VLSI铜互连可靠性TDDB特性及其寿命评估模型研究

西安电子科技大学

硕士学位论文

VLSI铜互连可靠性TDDB特性及其寿命评估模型研究

姓名：李思言

申请学位级别：硕士

专业：微电子学与固体电子学

指导教师：马佩军

20090101