表面声波化学传感器( SAW)

表面声波化学传感器( SAW)

?表面声波化学传感器( SAW)

?英国科学家Rayleigh 在19 世纪末发现了在固体表面传播的声波,即表面声波[11 ] (有的文献也称为声表面波,简称SAW) ,近几十年来人们对SAW基本性质的认识越来越深入。1965 年美国White 和Voltmer[12 ]发明了能在压电晶体材料表面上激励表面波的金属叉指换能器(interdigital transducer , IDT) ,使得SAW的应用越来越广泛。

?SAW传感器是电子技术与材料科学相结合的产物,它由SAW 振荡器、敏感的界面膜材料和振荡电路组成。SAW 传感器的核心部件是SAW 振荡器,由压电材料基片和沉积在基片上不同功能的叉指换能器所组成,有延迟线型(DL 型) 和谐振器型(R 型) 两种,如图3 所示:

?图3 SAW振荡器类型Fig. 3 Type of SAW sensors