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显影机结构分析

显影机结构分析
显影机结构分析

显影机结构分析

显影机的结构

一般显影机由动力系统、显影液槽及喷液管、水洗槽、挤压(水)辊、涂胶槽等部分组成,好的显影机还应该有定时器和温度控制系统。

①传动系统:是引导PS版运行的驱动装置。是由电机通过蜗轮蜗杆或链轮链条带动传送辊转动,并通过对压胶辊驱动使PS版通过显影机的各个工作环节。

②显影系统:PS版显影过程中,经过循环显影液均匀连续喷淋,将印版空白部位的感光层迅速溶解,有的显影机还加有毛刷辊刷洗,加速这种溶解。为了保证显影液在恒定条件下工作,此部分还有加热器和冷却器,可自动调节温度。药液自动循环过虑,保证各处药液浓度和温度均匀一致。

③冲洗系统:主要是由两组喷淋管向版面正反面喷淋清水,以除去附着在版面上的显影生成物和多余的显影液,并通过挤压辊挤去版面上的水分。具备二次水洗功能。

④涂胶系统:主要功能是在显影后的版面上涂上一层均匀的保护胶。很多显影机具备涂胶辊自动清洗功能。

⑤干燥系统:由送风管和胶辊组成,通过吹风和加热使印版迅速干燥,最后将印版送出。

显影机的调节(工作部分)

⒈根据印版的厚度范围调节各胶辊之间的压力,保证无窜液或窜液小

显影液/水洗、水洗/保护胶、保护胶/烘干段,版每次从两胶辊出来是干净的。

调节上胶辊之间的压力,可调节上胶的厚薄,保证上胶

胶辊的硬度适应于印版,在保证上述要求的情况下,压力尽可能小,压力过大,增大显影机负载,并易卡版

必须保证不同厚度版材的显影宽容度

⒉毛刷轮压力

毛刷干净柔韧,无毛刺,不划伤版面

根据测试结果调节压力,保证网点还原

压力尽可能小,压力大版材难通过,实地和小网点受损耗

毛刷轮旋转方向与版材前进方向相逆,有利于显影效果

根据版材厚度范围调节,保证显影宽容度

⒊冲版水压的调节

用手感觉水压,有力,保证水洗充分

显影机的参数设定

温度:温度分布均匀,PS版四点误差不超过1 ℃,CTP显影机不能超过0.5 ℃

显影时间:通过调节冲版速度来控制显影时间

显影液补充(开机补充,静态补充,动态补充):在显影过程中,显影液会逐渐损耗降低显影性能,所以需要及时补充。根据版材和显影液类型来设定毛刷轮的速度:根据实际测试效果设定,保证实地密度,小网点的正常还原冲版水量和水压(正反面):保证水洗充分

烘干温度:50--70 ℃

视干燥情况和印刷效果而定

显影机的保养和维护(常规)

1、保证显影液循环,胶水循环,水循环顺畅,无堵塞;

2、定期更换显影液,同时清洗显影机(一般可每天清洗一次);

3、定期更换过滤芯,一般每周更换一次(建议使用100u滤芯);

4、定期更换保护胶并清洗保护胶系统(建议每天一次);

5、每天擦洗胶辊(可能干净的软布沾显影液擦冼);

6、定期彻底清洗胶辊,保证各胶辊之间压力均匀(每周一次);

7、定期清洗加热段导轨(每周一次);

8、整机清洁,表面不残留显影液或其它化学制剂

曲柄滑块机构的设计页完整版

曲柄滑块机构的设计页 HEN system office room 【HEN16H-HENS2AHENS8Q8-HENH1688】

本篇再考察一道曲柄滑块机构的设计。同样是给定行程速比系数来确定杆长。 设计一偏置曲柄滑块机构,已知滑块的行程速比系数为,滑块的行程50 ,导路的偏距20 ,求曲柄和连杆长度,并求其最大压力角。 问题分析 首先设计机构,然后再求最大压力角。 机构的设计。先计算出行程速比系数如下 那么根据题意,最后的结果应当如下图。滑块的两个极位之间距离是50mm,而固定铰链A在与CD平行20mm的直线上,而且A点到C,D的夹角是36度。 图解总是从已知条件开始,然后逐步确定未知因素。本问题中知道三个数字:50mm,20mm,36度。而这个36度时与DC的距离相关的,所以图解时先画出滑块的两个极限位置,然后确定铰链A 所在的水平线,接着就是根据36度这个条件最终确定A的位置。 (1)确定滑块的极位及固定铰链A所在的直线 先绘制水平线段C2C1,使得其距离为50mm. 然后在其上方20mm的地方绘制一条水平直线I.那么铰链A就应该在这条直线上。 (2)根据极位夹角确定铰链A所在的圆 下面要根据极位夹角来确定A所在的曲线,这样,该曲线与上述曲线相交就可以唯一确定A点的位置。 A点到C1,C2形成的夹角是36度。那么所有与C1,C2形成夹角为36度的点有什么特征呢?---圆周角具有这种特征。

从几何知道,在一个圆上面,对应于同一个圆弧的圆周角都相等。基于这一点,过C2做直线垂直于C2C1,而作射线C1E与C2C1夹角为90-36=54度,二者交于点E,则C2EC1这个角度就是36度。 现在以C1E为直径做一个圆,则在该圆上任意取一点,该点与C2C1连线的夹角就都是36度,从而A点必然在该圆上面。 根据上述规则做出的上图发现,该圆与水平线I并不相交。这意味着作图有问题。实际上,刚才作的C1E在C2C1之下,所以导致不相交。因此改变策略,在C2C1之上作C1E,使得它与C2C1的夹角为54度。 然后以C1E为直径作出一个圆。该圆与直线I有两个交点:A1和A2。这样,该问题有两组解。但是观察下图可以发现,取A1或者A2,实际上结果是一样的,只是关于C2C1的中垂线对称而已。所以这里只取A1这个点,它就是固定铰支座A。 (3)测量曲柄和连杆的尺寸 量取A1C1,A1C2如下图。 则可以推知曲柄和连杆的长度 到此为止,连杆机构设计完毕。 (4)得到最大的压力角 从图中可以发现,当滑块在最左边时,有最大的压力角(滑块受到的推力与滑块速度方向的夹角),测量得到角度为53度。 至此,该曲柄滑块机构的设计和分析结束。

有机化合物的波谱分析

第七章 有机化合物的波谱分析 (一) 概述 研究或鉴定一个有机化合物的结构,需对该化合物进行结构表征。其基本程序如下: 分离提纯→物理常数测定→元素分析→确定分子式→确定其可能的构造式(结构表征)。(参见P11-12) (1) 结构表征的方法 传统方法:(化学法) ①元素定性、定量分析及相对分子质量测定分子式; ②官能团试验及衍生物制备分子中所含官能团及部分结构片断; ③将部分结构片断拼凑完整结构; ④查阅文献,对照标准样,验证分析结果。 特点:需要较多试样(半微量分析,用样量为10-100mg ),大量的时间(吗啡碱,1805- 1952年),熟练的实验技巧,高超的智慧和坚韧不拔的精神。 缺点:①分子有时重排,导致错误结论; ②* C 及-C =C -的构型确定困难。 波谱法: ①质谱(最好用元素分析仪验证)分子式; ②各种谱图(UV 、IR 、NMR 、MS )官能团及部分结构片断; ③拼凑完整结构; ④标准谱图确认。 特点:样品用量少(<30mg ),不损坏样品(质谱除外),分析速度快,对*C 及-C =C -的 构型确定比较方便。 光谱法已成为有机结构分析的常规方法。但是化学方法仍不可少,它与光谱法相辅相成,相互补充,互为佐证。 (2) 波谱过程 波谱过程可表示为: 有机分子+电磁波 光谱 分子运动:平动、振动、转动、核外电子运动等 量子化的 每个分子中只能存在一定数量的转? ? (能量变化不 连续) 动、振动、电子跃迁能级

电子跃迁电磁波波长越短,频率越快,能量越高。 200nm400nm 800nm 红外光 微波、 电视波 200-800nm:引起电子运动能级跃迁,得到紫外及可见光谱; 2.5-15μm:引起分子振、转能级跃迁,得到红外光谱; 60-600MHz:核在外加磁场中取向能级跃迁,得到核磁共振谱。 (3) 不饱和度(U) 不饱和度亦称为分子中的环加双键数、缺氢指数、 双键等价值等。其定义为:当一个化合物衍变为相应的烃后,与其同碳的饱和开链烃比较,每缺少2个氢为1个不饱和度。 所以:一个双键的不饱和度为1,一个叁键的不饱和度为2,一个环的不饱和度为1,一个苯环的不饱和度为4。例如: U=2 CH2=CH-COOH CH2=CH-CN U=3 CCH3 O U=5U=2 O-P-O- 3 O U=9 U的计算: -O--CH- -N- -CH2--X-H -S-相当于 、;相当于;相当于。 实际上,O、S并不影响化合物的不饱和度。 例:C8H14U=2 C7H8 U=4

光刻原理

光 刻 工 艺 一、目的: 按照平面晶体管和集成电路的设计要求,在SiO 2或金属蒸发层上面刻蚀出与掩模板完全相对应的几何图形,以实现选择性扩散和金属膜布线的目的。 二、原理: 光刻是一种复印图象与化学腐蚀相结合的综合性技术,它先采用照像复印的方法,将光刻掩模板上的图形精确地复制在涂有光致抗蚀剂的SiO 2层或金属蒸发层上,在适当波长光的照射下,光致抗证剂发生变化,从而提高了强度,不溶于某些有机溶剂中,未受光照射的部分光致抗蚀剂不发生变化,很容易被某些有机溶剂溶解。然后利用光致抗蚀剂的保护作用,对SiO 2层或金属蒸发层进行选择性化学腐蚀,从而在SiO 2层或金属层上得到与光刻掩模板相对应的图形。 (一)光刻原理图 (一)光刻胶的特性: 1.性能,光致抗蚀剂是一种对光敏感的高分子化合物。当它受适当波长的光照射后就能吸收一定波长的光能量,使其发生交联、聚合或分解等光化学反应。由原来的线状结构变成三维的网状结构,从而提高了抗蚀能力,不再溶于有机溶剂,也不再受一般腐蚀剂的腐蚀. 2.组成:以KPR 光刻胶为例: 感光剂--聚乙烯醇肉桂酸酯。 溶 剂--环己酮。 增感剂--5·硝基苊, 3.配制过程: 将一定重量的感光剂溶解于环己酮里搅拌均匀,然后加入一定量的硝基苊,再继续揖拌均匀,静置于暗室中待用。 感光剂聚乙烯醇肉桂酸酯的感光波长为3800?以内,加入5·硝基苊后感光波长范围发生了变化从2600—4700 ?。 (二)光刻设备及工具: 在SiO 2层上涂复光刻胶膜 将掩模板覆盖 在光刻胶膜上 在紫外灯下曝光 显影后经过腐蚀得到光刻窗口

1.曝光机--光刻专用设备。 2.操作箱甩胶盘--涂复光刻胶。 3.烘箱――烤硅片。 4.超级恒温水浴锅--腐蚀SiO2片恒温用。 5.检查显为镜――检查SiO2片质量。 6.镊子――夹持SiO2片。 7.定时钟――定时。 8.培养皿及铝盒――装Si片用。 9.温度计――测量温度。 图(二)受光照时感光树脂分子结构的变化 三、光刻步骤及操作原理 1.涂胶:利用旋转法在SiO2片和金属蒸发层上,涂上一层粘附性好、厚度适当、均匀的光刻胶。 将清洁的SiO2片或金属蒸发片整齐的排列在甩胶盘的边缘上,然后用滴管滴上数滴光刻胶于片子上,利用转动时产生的离心力,将片子上多余的胶液甩掉,在光刻胶表面粘附能力和离心力的共同作用下形成厚度均匀的胶膜。 涂胶时间约为1分钟。 要求:厚度适当(观看胶膜条纹估计厚薄),胶膜层均匀,粘附良好,表面无颗粒无划痕。 图(三)光刻工艺流程示意图

有机物结构的分析与判断

高考化学专题复习----有机物结构的分析与判断 金点子: 有机结构的分析包括:空间结构的分析;结构简式的分析。 (1)空间结构的分析 此类试题主要考查考生对原子共平面或共直线的分析与判断。所采用的方法主要是迁移类比法,也即将甲烷、乙烯、乙炔、苯等有机物的结构迁移到新的物质中。 (2) 结构简式的分析。 主要为判断及书写结构简式。要求考生能将题中碳链或官能团通过互换位置来确定新的结构,有时还会涉及到利用官能团所发生的化学反应来确定结构的问题。 经典题: 例题1 :1,2,3-三苯基环丙烷的三个苯基可以分布在环丙烷环平面的上下,因此有如下两个异构体: 据此,可判断1,2,3,4,5-五氯环戊烷(假定五个碳原子也处于同一平面上)的异构体数目是() A.4 B.5 C.6 D.7 方法:空间结构比较分析。 捷径:根据题意:五个氯原子在环戊烷平面上可分成五上(或五下),四上一下(或四下一上),三上二下(或三下二上)三种情况。其中前两种情况,分别只有一种结构,而三上二下有两种同分异构体。所以共有四种同分异构体。显然答案为A。 总结:在解题时要充分考虑到三上二下有两种同分异构体,必要时可画出草图分析。 例题2 :描述CH3—CH=CH—C≡C—CF3分子结构的下列叙述中,正确的是 ( ) A.6个碳原子有可能都在一条直线上B.6个碳原子不可能都在一条直线上 C.6个碳原子有可能都在同一平面上D.6个碳原子不可能都在同一平面上 方法:将甲烷、乙烯、乙炔的结构迁移到题示物质,画出结构图示进行分析即可。 捷径:已知乙烯结构中两个碳原子和四个氢原子在同一平面上,不在同一直线上。若将—CH3代替乙烯中的某个氢原子,则这三个碳原子必然不在同一直线上。所以A必错,B 正确。若上述替换后,其键角仍能保持120°,则CH3—CH=CH—C≡C—CF3中四个碳原子在同一平面内(根据乙烯的结构作出的判断)。同理根据乙炔中两个碳原子与两个氢原子在同一直线上,可认为CH3—CH=CH—C≡C—CF3中四个碳原子在同一直线上。根据立体几何原理,这六个碳原子应在同一平面内。若这种替代后,键角发生改变,则六个碳原子形成立体结构,至于键角能否改变,已超出中学生的能力,所以有“可能”两字。则C正确,D错误。 总结:①立体几何知识:如果直线上有二个点在某平面内,则这一条直线一定在这平面内,由于CH3—CH=*CH—*C≡C—CF3中带“*”的碳原子在CH3—CH=CH—C所在的平面内,所以=CH—C≡C—CF,这四个碳原子(直线型)在CH3—CH=CH—C所在平面内。

汽车电器知识第4章起动机功能及结构

第四章起动机功能及结构 第一节起动机的功能 汽车装用的汽油发动机或柴油发动机属于内燃机,其本身不能起动,必须借助外力,才能开始运转,并完成发动机最基本的动作-进气、压缩、爆发及排气。 发动机所借助的外力一般是指以蓄电池为电源的直流电动机,人们把起动发动机用的这种电动机称为起动机。 起动机与普通直流电动机的最大区别在于:起动机是一种带有与发动机啮合、脱开机构的电动机。首先看一下发动机的起动过程,开始起动机是静止的,必须向起动机通电使其旋转,同时起动机还要与发动机短时间地连在一起,即起动机小齿轮与飞轮齿环啮合,带动发动机旋转,当发动机已被起动,可以靠自身的力量旋转时,就应立即脱开起动机与发动机的连接机构。若发动机起动之后,仍与起动机连接在一起的话,发动机反过来就要带动起动机旋转,当发动机转速升高时,就会带动起动机高速运转,甚至损坏起动机内的零部件。因此发动机被起动的同时,必须使发动机和起动机分离。由此可以看出,起动机结构要比普通直流电动机复杂得多。 一、起动机的型号 根据中华人民共和国行业标准<>规定,起动机的型号如下:

1. 产品代号 起动机的产品代号:QD 表示起动机;QDJ 表示减速起动 机;QDY 表示永磁型起动机(包括永磁减速型起动机)。 2. 电压等级代号 1表示12V ;2表示24V 。 3.功率等级代号 功率等级代号含义见下表 4.设计序号(1-2位) 5.变型代号(省略、A 、B 、C 、D 、E 、F 、---Y 、Z ) 例如:QD263Y (24V 、4.5KW ) QD1538(12V 、3.2KW) QDJ131(12V 、2.2KW) 二、起动机的特点: ①体积小、功率大 由于发动机结构本身的特点,不可能给附件以充分的空间,与普通电动机相比,体积、重量为同功率电动机的1/10左右;其次其“饭量”也相当惊人,12V 、2.5kW 的起动机,在每次起动时要吃进600A 左右的电流,其电流密度为

结构动力特性测试方法及原理

结构动力特性的测试方法及应用(讲稿) 一. 概述 每个结构都有自己的动力特性,惯称自振特性。了解结构的动力特性就是进行结构抗震设 计与结构损伤检测的重要步骤。目前,在结构地震反应分析中,广泛采用振型叠加原理的反应谱分析方法,但需要以确定结构的动力特性为前提。n 个自由度的结构体系的振动方程如下: [][][]{}{})()()()(...t p t y K t y C t y M =+??????+?????? 式中[]M 、[]C 、[]K 分别为结构的总体质量矩阵、阻尼矩阵、刚度矩阵,均为n 维矩阵;{} )(t p 为外部作用力的n 维随机过程列阵;{})(t y 为位移响应的n 维随机过程列阵;{})(t y &为速度响应的n 维随机过程列阵;{})(t y && 为加速度响应的n 维随机过程列阵。 表征结构动力特性的主要参数就是结构的自振频率f (其倒数即自振周期T )、振型Y(i)与阻尼比ξ,这些数值在结构动力计算中经常用到。 任何结构都可瞧作就是由刚度、质量、阻尼矩阵(统称结构参数)构成的动力学系统,结构一旦出现破损,结构参数也随之变化,从而导致系统频响函数与模态参数的改变,这种改变可视为结构破损发生的标志。这样,可利用结构破损前后的测试动态数据来诊断结构的破损,进而提出修复方案,现代发展起来的“结构破损诊断”技术就就是这样一种方法。其最大优点就是将导致结构振动的外界因素作为激励源,诊断过程不影响结构的正常使用,能方便地完成结构破损的在线监测与诊断。从传感器测试设备到相应的信号处理软件,振动模态测量方法已有几十年发展历史,积累了丰富的经验,振动模态测量在桥梁损伤检测领域的发展也很快。随着动态测试、信号处理、计算机辅助试验技术的提高,结构的振动信息可以在桥梁运营过程中利用环境激振来监测,并可得到比较精确的结构动态特性(如频响函数、模态参数等)。目前,许多国家在一些已建与在建桥梁上进行该方面有益的尝试。 测量结构物自振特性的方法很多,目前主要有稳态正弦激振法、传递函数法、脉动测试法与自由振动法。稳态正弦激振法就是给结构以一定的稳态正弦激励力,通过频率扫描的办法确定各共振频率下结构的振型与对应的阻尼比。 传递函数法就是用各种不同的方法对结构进行激励(如正弦激励、脉冲激励或随机激励等),测出激励力与各点的响应,利用专用的分析设备求出各响应点与激励点之间的传递函数,进而可以得出结构的各阶模态参数(包括振型、频率、阻尼比)。脉动测试法就是利用结构物(尤其就是高柔性结构)在自然环境振源(如风、行车、水流、地脉动等)的影响下,所产生的随机振动,通过传感器记录、经谱分析,求得结构物的动力特性参数。自由振动法就是:通过外力使被测结构沿某个主轴方向产生一定的初位移后突然释放,使之产生一个初速度,以激发起被测结构的自由振动。 以上几种方法各有其优点与局限性。利用共振法可以获得结构比较精确的自振频率与阻尼比,但其缺点就是,采用单点激振时只能求得低阶振型时的自振特性,而采用多点激振需较多的设备与较高的试验技术;传递函数法应用于模型试验,常常可以得到满意的结果,但对于尺度很大的实际结构要用较大的激励力才能使结构振动起来,从而获得比较满意的传递函数,这在实际测试工作中往往有一定的困难。 利用环境随机振动作为结构物激振的振源,来测定并分析结构物固有特性的方法,就是近年来随着计算机技术及FFT 理论的普及而发展起来的,现已被广泛应用于建筑物的动力分析研究中,对于斜拉桥及悬索桥等大型柔性结构的动力分析也得到了广泛的运用。斜拉桥或悬索桥的环境随机振源来自两方面:一方面指从基础部分传到结构的地面振动及由于大气变化而影响到上部结构的振动(根据动力量测结果,可发现其频谱就是相当丰富的,具有不同的脉动卓越周期,反应了不同地区地质土壤的动力特性);另一方面主要来自过桥车辆的随机振动。

显影机原理及结构介绍

显影机原理及结构介绍 一般显影机由动力系统、显影液槽及喷液管、水洗槽、挤压 (水)辊、涂胶槽等部分组成,好的显影机还应该有定时器和温度控制系统。 ①传动系统:是引导PS版运行的驱动装置。是由电机通过蜗轮蜗杆或链轮链条带动传送辊转动,并通过对压胶辊驱动使PS版通过显影机的各个工作环节。 ②显影系统:PS版显影过程中,经过循环显影液均匀连续喷淋,将印版空白部位的感光层迅速溶解,有的显影机还加有毛刷辊刷洗,加速这种溶解。为了保证显影液在恒定条件下工作,此部分还有加热器和冷却器,可自动调节温度。药液自动循环过虑,保证各处药液浓度和温度均匀一致。 ③冲洗系统:主要是由两组喷淋管向版面正反面喷淋清水,以除去附着在版面上的显影生成物和多余的显影液,并通过挤压辊挤去版面上的水分。具备二次水洗功能。 ④涂胶系统:主要功能是在显影后的版面上涂上一层均匀的保护胶。很多显影机具备涂胶辊自动清洗功能。 ⑤干燥系统:由送风管和胶辊组成,通过吹风和加热使印版迅速干燥,最后将印版送出。 显影机的调节(工作部分) ⒈根据印版的厚度范围调节各胶辊之间的压力,保证无窜液或窜液小 显影液/水洗、水洗/保护胶、保护胶/烘干段,版每次从两胶辊出来是干净的。

调节上胶辊之间的压力,可调节上胶的厚薄,保证上胶 胶辊的硬度适应于印版,在保证上述要求的情况下,压力尽可能小,压力过大,增大显影机负载,并易卡版 必须保证不同厚度版材的显影宽容度 ⒉毛刷轮压力 毛刷干净柔韧,无毛刺,不划伤版面 根据测试结果调节压力,保证网点还原 压力尽可能小,压力大版材难通过,实地和小网点受损耗 毛刷轮旋转方向与版材前进方向相逆,有利于显影效果 根据版材厚度范围调节,保证显影宽容度 ⒊冲版水压的调节 用手感觉水压,有力,保证水洗充分 显影机的参数设定 温度:温度分布均匀,PS版四点误差不超过1 ℃, CTP显影机不能超过0.5 ℃ 显影时间:通过调节冲版速度来控制显影时间 显影液补充(开机补充,静态补充,动态补充):在显影过程中,显影液会逐渐损耗降低显影性能,所以需要及时补充。根据版材和显影液类型来设定 毛刷轮的速度:根据实际测试效果设定,保证实地密度,小网点的正常还原

汽车起动机的组成与结构

汽车起动机的组成与结 构精选文档 TTMS system office room 【TTMS16H-TTMS2A-TTMS8Q8-

起动机一般由直流电动机、传动机构和电磁开关三部分组成 (一)串激式直流电动机 1.直流电动机的构造 直流电动机由电枢、磁极、外壳、电刷与刷架等组成。(1)电枢总成

电枢用来产生电磁转矩,它由铁心、电枢绕组、电枢轴及换向器组成。电枢铁心由多片互相绝缘的硅钢片叠 成;电枢绕组采用很粗的扁铜线用波绕法绕制而成;换向器的铜片较厚,相邻铜片之间用云母片绝缘。 2.磁极

磁极由铁心和激磁绕组构成,其作用是在电动机中产生磁场,磁极铁心一般由低碳钢制成,并通过螺钉固定 在电动机壳体上。磁极一般是4个,由4个激磁绕组形成两对磁极,并两两相对,常见的激磁绕组一般与电枢绕组 串联在电路中,故被称为串激式直流电动机。 3.电刷和电刷架 电刷与电刷架的作用是将电流引入电枢,使电枢产生连续转动。电刷一般用铜和石墨压制而成,有利于减小 电阻及增加耐磨性。电刷装在电刷架中,借弹簧压力紧压在换向器上。与外壳直接相连构成电路搭铁,称为搭铁 电刷,与激磁绕组和电枢绕组相连,与外壳绝缘,称为绝缘电刷。 4.外壳 外壳由低碳钢卷制而成,或由铸铁铸造而成。起动机工作时间很短,所以一般采用滑动轴承。减速起动机由 于其电枢的转速很高,电枢轴承则采用滚动轴承。 (二)起动机传动机构 起动机的传动机构实际上是一个单向离合器。单向离合器的作用是单方向传递转矩,即起动发动机时将起动机的转矩传给发动机曲轴,而当发动机起动后,它又能自动打滑,不使飞轮齿环带动起动机电枢旋转,以免损坏起动机。

投影光刻机对准系统功能原理

投影光刻机对准系统功能原理 投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介 对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准,其标记的对准精度能达到±0.4μm(正态分布曲线的3σ值)。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次,而对准精度直接影响硅片的套刻精度,所以硅片的对准精度非常的关键。 由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围,它在X方向和Y方向都只能扫描 ±44μm,所以硅片被传送到工件台上进行对准之前,需要在预对准工件台上先后完成两次对准,即机械预对准和光学预对准,以便满足精细对准的捕捉范围。注意:本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成:照明(对准光源)部分,双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示,在图中可以看出,对准系统中用了两个完全相同的光路,这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能 由于对准系统中的两条完全相同,所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中,照明部分的主要部件就是激光发射器,它产生波长为633nm的线性极化光,避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光(硅片曝光用的光为紫外光)。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元,该激光将从双折射单元底部射出,通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上;而经过硅片表面的反射后由原路返回,第二次经过双折射单元,由双折射单元的顶部射出,再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。 在对准单元内,硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后,将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象,Q-CELL 光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号,由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。 硅片上的对准标记如图2所示,标记分为四个象限,每个象限有8μm或8.8μm的对准条,其中有两个象限的对准条用来对准X向,另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限,当在Q-CELL检测器的每一个单元中,两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候,就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束,一束激光将通过调制器到达Q-CELL 光电检测器,而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准,但是由于它们是同步的,彼此之间几乎看不到有何不同,所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分 对准系统的电路部分主要的功能是: 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。 光学调制器的驱动:该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号,其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理:在对准的时候,工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动,进行X轴向对准,当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时,

印刷原理复习

1.在同一台印刷机上,用120g/m2的铜版纸和胶版纸印刷,试问哪一种纸张需要的印刷压 力大?为什么? 铜版纸压力更大。因为胶版纸表面光滑度较铜版纸低,所以为了达到同样的油墨转移量及印刷效果,铜版纸印刷时就需要更大的印刷压力。 2.试以平版为例,说明印版表面的润湿性是如何改变的? 平版表面的不平和表面吸附直接影响印版的润湿性。要改变或提高和保护印版的润湿性可从如下三方面着手。 a.当接触角为锐角时,固体表面愈粗糙,润湿性愈好。所以通过机械或电化学的方法, 粗化平版表面使之形成砂目,就能提高印版的粗糙程度,改善版面的润湿性。 b.采用物理和化学的方法去除金属表面所吸附的各种杂质,恢复金属原来的表面性质, 使之成为新金属表面,可以改善印版表面的润湿性。 c.在新晒制的平版表面涂布阿拉伯胶液,可以保护空白部分的润湿性。 3.试分析油墨在墨辊上附着的条件? 若墨辊表面的表面积为丫SG油墨的表面张力为丫LG磨辊和油墨之间的表面张力丫SL,则墨辊对油墨的黏附功Wa为:Wa=r SG+y LG-Y SL。油墨本身的内聚攻Wc为:Wc=Y LG 当幽默的内聚功Wcz小于墨辊对油墨的黏附功Wa 即W& wa寸,油墨湿润墨辊表面并附着在墨辊上;当油墨的内聚攻大于墨辊对油墨的黏附功,即W o Wa时,油墨不能润湿磨辊表面而从磨辊上脱落下来。又因为Wa=r SG+r LG-丫SL,W C=Y LG,得到油墨在墨辊表面附着和脱落条件分别为丫SG>Y LG+Y SL油墨附着丫SG

曲柄滑块机构设计

本篇再考察一道曲柄滑块机构的设计。同样是给定行程速比系数来确定杆长。 设计一偏置曲柄滑块机构,已知滑块的行程速比系数为1.5,滑块的行程50 ,导路的偏距20 ,求曲柄和连杆长度,并求其最大压力角。 问题分析 首先设计机构,然后再求最大压力角。 机构的设计。先计算出行程速比系数如下 那么根据题意,最后的结果应当如下图。滑块的两个极位之间距离是50mm,而固定铰链A 在与CD平行20mm的直线上,而且A点到C,D的夹角是36度。 图解总是从已知条件开始,然后逐步确定未知因素。本问题中知道三个数字:50mm,20mm,36度。而这个36度时与DC的距离相关的,所以图解时先画出滑块的两个极限位置,然后确定铰链A所在的水平线,接着就是根据36度这个条件最终确定A的位置。 (1)确定滑块的极位及固定铰链A所在的直线

先绘制水平线段C2C1,使得其距离为50mm. 然后在其上方20mm的地方绘制一条水平直线I.那么铰链A就应该在这条直线上。(2)根据极位夹角确定铰链A所在的圆 下面要根据极位夹角来确定A所在的曲线,这样,该曲线与上述曲线相交就可以唯一确定A点的位置。 A点到C1,C2形成的夹角是36度。那么所有与C1,C2形成夹角为36度的点有什么特征呢?---圆周角具有这种特征。 从几何知道,在一个圆上面,对应于同一个圆弧的圆周角都相等。基于这一点,过C2做直线垂直于C2C1,而作射线C1E与C2C1夹角为90-36=54度,二者交于点E,则C2EC1这个角度就是36度。 现在以C1E为直径做一个圆,则在该圆上任意取一点,该点与C2C1连线的夹角就都是36度,从而A点必然在该圆上面。 根据上述规则做出的上图发现,该圆与水平线I并不相交。这意味着作图有问题。实际上,刚才作的C1E在C2C1之下,所以导致不相交。因此改变策略,在C2C1之上作C1E,使得它与C2C1的夹角为54度。 然后以C1E为直径作出一个圆。该圆与直线I有两个交点:A1和A2。这样,该问题有两组解。但是观察下图可以发现,取A1或者A2,实际上结果是一样的,只是关于C2C1的中垂线对称而已。所以这里只取A1这个点,它就是固定铰支座A。 (3)测量曲柄和连杆的尺寸 量取A1C1,A1C2如下图。 则可以推知曲柄和连杆的长度 到此为止,连杆机构设计完毕。 (4)得到最大的压力角 从图中可以发现,当滑块在最左边时,有最大的压力角(滑块受到的推力与滑块速度方向的夹角),测量得到角度为53度。 至此,该曲柄滑块机构的设计和分析结束。

汽车起动机的组成与结构

起动机一般由直流电动机、传动机构和电磁开关三部分组成 (一)串激式直流电动机 1.直流电动机的构造 ?? 直流电动机由电枢、磁极、外壳、电刷与刷架等组成。 (1)电枢总成 ?? 电枢用来产生电磁转矩,它由铁心、电枢绕组、电枢轴及换向器组成。电枢铁心由多片互相绝缘的硅钢片叠 成;电枢绕组采用很粗的扁铜线用波绕法绕制而成;换向器的铜片较厚,相邻铜片之间用云母片绝缘。 2.磁极 ??? 磁极由铁心和激磁绕组构成,其作用是在电动机中产生磁场,磁极铁心一般由低碳钢制成,并通过螺钉固定 在电动机壳体上。磁极一般是4个,由4个激磁绕组形成两对磁极,并两两相对,常见的激磁绕组一般与电枢绕组 串联在电路中,故被称为串激式直流电动机。 3.电刷和电刷架 ??? 电刷与电刷架的作用是将电流引入电枢,使电枢产生连续转动。电刷一般用铜和石墨压制而成,有利于减小 电阻及增加耐磨性。电刷装在电刷架中,借弹簧压力紧压在换向器上。与外壳直接相连构成电路搭铁,称为搭铁 电刷,与激磁绕组和电枢绕组相连,与外壳绝缘,称为绝缘电刷。 4.外壳 ??? 外壳由低碳钢卷制而成,或由铸铁铸造而成。起动机工作时间很短,所以一般采用滑动轴承。减速起动机由 于其电枢的转速很高,电枢轴承则采用滚动轴承。 (二)起动机传动机构 ??? 起动机的传动机构实际上是一个单向离合器。单向离合器的作用是单方向传递转矩,即起动发动机时将起动机的转矩传给发动机曲轴,而当发动机起动后,它又能自动打滑,不使飞轮齿环带动起动机电枢旋转,以免损坏起动机。

单向离合器有滚柱式,摩擦片式、弹簧式、棘轮式等不同型式。其中,摩擦片式的单向离合器多用于大功率起动机。?? ???? ? ? ????? ?? ?? ?? ? ?? ??? (三)电磁操纵机构 ??? 起动机电磁操纵机构主要由吸引线圈、保持线圈、驱动杠杆、起动开关接触片等组成

光刻机和光掩膜版

十三章 光刻II 光刻机和光掩膜版 前几章讲述了光刻胶材料的性质和工艺技术。在这一章里,我们介绍如何将图形转移到硅片表面上,包括以下内容:a)将图形投影到硅片表面的装置(即光刻对准仪或光刻翻版机),由此使得所需图形区域的光刻胶曝光。 b)将图形转移到涂有光刻胶的硅片上的工具(即光掩模版和中间掩模版)。在介绍光刻机或掩模版之前,把用以设计和描述操作光刻机的光学原理简要地说明一下。它们是讲明光掩模板和中间掩模版的基础。 在讨论光学原理之前,有必要介绍一下微光刻硬件的关键。那就是把图形投影到硅表面的机器和掩模版的最重要的特征:a)分辨率、b)图形套准精度、c)尺寸控制、d)产出率。 通常,分辨律是指一个光学系统精确区分目标的能力。特别的,我们所说的微图形加工的最小分辨率是指最小线宽尺寸或机器能充分打印出的区域。然而,和光刻机的分辨率一样,最小尺寸也依赖于光刻胶和刻蚀的技术。关于分辨率的问题将在微光刻光学一章中更彻底的讲解,但要重点强调的是高分辨率通常是光刻机最重要的特性。 图形套准精度是衡量被印刷的图形能“匹配”前面印刷图形的一种尺度。由于微光刻应用的特征尺寸非常小,且各层都需正确匹配,所以需要配合紧密。

微光刻尺寸控制的要求是以高准度和高精度在完整硅片表面产生器件特征尺寸。为此,首先要在图形转移工具〔光刻掩模版〕上正确地再造出特征图形,然后再准确地在硅片表面印刷出〔翻印或刻蚀〕。 加工产率是重要但 不是最重要加工特征。例 如,如果一个器件只能在 低生产率但高分辨率的 光刻机制版,这样也许仍 然是经济的。不过,在大 部分生产应用中,加工和 机器的产率是很重要的, 也许是选择机器的重要因素之一。 1.微光刻光学 在大规模集成电路的制造中。光刻系统的分辨率是相当重要的,因为它是微器件尺寸的主要限制。在现代化投影光刻机中光学配件的质量是相当高的,所以图形的特征尺寸因衍射的影响而受限制,而不会是因为镜头的原因(它们被叫做衍射限制系统)。因为分辨率是由衍射限度而决定的,那就必须弄明白围绕衍射限度光学的几个概念,包括一致性、衍射、数值孔径、调频和许多重要调节转换性能。下几节的目的就是要简要和基本地介绍这些内容。参考资料1·2讲得更详细。 衍射·一致性·数值孔径和分辨率 图(1):一束空间连续光线经过直的边缘时的光强 a)依据几何光学b)散射

匀胶显影与光刻工艺

光刻胶显影和光刻工艺 摘要 简要介绍关于光刻胶的显影过程和光刻工艺处理的一些相关内容。 引言 光刻工艺可用五个指标来衡量其效果:分辨率、灵敏度、套刻对准精度、缺陷率和硅片加工过程处理问题,其中有3个指标,分辨率、灵敏度和缺陷率是与涂胶显影的工艺精度有重要联系。 正文 显影过程是将曝光后的光刻胶中与紫外光发生化学反应的部分除去或保留下来的过程。显影的主要过程如下: 对准曝光→曝光后烘→显影→坚膜→显影检测。 1、 对准曝光(Alignment and Exposure ) 对准曝光阶段是光刻工艺的重要阶段,使用的掩膜曝光机,即光刻机,集中了光刻工艺中最重要的工艺技术。 对准曝光过程通常在黄光实验室(图1)中进行。 使用的光刻机(图2)也根据不同的曝光原理,分为接触式曝光,接近式曝光和投影式曝光。也可按自动化程度高低分成手动式,半自动式,和全自动式光刻机。 图1 黄光实验室 图2 光刻机 (左: MYCRO NXQ4000 右:全自动式MYCRO NXQ8000)

2、 曝光后烘(PEB ) 曝光后应尽快进行显影步骤中的烘干处理,从而有效降低驻波效应的影响,这是由于曝光过程中,入射光和反射光会产生相互干涉,其光强会沿着胶体水平方向形成波纹形状,即驻波。 目前通常采用曝光后立刻烘干方式,即PEB ,减少驻波效应带来的影响。 3、显影(develop ) PEB 之后,硅片冷却至 23℃左右,与显影液温度相同,并与显影液发生化 学反应。 一般来说,显影过程中被曝光和未曝光部分的光刻胶都会与光刻胶发生反应,因此,为得到良好的显影效果,可以通过改变显影液成分,显影温度,显影方式,与显影步骤等因素来加快曝光与为曝光部分光刻胶的溶解速率。 若对显影的要求不高,可以直接将硅片放入显影液槽中浸泡然后取出。对 于大部分对显影要求较高的生产及实验过程,通常使用专用的匀胶显影机来自动控制显影过程,如图3所示。 目前,显影主要有三种方法,即连续喷雾显影(SPRAY )、旋转浸润显影(IMMESESEION )和静态显影(PUDDLE )。 4、坚膜(HB Hardbake ) 坚膜也称为硬烘,是对显影后的光刻胶加热烘干,促使光刻胶与硅片粘着牢固,并且没有发生形变。坚膜阶段的温度一般控制在100-120℃之间,若加热温度过高会使得光刻胶软化,如图4所示,并导致后期去胶困难。 一般使用热板或烘箱来控制温度变化。 左图:无PEB 右图:PEB 之后 图3 匀胶显影机(MYCRO EDC650)

某装备结构动态特性分析

技术篇 2007年 第十期 某装备结构动态特性分析 霍 红 (中北大学,太原 030051) 摘 要:利用试验模态分析法获得了某机枪结构的模态参数,分析了机枪的动态特性,并通过基于模态试验的灵敏度分析方法,获得了影响该机枪动态特性的敏感部位,为改善机枪动态特性提供了依据. 关键词:机枪;灵敏度分析;动态特性;分析 中图分类号:TP302.7 文献标识码:A 文章编号:1005 8354(2007)10 0001 02 Analysis on structural dyna m ic characteristics for certai n equi p m e nt HUO H ong (N orth U n i ve rs i ty o f Ch i na ,T a i yuan 030051,Chi na) Abstract :A ccor ding to modal analysism etho d,modal parametersw ere derived and structural dynam ic charac teristics were analyzed.U sing sensitivit y analysis of model test ,t he dyna m ic characteristics and sensitive p oints of a m achine gun were obt ained.These woul d be used to i m prove dyna m ic propert y of t hemachine gun. K ey words :machine gun;sensitivity analysis ;struct ural dyna m ic characteristics ;analysis 收稿日期:2007 08 22 作者简介:霍红(1968 ),女,实验师,研究方向:火炮、自动武器与弹药工程. 0 引 言 当今为提高自动武器的机动性,广泛采用弹性枪架,但随着重量的减轻,武器系统的振动加剧.而武器系统的振动又直接影响到射击精度,特别是弹丸出膛 口时的横向位移、横向速度以及弹丸初始扰动等对武器射击精度影响尤其明显 [1] .为此,需掌握武器系统 的固有特性,为分析和优化机枪的动力学特性提供依据,以提高其射击精度.而系统固有特性一般可由理论分析方法和试验方法获得,前者是利用有限元分析法,后者是利用试验模态分析法,随着试验技术的发展和测量仪器精度的提高,利用试验模态分析法得到的结果越来越受到重视,并且常常作为验证有限元模型正确性的主要依据,所以,常采用理论分析和试验两种方法相结合建立模型 [1,2] ,以获得接近实际的结 果,为进一步分析如结构修改设计及结构动力特性优化设计提供良好的基础.本文以某机枪为例,采用试验模态分析法识别机枪系统的模态参数和分析其动 态特性,并在此基础上进行了灵敏度分析,获得机枪动力学特性对各参数变化的灵敏度,为机枪的动力学特性优化设计提供依据. 1 机枪结构试验模态分析 1.1 模态测试系统 模态测试系统基本由以下几部分组成:激励部分、信号测量和数据采集部分、信号分析和频响函数 估计部分 [3] .其测试系统框图见图1所示. 图1 机枪模态试验系统框图 1

滑块结构设计大全

倒勾处理(滑块) 一?斜撑销块的动作原理及设计要点 是利用成型的开模动作用,使斜撑梢与滑块产生相对运动趋势,使滑块沿开模方向及水平方向的两种运动形式,使之脱离倒勾。如下图所示: 上图中: β=α+2°~3°(防止合模产生干涉以及开模减少磨擦) α≦25°(α为斜撑销倾斜角度) L=1.5D (L为配合长度) S=T+2~3mm(S为滑块需要水平运动距离;T为成品倒勾) S=(L1xsina-δ)/cosα(δ为斜撑梢与滑块间的间隙,一般为0.5MM; L1为斜撑梢在滑块内的垂直距离)

二?斜撑梢锁紧方式及使用场合 简图说明 适宜用在模板较薄且上固定 板与母模板不分开的情况下配 合面较长,稳定较好 适宜用在模板厚、模具空间大 的情况下且两板模、三板板均 可使用 配合面L≧1.5D(D为斜撑销直径) 稳定性较好 适宜用在模板较厚的情况下 且两板模、三板板均可使用, 配合面L≧1.5D(D为斜撑销直径) 稳定性不好,加工困难.

适宜用在模板较薄且上固定板 与母模板可分开的情况下 配合面较长,稳定较好 三?拔块动作原理及设计要点 是利用成型机的开模动作,使拔块与滑块产生相对运动趋势,拨动面B拨动滑块使滑块沿开模方向及水平方向的两种运动形式,使之脱离倒勾。 如下图所示: 上图中: β=α≦25°(α为拔块倾斜角度)

H1≧1.5W (H1为配合长度) S=T+2~3mm (S为滑块需要水平运动距离;T为成品倒勾) S=H*sinα-δ/cosα (δ为斜撑梢与滑块间的间隙,一般为0.5MM; H为拔块在滑块内的垂直距离) C为止动面,所以拨块形式一般不须装止动块。(不能有间隙) 四?滑块的锁紧及定位方式 由于制品在成型机注射时产生很大的压力,为防止滑块与活动芯在受到压力 而位移,从而会影响成品的尺寸及外观(如跑毛边),因此滑块应采用锁紧定位,通常称此机构为止动块或后跟块。 常见的锁紧方式如下图: 简图说明简图说明 滑块采用镶拼式锁紧方式,通常可用标准件.可查标准零件表,结构强度好.适用于锁紧力较大的场合.采用嵌入式锁紧方 式,适用于较宽的 滑块 滑块采用整体式锁紧方式,结构刚性好但加工困难脱模距小适用于小型模具.采用嵌入式锁紧方式适用于较宽的滑块.

Nikon光刻机对准系统功能原理

Nikon光刻机对准系统功能原理 投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介 对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准,其标记的对准精度能达到±0.4μm (正态分布曲线的3σ值)。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次,而对准精度直接影响硅片的套刻精度,所以硅片的对准精度非常的关键。 由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围,它在X方向和Y方向都只能扫描±44μm,所以硅片被传送到工件台上进行对准之前,需要在预对准工件台上先后完成两次对准,即机械预对准和光学预对准,以便满足精细对准的捕捉范围。注意:本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成:照明(对准光源)部分,双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示,在图中可以看出,对准系统中用了两个完全相同的光路,这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能 由于对准系统中的两条完全相同,所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中,照明部分的主要部件就是激光发射器,它产生波长为633nm的线性极化光,避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光(硅片曝光用的光为紫外光)。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元,该激光将从双折射单元底部射出,通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上;而经过硅片表面的反射后由原路返回,第二次经过双折射单元,由双折射单元的顶部射出,再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。 在对准单元内,硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后,将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象,Q-CELL光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号,由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。 硅片上的对准标记如图2所示,标记分为四个象限,每个象限有8μm或8.8μm的对准条,其中有两个象限的对准条用来对准X向,另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限,当在Q-CELL检测器的每一个单元中,两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候,就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束,一束激光将通过调制器到达Q-CELL光电检测器,而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准,但是由于它们是同步的,彼此之间几乎看不到有何不同,所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分 对准系统的电路部分主要的功能是: 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。 光学调制器的驱动:该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号,其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理:在对准的时候,工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动,进行X轴向对准,当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时,将产生一个对准电信号,该信号以中断信号的形式输入计算机,X向对准的两个象限光栅都将产生其各自的中断信号。当产生中断信号的同时,计算机将记录下此时工件台的位置。在X向对准的时候,一个标记中两个象限的光栅同时参与,在每个象限中光栅条纹之间的间距是一个恒定的常数,但是这两个象限的光栅条纹间距并不相同,如图2所示。在对准扫描的过程中,每一个象限中的每一条光栅条纹都将会产生各自的一个中断信号,由于两个象限的光栅条纹间距不同,所以在扫描的时候只能有一个点将同时产生两个中断信号,而这个点就是在X

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