第一章修理操作前的各项准备工作
1.1修理操作的先决条件
1.2使用工具
第二章照明系统修理程序
2.1超高压汞灯电源异常
2.2照明均匀性异常和曝光功率降低
第三章硅片传输系统的修理程序
3.1硅片传输系统的真空异常
3.2OF检测失灵
3.3预对准工作异常
3.4上下片臂定位不良
(以上全部维修程序请参考微高公司提供的维修手册)
第一章修理操作前的各项准备工作
1.1修理操作的先决条件
能进行操作和精读检验
能够使用示波器照度计等测量仪器
注意事件:抽出电路板时,请先关断电源
拿起电路板时请勿用手指接触链接点
打开或关断控制单元电源时,先将控制计算机正确关闭
对光学系统进行清洁处理时,请务必戴上洁净手套
1.2使用工具
使用工具一览表
消耗品一览表
使用各种工具时,请注意以下事项:
要参照使用说明书对示波器及时进行探测头校准,保持其精读,尤其在更换探头时,请务必加以校准。
松开或上紧螺栓螺母之类机件时,请使用尺寸合适的工具,且施力恰当,以免损坏机器。
调整电位器,请注意方向,本文中标有CW时,按顺时针方向旋转,标CWW,按反时针方向旋转。
第二章照明系统修理程序
凡涉及机械电气光学压力流量位置等调整时,请专业人士协助实施。否则后果自负。
2.1超高压汞灯电源异常
程序1:超高压汞灯电源操作面板的检验
对外围室(净化室)前面的操作面板进行如下的检测:
电源开关是否打开?
触发开关是否打开?
报警灯是否亮?
程序2:超高压汞灯控制箱的检验。
对外室上面的超高压汞灯控制箱进行如下检验:
打开电源开关电源指示灯是否发亮风扇是否转动
程序3:AC200V系统的检验
打开外围室左侧后部的电控箱门,检验超高压汞灯电源的短路器是否处于通路状态。
程序4:恒温器的更换方法
工具:六角起子套件
十字起子套件
关闭操作面板上的电源开关,然后再关闭汞灯控制装置内的电源开关。
约等30分钟,灯罩内达到足够冷冻状态。
松开右侧1个十字螺钉灯罩左侧两个十字螺钉,取下灯罩盖。
取下灯罩的盖子,用六角形起子将位于黑色板子上部的恒温器卸下。用十字起子卸开恒温器的布线,更换恒温器。
将新的恒温器安装于黑色板上,装上灯罩盖
注意:安装灯罩盖时,请不要夹住恒温器的接线。
2.2照明均匀性异常和曝光功率降低
程序1:照度的调整
用A-9电路板的VR27(LAMP)调整
程序2:超高压汞灯的安装位置调整
安装超高压汞灯时,请交替上紧支撑机构侧面两个安装螺钉。
单方上紧时,装斜后的调整范围狭窄。
程序3:超高压汞灯的最佳位置调整
调整超高压汞灯位置时,要使超高压汞灯的弧像投影到超高压汞灯监视器中心,但仅此还不能将其调到最佳位置。
对超高压汞灯监视器始终要考虑开始调整的大致位置,上下左右调整,以探测最佳位置。
探测照度功率的最大位置,在调整螺钉1的旋转过程中寻找最佳位置。
第三章硅片传输系统的修理程序
3.1硅片传输系统的真空异常
故障编码:61-67 69 6A F8 F9
故障多次发生时,请联系专业人员,并告知一下事项:
故障发生的频度
发生故障的硅片是否受限定
故障发生时硅片的状态
故障发生之前,引起故障的工作臂在做什么样的动作
程序1:供气压力检查
检验供过给点真空压力,然后加以调整。
在压力无异常时,检验内是否有真空泄漏之处。
压缩气压(sup)真空压力(vac)用净化室前面的指示面板上的压力表检验指标:SUP:大于3kg/c㎡
VAC:大于460mmhg
程序2:检验硅片有无翘曲
对发生故障的硅片做以下的检验:
在出现真空异常之处的硅片有无翘曲
硅片背面有无污染,是否付着有灰尘。
程序3:硅片交换位置的调整
工具:调正螺丝刀
检验真空出现异常之处的硅片是否处于该处工作臂的中心位置,若明显偏离中心,即做调整。
硅片交接位置不适当时,检验在何处发生位置偏差。
1)以下表示各个工作臂在发生真空异常(detail code:65 66 68)上片时,检验取片臂的插入位置,取片臂从片架抽取硅片时,检验臂的真空面是否在硅片中心位置附近吸附硅片。
当吸附不再中心位置附近时,调整内部传感器的位置。
下片时,与横向滑动臂交接硅片时,检验取片臂的真空面是否在硅片的中心位置附近吸附硅片。
若不在中心位置附近吸附,则调整外边的传感器。
2)横向滑动臂真空异常(detail code:6A)
检验在各个臂交接硅片时,横向滑动臂是否在各个臂移动到其中心位置时停止。
若各个臂不位于中心位置附近,则应调整相应臂位置上的位置检测传感器。
另外,由联机部分接收硅片时,有必要对联机部分的位置检测传感器进行调整。
3)of上/下臂的真空异常(detail code:6E)
检验横向滑动臂的OF上下臂位置停止时,OF上下臂是否位于横向滑
动臂的中心位置附近。
在不位于中心位置附近,则调整滑动臂在OF台处的横向位置检测传感器。
3.2 OF检测失灵
程序1:OF检测
工具:六角形起子
示波器
数字万用表
检验WLOFS电路板上的VR1(OFSPD)能否顺时针转动
此时,要了解在旋转台无硅片状态下TP5(OFSPD)的输出是多少V 若能转动,顺时针调整。
程序2:
OF机构部分X方向间隙检查
工具:六角形起子
示波器
数字万用表
OF机构部分由4个小螺钉固定
检验OF机构部分在x方向上有无间隙,若有,则在旋转台上无硅片状态下用示波器监视TP5(OFSPD)和TP12(OFSPD),按输出最大条件下无间隙存在来上紧螺丝。
3.3预对准工作异常
程序1:承片台真空传感器的检查
将外围室背面左侧的门打开,STGVAC电路板在最上部,D5在该电路板内。
承片台本身电路板上的LED是否发亮
程序2:预对准2的工作速度检查
只要打开/关断A-40电路板的WASET的嵌入式开关,预对准2即将运转。
当其运转异常时,调整WASET的速度控制器。
注意:操作结束后,请勿必将嵌入式开关拔向OPEN方
3.4上下片臂定位不良
故障码:-1229(cc,cd)
程序1:中间位置传感器的检查
检查上下片臂满行程运动时,WLOFS电路板上的D39(上片臂)D39(下片臂)有无开灯和关灯情况。
程序2:转矩不稳定的检查与调整
检验上下片臂全行程时,走动是否平滑
走动不平滑。调整固定螺丝。
在前后相关的3个螺丝钉中,一次松开前面两个之后,上紧到刚刚好接触的程度,剩下的一个尽量上紧。