予退还。未进行资格审查或资格审查未通过的考生一律不予录取。 复试成绩 复试经验 考研复试当天,千万别做的十件事 考研复试当天的状态是很重要的,在这么重要的这一天里,考生一定要认真仔细确保万无一失,下面10件事最忌讳,当天不要犯! 考研复试这一天,有以下的错误千万别犯,启道考研辅导班提醒你注意提前防范。 1、迟到 迟到是很不尊重他人并且没有时间观念的表现,会给考官留下非常不好的印象。因此考前要把该准备的准备好,预留出足够的时间,提早出发。一旦因为一些突发状况迟到,不要慌乱的冲进考场并找理由为自己开脱,要礼貌的道歉。 2、穿着花哨,浓妆艳抹 考研复试面试时,应穿着简单,不要过于花哨时尚,整洁,干练即可,女孩不要化浓妆。 3、目光飘忽不定 与考官对话时要自信,正视考官,不可东张西望,看天望地。切忌目光飘忽,会让人觉得你不自信并且不够尊重考官。 4、关键信息说错 英文自我介绍的时候把自己的院校、专业、所报院校的名称说错的话,就很尴尬了。提前了解所报院校的英文表达方式,学会自己所学专业的准确英文表达。

清华核科学与技术考研-清华大学核科学与技术考研专业介绍

清华核科学与技术考研-清华大学核科学与技术考研专业介绍 专业介绍 核科学与技术属工学门类的一级学科,很多院校都是作为一个系或学院设置的,它下面还有很多二类学科及专业。涵盖有“核反应堆工程”、“核工程与核技术”、“核技术”、“辐射防护与环境工程”、“核化工与核燃料工程”、核物理等等诸多本科及研究生专业。 核科学与技术主要涵盖粒子物理与原子核物理及核技术两大学科, 在理论核物理、实验核物理、核天体物理、高能物理、核技术、固体辐照等方面有着广阔的理论研究和实用技术的发展空间,在能源、航天、生物医学、工业、农业等领域更有广泛的应用,是我国战略发展的主要方向之一。 培养具备工程热物理及核工程技术等方面的基础知识,能在各相关领域从事核工程及核技术方面的研究、设计、制造、运行、应用和管理的高级工程技术人才。 开设的主要专业课程:工程热力学、工程流体力学、传热学、核物理、核反应堆物理、两相流、核动力设备、核动力装置、核汽轮机、核动力装置控制、核工程检测技术等。 主要专业简介 核工程与核技术 培养具备工程热物理及核工程技术等方面的基础知识,能在各相关领域从事核工程及核技术方面的研究、设计、制造、运行、应用和管理的高级工程技术人才。 开设的主要专业课程:工程热力学、工程流体力学、传热学、核物理、核反应堆物理、两相流、核动力设备、核动力装置、核汽轮机、核动力装置控制、核工程检测技术等。 核反应堆工程

培养具有核反应堆、工程热物理、电子技术、计算机技术的基础知识,能在各相关领域从事核工程及核技术方面的研究、设计、制造、运行、应用和管理的高级工程技术人才。 开设的主要专业课程:原子核物理、量子力学、核反应堆物理、反应堆热工、核动力设备、核动力装置、反应堆设计、核安全与核企业文化、系统工程与分析等。 核技术 培养适应我国国民经济和国防核科技工业发展需要的、能在核技术及相关专业领域从事研究、设计、生产、应用和管理等的专门人才。 开设的主要专业课程:原子核物理、量子力学、核反应堆物理、电磁学、辐射探测、核电子学、核技术应用、核数据获取与处理、加速器原理、辐射防护、辐射剂量与防护、辐射测量与仪器、核安全与核企业文化等。 企业、科研部、高等学校从事核物理的研究工作,在核工业所属的厂矿企业从事产品研发、生产技术和辐射防护工作,也可从事机械、冶金、电力、核电站、石油、煤炭、地质、农业、医学和环境保护等涉及核科学与技术应用领域方面的工作,也可以继续攻读原子核物理学、核技术应用或相关学科的硕士学位。

- 清华核物理风雨几十

清华核物理风雨几十年(文革后) 尚仁成 路在何方? 核物理专业从1955年建立到1978年20多年间,从无到有,建立了一套理工结合的培养方案及完整的教学体系,开设了几门优秀的专业课程,建立了很好的、受学生欢迎的教学实验室和实验课,培养了一大批在国内学术界、政界表现十分出色的优秀学生。也开始开展了一些科学研究。科研工作基本上围绕探测器的研制和少数核技术应用方面的题目,核结构和核反应方面的研究尚未涉及。 1978年后,全国科学研究开始升温。邓小平恢复工作后,国家还下决心拿出一大笔经费让各单位订购一批重要的科研设备。核物理专业的教师们认为,要开展核物理的科学研究,最重要的是要有一台很好的加速器。于是经过调研和到美国考察,决定向学校申报购买一台美国高压静电公司的2X6MeV的串列静电加速器。此申报得到了教育部和国家计委的批准。但后来因为有人向教育部告状说这种加速器已过时了而未能完成订货。虽然教育部组织的专家论证否定了告状者的意见,但已跨了年度,第二年因国家财政状况变化,原批准的申请也就作废了。 串列加速器未买成,核物理科研还要不要搞?核物理教研组的教师们,经过认真的调研和讨论,认为我们可以走以色列的路:科研不能

和发达国家比设备先进、比能量高、规模大,而应走精细研究之路。何泽慧先生还建议我们:“有什么条件就做什么研究,什么条件都没有总可以研究宇宙射线吗”。除已经参加全国核数据中心做一些核数据评价方面的工作外,大家认为还应该做一些实验研究。分析了当时的实验条件,大的设备只有一台高压倍加器可利用。极化研究在国际上刚开始起步,中子小角区散射当时在国际上研究的也较少。于是决定用高压倍加器开展中子极化和小角区散射两方面的实验研究工作。此时尚仁成准备到加拿大进修,也主要学习极化核物理实验。教研组陈泽民、徐四大及当时的研究生朱胜江、邓景康等人主要作中子极化方面的研究,齐卉荃、陈迎堂、陈振鹏等人主要做小角区散射研究。经过两年多的努力,1982年在我国首次完成了一个能点的中子极化度测量的实验,这是我国首次极化方面的实验。稍晚一些时间,小角区散射也取得了很好的实验结果。此两项成果联合起来获得了北京市<学术奖>。高压倍加器做中子极化物理实验和中子小角区散射虽然成功了,但毕竟实验条件太差,很难用它开展太多的物理实验研究。核物理的科研如何搞?是向理科方向发展,还是以研究探测器及核技术应用为主,沿工科的路继续发展?物理专业发展路在何方仍不清楚。 物理系要不要建核物理? 1982年学校决定复建物理系,副校长藤藤同我们几位积极主张办理科的教师开了多次座谈会。开始,他对物理系是否建核物理专业

【清华考研复试辅导班】2020年清华大学核能与新能源技术研究院考研复试及调剂经验攻略

【清华考研复试辅导班】2020年清华大学核能与新能源技术研究院考研复试及 调剂经验攻略 大家好,我是盛世清北胡老师。 2020年考研初试在即,各位备考清华的小伙伴在备考之余,或者初试之后,千万不要闲着,合理利用时间,掌握复试信息,准备考研复试才是成功上上策。 本文将通过分析目标院校成绩查询时间、复试分数线、复试内容、复试时间和地点、资格审查、复试体检、复试调剂、复试名单、复试经验等,帮助考生复试备考时充分掌握到目标院系复试信息,有助于考生根据复试资讯,制定复试计划,掌握复习方法,使考生及早进行有针对性的复试准备,提前熟悉复试流程、复试题型,保证在成绩公布后可以快速进入复试状态,轻松通过考研最后一关。 清华核能与新能源技术研究院简介 清华大学核能与新能源技术研究院是中国高等教育系统规模最大的科研与设计单位。核研院在科研的基础上,利用本院优势,努力实现科研成果的转化,在功率电子器件和整机、核同位素工业仪表、精细陶瓷及新型材料、稀土分离与深度加工等方面先后开发了一批先进的高技术产品,为国民经济做出了贡献。 核研院不仅是科研基地,也是人才培养基地。现有9个博士学位授予点,11个硕士学位授予点,一个博士后流动站。从1982年至2004年,该院共授予626名研究生硕士学位,112名研究生博士学位。近年来,核研院还面向全国为在职干部和技术人员举办现代科学技术短训班,促进知识更新。 清华大学往年成绩查询时间 2019年考研初试成绩查询时间:2月15日 2018年考研初试成绩查询时间:2月4日 2017年考研初试成绩查询时间:2月15日 2016年考研初试成绩查询时间:2月18日 复试分数线 工学[08](不含0813建筑学、0833城乡规划学、0834风景园林学)总分:310;单科线:50/50/80/80 管理学[12]总分:345;单科线:50/50/90/90 工程[0852]总分:310;单科线:50/50/80/80

2018年清华大学核科学与技术考研复试科目及复试指导

2018年清华大学核科学与技术考研复试科目及复试指导 一、各方向考试科目 二、复试工作办法 1.院系制定本单位复试工作办法 各院系根据学校相关规定制定本院系各学科专业进入复试的考

生初试成绩要求及复试工作办法,于3月4至22日安排考生复试。 2.考生报考资格审查 入围复试的考生在复试期间须携带本人以下材料到入围复试院系教学办公室进行资格审查: (1)准考证; (2)有效身份证件原件及一份复印件; (3)毕业证书(应届生带学生证)原件及一份复印件; (4)一张1寸免冠照片(体检表用); (5)考生自述(包括政治表现、外语水平、业务和科研能力、研究计划); (6)大学期间成绩单原件或档案中成绩单复印件(加盖档案单位红章)。 不论是否录取,所交材料含成绩单一律不予退还。 未进行资格审查或资格审查未通过的考生一律不予录取。 参加复试的考生须缴纳100元复试费,由考生通过网上缴费平台(https://www.doczj.com/doc/6617975411.html,)在复试前完成缴费。缴费后因各种原因未参加复试者,已支付的复试费不退。已经缴纳复试费的考生,参加校内调剂复试不再重复收费。 3.组织复试 复试在德智体等各方面全面衡量基础上,要突出对考生思想政治素质和品德、专业素质和能力、创新精神和创新能力、综合素质等方面的考核。考核可采取科研成果报告、综合问答、实践能力测试等形

式。 复试一般应包含以下内容: ①笔试或实践(实验)能力测试 各招生院系按招生专业目录公布的复试考试内容命题,由院系根据本院系复试工作安排自行组织笔试,时间为120分钟,笔试满分为100分。条件许可的院系可单独组织对考生的实践(实验)能力考核。 ②面试 面试可采取口试、笔试或两者兼而有之的方式。面试时将核查考生的准考证和身份证件,重点考察考生的专业素质和能力、创新精神和创新能力、思想状况、外语听说能力等。 ③体检 参照教育部、卫生部、中国残联制订的《普通高等学校招生体检工作指导意见》(教学[2003]3号)执行。 4.对同等学力考生的加试 对入围复试的同等学力考生(含成人高等学校应届本科毕业生)要严格进行复试。复试时,必须加试与报考专业相关的本科主干课程,其中笔试科目不少于两门。笔试时间每门为3小时,试卷满分为100分。

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