FIB 操作流程
1．Went 放3格气，
2．放样品，样品朝向自己，样品高度不能高于标准高度，3．关气Pump 等接近10-5时开始加高压
4．电子束高压加到15KV
5．找样品，调相至清晰，标记样品位置
6．FIB 先开source，等右下角变灰色，开high voltage 离子束高压
7．通过调Z轴高度来调样品高度，最终使工作距离FWD 接近4.6
8．右侧工具一览里选旋转T 5-20-52
9．E-mag 合轴couple
10．工具里选Si1-mtr
11．从I-beam根据样品厚度选束流大小，一般X2~3微米，y0.15-0.2微米，Z切得深度
12．做完一个样品，工具T 52度-0度
关机步骤：
1．离子束HV 关，变灰后，关source 变灰，电子束HV 关2．点击右下角图标推出系统