MEMS惯性仪表技术发展趋势
王巍;何胜
【期刊名称】《导弹与航天运载技术》
【年(卷),期】2009(000)003
【摘要】近几十年来,随着微电子技术的发展和微机械加工设备的完善和精度的提高,以单晶硅、石英晶体等材料研制的各种微型惯性仪表及其系统产品相继问世,它与传统的机械式惯性仪表相比,体积大为缩小,质量大为减轻,功耗大幅度降低;采用微机械工艺,可以实现大批量生产,故价格低廉;如果采用与IC兼容的工艺方式,配套电路还可以和微敏感结构集成一体化,MEMS惯性仪表具有可靠性高、承载能力强和测量范围大的特点;这些是传统机械式惯性器件无法比拟的.重点概述了近年来国内外微机电加速度计.微机电陀螺仪及其系统应用技术的发展情况,探讨了MEMS惯性技术下一步发展趋势.
【总页数】6页(23-28)
【关键词】微机电;惯性技术;陀螺仪
【作者】王巍;何胜
【作者单位】中国航天时代电子公司,北京,100854;中国航天时代电子公司,北京,100854
【正文语种】中文
【中图分类】V464
【相关文献】
1.惯性技术研究现状及发展趋势 [J], 王巍
2.MEMS技术发展现状及未来发展趋势 [J], 秦雷; 谢晓瑛; 李君龙