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半导体工艺试卷(A)

半导体工艺试卷(A)
半导体工艺试卷(A)

杭州电子科技大学研究生考试卷(A卷)

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化工工艺学考试卷

《化工工艺学》试题一 一、填空题(本题共20分,共10小题,每题各2分) 1、在合成氨烃类蒸汽转化的过程中,从热力学角度分析有三个副反应存在析炭的可能性, 这三个副反应的化学反应方程式分别为______________________、_______________-_______和______________________,而从动力学角度分析只有___________________才可能析炭。 2、按照用途的不同可将工业煤气分为四类,分别为:__________、__________、_______- __和__________。 3、煤中的水分主要分为三类,其中包括:游离水、__________和__________。 4、在合成氨CO变换工序阶段低温变换催化剂主要有__________和__________两种类型。 5、在合成氨原料气的净化过程中脱硫的方法主要分为:__________和__________两种类 型。 6、氨合成塔的内件主要由__________、__________和电加热器三个部分组成。 7、尿素的合成主要分两步进行分别为:___________________________________________- __(反应方程式)和____________________________________________(反应方程式)。 8、在以硫铁矿为原料生产硫酸过程中,硫铁矿在进入沸腾焙烧炉前需要达到的组成指标 O<8%。 为:S>20%、__________、__________、__________、__________和H 2 9、在沸腾炉焙烧硫铁矿时要稳定沸腾炉的炉温需要做到的三个稳定分别为:①稳定的空 气量、②__________和③_________________。 10、电解法生产烧碱的电解反应为_____________________________________(反应方程 式)。 二、简答题(本题共50分,共5小题,每题各10分) 1、简述烃类蒸汽转化过程中析炭的危害及防止析炭应采取的措施。 2、简述铁-铬系高温变换催化剂的组成(含量)及各组分的作用。 3、简述硫酸生产两转两吸工艺的优、缺点。 4、简述氨碱法生产纯碱的优、缺点。 5、写出转化率、产气率、选择性、收率及质量收率等衡量裂解结果指标的定义式。 《化工工艺学》试题二

化学工艺学试卷及答案剖析

化学工艺学试卷(两套) 一、选择题(2分/题) 1.化学工业的基础原料有( ) A石油 B汽油 C乙烯 D酒精 2.化工生产中常用的“三酸二碱”是指( ) A硫酸、盐酸、硝酸和氢氧化钠、氢氧化钾 B硫酸、盐酸、磷酸和氢氧化钠、氢氧化钾 C硫酸、盐酸、硝酸和氢氧化钠、碳酸钠 D硫酸、盐酸、磷酸和氢氧化钾、碳酸钾 3.所谓“三烯、三苯、一炔、一萘”是最基本的有机化工原料,其中的三烯是指( ) A乙烯、丙烯、丁烯 B乙烯、丙烯、丁二烯 C乙烯、丙烯、戊烯 D丙烯、丁二烯、戊烯 4.天然气的主要成份是() A乙烷 B乙烯 C丁烷 D甲烷 5.化学工业的产品有( ) A钢铁 B煤炭 C酒精 D天然气 6.反应一个国家石油化学工业发展规模和水平的物质是( ) A石油 B乙烯 C苯乙烯 D丁二烯 7.在选择化工过程是否采用连续操作时,下述几个理由不正确的是( ) A操作稳定安全 B一般年产量大于4500t的产品 C反应速率极慢的化学反应过程 D工艺成熟 8.进料与出料连续不断地流过生产装置,进、出物料量相等。此生产方式为( ) A间歇式 B连续式 C半间歇式 D不确定 9.评价化工生产效果的常用指标有() A停留时间 B生产成本 C催化剂的活性 D生产能力 10.转化率指的是( ) A生产过程中转化掉的原料量占投入原料量的百分数 B生产过程中得到的产品量占理论上所应该得到的产品量的百分数 C生产过程中所得到的产品量占所投入原料量的百分比 D在催化剂作用下反应的收率 11.电解工艺条件中应控制盐水中Ca2+、Mg2+等杂质总量小于( ) A 10μg/L B 20mg/L C 40μg/L D 20μg/L 12.带有循环物流的化工生产过程中的单程转化率的统计数据()总转化率的统计数据。 A大于 B小于 C相同 D无法确定 13.()表达了主副反应进行程度的相对大小,能确切反映原料的利用是否合理。A转化率 B选择性 C收率 D生产能力 14.三合一石墨炉是将合成、吸收和()集为一体的炉子。 A 干燥 B 蒸发 C 冷却 D 过滤 15.转化率X、选择性S、收率Y的关系是() A Y=XS B X=YS C S=YX D以上关系都不是 16.化工生产一般包括以下( )组成 A原料处理和化学反应 B化学反应和产品精制

《半导体物理学》期末考试试卷参考答案(A卷)-往届

赣 南 师 范 学 院 第1页 共2页 2010–2011学年第一学期期末考试参考答案(A 卷) 开课学院:物电学院 课程名称:半导体物理学 考试形式:闭卷,所需时间:120分钟 注意事项:1、教师出题时请勿超出边界虚线; 2、学生答题前将密封线外的内容填写清楚,答题不得超出密封线; 3、答题请用蓝、黑钢笔或圆珠笔。 一、填空题(共30分,每空1分) 1、 电子 空穴 电子 2、 替位式 间隙式 3、 01 ()1exp() F f E E E k T = -+ 在热平衡状态下,电子在允许的量子态上如何分布 0()F E E k T B f E e --= 前者受泡利不相容原理的限制 4、 电子 空穴 00n p 电子-空穴对 n p = 多数 少数 多数 注入的非平衡多数载 流子浓度比平衡时的多数载流子浓度小得多 少数 注入的非平衡少数载流子浓度比 平衡时的少数载流子浓度大得多 5、 电子在导带和价带之间的直接跃迁,引起电子和空穴的直接复合 电子和空穴通过禁 带的能级(复合中心)进行复合 发射光子 发射声子 将能量给予其它载流子,增加它们的动能 6、 半导体表面非平衡载流子浓度比内部高 扩散 扩散 漂移 漂移 二、选择题(共10分,每题2分) 1、A 2、B 3、D 4、C 5、B 三、计算题(共60分) 一、1、解:(1)因为n p nq pq σμμ=+,又2 i np n =,所以 22i n p i n nq q n n σμμ=+≥= 根据不等式的性质,当且仅当n nq μ=2 i p n q n μ时,上式取等。 解得:1/2 ( )p i n n n μμ=,即此时电导率σ最小。 相应地,此时21/2 ()i n i p n p n n μ μ== ( 2)对本征Ge : 13 19 2() 2.510 1.610 (19003800)2.2810(/) i i n p n q S cm σμμ--=+ =????+ =? 在最小电导率条件下: min 1319((2(2.510)(1.610)/n p i n q n q n S cm σμμ--2=+ =2 =???? =2.12?10() (3)当材料的电导率等于本征电导率时,有: 00()n p i n p n q p q n q μ μμμ+=+ 即:2 00 ()i n p i n p n n q q n q n μμμμ+=+ 整理得:2 2 00()0n i n p i p n n n n μμμμ-++= 解得:0n n = 带入数据得:00()2i i n n n n ==舍或

《化工工艺学》试题库(部分)(7-7)

《化工工艺学》复习题(部分) (说明:红色部分作为重点看,黄色部分内容以达到了解程度为主) (填空20分,选择30分判断题10分,简答20分,流程说明20分) 复习以上课画的重点为主 1.基本有机化工产品是指什么? 2.衡量裂解结果的几个指标:转化率、产气率、选择性、收率和质量收率。 4.乙烯液相加氯生产二氯乙烷的反应机理是什么?乙烯氧氯化生产氯乙烯的反应机理是什么?甲烷热氯化反应机理是什么? 5.目前氯乙烯生产的主要方法有哪几种。平衡型氯乙烯生产工艺流程的主要特点是指什么? 6.不同族烃类,如链烷烃、环烷烃、芳烃,其氢含量高低顺序? 7.基本有机化学工业原料包括哪些? 8.基本有机化学工业的主要产品? 9. 什么叫烃类热裂解过程的一次反应和二次反应? 10. 简述一次裂解反应的规律性。 11. 烃类热裂解的一次反应主要有哪几个?烃类热裂解的二次反应主要有哪几个? 12. 什么叫焦,什么叫碳?结焦与生碳的区别有哪些? 13. 试述烃类热裂解的反应机理。 14. 什么叫一级反应?写出一级反应动力学方程式和以转化率表示的动力学方程式。 15. 烃类裂解有什么特点? 16. 裂解供热方式有哪两种? 17. 什么叫族组成,PONA的含义是什么?什么叫芳烃指数?什么叫特性因素? 18. 裂解炉温度对烃的转化率有何影响,为什么说提高裂解温度更有利于一次反应和二次反应的竞争? 19. 什么叫停留时间,停留时间与裂解产物分布有何影响? 20. 为什么要采用加入稀释剂的方法来实现减压的目的?在裂解反应中,工业上采用水蒸汽作为稀释剂的优点是什么?

21. 烃类热裂解过程中为实现减压而采用加入稀释剂的方法,稀释剂可以是惰性气体或水蒸气。工业上都是用水蒸气作为稀释剂,其优点是什么? 22. 什么叫KSF,为什么要用正戊烷作为衡量石脑油裂解深度的当量组分。 23. 为了提高烯烃收率裂解反应条件应如何控制? 24. 为什么要对裂解气急冷,急冷有哪两种? 25. 管式裂解炉结焦的现象有哪些,如何清焦? 26. 裂解气净化分离的任务是什么?裂解气的分离方法有哪几种? 27. 什么是深冷?什么是深冷分离?深冷分离流程包括那几部分? 28. 裂解气中的酸性气体主要有哪些组分?若这些气体过多时,对分离过程带来什么样的危害?工业上采用什么方法来脱除酸性气体? 29. 裂解气中含有哪些杂质?为什么在分离前必须除去?方法有哪些? 30. 什么叫分子筛?分子筛吸附有哪些特点,有哪些规律? 31. 在烃类裂解流程中,什么叫前加氢流程?什么叫后加氢流程?各有什么优缺点?32.根据顺序深冷分离流程图,用文字描述有物料经过时,在各装置发生的变化,如脱去何物质,塔顶分离出何物质,塔釜分离出何物质等,将每一条流向都尽量详细说明。33.说明三种深冷分离流程(顺序分离、前脱乙烷、前脱丙烷流程)有什么特点. 34.脱丙塔塔底温度为何不能超过100℃? 35. 什么叫“前冷”流程,什么叫“后冷”流程?前冷流程有什么优缺点? 36. 脱甲烷塔在深冷分离中的地位和作用是什么?脱甲烷塔的特点是什么? 37. 脱甲烷过程有哪两种方法,各有什么优缺点?乙烯塔在深冷分离中的地位是什么?乙烯塔应当怎样改进? 38.简述影响乙烯回收的诸因素。 39. 能量回收在整个裂解工艺流程中,主要有哪三个途径? 40. 脱甲烷塔和乙烯塔采用中间冷凝器和中间再沸器各有什么优缺点? 41. 举例说明复迭制冷的原理。 42. 多级循环制冷的原理是什么?应当采取哪些措施,才能使多级循环制冷的能量得到合理利用? 43.苯酚和丙酮均为重要的基本有机原料,由苯和丙烯烷基化通过均相自氧化生成过氧化异丙苯,再在酸的催化作用下分解为苯酚和丙酮。请画出异丙苯法生产苯酚和丙酮的原则流程图(图中标出物料流向,原料名称等)和指明各过程所起的作用? 44. 什么叫热泵? 45.精馏塔的热泵制冷方式有哪几种? 46.除了烃类裂解制乙烯的方法外,还有哪些方法有可能生产乙烯?

半导体集成电路制造工艺

半导体集成电路制造工艺 一、集成电路的定义:集成电路是指半导体集成电路,即以半导体晶片材料为主,经热氧化工艺:干氧氧化、水汽氧化、湿氧氧化加工制造,将无源元件、有源元件和互连线集成在基片内部、表面或基片之上,执行十八、根据器件要求确定氧化方法:1、高质量氧化:干氧氧化或分压氧化;2、厚某种电子功能的微型化电路。微型化电路有集成电路、厚膜电路、薄膜电路和混合层的局部氧化或场氧化:干氧(10min)+湿氧+干氧(10min)或高压氧化;3、低表面态电路等多种形式。氧化:掺氯氧化;湿氧氧化加掺氯气氛退火或分压氧化(H2O或O2+N2 或Ar 或He 等)。二、集成电路的分类:十九、热氧化过程中硅中杂质的再分布1、硅中掺磷(1)温度一定时,水汽氧化(湿氧按电路功能分类:分为以门电路为基础的数字逻辑电路和以放大器为基础的线性电氧化)导致杂质再分布程度较大,其NS/NB 大于干氧氧化;(2)同一氧化气氛下,氧化路,还有微波集成电路和光集成电路等。温度越高,磷向硅内扩散的速度越快,表面堆积现象减小,NS/NB 趋于1。2、硅中按构成集成电路基础的晶体管分类:分为双极型集成电路和MOS型集成电路两大类。掺硼(1)温度一定时,水汽氧化(湿氧氧化)导致杂质再分布程度增大,NS/NB 小前者以双极型平面晶体管为主要器件;后者以MOS场效应晶体管为基础。于干氧氧化;(2)同一氧化气氛下,氧化温度越高,硼向硅表面扩散速度加快,补三、衡量集成电路的发展

DRAM( 3*107(集成度), 135mm2(外型尺寸), 0.5 μm偿了表明杂质的损耗,NS/NB 趋于1。看看运动方向(特征尺寸), 200mm (英寸)) ,二十二、热氧化过程四、摩尔定律:IC集成度每1.5 年翻一番五、集成电路的发展展望目标:集成度↑、可靠性↑、 速度↑、功耗↓、成本↓。努力方向:线宽↓、晶片直径↑、设计技术↑六、硅微电子技术发展的几个趋势:1、单片 系统集成(SoC)System on a chip Application Specific Integrated Circuit 特定用途集成电路2、整硅片集成(WSI)3、半定制电路的 设计方法4、微电子机械系统(MEMS)5、真空微电子技术七、集成电路制造中的基本工艺技术横向加工:图形的产生与转移(又称为光刻,包括曝光、显影、刻蚀等)。纵向加工:薄膜制备(蒸发、溅射、氧化、CVD 等),掺杂(热扩散、离子注入、中子嬗变等)八、补充简要说明工艺1-1 1、氧化剂扩散穿过滞留层达到SiO2 表面,其流密度为F1 。2、氧化剂扩散穿过SiO2层达到SiO2-Si界面,流密度为F2 。3、氧化剂在Si 表面与Si 反应生成SiO2 ,流密度为F3。4、反应的副产物离开界面。二十三、CVD的薄膜及技术分类化学 气相淀积(Chemical Vapor Deposition)是指单独地或综合的利用热能、辉光放电等离子体、紫外光照射、激光照射或其它形式的能源,使气态物质在固体的热表面上发生化学反应并在该表面上淀积,形成稳定的固态物质的工艺过程二十四、CVD薄膜分类:半导体集成 电路制造中所用的薄膜材料,包括介质膜、半导体膜、导体膜以及

化学工艺学试题答案

《化学工艺学》考查课期末试题 班级:08化工(1)班学号:08003028姓名:李强 1.现代化学工业的特点是什么? 答:1、原料、生产方法和产品的多样性与复杂性;2、向大型化、综合化、精细化发展;3、多学科合作、技术密集型生产;4、重视能量合理利用、积极采用节能工艺和方法;5、资金密集,投资回收速度快,利润高;6、安全与环境保护问题日益突出。 2.什么是转化率?什么是选择性?对于多反应体系,为什么要同时考 虑转化率和选择性两个指标? 答:1、转化率:指某一反应物参加反应而转化的数量占该反应物起始量的分率 或百分率,用符号X表示。定义式为X=某一反应物的转化量/该反应物的起始量对于循环式流程转化率有单程转化率和全程转化率之分。 单程转化率:系指原料每次通过反应器的转化率 XA=组分A在反应器中的转化量/反应器进口物料中组分A的量 =组分A在反应器中的转化量/新鲜原料中组分A的量+循环物料中组分A的量全程转化率:系指新鲜原料进入反应系统到离开该系统所达到的转化率 XA,tot=组分A在反应器中的转化量/新鲜原料中组分A的量 2、选择性:用来评价反应过程的效率。选择性系指体系中转化成目的产物的某 反应量与参加所有反应而转化的该反应物总量之比。用符号S表示, 定义式S=转化为目的产物的某反应物的量/该反应物的转化总量 或S=实际所得的目的产物量/按某反应物的转化总量计算应得到的目的产物理论量 3、因为对于复杂反应体系,同时存在着生成目的产物的主反应和生成副产物的 许多副反应,只用转化率来衡量是不够的。因为,尽管有的反应体系原料转化率很高,但大多数转变成副产物,目的产物很少,意味着许多原料浪费了。所以,需要用选择性这个指标来评价反应过程的效率。 3.催化剂有哪些基本特征?它在化工生产中起到什么作用?在生产 中如何正确使用催化剂? 答:1、基本特征包括:催化剂是参与了反应的,但反应终止时,催化剂本身未 发生化学性质和数量的变化,因此催化剂在生成过程中可以在较长时间内使用;催化剂只能缩短达到化学平衡的时间(即加速反应),但不能改变平衡;催化剂具有明显的选择性,特定的催化剂只能催化特定的反应。 2、作用:提高反应速率和选择性;改进操作条件;催化剂有助于开发新的反应

半导体工艺及芯片制造技术问题答案(全)

常用术语翻译 active region 有源区 2.active ponent有源器件 3.Anneal退火 4.atmospheric pressure CVD (APCVD) 常压化学气相淀积 5.BEOL(生产线)后端工序 6.BiCMOS双极CMOS 7.bonding wire 焊线,引线 8.BPSG 硼磷硅玻璃 9.channel length沟道长度 10.chemical vapor deposition (CVD) 化学气相淀积 11.chemical mechanical planarization (CMP)化学机械平坦化 12.damascene 大马士革工艺 13.deposition淀积 14.diffusion 扩散 15.dopant concentration掺杂浓度 16.dry oxidation 干法氧化 17.epitaxial layer 外延层 18.etch rate 刻蚀速率 19.fabrication制造 20.gate oxide 栅氧化硅 21.IC reliability 集成电路可靠性 22.interlayer dielectric 层间介质(ILD) 23.ion implanter 离子注入机 24.magnetron sputtering 磁控溅射 25.metalorganic CVD(MOCVD)金属有机化学气相淀积 26.pc board 印刷电路板 27.plasma enhanced CVD(PECVD) 等离子体增强CVD 28.polish 抛光 29.RF sputtering 射频溅射 30.silicon on insulator绝缘体上硅(SOI)

《化工工艺学》考试试卷

《化工工艺学》考试试卷 一、选择题(20分,每题2分) 1、下列哪一项不是天然气转化合成气时副反应析碳的危害 A、降低催化剂活性 B、使催化剂崩解 C、堵塞床层,增加阻力 D、使反应局部温度下降 2、下列油品中,沸程最低的是 A、汽油 B、煤油 C、柴油 D、润滑油 3、合成氨反应是 A、放热、体积减小反应 B、放热、体积增大反应 C、吸热、体积减小反应 D、吸热、体积增大反应 4、天然气转化合成气使用的催化剂活性组分为 A、Ag B、Fe C、Ni D、Co 5、对CO变换反应,下列说法正确的是 A、高温和高水碳比有利于平衡右移 B、变换反应是可逆放热反应 C、变换过程采用单反应器 D、压力对平衡和反应速度都无影响 6、乙烯环氧化制环氧乙烷工艺的催化剂的活性组分是 A、Cu B、Ag C、Al2O3 D、Fe 7、乙烯环氧化反应中致稳气成分为 A、N2,CO2 B、Ar,CO2 C、O2,H2O D、N2,CH4 8、关于脱氢反应中下面哪一项是错误的 A、催化剂活性组分为Fe B、需要高温低压操作 C、用水蒸气作稀释剂 D、吸热反应 9、气相烷基化法制乙苯的催化剂为 A、铁系催化剂 B、镍系催化剂 C、膦羰基钴催化剂 D、ZSM-5分子筛催化剂 10、下列哪项不是磺化反应的特点

A、亲电取代 B、饱和烃比芳环易磺化 C、可逆反应 D、HSO3+阳离子为真正的磺化剂 1、化工生产过程一般可概括为原料预处理、化学反应和三大步骤。 ( A ) A、产品分离及精制; B、工艺条件优化; C、设备与安装工程; D、产品方案设计 2、化学工业的主要原料包括煤、石油、天然气和。 ( C ) A、金属矿; B、化学矿; C、化学中间体; D、工业盐 3、化工中常见的三烯指乙烯、丙烯和,三苯指苯、甲苯和。 ( A ) A、丁二烯和二甲苯; B、丁二烯和乙苯; C、丁烯和二甲苯; D、丁烯和乙苯 4、为了充分利用宝贵的石油资源,要对石油进行一次加工和二次加工。一次加工方法为常 压蒸馏和减压蒸馏;二次加工主要方法有等。 ( A ) A、催化重整、催化裂化、加氢裂化和焦化 B、催化重整、催化裂化、催化转化 C、催化重整、催化裂化、延迟焦化 D、催化重整、催化裂化、延迟焦化 5、合成氨反应方程式为H2+3N2→2NH3,该反应是一个、、体积缩小的反应。 ( D ) A、不可逆、吸热; B、不可逆、放热; C、可逆、吸热; D、可逆、放热 6、侯氏制碱法的主要产品是。 ( C ) A、NaHCO3和NH4Cl; B、Na2CO3和NaCl; C、Na2CO3和NH4Cl; D、Na2CO3和NaHCO3 7、烷烃热裂解主要反应为。 ( B ) A、加氢反应和断链反应 B、脱氢反应和断链反应 C、脱氢反应和重组反应 D、加氢反应和重组反应 8、转化率是针对而言的;选择性是针对而言的;收率等于转化率与选择性 之积。 ( D ) A、目的产物、中间产物 B、反应物、中间产物 C、目的产物、反应物 D、反应物、目的产物 9、下列哪种方法不能提高汽油辛烷值:。 ( B ) A、降低烯烃含量 B、降低芳烃含量; C、提高氧含量; D、添加甲基叔丁基醚 10、下列关于合成氨的熔铁催化剂Fe3O4-Al2O3-K2O说法错误的是:。( A ) A、Fe3O4是活性组分 B、Al2O3是结构型助催化剂 C、K2O是电子型助催化剂 D、使用前需升温活化 二、填空题(30分,每空2分) 1、煤高温干馏的产物、、、。 2、四大基本有机化工原料分别是、、、。 3、化工中常见的三烯指、、;三苯指、、。 4、为将重质油转化为轻质油及化工产品,石油二次加工方式有、、、。

化学工艺学考试试卷2答案

阅卷须知:阅卷用红色墨水笔书写,得分用阿拉伯数字写在每小题题号前,用正分表示,不得分则在题号前写0;大题得分登录在对应题号前的得分栏内;统一命题的课程应 集体阅卷,流水作业;阅卷后要进行复核,发现漏评、漏记或总分统计错误应及时更正; 对评定分数或统分记录进行修改时,修改人必须签名。 题号一二三四总分得分 阅卷人 复核人 一、填空题(每空2分,共21分) 1、选择性是指体系中转化成目的产物的某反应物量与参加所有反应而转化的该反应 物总量之比。 2、化学工艺学是以过程为研究目的,是将化学工程学的先进技术运用到具体生产过 程中,以化工产品为目标的过程技术。 3、由反应方程式CH 4+H 2 O=CO+3H 2 表示的反应,常被称为天然气蒸汽转化 反应。 4、由煤制合成气生产方法有:固定床间歇式气化法、固定床连续式气化法、流化床 连续式气化法、气流床连续式气化法。 5、具有自由基链式反应特征,能自动加速的氧化反应。使用催化剂加速链的引发, 称为催化自氧化。 6、烯烃甲酰化是指在双键两端的C原子上分别加上一个氢和一个甲酰基制备多一个碳原子的醛或醇。 7、工业上氯乙烯的生产方法有乙炔法、联合法和烯炔法、平衡氧氯化法。 得分

8、影响加氢反应的因素有温度、压力和反应物中H 的用量。二、名词解释(每小题4分,共20分) 1、转化率 转化率指某一反应物参加反应而转化的数量占该反应物起始量的分率或百分率,用X 表示错误!未找到引用源。; 2、族组成 PONA 值,适用于表征石脑油、轻柴油等轻质馏分油的化学特性 3、C 1化工 凡包含一个碳原子的化合物参与反应的化学称为C 1化学,涉及C 1化学反应的工艺过程和技术称为C 1化工。 4、催化加氢 指有机化合物中一个或几个不饱和的官能团在催化剂的作用下与氢气加成。 5、选择性氧化 烃类及其衍生物中少量H 原子或C 与氧化剂发生作用,而其他H 和C 不与氧化剂反应的过程。 三、简答题(每小题5分,共35分)1、裂解气进行预分离的目的和任务是什么? 目的和任务:①经预分馏处理,尽可能降低裂解气的温度,从而保证裂解气压缩机的正常运转,并降低裂解气压缩机的功耗。(1分)②裂解气经预分馏处理,尽可能分馏出裂解气的重组分,减少进入压缩分离系统的负荷。 (1分)③在裂解气的预分馏过程中将裂解气中的稀释蒸汽以冷凝水的形式分离回收,用以再发生稀释蒸汽,从而大大减少污水 排放量。(2分)④在裂解气的预分馏过程中继续回收裂解气低能位热量。 (1分)2、简述芳烃馏分的分离方法 沸点接近形成共沸物,蒸馏法、溶剂萃取法。(3分) 从宽馏分中分离苯、甲苯、二甲苯用萃取蒸馏法(2分) 3、天然气-水蒸气转化法制合成气过程为什么天然气要预先脱硫才能进行转化?用哪些方法较好? 预先脱硫是为了避免蒸汽转化催化剂中毒。(2分)脱硫方法有干法和湿法。干法分为吸附法和催化转化法。湿法分为化学吸收法、物理吸收法、物理 -化学吸收法和湿式氧化法。(3分) 4、非均相催化氧化的特点是什么? 反应温度较高,有利于能量的回收和节能( 1分)得分得分

半导体物理期末试卷(含部分答案

一、填空题 1.纯净半导体Si 中掺错误!未找到引用源。族元素的杂质,当杂质电离时释放 电子 。这种杂质称 施主 杂质;相应的半导体称 N 型半导体。 2.当半导体中载流子浓度的分布不均匀时,载流子将做 扩散 运动;在半导体存在外加电压情况下,载流子将做 漂移 运动。 3.n o p o =n i 2标志着半导体处于 平衡 状态,当半导体掺入的杂质含量改变时,乘积n o p o 改变否? 不变 ;当温度变化时,n o p o 改变否? 改变 。 4.非平衡载流子通过 复合作用 而消失, 非平衡载流子的平均生存时间 叫做寿命τ,寿命τ与 复合中心 在 禁带 中的位置密切相关,对于强p 型和 强n 型材料,小注入时寿命τn 为 ,寿命τp 为 . 5. 迁移率 是反映载流子在电场作用下运动难易程度的物理量, 扩散系数 是反映有浓度梯度时载 q n n 0=μ ,称为 爱因斯坦 关系式。 6.半导体中的载流子主要受到两种散射,它们分别是电离杂质散射 和 晶格振动散射 。前者在 电离施主或电离受主形成的库伦势场 下起主要作用,后者在 温度高 下起主要作用。 7.半导体中浅能级杂质的主要作用是 影响半导体中载流子浓度和导电类型 ;深能级杂质所起的主要作用 对载流子进行复合作用 。 8、有3个硅样品,其掺杂情况分别是:甲 含铝1015cm -3 乙. 含硼和磷各1017 cm -3 丙 含镓1017 cm -3 室温下,这些样品的电阻率由高到低的顺序是 乙 甲 丙 。样品的电子迁移率由高到低的顺序是甲丙乙 。费米能级由高到低的顺序是 乙> 甲> 丙 。 9.对n 型半导体,如果以E F 和E C 的相对位置作为衡量简并化与非简并化的标准,那么 T k E E F C 02>- 为非简并条件; T k E E F C 020≤-< 为弱简并条件; 0≤-F C E E 为简并条件。 10.当P-N 结施加反向偏压增大到某一数值时,反向电流密度突然开始迅速增大的现象称为 PN 结击穿 ,其种类为: 雪崩击穿 、和 齐纳击穿(或隧道击穿) 。 11.指出下图各表示的是什么类型半导体? 12. 以长声学波为主要散射机构时,电子迁移率μn 与温度的 -3/2 次方成正比 13 半导体中载流子的扩散系数决定于其中的 载流子的浓度梯度 。 14 电子在晶体中的共有化运动指的是 电子不再完全局限在某一个原子上,而是可以从晶胞中某一点自由地运动到其他晶胞内的对应点,因而电子可以在整个晶体中运动 。 二、选择题 1根据费米分布函数,电子占据(E F +kT )能级的几率 B 。 A .等于空穴占据(E F +kT )能级的几率 B .等于空穴占据(E F -kT )能级的几率 C .大于电子占据E F 的几率 D .大于空穴占据 E F 的几率 2有效陷阱中心的位置靠近 D 。 A. 导带底 B.禁带中线 C .价带顶 D .费米能级 3对于只含一种杂质的非简并n 型半导体,费米能级E f 随温度上升而 D 。 A. 单调上升 B. 单调下降 C .经过一极小值趋近E i D .经过一极大值趋近E i 7若某半导体导带中发现电子的几率为零,则该半导体必定_D _。 A .不含施主杂质 B .不含受主杂质 C .不含任何杂质 D .处于绝对零度

《无机化工工艺学》试卷A

《无机化工工艺学》试卷A 适用班级:10化工技师1、2班 一、名称解释(2分×5=10分) 1、煤气化 2、半水煤气 3、湿法脱硫 4、甲烷化法 5、焙烧 二、选择题(2分×12=24分) 1、变换反应提高压力,一氧化碳平衡变换率()。 A.增大B.减少C.不变D.不能确定 2、铁铬系中温变换催化剂是以()为主体,活性组分为()。 A.Fe3O4Fe2O3 B.Fe2O3Fe3O4 C.Fe2O3Fe D.Fe Fe3O4 3、甲烷化法采用的催化剂是()。 A.Cu B.Zn C.Ni D.a-Fe 4、氨合成的温度一般控制在()。 A.100℃以下B.100-200℃C.350-400℃D.400-500℃ 5、硫铁矿焙烧时的主要是设备是()。 A.转化炉B.煤气炉C.沸腾炉D.甲烷化炉 6、一氧化碳变换现在都采用加压变化,适宜的水碳比为()。 A.1 B.2 C.3 D.4 7、冷凝法分离氨是利用氨气在()下易于液化的原理进行的。 A、高温高压 B、低温高压 C、低温低压 D、高温低压 8、氨合成时使用铁催化剂,必须将其还原成()后,才能有催化活性。 A.α-Fe B.Fe3O4C.Fe2O3D.FeO 9、关于工业合成氨的下列说法中正确的是() A.从合成塔出来气体中,通常氨占15%,所以生成氨的效率很低,原料浪费很大B.进塔气中适宜的氢氮比在3.1~3.2之间 C.当氢氮混合气含有惰性气体时,就会使平衡氨含量降低 D.采用20MPa~50MPa是因在此压强下催化剂活性最大 10、在水溶液全循环法合成尿素生产中,中压分解温度一般控制在()℃左右。

A.160 B.180 C.200 D.220 11、在硫酸的工业制法中,下列生产操作及生产操作的主要原因二者都正确的是() A.从沸腾炉中出来的炉气须净化,因为炉气中的杂质会与SO2发生反应 B.硫铁矿燃烧前要粉碎,因为大块的不能燃烧 C.SO3用98.3%的浓硫酸吸收,目的是防止形成酸雾,以便SO3吸收完全 D.SO2氧化成SO3时需要使用催化剂,这样可以提高SO2的转化率 2SO3 (g),12、在接触法制硫酸的过程中,针对反应2SO2(g)+ O2(g)催化剂 △ △H=-196.6KJ.mol-1,为同时提高反应速率和二氧化硫的转化率,应采取的措施是() A.在400℃~500℃下反应 B.在常压下反应 C.增大氧气的用量 D.用V2O5作催化剂 13、以下有关接触法制硫酸的论述错误的是() A.为提高反应速度和原料利用率,硫铁矿要在“沸腾”状态下燃烧 B.为防止催化剂中毒,气体在进接触室前要先净化 C.接触室中热交换器其主要作用是预热末反应的气体和冷却反应后的气体 D.吸收塔中SO3从下而上,水从上而喷下,剩余气体从上部出来放空 14、工业硝酸依HNO3含量多少分为浓硝酸和稀硝酸,其中稀硝酸的浓度范围是()。 A.30%~ 60% B.45%~60% C.30%~70% D.45%~70% 15、工业上由稀硝酸直接浓缩制造浓硝酸时需添加脱水剂,常用的脱水剂是()。 A.硫酸钠 B.硝酸镁 C.磷酸钾 D.氢氧化钙 三、填空题(每空1分,共20分) 1、合成氨的生产过程的三个主要步骤:、、 。 2、写出甲烷蒸汽转化的化学反应式,转化温度、降低转化压力、水碳比有利于转化反应的进行。(降低/提高,增大/减小) 3、硫化氢可烃类蒸汽转化催化剂暂时性中毒,中毒后的催化剂可以用 的方法恢复活性。 4、干法脱硫可分为、、氧化铁法、分子筛法。 5、碳酸氢铵用三元水盐体系可表示为。 6、尿素的分子式为,水解后最终分解为。

《半导体集成电路》考试题目及参考答案

第一部分考试试题 第0章绪论 1.什么叫半导体集成电路? 2.按照半导体集成电路的集成度来分,分为哪些类型,请同时写出它们对应的英文缩写? 3.按照器件类型分,半导体集成电路分为哪几类? 4.按电路功能或信号类型分,半导体集成电路分为哪几类? 5.什么是特征尺寸?它对集成电路工艺有何影响? 6.名词解释:集成度、wafer size、die size、摩尔定律? 第1章集成电路的基本制造工艺 1.四层三结的结构的双极型晶体管中隐埋层的作用? 2.在制作晶体管的时候,衬底材料电阻率的选取对器件有何影响?。 3.简单叙述一下pn结隔离的NPN晶体管的光刻步骤? 4.简述硅栅p阱CMOS的光刻步骤? 5.以p阱CMOS工艺为基础的BiCMOS的有哪些不足? 6.以N阱CMOS工艺为基础的BiCMOS的有哪些优缺点?并请提出改进方法。 7. 请画出NPN晶体管的版图,并且标注各层掺杂区域类型。 8.请画出CMOS反相器的版图,并标注各层掺杂类型和输入输出端子。 第2章集成电路中的晶体管及其寄生效应 1.简述集成双极晶体管的有源寄生效应在其各工作区能否忽略?。 2.什么是集成双极晶体管的无源寄生效应? 3. 什么是MOS晶体管的有源寄生效应? 4. 什么是MOS晶体管的闩锁效应,其对晶体管有什么影响? 5. 消除“Latch-up”效应的方法? 6.如何解决MOS器件的场区寄生MOSFET效应? 7. 如何解决MOS器件中的寄生双极晶体管效应? 第3章集成电路中的无源元件 1.双极性集成电路中最常用的电阻器和MOS集成电路中常用的电阻都有哪些? 2.集成电路中常用的电容有哪些。 3. 为什么基区薄层电阻需要修正。 4. 为什么新的工艺中要用铜布线取代铝布线。 5. 运用基区扩散电阻,设计一个方块电阻200欧,阻值为1K的电阻,已知耗散功率为20W/c㎡,该电阻上的压降为5V,设计此电阻。 第4章TTL电路 1.名词解释

半导体工艺复习题剖析

填空20’ 简答20’ 判断10’ 综合50’ 第一单元 1.一定温度,杂质在晶体中具有最大平衡浓度,这一平衡浓度就称为什么? 固溶度 2.按制备时有无使用坩埚分为两类,有坩埚分为?无坩埚分为?(P24) 有坩埚:直拉法、磁控直拉法 无坩埚:悬浮区熔法 3.外延工艺按方法可分为哪些?(P37) 气相外延、液相外延、固相外延和分子束外延 4.Wafer的中文含义是什么?目前常用的材料有哪两种? 晶圆;硅和锗 5.自掺杂效应与互扩散效应(P47-48) 左图:自掺杂效应是指高温外延时,高掺杂衬底的杂质反扩散进入气相边界层,又从边界层扩散掺入外延层的现象。自掺杂效应是气相外延的本征效应,不可能完全避免。 自掺杂效应的影响: ○1改变外延层和衬底杂质浓度及分布 ○2对p/n或n/p硅外延,改变pn结位置 右图:互(外)扩散效应:指高温外延时,衬底中的杂质与外延层中的杂质互相扩散,引起

衬底与外延层界面附近的杂质浓度缓慢变化的现象。 不是本征效应,是杂质的固相扩散带来(低温减小、消失) 6.什么是外延层?为什么在硅片上使用外延层? 1)在某种情况下,需要硅片有非常纯的与衬底有相同晶体结构的硅表面,还要保持对杂质类型和浓度的控制,通过外延技术在硅表面沉积一个新的满足上述要求的晶体膜层,该膜层称为外延层。 2)在硅片上使用外延层的原因是外延层在优化pn 结的击穿电压的同时降低了集电极电阻,在适中的电流强度下提高了器件速度。外延在CMOS 集成电路中变得重要起来,因为随着器件尺寸不断缩小它将闩锁效应降到最低。外延层通常是没有玷污的。 7.常用的半导体材料为何选择硅? 1)硅的丰裕度。硅是地球上第二丰富的元素,占地壳成分的25%;经合理加工,硅能够提纯到半导体制造所需的足够高的纯度而消耗更低的成本。 2)更高的熔化温度允许更宽的工艺容限。硅 1412℃>锗 937℃。 3)更宽的工作温度。用硅制造的半导体件可以用于比锗 更宽的温度范围,增加了半导体的应用范围和可靠性。 4)氧化硅的自然生成。氧化硅是一种高质量、稳定的电绝缘材料,而且能充当优质的化学阻挡层以保护硅不受外部沾污;氧化硅具有与硅类似的机械特性,允许高温工艺而不会产生过度的硅片翘曲。 8.液相掺杂浓度计算(P29) 第二单元 1.二氧化硅结构中的氧原子可分为哪几种?(P66) 桥键氧原子和非桥键氧原子 2.SiO 2的掩蔽作用 硅衬底上的SiO2作掩膜要求杂质在SiO2层中的扩散深度X j 小于SiO2本身的厚度X SiO2 2 2j SiO SiO j 'j Si x D x x x D >=2Si SiO D 1D ?>

化工工艺学试卷

《化工工艺学》 一、填空题(本题共20分,共10小题,每题各2分) 1、在合成氨烃类蒸汽转化的过程中,从热力学角度分析有三个副反应存在析炭 的可能性,这三个副反应的化学反应方程式分别为_____________________-_、______________________和______________________,而从动力学角度分析只有___________________才可能析炭。 2、按照用途的不同可将工业煤气分为四类,分别为:__________、__________、- _________和__________。 3、煤中的水分主要分为三类,其中包括:游离水、__________和__________。 4、在合成氨CO变换工序阶段低温变换催化剂主要有__________和__________ 两种类型。 5、在用铜氨液对合成氨原料气进行最终净化时,对CO的吸收具有活性的离子为- _________。 6、在用甲烷化法脱碳时的主反应为______________________和_____________- _________;副反应为______________________和______________________。 7、在合成尿素时适当提高氨碳比是有利的,其有利方面主要表现在___________- ___________;______________________和有利于调节操作的热平衡。 8、硫铁矿接触法生产硫酸的过程包括___________、__________和吸收三个基本 过程。 9、目前,世界上生产纯碱的方法主要有__________、___________和联合制碱法。 10、生物质是指自然界中含有__________、___________、__________、_______- ____和油脂等的物质。 二、选择题(共20分,每题2分) 1. 下列哪个过程属于对石油的一次加工: A.烃类热裂解;B. 催化重整;C. 催化裂化;D.常压蒸馏和减压蒸馏 2.各族烃类的裂解反应难易顺序为: A. 正烷烃>异烷烃>环烷烃>芳烃 B. 正烷烃<异烷烃<环烷烃<芳烃 C. 环烷烃>芳烃>正烷烃>异烷烃 D. 环烷烃<芳烃<正烷烃<异烷烃

芯片制造-半导体工艺教程

芯片制造-半导体工艺教程 Microchip Fabrication ----A Practical Guide to Semicondutor Processing 目录: 第一章:半导体工业[1][2][3] 第二章:半导体材料和工艺化学品[1][2][3][4][5]第三章:晶圆制备[1][2][3] 第四章:芯片制造概述[1][2][3] 第五章:污染控制[1][2][3][4][5][6] 第六章:工艺良品率[1][2] 第七章:氧化 第八章:基本光刻工艺流程-从表面准备到曝光 第九章:基本光刻工艺流程-从曝光到最终检验 第十章:高级光刻工艺 第十一章:掺杂 第十二章:淀积 第十三章:金属淀积 第十四章:工艺和器件评估 第十五章:晶圆加工中的商务因素 第十六章:半导体器件和集成电路的形成 第十七章:集成电路的类型 第十八章:封装 附录:术语表

#1 第一章半导体工业--1 芯片制造-半导体工艺教程点击查看章节目录 by r53858 概述 本章通过历史简介,在世界经济中的重要性以及纵览重大技术的发展和其成为世界领导工业的发展趋势来介绍半导体工业。并将按照产品类型介绍主要生产阶段和解释晶体管结构与集成度水平。 目的 完成本章后您将能够: 1. 描述分立器件和集成电路的区别。 2. 说明术语“固态,” “平面工艺”,““N””型和“P”型半导体材料。 3. 列举出四个主要半导体工艺步骤。 4. 解释集成度和不同集成水平电路的工艺的含义。 5. 列举出半导体制造的主要工艺和器件发展趋势。 一个工业的诞生 电信号处理工业始于由Lee Deforest 在1906年发现的真空三极管。1真空三极管使得收音机, 电视和其它消费电子产品成为可能。它也是世界上第一台电子计算机的大脑,这台被称为电子数字集成器和计算器(ENIAC)的计算机于1947年在宾西法尼亚的摩尔工程学院进行首次演示。 这台电子计算机和现代的计算机大相径庭。它占据约1500平方英尺,重30吨,工作时产生大量的热,并需要一个小型发电站来供电,花费了1940年时的400, 000美元。ENIAC的制造用了19000个真空管和数千个电阻及电容器。 真空管有三个元件,由一个栅极和两个被其栅极分开的电极在玻璃密封的空间中构成(图1.2)。密封空间内部为真空,以防止元件烧毁并易于电子的====移动。 真空管有两个重要的电子功能,开关和放大。开关是指电子器件可接通和切断电流;放大则较为复杂,它是指电子器件可把接收到的信号放大,并保持信号原有特征的功能。 真空管有一系列的缺点。体积大,连接处易于变松导致真空泄漏、易碎、要求相对较多的电能来运行,并且元件老化很快。ENIAC 和其它基于真空管的计算机的主要缺点是由于真空管的烧毁而导致运行时间有限。 这些问题成为许多实验室寻找真空管替代品的动力,这个努力在1947年12月23曰得以实现。贝尔实验室的三位科学家演示了由半导体材料锗制成的电子放大器。

化工工艺学试卷A_及_答案

《化工工艺学》试卷A 参考答案与评分标准 一、解释名词(每题1.5分,共15分) 1、精细化工产值率:可以用下面的比率表示化工产品的精细化率: ×100精细化工产品的总产值精细化工产值率(精细化率)=%化工产品的总产值 2、附加价值 附加价值是指在产品的产值中扣除原材料、税金、设备和厂房的折旧费后,剩余部分的价值。它包括利润、人工劳动、动力消耗以及技术开发等费用,所以称为附加价值。 3、食品抗氧化剂 能够阻止或延缓食品氧化,以提高食品稳定性和延长贮存期的食品添加剂称为食品抗氧化剂。 3、Fox 公式 12121=++??????+=∑n i g g g gn gi W W W W T T T T T 4、高固体分涂料 高固体分涂料就是要求固体分含量在60%~80%或更高,有机溶剂的使用量大大低于传统溶剂型涂料,符合环保法规要求的涂料 5、光致变色高分子材料 是含有光色基团的聚合物受一定波长的光照射时发生颜色变化,而在另一波长的光或热的作用下又恢复到原来的颜色的材料。 6、光导纤维 是一种能够传导光波和各种光信号的纤维。 7、增塑剂 是一种加入到材料中能改进其加工性能(挤出、模塑、热成型性)及物理和机械性能(弹性、伸长率等)的物质。 8、分散染料 是一类分子比较小,结构上不带水溶性基团的染料。 9、造纸化学品 一般是指在制浆、抄纸这一整个纸及纸板的加工制造过程中所使用的所有化学品。 10、油田化学品 亦称油田化学剂,系指解决油田钻井、完井、采油、注水、提高采收率及集输等过程中所使用的助剂。 (每题1.5分,答对基本概念或内容即可) 二、举例说明精细化工与新能源技术的关系。(8分) 精细化工与能源技术的关系十分密切。精细化工与新能源技术相互促进、相互发展。例如太阳能电池材料是新能源材料研究的热点,IBM 公司研制的多层复合太阳能电池其光电转换效率可达40%。氢能是人类未来的理想能源,资源丰富、干净、无污染,应用范围广。而光解水所用的高效催化剂和各种储氢材料,固体氧化物燃料电池(SOFC)所用的固体

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