一、
1.套准精度的定义,套准容差的定义。大约关键尺寸的多少是套准容差？
套准精度是测量对准系统把版图套准到硅片上图形的能力。套准容差描述要形成图形层和前层的最大相对位移,一般，套准容差大约是关键尺寸的三分之一。
2.信息微系统的特点是什么？
低成本，能耗低，体积小，重量轻，高可靠性和批量生产，可集成并实现复杂功能。
3.微加工技术是由什么技术发展而来的，又不完全同于这种技术。独特的微加工技术包括哪些？
（1）微电子加工技术；（2）表面微制造、体硅微制造和LIGA工艺。4.微电子的发展规律为摩尔定律，其主要内容是什么?
集成电路芯片的集成度每三年提高4倍，而加工特征尺寸缩小√2倍
5.单晶、多晶和非晶的特点各是什么？
单晶：几乎所有的原子都占据着安排良好的规则的位置，即晶格位置；非晶：原子不具有长程有序，其中的化学键，键长和方向在一定的范围内变化；
多晶：是彼此间随机取向的小单晶的聚集体，在工艺过程中，小单晶的晶胞大小和取向会时常发生变化，有时在电路工作期间也发生变化
6.半导体是导电能力介于导体和绝缘体之间的物质；当受外界光和热作用时，半导体的导电能力明显变化；在纯半导体中掺杂可以使半导体的
导电能力发生数量级的变化。
7.标准RCA清洗工艺有几个步骤，各步主要用来去除哪些物质?
SPM清洗:有机物
APM清洗:颗粒和少量有机物
DHF清洗:氧化膜
HPM清洗:金属离子
8.磁控溅射镀膜工艺中，加磁场的主要目的是什么？
将电子约束在靶材料表面附近，延长其在等离子体中运动的轨迹，提高与气体分子碰撞和电离的几率
9.谐衍射光学元件的优点是什么？
高衍射效率、优良的色散功能、减小微细加工的难度、独特的光学功能10.描述曝光波长与图像分辨率的关系，提高图像分辨率，有哪些方法？
（1）
NA = 2 r0/D, 数值孔径；K1是工艺因子：0.6～0.8
（2）减小波长和K1，增加数值孔径
氧气在强电场作用下电离产生的活性氧，使光刻胶氧化而成为可挥发的CO2、H2O 及其他气体而被带走；目的是去除光刻后残留的聚合物11.什么是等离子体去胶，去胶机的目的是什么？
通过控制F/C的比例，形成聚合物，在侧壁上生成抗腐蚀膜
12.硅槽干法刻蚀过程中侧壁是如何被保护而不被横向刻蚀的？
未知
13.折衍混合光学的特点是什么？
折衍混杂的光学系统能突破传统光学系统的许多局限，在改善系统成像质量减小系统体积和质量等诸多方面表现出传统光学不可比拟的优势刻蚀工艺有哪两种类型？简单描述各类刻蚀工艺
14.刻蚀工艺有哪两种类型？简单描述各类刻蚀工艺
湿法刻蚀：采用液体腐蚀剂，通过溶液和薄膜间得化学反应就能够将暴露得材料腐蚀掉
15.微纳结构光学涉及三个理论领域，其中标量衍射理论适用于设计
d>=10λ的微纳光学器件；矢量衍射理论适用于设计d～λ的微纳光学器件；等效介质折射理论适用于设计d<=λ/10的微纳光学器件。
16.在紫外光刻中，正性光刻胶曝光后显影时将被溶解，负性光刻胶曝
光后显影时将被保留下来.
17.剥离（lift-off）工艺适用于制作适用于制作难腐蚀材料图形，一般需要采用正性光刻胶光刻胶光刻。
18.光刻中，g线波长是指365nm,i线是指436nm.
19.干法刻蚀中的负载效应是指分为宏观和微观二种；宏观负载效应指
当反应腔中硅片过多，或硅片上待刻区域面积过大时，导致刻蚀速率降低的现象。微观负载效应指硅片表面极小区域内刻蚀速率的不同
20.在KOH湿法腐蚀硅时，三种晶向平面<100>、<110>和<111>中，<100>腐蚀最快，<111>腐蚀最慢。
21.正性光刻胶曝光显影时将被溶解，负性光刻胶曝光后显影时将被保留下来，依此作图，注明保留部分依此作图，注明保留部分？
22.何谓表面等离子体波，激发表面等离子体波有哪几种方法？为什么说表面等离子体技术可以突破衍射极限？
（1）等离子体中粒子的各种集体运动模式
（2）棱镜耦合波导结构衍射光栅结构强聚焦光束近场激发（3）垂直方向的传播是倏逝场
二、
1.以图解形式描述二元光学原理以及器件制作工艺
上图为八相位微透镜阵列制作原理图。
制作工艺：先将基片清洗干净并吹干，在特定的位置涂覆光刻胶，将匀胶之后的基片进行曝光，之后再进行显影，反复多次就可以得到所需的透镜阵列。
2.试述光学近场显微镜的原理。
远场光学受到衍射极限限制，近场是在距物体仅几个波长的区域，近场光学的基本原理就是非辐射场的探测。当用传播波或倏逝波照射高空间频率的物体时，将产生倏逝波，这样的倏逝波场不服从瑞利判据，根据互易原理，这些不可探测的高频局域场可以通过微小物体的转换成为新的倏逝场传播，传播场被适当距离的探头所记录，就能获得精细结构的局部变化，当用光纤探针尽心平面扫描时，我们就可以得到二维图像。
3.论述折衍混合光学元件的消色差和消热差原理。
消色差原理：衍射光学元件（DOE）具有负等效Abbe常数的特性，与折射光学元件相反，因此折衍混合可以消除色差。只需满足消色差
方程即可：
消热差原理：对于折射光学系统，温度升高，折射率变小，光学系统光焦度变小，焦距变长，温度降低，焦距变小；衍射光学表面微结构对温度不敏感，且具有负热差特性，与折射光学组成折衍混合光学可消热差。
4.何谓光子晶体？介绍光子晶体特点和应用。
①具有不同介电常数的介质材料随空间呈周期性的变化时，在其中传播的光波的色散曲线将成带状结构，当这种空间有序排列的周期可与光的波长相比位于同一量级，而折射率的变化反差较大时带与带之间有可能会出现类似于半导体禁带的“光子禁带”(photonic band gap)，这种光子禁带材料就是光子晶体，是一种新型的人工结构功能材料，通过设计可以
人为调控经典波的传输。
特点
②光子带隙：在一定频率范围内的光子在光子晶体内的某些方向上是严格禁止传播的
光子局域：在光子晶体中引入杂质和缺陷时，与缺陷态频率符合的光子会被局限在缺陷位置，而不能向空间传播
③光子晶体反射器件，偏振片，发光二极管，滤波器，光纤，非线性开关和放大器，激光器
5.试述相移掩膜方法的原理。
示意图：
增加一层相移层能够使相邻掩膜移相180°从而实现相移掩膜。
6.解释在制备微器件中牺牲层的作用和工作机制。
作用：在制备过程中作为结构层，最终要被去除掉。
工作机制：（牺牲层的概念比较广，不同的牺牲层材料对应不同的工作机
制）可以通过悬浮等方式产生牺牲层。
三、分析计算题：
1．采用解析法设计一个主焦距长度为1mm,通光口径为0.3mm的硅菲涅尔衍射微透镜,采用2台阶量化方案，并给出掩膜版设计参数。设计波长为4μm，硅的折射率为3.4,设成像空间折射率n=1。
①取n=-1，已知焦距，算出r p
②由此算出菲涅尔波带片的半径分布
③d m=λ/[2m(n-n0)],由此算出两次光刻的光刻深度
③推测这个是掩膜的环径
④式中H=λ/(n-n0)
2.2．制作一个如图所示的穿片开孔，开孔口径为10μm。假设采用<100>晶向的硅晶圆片，各向异性腐蚀方法制作。试确定硅晶圆片背面的窗口尺寸w.
<111>与水平方向角度为54.74度 300/x=tan54.74 W=2x+10=434.2um
3.利用热熔技术制作一个口径为60微米,空气中焦距为200微米的胶微透镜，假设胶体材料的加热后的体积收缩率为5%，而口径没有改变，胶体热熔后材料折射率为n=1.4。试设计热熔前胶体的尺寸（直径和厚度）。
解：
带入各值计算可得：
R=57.143μm
h=8.51μm
所以热熔后的体积
V 热熔后= π（（R 2? R ?x 2）dx 8.51
0 V 热熔前=π(d 2)2H ）
由题可知，D=d=60μm
代入计算，有H=4.6μm
聚合物微纳制造技术现状及展望 目录 聚合物微纳制造技术现状及展望 (1) 1、微纳系统的意义、应用前景 (1) 2、微纳机电系统国内外研究现状和发展趋势 (3) 3. 聚合物微纳制造技术研究现状 (9) 4. 展望 (11) 微/纳米科学与技术是当今集机械工程、仪器科学与技术、光学工程、生物医学工程与微电子工程所产生的新兴、边缘、交叉前沿学科技术。微/纳米系统技术是以微机电系统为研究核心，以纳米机电系统为深入发展方向，并涉及相关微型化技术的国家战略高新技术[1]。微机电系统(Micro Electro Mechani cal System, MEMS ) 和纳机电系统(Nano Electro Mechanical System, NEMS )是微米/纳米技术的重要组成部分，逐渐形成一个新的技术领域。MEMS已经在产业化道路上发展，NEMS还处于基础研究阶段[2]。 从微小化和集成化的角度，MEMS (或称微系统)指可批量制作的、集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路，直至接口、通讯和电源等于一体的微型器件或系统。而NEMS(或称纳系统) 是90 年代末提出来的一个新概念，是继MEMS 后在系统特征尺寸和效应上具有纳米技术特点的一类超小型机电一体的系统，一般指特征尺寸在亚纳米到数百纳米，以纳米级结构所产生的新效应(量子效应、接口效应和纳米尺度效应) 为工作特征的器件和系统。图1给出了MEMS 和NEMS 的特征尺度、机电系统的尺度与相应的理论问题[2]。 图1 MEMS 和NEMS 的特征尺度、机电系统的尺度与相应的理论问题 1、微纳系统的意义、应用前景 由于微/纳机电系统是一门新兴的交叉和边缘学科，学科还处于技术发展阶段，在国内外尚未形成绝对的学科和技术优势；微/纳米技术还是一项支撑技术，它对应用背景有较强的依赖性，目前它的主要应用领域在惯导器件、军事侦察、通信和生物医学领域，以及微型飞机和纳米卫星等产品上。 （1）重要的理论意义和深远的社会影响
第一章 1、微纳米材料的三个特性是什么? 答：微尺寸效应、表面与界面效应、量子尺寸效应。 2、微纳测试的研究内容是什么，并解释其内涵 答：圆片级测试、管芯级测试和器件级测试。 MEMS圆片级测试主要解决MEMS在工艺线上制造过程中微结构与设计的符合性、微结构之间以及不同批次圆片间的一致性与重复性问题； 管芯级测试主要解决封装前微器件的成品率的测试问题； 器件级测试有两个方面的目的：其一是检测封装的质量，进行微器件的综合性能测试；另一方面则是考核微器件的可靠性，给出可靠性指标。 3、微纳测试方法有哪两大类 答：接触式测试与非接触式测试。 4、微纳测试仪器有哪几类 答：光学、电子学、探针等。 5、微纳测试的特点 答：被测量的尺度小，一般在微纳米量级；以非接触测量为主要手段。 第二章 1、试述光学法在微纳测量技术中的意义（同自动调焦法优点） 答：由于是非接触测量，因而对被测表面不造成破坏，可测量十分敏感或柔软的表面；测量速度高，能扫描整个被测表面的三维形貌，且能测量十分复杂的表面结构；用这种方法制成的测量仪器可用在制造加工过程中实现自动化测量。 2、可见光的波长范围 答：400~760nm 3、凸透镜成像的5种形式 答：形式1：当物距大于2倍焦距时，则像距在1倍焦距和2倍焦距之间，成倒立、缩小的实像。此时像距小于物距，像比物小，物像异侧。应用：照相机、摄像机。 形式2：当物距等于2倍焦距时，则像距也在2倍焦距，成倒立、等大的实像。此时物距等于像距，像与物大小相等，物像异侧。 形式3：当物距小于2倍焦距、大于1倍焦距时，则像距大于2倍焦距，成倒立、放大的实像。此时像距大于物距，像比物大，物像异侧。应用：投影仪、幻灯机、电影放映机。 形式4：当物距等于1倍焦距时，则不成像，成平行光射出。 形式5：当物距小于1倍焦距时，则成正立、放大的虚像。此时像距大于物距，像比物大，物像同侧。应用：放大镜。 4、几何光学的成像原理、波动光学的成像原理 答：几何光学成像原理：在均匀介质中，光线直线传播；光的反射定律；光的折射定律；光程可逆性原理。 波动光学成像原理：光的干涉；光的衍射；光的偏振。 5、显微镜与望远镜的异同点 答：显微镜与望远镜的相同点：（1）都是先成实像，后成虚像（2）他们的目镜都相当于放大镜成正立放大虚像。
《微生物学》课程期末考试试题解答及评分标准99b 一．判断改错题（判断下列每小题的正错，认为正确的在题后括号内打“√”； 错误的打“×”，并予以改正，每小题1.5分，共15分） 01.真菌典型营养体呈现丝状或管状，叫做菌丝(√) 02.专性寄生菌并不局限利用有生命力的有机物作碳源。(×) 改正：专性寄生菌只利用有生命力的有机物作碳源 03.根据微生物生长温度范围和最适温度，通常把微生物分成高温性、中温性、低温性三 大类。(√) 04.放线菌、细菌生长适宜的pH范围：最宜以中性偏酸；(×) 改正：放线菌，细菌生长适宜中性或中性偏碱。 05.厌气性微生物只能在较高的氧化还原电位(≥0.1伏)生长,常在0.3-0.4V生长。(×) 改正：厌气性微生物只能在较低的氧化还原电位(≤0.1伏)才能生长,常在 0.1V生长； 06.波长200-300nm紫外光都有杀菌效能，一般以250-280nm杀菌力最强。(√) 07.碱性染料有显著的抑菌作用。(√) 08.设计培养能分解纤维素菌的培养基,可以采用合成培养基。(×) 改正:能分解纤维素菌的培养基,培养基中需加有机营养物：纤维素。
09.液体培养基稀释培养测数法，取定量稀释菌液，经培养找出临界级数，可以间接测定 样品活菌数。(√) 10.共生固氮微生物，二种微生物必须紧密地生长在一起才能固定氨态氮，由固氮的共生 菌进行分子态氮的还原作用。(√) 一．多项选择题（在每小题的备选答案中选出二至五个答案，并将正确的答案填在题干的括号内，正确的答案未选全或有选错的，该小题无分，每小题2分，共20分） 11.放线菌是能进行光合作用的原核微生物，其细胞形态（A；B；C；） A.有细胞壁; B.由分支菌丝组成; C.无核仁; D.菌体无鞭毛; E.菌体中有芽孢。 12.支原体[Mycoplasma],介乎于细菌与立克次体之间的原核微生物,其特点是：（A；B；）A.有细胞壁;B.能人工培养； C.有核仁; D.有鞭毛； E.非细胞型微生物。 13.无机化合物的微生物转化中，其硝化作用包括：（C；D；E；） A.硝酸还原成亚硝酸; B.硝酸还原成NH 3；C.NH 3转化成亚硝酸;D.铵盐转化成亚硝酸； E.亚硝酸盐转化成硝酸盐。 14.单细胞微生物一次培养生长曲线中，其对数生长期的特点：（A；D; E；）
第一章 一.微生物有哪些主要类群？有哪些特点？ 答：类群：1.真核细胞型；2.原核细胞型：细菌，放线菌，衣原体，支原体，立克次式体； 3.非细胞型：病毒。 特点：1.体小，面积大 2.吸收多，转化快3.生长旺，繁殖快4.分布广，种类多 5.适应强，易变异二.你认为现代微生物学的发展有哪些趋势？ 答：研究领域有制药、治理环境污染等，微生物的基因科学，微生物病毒学，现代微生物学已发展出很多的分支学科，如病毒学，微生物基因组学，应用微生物（生物农药，浸矿微生物等），病源微生物（主要指细菌），海洋微生物，古细菌等，现代微生物学的研究主要集中在菌种的遗传背景，市场化应用等，食品微生物快速检测技术、食用菌的生产、功能性成分的提取等。 三.简述微生物与制药工程的关系。 答：1.人类除机械损伤外的疾病都是由微生物造成的 2.微生物又是人用来防治疾病的常用方法 3.微生物在自然环境中分布广泛来源很多 4.微生物的代谢产物相当多样，可用于生物制药 5.微生物和人之间的关系，涉及人、微生物、植物的协同进化 6.遗传学与生态学 名词对照： 古菌域：Archaea 三域学说分为古菌域、细菌域、真核生物域，古菌域为其中一大类别。（不确定）细菌域：bacteria 三域学说分为古菌域、细菌域、真核生物域，细菌域为其中一大类别。（不确定）真核生物域：Eukarya 三域学说分为古菌域、细菌域、真核生物域，真核生物域为其中一大类别。（不确定） 微生物：microorganism 是所有形态体积微小的单细胞或者个体结构简单的多细胞以及没有细胞结构的低等生物的通称。 第二章 一.比较下列各队名词 ①.原核微生物与真核微生物：原核微生物没有明显的细胞核，无核膜，核仁，无染色体，其细胞核为拟核，细胞内么有恒定的内膜系统，核糖体为70S型，大多为单细胞微生物。真核微生物有明显细胞核，有各种细胞器，核糖体为80S型。 ②.真细菌与古菌：相同点：以甲硫氨酸起始蛋白质的合成，核糖体对氯霉素不敏感，RNA聚合酶和真核细胞的相似，DNA具有内含子并结合组蛋白。 不同点：细胞膜中的脂质是不可皂化的，细胞壁不含肽聚糖等。 ③.原生质体与球形体：原生质体是脱去细胞壁的细胞，是由原生质分化而来，具体包括细胞膜和细胞质以及细胞器；球形体：指在螯合剂等存在的条件下用溶菌酶部分除去革兰氏阴性菌的细胞壁而形成的缺损型细胞。 ④.鞭毛、菌毛和性菌毛：鞭毛是一端连于细胞膜，一端游离的、细长的波形纤丝状物。菌毛为一些菌体表面的非鞭毛的细毛状物，菌毛是许多革兰氏阴性菌菌体表面遍布的比鞭毛更为细、短、直、硬、多的丝状蛋白附属器。其化学组成是菌毛蛋白，菌毛与运动无关；性菌毛在少数革兰阴性菌，比普通菌毛略微稍粗，一个菌体只有1～4根，通常由质粒编码。带有性菌毛的细菌具有致育能力。 ⑤.芽孢与孢子：芽孢是有些细菌（多为杆菌）在一定条件下，细胞质高度浓缩脱水所形成的一种抗逆性很强的球形或椭圆形的休眠体。孢子是细菌、原生动物、真菌和植物等产生的一种有繁殖或休眠作用的生殖细胞。能直接发育成新个体。 二.比较革兰氏阳性菌与革兰氏阴性菌细胞壁结构，并说明革兰氏染色的原理。
一 单项选择题(每小题3分,共15分) 1.设lim ()x a f x k →=,那么点x =a 是f (x )的( ). ①连续点 ②可去间断点 ③跳跃间断点 ④以上结论都不对 2.设f (x )在点x =a 处可导,那么0()(2)lim h f a h f a h h →+--=( ). ①3()f a ' ②2()f a ' ③()f a ' ④ 1()3f a ' 3.设函数f (x )的定义域为[-1,1],则复合函数f (sinx )的定义域为( ). ①(-1,1) ②,22ππ??-??? ? ③(0,+∞) ④(-∞,+∞) 4.设2()()lim 1() x a f x f a x a →-=-,那么f (x )在a 处( ). ①导数存在,但()0f a '≠ ②取得极大值 ③取得极小值 ④导数不存在 5.已知0lim ()0x x f x →=及( ),则0 lim ()()0x x f x g x →=. ①g (x )为任意函数时 ②当g (x )为有界函数时 ③仅当0lim ()0x x g x →=时 ④仅当0 lim ()x x g x →存在时 二 填空题(每小题5分,共15分) 1.sin lim sin x x x x x →∞-=+____________. 2.31lim(1)x x x +→∞+=____________. 3.()f x =那么左导数(0)f -'=____________,右导数(0)f +'=____________. 三 计算题(1-4题各5分,5-6题各10分,共40分) 1.111lim()ln 1 x x x →-- 2.t t x e y te ?=?=?,求22d y dx 3.ln(y x =,求dy 和22d y dx . 4.由方程0x y e xy +-=确定隐函数y =f (x ) ,求dy dx . 5.设111 1,11n n n x x x x --==++,求lim n x x →∞.
微纳光子学主要研究在微纳尺度下光与物质相互作用的规律及其光的产生、传输、调控、探测和传感等方面的应用。微纳光子学亚波长器件能有效提高光子集成度，有望像电子芯片一样把光子器件集成到尺寸很小的单一光芯片上。纳米表面等离子体学是一新兴微纳光子学领域，主要研究金属纳米结构中光与物质的相互作用。它具有尺寸小，速度快和克服传统衍射极限等特点，有望实现电子学和光子学在纳米尺度上的完美联姻，将为新一代的光电技术开创新的平台。金属-介质-金属F-P腔是最基本的纳米等离子体波导结构，具有良好的局域场增强和共振滤波特性，是制作纳米滤波器、波分复用器、光开关、激光器等微纳光器件的基础。但由于纳米等离子体结构中金属腔的固有损耗和能量反射，F-P腔在波分复用器应用中透射效率往往较低，这给实际应用带来不利。 最近，科研人员提出了一种提高表面等离子体F-P腔波分复用器透射效率的双腔逆向干涉相消法。该方法能有效避免腔的能量反射，使入射光能完全从通道端口出射，极大增强了透射效率。此设计方法还能有效的抑制噪声光的反馈。同时，科研人员利用耦合模方法验证了这种设计方法的可行性。这种波分复用器相比目前报道的基于F-P单腔共振滤波的波分复用器的透射效率提高了50%以上。相关的成果于2011年6月20日发表在Optics Express上，论文题目为：Enhancement of transmission efficiency of nanoplasmonic wavelength demultiplexer based on channel drop filters and reflection nanocavities。 “新兴光器件及集成技术专题报告会”上发布《纳米光子学对光子技术更新换代的重要作用》精彩演讲。报告摘要;从上世纪70年代开始，光子学进入微光子学阶段，经过40年的研究，现在已经比较成熟。以半导体激光器为重点的研究已经逐渐转向对激光控制问题的研究和激光应用的研究。同时，光子技术已经进入光电子技术阶段，其特点是研究开发以电控光、光电混合的器件和系统。光电子技术已经逐步占领了电子技术原有的阵地。它的应用领域已经扩大到人类社会生活的各方面，如光通信与光网，平板显示、半导体照明、光盘存储、数码相机等。光电子产业迅速发展壮大起来。在经济发达国家，光电子产业的总产值已经可以与电子产业相比，甚至超过电子产业。近十年来，国际学术界开始大力发展纳光子学及其技术，使光电子技术与纳米技术相结合，对现有光电子技术进行升级改造。 与国际上科技发达的国家相比，目前我国微纳光子学的研究还不算落后，这从我国在微纳光子学领域发表的论文数量和投稿的杂志级别就可看出。但是我国的光子学研究论文大部分是理论方面的，大多数是跟踪国外的。由于国内缺乏先进的科学实验平台，特别是缺乏制备微纳光子学材料和器件的工艺条件，实验方面的论文比较少（除了少数与国外合作研究的论文），创新的思想无法得到实验验证。微光子学方面的情况尚且如此，在纳光子学方面，由于对仪器、设备、工艺和技术的要求更高，与国外的差距正在加大。 在光电子技术方面，由于国际经济的全球化和我国的改革开放形势，吸引跨国公司将制造、加工基地向我国转移。21世纪初光电子企业的大公司纷纷落户我国。而且大量资金投向我国沿海经济发达地区（如广东、上海和京津地区），建立起一大批中外合资或独资企业。但是这些外国企业或技术人员，控制着产业的高端技术，对我国实行技术垄断，使我国的光电子技术至今还处于“下游”，成为外向加工企业。大多数光电子企业采用这样的生产模式：购买国外的芯片进行器件封装，或者购买国外的器件进行系统组装。目前我国光电子企业严重缺乏核心技术和自主知识产权，无法抵御国际经济危机，面临着很大的风险。 为了加快我国的微纳光子学与相关光子技术的发展，我国应该集中投入一部分资金，凝聚一批高水平研究人才，在某些光电子企业集中的地区，依托光子学研究有实力的单位，采用先进的管理模式，建设我
基于视觉计算的扫描电子显微镜下微纳尺度三维形面测量方法 研究 随着微、纳领域科学技术的不断发展,微、纳米材料在芯片制造、电子封装、生物医药等高新技术领域得到越来越广泛应用。由于微、纳米材料与结构具有尺寸效应,在力-电-磁-热等多场耦合负载作用下,极易产生变形、裂纹进而导致结构与器件失效。因此,在微纳尺度下实施精确地三维形面测量对了解上述变形机理、失效机制分析、指导微纳系统设计与加工等具有重要意义。近年来,微纳尺度精密测试技术不断进步,涌现出多种微纳尺度三维形面测量方法。 其中,基于扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)测量方法(3D SEM),具有高效、非接触式、测量范围大和对样品表面粗糙度的良好脱敏性等一系列优点而受到国内外众多学者的共同关注。然而,由于SEM是以可视化为目的进行设计与制造,要将其应用于三维形貌测量,在成像模型及标定、图像畸变校正、特征匹配与三维测量算法等方面仍存在着诸多问题。为此,本论文针对3D SEM在实施与应用中所面临的问题,主要开展SEM成像模型通用化建模、SEM图像畸变校正、基于视差-深度映射的局部高效三维测量方法和自适应SfM-SEM框架下整体精细三维测量方法等四个方面的研究,以形成一套完备的SEM下三维形面测量理论与技术体系。具体研究工作如下:针对SEM成像模型分歧大、无法根据SEM的放大倍率对成像模型进行准确划分等问题,在不依赖任何假设的条件下, 从SEM成像过程本质出发,建立连续通用成像模型以表征SEM系统成像特性。 根据SEM成像过程的连续性约束,利用径向基函数来表达像素点与空间直线的对应关系,进而参数化连续通用成像模型;澄清放大倍率与成像规律的关系,揭示SEM成像系统真实成像本质,实现SEM在不同倍率下的成像模型通用化与可视化表达。可视化建模结果验证部分学者对SEM成像特性和放大倍率的关系假设。通过精度实验证明相比于传统成像模型,连续通用成像模型可更精准地刻画SEM 成像过程,为探索SEM成像规律提供新思路,具有重要的理论和应用价值。针对SEM图像畸变原因复杂、无明显规律且无法利用光学参数化模型校正等问题,提出一种顾及倍率变化的SEM图像畸变校正方法。 对于SEM的时间漂移畸变与空间畸变,从产生根源入手,独立建模,分而治之,分别建立漂移畸变-采集时间畸变模型与空间畸变-像素位置畸变模型;结合不同
第一章免病绪论 1、有关免疫功能正确的叙述是 A、清除损伤的细胞 B、清除衰老细胞 C、抵御病原微生物的感染 D、识别和清除体内突变的细胞 E、以上都是 2、免疫稳定功能异常可出现 A、超敏反应 B、自身免疫性疾病 C、发生肿瘤 D、免疫缺陷病 E、反复感染 3.不属于原核细胞型的微生物是 A.细菌 B.病毒 C.支原体 D.衣原体 E.放线菌 4.有关原核细胞型微生物错误的描述是 A.细胞核分化程度高 B.无核膜 C.缺乏完整的细胞器 D.仅有原始核 E.包括螺旋体 第二章免疫系统 1、能与绵羊红细胞结合形成E花环的细胞是 A、B细胞 B、单核细胞 C、T细胞 D、NK细胞 E、中性粒细胞 2、经胸腺分化成熟的免疫细胞是 A、B细胞 B、T细胞 C、NK细胞
— D、巨噬细胞 E、单核细胞 3、人类B细胞分化成熟的场所是 A、胸腺 B、脾脏 C、淋巴结 D、骨髓 E、法氏囊 4、B细胞和T细胞均有的表面标志是 A、PHA受体 B、抗原受体 C、IgGFc受体 D、绵羊红细胞受体 E、ConA受体 5、关于中枢免疫器官的描述，下列错误的是 A、是免疫细胞分化成熟的部位 B、产生抗体和效应淋巴细胞 C、可分泌多种激素 D、能产生多种细胞因子 E、胸腺和骨髓是人和哺乳动物的中枢免疫器官、 第三章抗原 1、下列生物制品中对人既是抗体又是抗原 A.人血浆丙种球蛋白 B.类毒素 C.动物来源的抗毒素 D.转移因子 E.胸腺素
2、与蛋白质载体结合后才产生免疫原性的物质 A.完全抗原 B.TD抗原 C.TI抗原 D.半抗原 E.超抗原 3、抗原具有下列哪项基本特性？ A.大分子蛋白质 B. 异物性 C.具有免疫反应性，无免疫原性 D.具有免疫原性，无免疫反应性 E.具有免疫原性和免疫反应性 4、决定抗原的特异性的物质基础是 A.抗原决定簇 B.抗原的大小 C.抗原的电荷性质 D.载体的性质 E.抗原的物理性质 5．同种异型抗原(allogenicAg) A.来自同种生物不同基因型个体的抗原 B.在同种所有个体中表现相同 C.是指蛋白质的同型抗原 D.在同种动物中不诱导免疫应答
什么是微生物？有哪些主要类群？ 定义：微生物是所有形体微小、单细胞或结构较为简单的多细胞生物、甚至没有细胞结构的生物的通称。 种类：微生物类群十分庞杂，包括： 无细胞结构的病毒、类病毒、拟病毒等， 属于原核生物的细菌、放线菌、立克次氏体、衣原体等， 属于真核生物的酵母菌和霉菌，单细胞藻类、原生动物等。 非细胞：病毒、朊病毒 原核生物：细菌、支原体、放线菌 真核生物：酵母、真菌等 一些国家的微生物教学体系内容中还涉及藻、地衣、线虫、原生动物等 微生物有哪些主要特点？举例加以说明。 体形微小，结构简单 易变异，适应性强：变异率10－6 易于培养与繁殖：大肠杆菌20min/代 体积小，比表面积大：易于营养物质的吸收 种类多，分布广：海洋、硫矿、热泉 微生物的发展经历了几个阶段？各阶段的代表人物为谁？ 感性认识阶段（史前时期） 形态学发展阶段（初创时期）1664年，英国人虎克（Robert Hooke）曾用原始的显微镜对生长在皮革表面及蔷薇枯叶上的霉菌进行观察。 生理学发展阶段（奠基时期）法国人巴斯德（Louis Pasteur）（1822～1895）发现并证实发酵是由微生物引起的彻底否定了“自然发生”学说 德国人柯赫（Robert Koch））微生物学基本操作技术方面的贡献细菌纯培养方法的建立（1843～1910b）设计了各种培养基，实现了在实验室内对各种微生物的培养 微生物快速发展时期 青霉素的发现 大量抗生素的发现 发酵工业技术的发展 分子生物学发展阶段（成熟时期)微生物成熟时期 1950s DNA双螺旋的发现， 1970 基因工程技术、分子生物学发展 4.试述微生物学的奠基人及其贡献。 1676年，微生物学的先驱荷兰人列文虎克（Antonyvan leeuwenhoek）首次观察到了细菌他没有过大学，是一个只会荷兰语的小商人，但却在1680年被选为英国皇家学会的会员。巴斯德发现并证实发酵是由微生物引起的彻底否定了“自然发生”学说；免疫学——预防接种,首次制成狂犬疫苗巴斯德消毒法：60～65℃作短时间加热处理，杀死有害微生物 .柯赫（1）微生物学基本操作技术方面的贡献细菌纯培养方法的建立设计了各种培养基，实了在实验室内对各种微生物的培养流动蒸汽灭菌染色观察和显微摄影;对病原细菌的研究作出了突出的贡献,具体证实了炭疽杆菌是炭疽病的病原菌,发现了肺结核病的病原菌（1905年获诺贝尔奖,证明某种微生物是否为某种疾病病原体的基本原则——著名的柯赫原则
微积分期末试卷 一、选择题（6×２） cos sin 1.()2,()()22 ()()B ()()D x x f x g x f x g x f x g x C π ==1设在区间（0，）内（ ）。 Ａ是增函数，是减函数是减函数，是增函数二者都是增函数二者都是减函数 2x 1 n n n n 20cos sin 1n A X (1) B X sin 21C X (1) x n e x x n a D a π →-=--==>、x 时，与相比是（ ） Ａ高阶无穷小 Ｂ低阶无穷小 Ｃ等价无穷小 Ｄ同阶但不等价无价小３、ｘ=０是函数ｙ=（１-sinx)的（ ） Ａ连续点 Ｂ可去间断点 Ｃ跳跃间断点 Ｄ无穷型间断点４、下列数列有极限并且极限为１的选项为（ ） n 1 X cos n = 2 00000001( ) 5"()() ()()0''( )<0 D ''()'()06x f x X X o B X o C X X X X y xe =<===、若在处取得最大值，则必有（ ）Ａf ＇f ＇f ＇且f f 不存在或f 、曲线（ ） Ａ仅有水平渐近线 Ｂ仅有铅直渐近线Ｃ既有铅直又有水平渐近线 Ｄ既有铅直渐近线 1~6 DDBDBD 二、填空题 1d 1 2lim 2,,x d x ax b a b →++=ｘｘ２ ２１１、（ ）＝ｘ+1 、求过点（２，０）的一条直线，使它与曲线ｙ＝相切。这条直线方程为： ｘ ２ ３、函数ｙ＝的反函数及其定义域与值域分别是：２＋１ ｘ５、若则的值分别为： ｘ＋2x-3
1 In 1x + ; 2 322y x x =-; 3 2 log ,(0,1),1x y R x =-; 4(0,0) 5解：原式=11(1)()1m lim lim 2 (1)(3)3477,6 x x x x m x m x x x m b a →→-+++===-++∴=∴=-= 三、判断题 1、无穷多个无穷小的和是无穷小（ ） 2、0sin lim x x x →-∞+∞在区间（，）是连续函数（） 3、0f"(x ）=0一定为f(x)的拐点（） 4、若f(X)在0x 处取得极值，则必有f(x)在0x 处连续不可导（ ） 5、设 函 数 ｆ (x) 在 [] 0,1上二阶可导且 '()0A '0B '(1),(1)(0),A>B>C( )f x f f C f f <===-令（），则必有 1~5 FFFFT 四、计算题 1用洛必达法则求极限2 1 20lim x x x e → 解：原式=2 2 2 1 1 1 330002(2)lim lim lim 12x x x x x x e e x e x x --→→→-===+∞- 2 若34()(10),''(0)f x x f =+求 解：332233 33232233432'()4(10)312(10)''()24(10)123(10)324(10)108(10)''()0 f x x x x x f x x x x x x x x x x f x =+?=+=?++??+?=?+++∴= 3 2 4 lim(cos )x x x →求极限
一、一、名词解释 1、原生质: 指在人为条件下，用溶菌酶除尽原有细胞壁或用青霉素抑制新生细胞壁合成后，所得到的细胞膜包裹的圆球状渗透敏感细胞。 2、PHB: 聚—β—羟丁酸，是一种存在于许多细菌细胞质内属于类脂性质的炭源类贮藏物，不溶水，而溶于氯仿，可用尼罗蓝或苏丹黑染色，具有贮藏能量、炭源和降低细胞内渗透压等作用。 3、芽孢: 某些细菌在其生长发育后期，在细胞内形成的一个圆形或椭圆形、壁厚、含水量低、抗屈性强的休眠构造。 4、菌落: 将单个细菌（或其他微生物）细胞或一小堆同种细胞接种到固体培养基表面（有时为内层），当它占有一定的发展空间并处于适宜的培养条件下时，该细胞会迅速生长繁殖并形成细胞堆，此即菌落（colony） 5、衰颓形: 由于培养时间过长，营养缺乏，代谢的排泄物浓度积累过高等使细胞衰老而引起的异常形态。 6、真核微生物: 是一大类细胞核具有核膜，能进行有丝分裂，细胞质中存在线粒体或同时存在叶绿体等多种细胞器的微生物。（真菌、显微藻类和原生动物等） 7、质粒: 凡游离于原核生物核基因组以外，具有独立复制能力的小型共价闭合环状的dsDNA分子,即cccDNA。 8、单细胞蛋白（SCP）: 通过细菌、酵母、丝状真菌和小球藻等单细胞或丝状生物的发酵生产的蛋白质。
一般指一种小型生物生活在另一种较大型生物的体内（包括细胞内）或体表，从中夺取营养并进行生长繁殖，同时使后者蒙受损害甚至被杀死的一种相互关系。 10、腐生: 以无生命的有机物作为营养物质进行生长繁殖的生活方式。 11、包涵体: 始体通过二分裂可在细胞内繁殖成一个微菌落即“包涵体” 12、巴斯特效应: 酵母菌的乙醇发酵是一种厌氧发酵，如将发酵条件改变成好氧条件，葡萄糖分解速度降低，乙醇停止生产，但当重新回到厌氧条件时，葡萄糖的分解速度增加，并伴随大量的乙醇产生。 13、噬菌斑: 由噬菌体在菌苔上形成的“负菌落” 14、伴孢晶体: 少数芽孢杆菌在形成芽孢的同时，会在芽孢旁形成一棵菱形，方形或不规则形的碱溶性蛋白质晶体，称为伴孢晶体（即δ内毒素）。 15、烈性噬菌体: 凡在短时间内能连续完成吸附、侵入、增殖（复制与生物合成）、成熟（装配）和烈解（释放）五个阶段而实现其繁殖的噬菌体，称为烈性噬菌体。 16、温和性噬菌体: 凡在吸附侵入细胞后，噬菌体的DNA只整合在宿主的核染色体组上并可以长期宿主DNA的复制而进行同步复制，一般都进行增殖和引起宿主细胞裂解的噬菌体。 17、自养微生物:
第一章细菌的形态与结构 1.细菌有哪3种形态 2.细菌的基本结构和特殊结构有哪些特殊结构各有何作用 +菌和G-菌细胞壁的结构由哪几部分组成 4.青霉素和溶菌酶为什么不能杀灭革兰阴性菌 5.简述革兰染色法操作步骤 参考答案 1 基本形态三种：球菌；杆菌；螺形菌 2基本结构：细胞壁、细胞膜、细胞质、核质 特殊结构：荚膜、鞭毛、菌毛、芽胞 荚膜功能：抗吞噬作用：是病原菌的重要毒力因子 抗杀菌物质损伤：如溶酶体、补体 粘附作用：形成生物膜与致病性有关 鞭毛功能；有鉴别意义, 鞭毛蛋白有抗原性：H抗原 某些细菌的鞭毛与致病有关 菌毛功能：细菌的黏附结构 介导细菌在局部定植 与细菌的致病性密切相关 性菌毛还能传递细菌的毒力和耐药性 芽孢功能：具有很强的抗高温、抗干燥、抗化学消毒剂和抗射线能力 3 革兰阳性菌：由肽聚糖和磷壁酸组成。其中肽聚糖又由聚糖骨架、四肽侧链、五肽交联桥构成三维立体结构。革兰阴性菌：由肽聚糖和外膜组成。肽聚糖仅由聚糖骨架、四肽侧链构成二维平面结构 4 G-有外膜阻止抗菌素进入；保护细胞壁组分肽聚糖不受溶菌酶分解 5 革兰染色法步骤： 涂片→固定→结晶紫初染→碘液媒染→95%酒精脱色→复红复染 观察结果：Ｇ＋菌：紫色Ｇ－菌：红色 第二章细菌的生理 2.细菌生长曲线分哪4个阶段 3.细菌根据对氧的需要程度分为哪几种类型 4.细菌合成代谢产物有哪几种 5.常用的消毒剂有哪些种类 6.简述化学消毒剂的杀菌机制 7简述紫外线杀菌的作用机制 8.在温度和时间相同的情况下，为什么湿热灭菌法的效果比干热法好 参考答案 2.迟缓期、对数期、稳定期、衰退期四阶段 3．专性需氧菌2）专性厌氧菌3）兼性厌氧菌4）微需氧菌 4．源质、毒素和侵袭性酶、抗生素、细菌素、维生素、色素等 5．①酚类②醇类③重金属盐类④氧化剂⑤表面活性剂 6.①使菌体蛋白质变性或凝固②破坏细菌的酶系统③改变细菌细胞壁或胞浆膜的通透性，导致细菌死亡7．其波长在200-300nm有杀菌作用，其中以265-266nm最强，这与细菌DNA吸收光谱一致。细菌DNA吸收紫外线后，使一DNA条链上两个相邻胸腺嘧啶公假结合成二聚体，改变了DNA分子构型，干扰了DNA 的复制和转录，导致细菌变异或死亡。
微积分期末试卷 选择题（6×２） cos sin 1.()2 ,()()22 ()()B ()()D x x f x g x f x g x f x g x C π ==1设在区间（0，）内（ ）。 Ａ是增函数，是减函数是减函数，是增函数二者都是增函数二者都是减函数 2x 1 n n n n 20cos sin 1n A X (1) B X sin 21C X (1) x n e x x n a D a π→-=--== >、x 时，与相比是（ ） Ａ高阶无穷小 Ｂ低阶无穷小 Ｃ等价无穷小 Ｄ同阶但不等价无价小 ３、ｘ=０是函数ｙ=（１-sinx)的（ ） Ａ连续点 Ｂ可去间断点 Ｃ跳跃间断点 Ｄ无穷型间断点４、下列数列有极限并且极限为１的选项为（ ）n 1 X cos n = 2 00000001() 5"()() ()()0''( )<0 D ''()'()0 6x f x X X o B X o C X X X X y xe =<===、若在处取得最大值，则必有（ ）Ａf ＇f ＇f ＇且f f 不存在或f 、曲线（ ） Ａ仅有水平渐近线 Ｂ仅有铅直渐近线 Ｃ既有铅直又有水平渐近线 Ｄ既有铅直渐近线 1~6 DDBDBD 一、填空题 1d 12lim 2,,x d x ax b a b →++=ｘ ｘ２ ２１ １、（ ）＝ ｘ+1 、求过点（２，０）的一条直线，使它与曲线ｙ＝ 相切。这条直线方程为： ｘ ２ ３、函数ｙ＝的反函数及其定义域与值域分别是： ２＋１４、ｙ拐点为：ｘ５、若则的值分别为： ｘ＋2x-3
1 In 1x + ; 2 322y x x =-; 3 2 log ,(0,1),1x y R x =-; 4(0,0) 5解：原式=11 (1)() 1m lim lim 2 (1)(3) 3 4 77,6 x x x x m x m x x x m b a →→-+++== =-++∴=∴=-= 二、判断题 1、 无穷多个无穷小的和是无穷小（ ） 2、 0 sin lim x x x →-∞+∞在区间（，）是连续函数（） 3、 0f"(x ）=0一定为f(x)的拐点（） 4、 若f(X)在0x 处取得极值，则必有f(x)在0x 处连续不可导（ ） 5、 设 函数ｆ(x)在 [] 0,1上二阶可导且 ' ()0A ' B ' (f x f f C f f <===-令（），则必有 1~5 FFFFT 三、计算题 1用洛必达法则求极限2 1 2 lim x x x e → 解：原式=2 2 2 1 1 1 3 3 2 (2)lim lim lim 12x x x x x x e e x e x x --→→→-===+∞- 2 若3 4 ()(10),''(0)f x x f =+求 解：3 3 2 2 3 3 3 3 2 3 2 2 3 3 4 3 2 '()4(10)312(10) ''()24(10)123(10)324(10)108(10)''()0 f x x x x x f x x x x x x x x x x f x =+?=+=?++??+?=?+++∴= 3 2 4 lim (cos )x x x →求极限
微积分期末测试题及答 案 Document number：NOCG-YUNOO-BUYTT-UU986-1986UT
一 单项选择题(每小题3分,共15分) 1.设lim ()x a f x k →=,那么点x =a 是f (x )的( ). ①连续点 ②可去间断点 ③跳跃间断点 ④以上结论都不对 2.设f (x )在点x =a 处可导,那么0()(2)lim h f a h f a h h →+--=( ). ①3()f a ' ②2()f a ' ③()f a ' ④1()3f a ' 3.设函数f (x )的定义域为[-1,1],则复合函数f (sinx )的定义域为( ). ①(-1,1) ②,22ππ??-???? ③(0,+∞) ④(-∞,+∞) 4.设2 ()()lim 1()x a f x f a x a →-=-,那么f (x )在a 处( ). ①导数存在,但()0f a '≠ ②取得极大值 ③取得极小值 ④导数不存在 5.已知0lim ()0x x f x →=及( ),则0 lim ()()0x x f x g x →=. ①g (x )为任意函数时 ②当g (x )为有界函数时 ③仅当0lim ()0x x g x →=时 ④仅当0 lim ()x x g x →存在时 二 填空题(每小题5分,共15分) sin lim sin x x x x x →∞-=+. 31lim(1)x x x +→∞+=. 3.()f x =那么左导数(0)f -'=____________,右导数(0)f +'=____________. 三 计算题(1-4题各5分,5-6题各10分,共40分) 1.111lim()ln 1 x x x →-- 2.t t x e y te ?=?=? ,求22d y dx 3.ln(y x =,求dy 和22d y dx . 4.由方程0x y e xy +-=确定隐函数y =f (x ) ,求 dy dx . 5.设111 1,11n n n x x x x --==+ +,求lim n x x →∞.
实验一、微生物的简单染色思考题 1油镜与普通物镜在使用方法上有何不同？应特别注意些什么？ 答：油镜在使用时必须在载玻片与物镜之间滴加镜头油。油镜使用过程中要注意两点： （1）、使用后镜头的清洁：镜面只能用擦镜纸擦，不能用手指或粗布，以保证光洁度，用完 油镜必须进行“三擦” （观察完毕，上悬镜筒，先用擦镜纸擦去镜头上的油，然后再用擦镜 纸沾取少量二甲苯（或者乙醇乙醚溶液）擦去残留的油，最后用擦镜纸擦去残留的二甲苯， 后将镜体全部复原）。 （2）、 .观察标本时，必须依次用低、中、高倍镜，最后用油镜。当目视接目镜时，特别 在使用油镜时，切不可使用粗调节器，以免压碎玻片或损伤镜面。 2、使用油镜时，为什么必须用镜头油？ 答：在使用普通显微镜时，当光线由反光镜通过玻片与镜头之间的空气时，由于空气与玻片的密度不同，使光线受到曲折，发生散射，降低了视野的照明度。若中间的介质是一层油（其折射率与玻片的相近），则几乎不发生折射，增加了视野的进光量，从而使物象更加清晰。 3、镜检标本时，为什么先用低倍镜观察，而不是直接用高倍镜或油镜观察？ 答：低倍镜视野比较大，能看到的范围大，容易找到观察的目标，然后在用放大倍数高的高倍镜或油镜有目的的观察。 实验二、革兰氏染色 （1）为什么必须用培养24 h 以内的菌体进行革兰氏染色？ 答： 24h 以内的菌体处于活跃生长期，菌体细胞壁具有典型特征，而处于老龄的革兰氏阳 性细菌壁结构开始发生变化，染色时会被染成红色而造成假阴性 （2）要得到正确的革兰氏染色结果，必须注意哪些操作？哪一步是关键步骤？为什么？ 答：应注意如下几点： 其一，选用活跃生长期菌种染色，老龄的革兰氏阳性细菌会被染成红色而造成假阴性； 其二，涂片不宜过厚，以免脱色不完全造成假阳性； 其三，脱色是革兰氏染色是否成功的关键，脱色不够造成假阳性，脱色过度造成假阴性 （3）当你对未知菌进行革兰氏染色时，怎样保证操作正确，结果可靠？ 答：当要确证未知菌的革兰氏反应时，可用已知菌进行混合涂片，使二者染色条件保持一致，如果已知菌的结果与预期相符，则证明操作操作正确，结果可靠。 实验三、微生物的显微镜直接计数法 1、在显微镜下直接测定微生物数量有什么优缺点？ 答： 1）优点：直观、快速、操作简单。 2）缺点：
一、 1.套准精度的定义,套准容差的定义。大约关键尺寸的多少是套准容差？ 套准精度是测量对准系统把版图套准到硅片上图形的能力。套准容差描述要形成图形层和前层的最大相对位移,一般，套准容差大约是关键尺寸的三分之一。 2.信息微系统的特点是什么？ 低成本，能耗低，体积小，重量轻，高可靠性和批量生产，可集成并实现复杂功能。 3.微加工技术是由什么技术发展而来的，又不完全同于这种技术。独特的微加工技术包括哪些？ （1）微电子加工技术；（2）表面微制造、体硅微制造和LIGA工艺。4.微电子的发展规律为摩尔定律，其主要内容是什么? 集成电路芯片的集成度每三年提高4倍，而加工特征尺寸缩小√2倍 5.单晶、多晶和非晶的特点各是什么？ 单晶：几乎所有的原子都占据着安排良好的规则的位置，即晶格位置；非晶：原子不具有长程有序，其中的化学键，键长和方向在一定的范围内变化； 多晶：是彼此间随机取向的小单晶的聚集体，在工艺过程中，小单晶的晶胞大小和取向会时常发生变化，有时在电路工作期间也发生变化 6.半导体是导电能力介于导体和绝缘体之间的物质；当受外界光和热作用时，半导体的导电能力明显变化；在纯半导体中掺杂可以使半导体的
导电能力发生数量级的变化。 7.标准RCA清洗工艺有几个步骤，各步主要用来去除哪些物质? SPM清洗:有机物 APM清洗:颗粒和少量有机物 DHF清洗:氧化膜 HPM清洗:金属离子 8.磁控溅射镀膜工艺中，加磁场的主要目的是什么？ 将电子约束在靶材料表面附近，延长其在等离子体中运动的轨迹，提高与气体分子碰撞和电离的几率 9.谐衍射光学元件的优点是什么？ 高衍射效率、优良的色散功能、减小微细加工的难度、独特的光学功能10.描述曝光波长与图像分辨率的关系，提高图像分辨率，有哪些方法？ （1） NA = 2 r0/D, 数值孔径；K1是工艺因子：0.6～0.8 （2）减小波长和K1，增加数值孔径 氧气在强电场作用下电离产生的活性氧，使光刻胶氧化而成为可挥发的CO2、H2O 及其他气体而被带走；目的是去除光刻后残留的聚合物11.什么是等离子体去胶，去胶机的目的是什么？ 通过控制F/C的比例，形成聚合物，在侧壁上生成抗腐蚀膜 12.硅槽干法刻蚀过程中侧壁是如何被保护而不被横向刻蚀的？
微免试题及答案 一、名词解释(每小题2分，共10分) 1、荚膜 2、灭菌 3、毒血症 4、超敏反应 5、菌落 二、填空题（每空1分，共35分） 1、细菌生长繁殖的条件有、、、。 2、人类的中枢免疫器官是和。 3、既有又有的抗原称为完全抗原。 4、免疫的功能包括、和。 5、免疫球蛋白中，在体内出现最早的是，能通过胎盘的是，与I型超敏反应有关的是。 6、补体系统可经和两条途径激活，发挥其生物学作用。 7、适应性免疫应答基本过程可人为分为3个阶段：、 和。 8、病毒的增殖周期包括、、、和。 9、正常菌群对人体的生理作用有、、和。 10、病毒体的基本特征包括、，必须在内生存，以方式繁殖；对不敏感，可抑制其增殖。 三、判断题(每小题1分，共10分)： 1、免疫是机体对病原微生物感染的抵抗力。（） 2、病毒是原核细胞型微生物。（） 3、Ⅰ型超敏反应为体液免疫反应。（） 4、破伤风梭菌经伤口途径感染机体。（） 5、淋病的病原体是绿脓杆菌。（） 6、内毒素的特点之一是可制备成类毒素。（）
7、消毒剂浓度越高杀菌作用越强。（） 8、所有的免疫球蛋白都是抗体。（） 9、真菌的孢子起繁殖作用。（） 10、我国规定新生儿出生6个月后，接种卡介苗。（） 四、选择题（每小题2分，共20分） 1、肥达试验可诊断下列何种疾病( ) A．斑疹伤寒 B．肠热症 C．中毒性痢疾 D. 鼠伤寒沙门菌所致食物中毒 E. 恙虫病 2、补体经典激活途径顺序（） A、C9 B、C124536789 C、C9 D、C9 3、内毒素不具有的毒性作用是（） A、发热 B、休克 C、DIC D、对组织器官有选择性，引起特殊症状 4、金黄色葡萄球菌一般很少引起下列哪种疾病( ) A．皮肤化脓性炎症 B．产褥热 C．假膜性肠炎 D．食物中毒 E．烫伤样皮肤综合征 5、研究细菌性状最好哪个生长期的细菌（） A、迟缓期 B、对数生长期 C、稳定期 D、衰退期 6、细菌致病性强弱主要取决于细菌的（） A、基本结构 B、特殊结构 C、分解代谢产物 D、侵袭力和毒力 7、湿热灭菌法中效果最好的是（） A、高压蒸气灭菌法 B、流通蒸气法 C、煮沸法 D、巴氏消毒法 8、一病人皮肤伤口感染，形成化脓性病灶，可能的病原菌包括（）A．葡萄球菌、大肠杆菌? B．霍乱弧菌、痢疾杆菌? C．脑膜炎球菌、淋球菌? D．破伤风杆菌、肉毒杆菌. 9、下列哪种疾病是由Ⅲ型超敏反应引起的（） A、血清过敏性休克 B、接触性皮炎 C、类风湿性关节炎 D、急性荨麻疹 10、构成病毒核心的化学成分是（） A、磷酸 B、类脂 C、蛋白质 D、核酸