全膜法超纯水制备工艺图
超纯水系统施工过程具体注意事项分析 一、超纯水系统总体介绍 随着电子工业的发展，在芯片的生产加工过程中，对于水质的要求也越来越高。为了保证生产出超大规模的集成电路，除高纯原材料、高纯气体、高纯化学药品外，高纯水也是其中最关键的因素之一。 高纯水系统是将一般的市政用水处理成对不同离子的含量和颗粒度都有很高要求的超纯水。超纯水系统工程总体来说一般可分为三个部分：超纯水制造区(CUB部分)、超纯水抛光循环区(FAB部分)、超纯水输送管网(FAB各使用区)。其中超纯水制造区最为复杂其又可分为：预处理、一次纯水处理、超纯水处理三个部分。 预处理部分主要包括：沙滤、活性炭塔(有的厂商在沙滤前还增设反应槽、气浮池);一次纯水部分主要包括：阴阳离子交换塔、脱气塔(DG)、保安过滤器、紫外线杀菌器及多级反渗透;超纯水部分主要包括：MDG(脱氧膜组)、TOC-UV杀菌器、混床(MB)及终端过滤器。但是由于考虑到在向工艺线设备输送高纯水过程中，输水管道会对水质再次造成污染，因而在FAB内一般都设立抛光循环系统。抛光循环系统主要以MB为核心，再加上超滤设
备(UF)，以除去在向工艺生产线输送纯水的过程中，管网溶入水中的杂质。 二、超纯水系统中各阶段常用管材 在超纯水系统中管材的选用也非常重要，既要能做到保证水质、又应该做到经济合理。超纯水系统中常用管材主要包括：PVC、SGP、SGP(RL)、SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。一般在超纯水制造区预处理阶段多采用PVC管或SUS304管。设备面管一般采用内衬胶钢管(SGP RL)，对于水泵等产生震动的动力设备周边采用SUS304管;在一次纯水阶段主流程采用CPVC管或 SUS304管。高压泵与反渗透(RO)之间，由于压力高所以必须采用SCH80的SUS304管及耐压2.0Mpa级的法兰。由于RO对水温有一定的要求，因而一般在RO之前有热交换器，其周边也应该采用SUS304管;在超纯水制造阶段，主流程一般应采用SUS316管和CPVC管;抛光循环区主流程一般采用SUS316管(焊接连接，并要求双面成型)和PVDF管，超纯水回收管道采用CPVC管。 在以上水处理各阶段废水排放管道均采用普通PVC管;在纯水制造过程中酸碱等加药管线，应采用耐冲击PVC管;纯水系统中使用的氮气系统采用SUS304管，超纯水抛光系统所用氮气管道采用SUS316管;压缩空气系统在纯水系统中作为气动阀开关 动力，一般采用SUS304管或SGP管，当采用SGP管时进入电气盘前需加过滤器。
典型超纯水工艺流程设 计方案 集团标准化小组：[VVOPPT-JOPP28-JPPTL98-LOPPNN]
1纯化水工艺设计方案：（产水水质标准达到的标准：中国药典2005版纯化水标准） 自来水→预处理→一级反渗透→一级EDI→UV杀菌→超滤除热原设备→用水 自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌→超滤除热原设备→用水 2注射用水工艺设计方案：（产水水质标准达到的标准：中国药典2005版注射用水标准） 自来水→预处理→一级反渗透→一级EDI→微滤→多效蒸馏除热原设备→用水 自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→微滤→超滤除热源设备→用水 3电厂高压锅炉给水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：工业锅炉水质GB1576-2001） 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→二级EDI→微滤→用水 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→微滤→用水 4微电子/半导体级超纯水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：中国电子工业部高纯水水质试行标准） 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→二级EDI→UV杀菌装置→超滤→用水 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→抛光混床→UV杀菌装置→超滤→用水 5实验室用分析级纯水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：分析级实验室用水标准 GB6682-2000） 自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌装置→超滤→用水 自来水→预处理→二级反渗透→一级EDI→UV杀菌装置→超滤→用水 进水电导率在400～1000μs/cm的含EDI设备的典型超纯水工艺流程设计方案 1纯化水工艺设计方案：（产水水质标准达到的标准：中国药典2005版纯化水标准） 自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌→微滤→用水 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→UV杀菌→微滤→用水 2注射用水工艺设计方案：（产水水质标准达到的标准：中国药典2005版注射用水标准） 自来水→预处理→二级反渗透→一级EDI→多效蒸馏除热源设备→用水 自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌装置→超滤除热源设备→用水 3电厂高压锅炉给水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：工业锅炉水质GB1576-2001） 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→混床→微滤→用水自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→二级EDI→微滤→用水 4微电子/半导体级超纯水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：中国电子工业部高纯水水质试行标准） 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→二级EDI→抛光混床→UV杀菌装置→超滤→用水
线路板用超纯水设备典型流程及标准参考 一、线路板用纯水概述: 线路板生产过程中,FPC/PCB湿流程绝大部分工艺都是相似的。各个工艺环节对纯水的要求也是大同小异。我们在线路板生产过程中常用到的电镀铜,锡,镍金;化学镀镍金;PTH/黑孔;表 面处理蚀刻等生产过程都需要用到不同要求的纯水。因为线路板生产过程中使用的药水不同,生产工艺流程的差异,对纯水的品质要求也不一样。 最关键的指标是:电导率(电阻率,总硅,pH值,颗粒度。线路板、电路板用纯水因为本身工艺流程的不同对纯水制造的工艺流程也不同。按照目前绝大部分线路板厂的使用情况来看,大概分为以下三种类型:预处理加离子交换纯水系统;反渗透加离 子交换系统;高效反渗透EDI超纯水设备。 二、线路板用纯水典型工艺流程: 1、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式,其基本工艺流程为:原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→混床(复床→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器 →用水点
2、采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI设备进行搭配的的方式,这是一种制取超纯水的最新工艺,也是一种环保,经济,发展潜力巨大的超纯水制备工艺,其基本工艺流程为:原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→电去离子(EDI→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点 三、标准参考 显像管、液晶显示器用纯水水质(经验数据 集成电路用纯水水质 四、线路板纯水设备特点 为满足用户需要,达到符合线路板、电路板用纯水标准的水质,尽可能地减少各级的污染,延长设备的使用寿命、降低操作人员的维护工作量。在工艺设计上,最好取符合国标自来水为源水,再设有介质过滤器,活性碳过滤器,钠离子软化器、精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统系统等。 线路板纯水系统中水箱均设有液位控制系统、水泵均设有高低压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器,真正做到了无人职守;同时在工艺选材上采用推荐和客
水处理设备（超纯水系统） 操 作 说 明 书
目录 一、超纯水设备工艺流程图： (2) 二、工艺流程说明： (2) 1.原水箱 (2) 2.原水泵 (2) 3.多介质过滤器 (3) 4.活性碳过滤器 (3) 5.阻垢剂加药系统 (3) 6.软化器 (4) 7.精密保安过滤器 (4) 8.高压泵 (4) 9.两级反渗透RO机 (5) 10、二级纯水箱 (12) 11、EDI输送泵 (12) 12、前置紫外杀菌器 (13) 13、0.22μ微滤系统 (13) 14、EDI装置 (13) 15、EDI超纯水箱 (17) 16、输送泵 (17) 17、核级树脂 (17) 18、后置紫外线杀菌器 (18) 19、终端0.22μ微滤系统 (19) 三、设备操作指南： (19)
四、设备维护与保养：（以原水水质与纯水水质而定） (19) 附表1：水处理设备运行记录表 (21) 附表2：水处理设备维修保养记录表 (22) 附录3：售后服务承诺 (23) 一、超纯水设备工艺流程图： 二、工艺流程说明： 1.原水箱 原水箱作为储水装置，调节系统进水量与原水泵抽送量之间的不平衡，避免原水泵启停过于频繁，箱内设置液位，原水进水阀根据液位高低进行自动补水，原水泵根据水池液位情况自动启停。 操作：原水箱顶部设置手动及自动电动进水阀，可进行手动及自动补水； 手动补水时不受液位控制，只能手动控制。自动补水阀补水时受液位控制，
当水箱液位降到设定中液位时，自动阀开启自动补水；当水箱液位达到设定高液位时，自动阀关闭停止补水，从而达到自动的性能。 2.原水泵 作用：原水泵将原水增压后输送到下道工序，保证多介质过滤器、活性炭过滤的操作压力及运行流量。 操作：原水泵可分手动和自动操作，自动运行时，原水泵将与原水箱液位联动，原水箱液位低时原水泵停止运行，中水位时重新启动；手动操作时除原水箱液位液位不与原水泵连锁外，其他和自动一样；其他有关说明及注意事项详见水泵说明书。 3.多介质过滤器 作用：在水质预处理系统中，多介质过滤器压力容器内不同粒径的石英砂按一定级配装填，经絮凝的原水在一定压力下自上而下通过滤料层，从而使水中的悬浮物得以截留去除，多介质过滤器能够有效去除原水中悬浮物、细小颗粒、全价铁及胶体、菌藻类和有机物。其出水SDI15（污染指数）小于等于5，完全能够满足反渗透装置的进水要求。 操作：多介质过滤器的反洗操作采用自动控制器，过滤器应定期清洗。冲洗周期一般为5～7个工作日，具体将根据进水浊度而定。 4.活性碳过滤器 功能：在水质预处理系统中，活性炭过滤器能够吸附前级过滤中无法去除的余氯以防止后级反渗透膜受其氧化降解，同时还吸附从前级泄漏过来的小分
超纯水工艺流程 预处理----反渗透----CEDI膜块----抛光树脂 膜法超纯水制取设备工艺流程：原水—超滤(多介质过滤器、活性炭过滤器)—反渗透—EDI—超纯水 渗透/电去离子（RO/EDI）集成膜技术是近年来迅速发展成熟，并得到大规模工业应用的最新一代超纯水制造技术，在国际上已逐渐成为纯水技术的主流。RO/EDI的集成膜技术在电子企业用水，实验室纯水系统，电厂用水等方面具有独特的优势。 自来水进入原水箱，通过原水泵增压，经砂滤器、炭滤器、阻垢剂加药、保安过滤器，到达反渗透单元，经两级反渗透过滤进入EDI单元，达到电阻率15MΩ.cm（25℃）进入纯水水箱。纯水供水设计为循环方式，经纯水供水泵增压，通过紫外线消毒器、抛光混床、0.22微米过滤器接入纯水供水管，到达使用点。 1.1预处理单元 采用石英砂过滤、活性炭过滤、保安过滤作为两级反渗透的预处理。 1.2膜系统单元 膜系统单元是本系统的核心，负责去除水中大部分的有害物质，保证终端产水达到标准要求。本设计中采用辅以pH值调节的两级反渗透作为初级脱盐工艺，EDI模块作为深度脱盐工艺。 1.2.1反渗透模块 反渗透膜是以压力差为驱动力的液相膜分离方法，可以看作是渗透的一种反向作用。在压力推动下，溶液中的水分子透过膜，而其它分子、离子、细菌、病毒等被截留，从而实现脱盐效果，达到纯化目的。 整个反渗透系统由高压泵、反渗透膜、压力容器以及相应的仪器、仪表、阀门、机架、管道及管件等组成；此外还有独立的化学清洗装置。
1.2.2EDI模块 EDI技术是将膜法和离子交换法结合起来的新工艺，基本原理主要包括离子交换、直流电场下离子的选择性迁移及树脂的电再生。水中的离子首先通过交换作用吸附于树脂颗粒上，再在电场作用下经由树脂颗粒构成的“离子传输通道”迁移到膜表面并透过离子交换膜进入浓室。由于离子的交换、迁移及离子交换树脂的电再生相伴发生，犹如边工作边再生的混床离子交换树脂柱，因此可以连续不断地制取高质量的纯水、高纯水。 EDI系统由增压泵、膜堆、电源以及相应的仪器、仪表、阀门、机架、管道等组成。 1.3供水单元 纯水供水循环采用254nm紫外线杀菌、抛光混床脱盐、0.22微米过滤，达到用户的纯水水质要求。 为保证纯水的品质以及生物学指标，在纯水制备的终端设置精度为0.22μm的微滤膜过滤器，用于截留去除脱盐设备出水中的微粒以及细菌尸体。由于0.22μm的微滤膜膜过滤器为整个脱盐工艺的最后一道处理设备，因此又称终端过滤器。过滤器内装折叠式微孔滤膜，过滤精度0.22μm，过滤器出口设置压力表。过滤器经过一段时间的运行后，滤膜表面截留了大量杂质，使滤膜堵塞，导致工作压力增加，当进出口压力差增大到某一设定值时，更换滤膜。 终端过滤器由罐体、0.22μm滤芯、压力表组成。 1.4主要设备 主要设备：原水箱、原水增压泵、砂滤器，炭滤器罐体、多路阀、阻垢剂计量泵、阻垢剂(氨基三甲叉膦酸ATMP)药罐、保安过滤器、保安过滤滤芯、一级RO高压泵、一级RO膜、二级RO高压泵、二级RO膜、膜壳、PH值调整计量泵、EDI增压泵、EDI模块、超纯水水箱、纯水增压泵、抛光混床罐、抛光树脂、0.22微米过滤器、0.22微米滤芯等。
超纯水机整个处理工艺流程 超纯水机整个处理工艺流程 科学的进步，人类的发展，让人们的观念也随之提高，现在很多实验对试剂，或者是对检测环境的杂质要求都已经达到了ppb级，部分检测已经达到ppt级;因此，对于超纯水机，应该是每个实验室不可缺少的。 纯水主要用途： ●氢气发生器、室内加湿器、高压消毒锅用纯水 ●缓冲液、化学试剂配制用水 ●微生物培养基制备用水 ●实验室器皿的最后清洗 ●人或实验动物饮用水等; 超纯水主要用途： ●医院、医药制剂室及中心实验室用纯化水和高纯水 ●各种医疗用生化仪、分析仪、血液透析仪用水 ●各种高效液相色谱、离子色谱用水 ●其他各种实验室用水和医药用水。 ●分析试剂及药品配置稀释用水 ●生理、病理、毒理学实验用水 ●动、植物细细胞培养用水 ●原子吸收光谱用水 ●试管婴儿用水 超纯化水质的主要工艺
超纯水机要彻底去除天然水中常见杂质，包括：微生物、颗粒物、可溶性气体、可溶性无机物、有机物等杂质。 目前净化水质的工艺方法有很多，但常用的有反渗透法、过滤法、吸附法、蒸馏法、离子交换法、紫外氧化法等。 超纯水机一般可以将水的纯化过程大致分为4大步： 第一步：预处理(初级净化); 由于预处理后的水将通过反渗透进行再一步的净化，所以一定要尽量去除对反渗透膜有影响的杂质;主要包括大颗粒物质、余氯以及钙离子镁离子。最重要的一点是必须要根据进水水质的差异针对性地配备不同的处理单元。莱特莱德环境工程有限公司能帮助客户很好的解决这个问题，用设计精密过滤器、活性碳吸附过滤器以及软化树脂针对性地去除水中大颗粒物质、余氯以及钙离子镁离子达到最佳的预处理效果。就避免了后续的纯化无法达到理想结果并缩短反渗透膜、超纯化柱等主要部件的寿命的问题。 预处理耗材(莱特莱德代理的水处理耗材配件是您很好的选择，保证产品质量，提供一流售后)的及时更换对超纯机的长期稳定运行，保护核心部件相当重要。 第二步：反渗透(生产出纯水); 反渗透可以滤除90%-99%的包括无机离子在内的绝大多数污染物，因为它出众的纯化效率，使用一个高压泵对高浓度溶液提供比渗透压差大的压力，水分子将被迫通过半透膜到低浓度的一边，此项技术是水纯化系统的一个非常有效的技术，因为反渗透能去除大部分的污物，故经常被用作前期处理手段，能显著地延长去离子交换柱的使用时间。 莱特莱德技术人员建议用户一定要选择对反渗透膜具有保护功能的超纯水机。因为反渗透在水质纯化过程中是非常关键并且反渗透膜的更换价格较高。 采用了独特技术，结合领先的反渗透限流设计，在出水处有限流阀，使反渗透膜始终浸泡在水中，不致因变干而影响寿命。为了尽可能延长反渗透膜的使用寿命以及提高反渗透膜的过滤效率，延长了反渗透膜寿命就是保证了出水水质，同时也提升了超纯水系统的性价比。 反渗透膜的质量对其寿命以及对超纯化柱的使用寿命影响很大，所以莱特莱德技术人员建议用户一定要关注反渗透膜的品牌，如我公司代理的一些大品牌：陶氏、GE、海德能、东丽等。 第三步：离子交换(可生产出18.2MΩ.cm超纯水); 离子交换即是水中的正离子与离子交换树脂中的H+离子交换，水中的负离
超纯水机的混床工艺技术资料EDＩ超纯水机优势和应用 ＥDＩ超纯水机工艺技术已经越来越受人们关注,该技术有很多优点，已经被很多行业广泛应用。也取代了传统的制超纯水方法,出水更稳定，运行更可靠。 EDI超纯水机的优点 EDI系统可以用来替换传统的混床工艺,EDI跟以往工艺不同的是,此工艺不需要大量的化学药剂进行再生。EDＩ系统的出水水质非常稳定,又可连续达到水质标准,减少了占地面积，还省去了传统工艺中的酸、碱再生步骤，生产安全具有可靠性,又可实现模块化的组装。维修也非常简便,并且不需要停机。运行成本也是非常低的。 EDＩ超纯水机优势 EDＩ超纯水机有很多优势，其中，占地面积非常小，因为跟以往工艺相比,EＤI超纯水机省去了混床部分和再生的机。出水水质可根据用户的需求进行调整，水质非常稳定，这跟混床技术相比，就可以不用担心树脂因为失效而导致水质变差等问题。而且成本低,只耗电，省去了酸碱步骤，可以节省掉材料费用，而且非常环保,增加了安全操作性。
ＥＤI机应用领域 EDI超纯水机可以应用于电厂和一些电子行业中,像化学水的处理,半导体等用水,制药行业和食品行业对水的要求过高,我公司EDI超纯水机的产水水质均符合用户的用水需求，我公司设备还可以用于对水有严格要求的行业和各种小型的纯水站及一些 高端行业用水等。 医疗纯化水设备的基本介绍及工艺流程 近几些,医疗行业兴起，对医疗行业的管治也越来越严格，由其是一些医疗用水，必须要满足GMP,还要达到一定标准。莱特莱德作为专业超纯水处理公司,为满足用户要求提高高品质的医疗纯化水设备及服务;并结合最新工艺，弥补了传统工艺上的不足。 医疗纯化水设备性能： 医疗纯化水设备是全自动控制，可以进行设置,冲洗，开关机都可以实现自己化。反渗透主机部分，有自动保养的功能，而且整个设备都是采用不锈钢构成，结实耐用。 医疗纯化水设备工艺流程: 第一种工艺流程：原水经过加压进入四级预处理中进行处理，使水达到一定标准，可进入反渗透设备,再由离子交换器进行处
超纯水系统工艺流程图 Final approval draft on November 22, 2020
图 3 常用的一级RO+二级EDI+MB 电子I级超纯水系统工艺配置图 适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率18～Ω·cm的超纯水系统图 4常用的一级RO+二级EDI电子Ⅱ级超纯水系统工艺配置图 适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率（小于1000μs/cm），要求产水电阻率15～18MΩ·cm的超纯水系统
符号说明: P Pc F R C 电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表流变控制开关 FK 图 5 常用的一级RO+二级EDI电子+MB 电子I级超纯水系统工艺配置图 适合于源水硬度低，有机物含量低，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率18～Ω·cm的超纯水系统
图 6 常用的一级RO+二级EDI电子Ⅱ级超纯水系统工艺配置图 适合于源水硬度低，有机物含量低，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率15～18MΩ·cm的超纯水系统
图 7是常用的一级EDI全系统组成图。 图 7 常用的产水水质稳定的二级RO+一级EDI+MB电子Ⅰ级超纯水系统组成图 适合于源水硬度低，有机物含量高，电导率 <1000μs/cm,即TDS < 500ppm时，要求产水电阻率18～Ω·cm的纯水系统
图 8 常用的产水水质稳定的二级RO+一级EDI电子Ⅱ级超纯水系统组成图 适合于源水硬度低，有机物含量高，电导率 <1000μs/cm,即TDS < 500ppm时，要求产水电阻率15～Ω·cm的的纯水系统
超纯水制备技术工艺及其原理全面解析 对于超纯水的需求随着半导体工业的发展，对超纯水质量要求提高，从而大大的推动了纯水技术的发展，膜技术得到了广泛的应用，微滤，超滤，电渗析和反渗透技术先进的水处理技术得到了飞速的发展，膜法制备纯水取代了传统的离子交换器系统，解决了TOC问题，满足了电子行业对纯水质量的要求。 超纯水制备工艺 1.传统超纯水制备工艺流程： 原水—多介质过滤器—活性炭过滤器—一级除盐—混床—超纯水 2.膜法超纯水制备工艺流程： 原水—超滤—反渗透—EDI—超纯水 在膜法工艺中，超滤，微滤替代澄清，石英砂过滤器，活性炭过滤器，除去水中的悬浮物胶体和有机物，降低浊度，SDI，COD等，可以实现反渗透装置对污水回用的安全，高效运行，以反渗透替代离子交换器脱盐，进一步除去有机物，胶体，细菌等杂志，可以保证反渗透出水满足EDI进水的要求，以EDI代替混床深度脱盐，利用电而不是酸碱对树脂再生，避免了二次污染。
原水水质概论 水中的杂质按存在的形态的不同可以分为悬浮物，胶体和溶解性固体三种，其中固体含量用总固体量作为指标，把一定量水样在105-110°烘箱中烘干到恒重，所得的重量及为总固含量。 第一类是悬浮物物指悬浮于水中的物质，颗粒直径在10-4mm 以上，如泥沙，粘土，动植物残骸，微生物，有机物，藻类等第二类是胶体，指水中带电荷的胶体为例，颗粒直径在 10-5mm之间，胶体颗粒是许多分子或离子集合体，这种细小颗粒具有较大的比表面积，从而使他具有特殊的吸附能力，而被吸附的物质往往是水中的离子，因此胶体颗粒带有一定的电荷，如硅铁铝化合物及一些高分子有机物如腐殖质等，也有一些在此粒径范围的细菌，病毒等。 第三类是溶解物，只被水所溶解的，分子或离子状态的溶质或气体如氯化物，硫酸盐等。 悬浮物和胶体是使天然水产生浑浊的主要原因。 原水的预处理 反渗透因为膜材料及元件的关系，对进水水质有一定的要求，预处理解决的问题是赌赛，结构，污染和波坏，堵塞时指水
超纯水的工艺流程 超纯水的工艺流程 1、采用离子交换方式，其流程如下： 原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点 2、采用两级反渗透方式，其流程如下： 原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→第一级反渗透→PH调节→中间水箱→第二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→纯化水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点 3、采用EDI方式，其流程如下： 原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点二、三种制备电镀行业用超纯水的工艺比较
目前制备电镀行业用超纯水的工艺基本上是以上三种，其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。 水处理设备的分类 水处理设备主要包括了软水机、纯水机、净水器、精密过滤器和开水龙头以及路设计、设备安装和售后服务等，这是一整套为消费者提供的水处理设备。目前市场上水处理设备也主要包括软水机、纯水机、净水器三大类型。 一、水处理设备之软水机 1. 软水机原理及功能：根据离子交换的原理，即用 Na+交换Mg2+Ca2+，使水中的硬度降低到70毫克/升以下成为软水，此水处理设备主要功能是祛除水碱，水垢。 2. 软水机水处理设备的优点 祛除水垢，水碱效果好，同时流量大，基本上不降低水压。经过软水机水处理设备产生的水，清洁能力特强，洗衣，淋浴，美容护肤效果强;也能减轻能源消耗。同时也节约洗涤用品降,低家务强度。软水机水处理设备产生的水最适宜作为生活用水的。
典型超纯水工艺流程设计 方案 This model paper was revised by the Standardization Office on December 10, 2020
进水电导率<400μs/cm的含EDI设备的典型超纯水工艺流程设计方案 1 纯化水工艺设计方案：（产水水质标准达到的标准：中国药典2005版纯化水标准） 自来水→预处理→一级反渗透→一级EDI→UV杀菌→超滤除热原设备→用水 自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌→超滤除热原设备→用水 2 注射用水工艺设计方案：（产水水质标准达到的标准：中国药典2005版注射用水标准） 自来水→预处理→一级反渗透→一级EDI→微滤→多效蒸馏除热原设备→用水 自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→微滤→超滤除热源设备→用水 3 电厂高压锅炉给水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：工业锅炉水质GB1576-2001） 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→二级EDI→微滤→用水 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→微滤→用水 4 微电子/半导体级超纯水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：中国电子工业部高纯水水质试行标准） 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→二级EDI→UV杀菌装置→超滤→用水 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→抛光混床 →UV杀菌装置→超滤→用水 5 实验室用分析级纯水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：分析级实验室用水标准GB6682-2000） 自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌装置→超滤→用水 自来水→预处理→二级反渗透→一级EDI→UV杀菌装置→超滤→用水
第一章概况 1.1工程概况： 本工艺方案是根据用户要求，以系统运行可靠、经济合理为原则，采用相关设计标准和规范，结合我公司多年工程经验，以地下水做为原水水源而编制的。 本系统采用“预处理+反渗透+EDI装置”水处理工艺，该方案设计合理、运行稳定、产水的品质满足要求，并已在多项类似工程中得到应用及检验。 设备具有安装方便、使用方便、操作方便、维护方便；运行稳定、节能、环保、自动化程度高，经济实用等特点。 1.2工程设计参数 （1）安装场所: 水处理车间内,介质温度:5~45℃,安装面积: ≤200m3； （2）原水水质: 按西北地区地下水设计,原水设计温度不小于5℃； （3）产水技术指标: 我公司对超纯水系统作出质量保证：在设计进水温度、水质条件下，过滤器、反渗透、EDI及抛光混床的出水水质及水量满足用户的要求。 整个水处理系统按全自动运行方式进行设计。
5 终端过滤系统电阻率(MW.cm at 25℃)≥5 MΩ.cm 颗粒度≥0.22mm [个/ml]100 使用点压力 [MPa]0.35±0.05出口压力 [MPa]0.50±0.05 1.3公用设施条件 1）供水：取水口通过提升泵送至纯水车间。 正常流量：大于产水流量 温度：≥10℃ 2）供电：依据我方提出容量，由买方将动力线送至电控柜上。 供电电源：380V/ 50Hz /三相五线制 使用最大功耗：35KW 3）药品供应：调试及运行过程中所用消耗品以及水电由买方提供。预处理、反渗透、EDI 系统采用的絮凝剂、清洗剂、碱等药品由我方根据水质情况计算或试验确定药品种类、配药浓度、加药量，全部药品宜采用汽车运输。 A\凝聚剂 化学成分：高分子聚合物（SMST） 纯度：30% 配制浓度：10% 包装：25Kg/桶 B\氢氧化钠 化学成份：NaOH 纯度：45% 包装：桶装或其他 运输方式：汽车运输 配制浓度：45% 加药量：1-2ppm 1.5工程范围 我方提供一套完整的化学水处理系统，即从原水箱进口母管（包括阀门、仪
进水电导率<400μs/cm的含EDI设备的典型超纯水工艺流程设计方案 1 纯化水工艺设计方案：（产水水质标准达到的标准：中国药典2005版纯化水标准） 自来水→预处理→一级反渗透→一级EDI→UV杀菌→超滤除热原设备→用水 自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌→超滤除热原设备→用水 2 注射用水工艺设计方案：（产水水质标准达到的标准：中国药典2005版注射用水标准） 自来水→预处理→一级反渗透→一级EDI→微滤→多效蒸馏除热原设备→用水 自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→微滤→超滤除热源设备→用水 3 电厂高压锅炉给水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：工业锅炉水质GB1576-2001） 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→二级EDI→微滤→用水 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→微滤→用水 4 微电子/半导体级超纯水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：中国电子工业部高纯水水质试行标准） 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→二级EDI→UV杀菌装置→超滤→用水 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→抛光混床→UV杀菌装置→超滤→用水 5 实验室用分析级纯水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：分析级实验室用水标准GB6682-2000） 自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌装置→超滤→用水 自来水→预处理→二级反渗透→一级EDI→UV杀菌装置→超滤→用水 进水电导率在400～1000μs/cm的含EDI设备的典型超纯水工艺流程设计方案
1 纯化水工艺设计方案：（产水水质标准达到的标准：中国药典2005版纯化水标准） 自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌→微滤→用水 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→UV杀菌→微滤→用水 2 注射用水工艺设计方案：（产水水质标准达到的标准：中国药典2005版注射用水标准） 自来水→预处理→二级反渗透→一级EDI→多效蒸馏除热源设备→用水 自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌装置→超滤除热源设备→用水 3 电厂高压锅炉给水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：工业锅炉水质GB1576-2001） 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→混床→微滤→用水 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→二级EDI→微滤→用水 4 微电子/半导体级超纯水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：中国电子工业部高纯水水质试行标准） 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→二级EDI→抛光混床→UV杀菌装置→超滤→用水 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→抛光混床→UV杀菌装置→超滤→用水 5 实验室用分析级纯水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：分析级实验室用水标准GB6682-2000Ⅰ级标准） 自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌装置→超滤→用水 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→UV杀菌装置
电子工业用超纯水概述 半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。 用两级反渗透制取 电子工业超纯水处理设备采用两级反渗透主机加EDI 制取电子工业超纯水处理设备 制备电子工业用超纯水的工艺流程 电子行业制备超水的工艺大致分成以下几种： 1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→阳床→阴床→混床（复床）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点 2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→混床（复床）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点 3、采用反渗透水处理设备与电去离子（EDI）设备进行搭配的的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→电去离子（EDI）→纯水箱→纯水泵→后置精密过
滤器→用水点 三种制备电子工业用超纯水的工艺比较 目前制备电子工业用超纯水的工艺基本上是以上三种，其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。现将他们的优缺点分别列于下面： 1、第一种采用离子交换树脂其优点在于初投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏。 2、第二种采用反渗透作为预处理再配上离子交换设备，其特点为初投次比采用离子交换树脂方式要高，但离子设备再生周期相对要长，耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。但对环境还是有一定的破坏性。 3、第三种采用反渗透作预处理再配上电去离子（EDI）装置，这是目前制取超纯水最经济，最环保用来制取超纯水的工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。其缺点在于初投资相对以上两种方式过于昂贵
电子行业超纯水生产线典型工艺流程 电子行业制备超纯水的工艺大致分成以下几种： 1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：●源水（箱）→源水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→软水器（根据水的硬度来选用）→精密过滤器→阳床→阴床→混床（单级或双级）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点 2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，是比较经济和流行的一种方式，其基本工艺流程为： ●源水（箱）→源水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→软水器（根据水的硬度来选用）→精密过滤器→反渗透设备→中间水箱→混床（单级或双级）→用水点 源水箱→源水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→软水器（根据水的硬度来选用）→精密过滤器→高压泵→反渗透装置（根据源水水质可设单级或双级）→中间水箱→混合离子交换器（单级或双级）→终端过滤器→产品水箱→用水点 B源水（箱）→源水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→软水器（根据水的硬度来选用）→精密过滤器→高压泵→反渗透装置（根据源水水质可设单级或双级）→中间水箱→混合离子交换器（单级或双级）→产品水箱→纯水泵→核级树脂→终端过滤器→用水点
3、采用反渗透水处理设备与电去离子（EDI）设备进行搭配的的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为： ●源水（箱）→源水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→软水器（根据水的硬度来选用）→精密过滤器→原水箱→反渗透设备（根据源水水质可设单级或双级）中间水箱→电去离子（EDI）→纯水箱→纯水泵→后置过滤器→用水点 A、源水（箱）→源水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→软水器（根据水的硬度来选用）→精密过滤器→高压泵→反渗透装置（根据源水水质可设单级或双级）→中间水箱→EDI→产品水箱→用水点源水（箱）→源水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→软水器（根据水的硬度来选用）→精密过滤器→高压泵→反渗透装置（根据源水水质可设单级或双级）→中间水箱→EDI→产品水箱→纯水泵→核级树脂→终端过滤器→用水点 实际工作中根据源水水质和出水要求适当取舍或添加，确定工艺！
纯净水生产工艺流程 Standardization of sany group #QS8QHH-HHGX8Q8-GNHHJ8-HHMHGN#
纯净水的生产工艺流程是什么矿泉水水厂水处理设备生产过程中的质量控制和措施 工艺流程方案 （1）第一级预处理系统：采用石英沙介质过滤器，主要目的是去除原水中含有的泥沙、铁锈、胶体物质、悬浮物等颗粒在20μm以上对人体有害的物质，自动过滤系统，采用进口品牌自动控制阀，系统可以自动（手动）进行反冲洗、正冲洗等一系列操作。保证设备的产水质量，延长设备的使用寿命。同时设备配备有自我维护系统，降低维护费用。 （2）第二级预处理系统：采用果壳活性炭过滤器，目的是为了去除水中的色素、异味、生化有机物、降低水的余氨值及农药污染和其他对人体有害的物质污染物。自动过滤控制系统，采用进口品牌自动控制阀，系统可以自动（手动）进行反冲洗、正冲洗等一系列操作。 （3）第三级预处理系统：采用优质树脂对水进行软化，主要是降低水的硬度，去除水中的钙镁离子（水垢）并可进行智能化树脂再生。自动过滤系统，采用进口品牌自动软水器，系统可以自动（手动）进行反冲洗。 （4）第四级预处理系统：采用双级5μm孔径精密过滤器（吨以下为单级）使水得到进一步的净化、使水的浊度和色度达到优化，保证RO系统安全的进水要求。（5）纯净水设备主机：采用反渗透技术进行脱盐处理，去除钙、镁、铅、汞对人体有害的重金属物质及其他杂质，降低水的硬度，脱盐率98%以上，生产出达到国家标准的纯净水。（6）杀菌系统：采用紫外线杀菌器或臭氧发生器（根据不同的类型确定）提高保质期。为提高效果，应使臭氧与水充分混合，并将浓度调整到最佳比。（7）一次冲洗：采用不锈钢半自动冲瓶机对瓶子的内、外壁进行清洗，清洗的水量可调。 矿泉水水处理设备-水厂矿泉水设备 天然矿泉水厂建厂要求、矿泉水引水 工艺、曝气工艺、过滤和消毒工艺、 充气工艺、灌装工艺、洗瓶工艺、矿 泉水工艺流程及其生产线、矿泉水检 验与卫生管理、矿泉水的品质控制、 矿泉水的生产工艺、矿泉水生产过程 中的质量控制和措施 一、方法 1、本方法是不添加杀菌剂，而且有 良好保存性的无菌矿泉水生产方法。 人们历来都在寻找甘甜可口的水，将 各地有名气的水装入容器大量出售一般情况下，矿泉水取水和装瓶不在同一个地方，抽出的水放在水罐中。从取水到装瓶这段时间内，细菌有可能繁殖滋生。以前防止细菌的繁殖，都是在抽出的水中添加氟，这样将损害矿泉水的天然风味，同时残留的氟可能生成有害物质。有人建议，在添加氟的情况下，可用活性炭进行再处理，但同样会影响矿泉水的天然风味。所以，需要研究一种方法，既能有效的防止矿泉水从取水到装瓶这段时间内细菌的繁殖，又不须添加氟等杀菌剂。 2、将矿泉水抽出后，在12摄氏度以下冷却，或者在冷却的同时，用孔径微米的滤膜过滤，然后再进行灭菌处理，在无菌条件下装入容器。从底下抽出的矿泉水的温度一般在15---17摄氏度左右。由于天然矿泉水来源的不同或在抽水过程中空气的混入等原因，使水中含有各种细菌。根据本方法，抽出的矿泉水要冷却到12摄氏度以下，若能冷却到10摄氏度以下更好，冷却到5摄氏度以下更显着。冷却是为了防止矿泉水滋生细菌。其次，上述条件作为在该温度下矿泉水不冻结的条件。矿泉水被从底下抽出后最好尽快的强制冷却。冷却时可采用平板式冷却机进行冷却。其次，按照本方法，最好将抽出的水用微米的膜过滤，以除去矿泉水中存在的革兰氏阴性菌或不溶解物。这样在灭菌处理前，能将有害微生物除去是最理想的。所以，在冷却处理的同时，用滤膜进行过滤。在用膜进行过滤时，最好保持工作压力公斤，水流量5---12升/分，过滤的矿泉水的温度，必须维持在上述的范围。膜可以使用市场上出售的微孔滤膜。矿泉水在经过上述冷却处理和过滤后，在一定时间继续保持低温条件，再用常规方法进行灭菌处理，达到完全灭绝矿泉水中的杂菌，如使用高温加热灭菌方法。要保持矿泉水的味道不变，须采用精密过滤的方法，可用
超纯水工艺流程 -标准化文件发布号：（9456-EUATWK-MWUB-WUNN-INNUL-DDQTY-KII
超纯水工艺流程 预处理----反渗透----CEDI膜块----抛光树脂 膜法超纯水制取设备工艺流程：原水—超滤(多介质过滤器、活性炭过滤器)—反渗透—EDI—超纯水 渗透/电去离子（RO/EDI）集成膜技术是近年来迅速发展成熟，并得到大规模工业应用的最新一代超纯水制造技术，在国际上已逐渐成为纯水技术的主流。RO/EDI的集成膜技术在电子企业用水，实验室纯水系统，电厂用水等方面具有独特的优势。 自来水进入原水箱，通过原水泵增压，经砂滤器、炭滤器、阻垢剂加药、保安过滤器，到达反渗透单元，经两级反渗透过滤进入EDI单元，达到电阻率15MΩ.cm （25℃）进入纯水水箱。纯水供水设计为循环方式，经纯水供水泵增压，通过紫外线消毒器、抛光混床、0.22微米过滤器接入纯水供水管，到达使用点。 1.1预处理单元 采用石英砂过滤、活性炭过滤、保安过滤作为两级反渗透的预处理。 1.2膜系统单元 膜系统单元是本系统的核心，负责去除水中大部分的有害物质，保证终端产水达到标准要求。本设计中采用辅以pH值调节的两级反渗透作为初级脱盐工艺，EDI模块作为深度脱盐工艺。 1.2.1反渗透模块 反渗透膜是以压力差为驱动力的液相膜分离方法，可以看作是渗透的一种反向作用。在压力推动下，溶液中的水分子透过膜，而其它分子、离子、细菌、病毒等被截留，从而实现脱盐效果，达到纯化目的。 整个反渗透系统由高压泵、反渗透膜、压力容器以及相应的仪器、仪表、阀门、机架、管道及管件等组成；此外还有独立的化学清洗装置。 1.2.2EDI模块
实验室超纯水机从原理层面上来分类其实属于一种去离子水设备，主要采用反渗透系统、离子交换系统以及有些还含有EDI技术联合方法制备超纯水的超纯水机。由于过去实验室大多使用传统去离子水设备，所以现代新型实验室超纯水机与去离子水设备制备出的水质性质大致相同。 实验室超纯水机特点 1、双级反渗透系统，使出水质量变得更加安全可靠。 2、用途广泛，支持多位置同时间取水。 3、不需要酸碱再生，不产生污染废水。 4、系统内部全自动控制，水质设有在线检测系统。 5、安装方法简单易懂，节约空间。 实验室超纯水机采用四级纯化过程 初级纯化： 将自来水中的各类杂质进行初级处理，将悬浮物、大的颗粒物、泥砂和氧化性物质去除，保护和优化二级纯化。 二级纯化： 利用反渗透膜对水中的离子物质和大分子物质，病毒、微生物、细菌等有机物进行截留性去除，除盐率为99%。 三级纯化：
采用特有的molecular纯化柱和超纯化柱，对经过膜去除后残余的微少离子物进行纯化和超纯化，使水中的离子水平降低到痕量水平。 四级纯化： 采用UV、超滤和微滤技术对三级纯化后的纯水进行有机物的去除，确保水中的微生物、有机物、TOC 和热源、内毒素满足各类实验应用需求。 实验室超纯水机工艺 1、预处理-反渗透-水箱-阳床-阴床-混合床-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-精密过滤器-用水对象。 2、预处理-一级反渗透-加药机(PH调节)-中间水箱-第二级反渗透-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器 -0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象 3、预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象 4、预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-0.2或0.5μm 精密过滤器-用水对象为满足用户需要，达到符合标准的水质，尽可能地减少各级的污染，在工艺设计上，取达国家自来水标准的水为源水，再设有介质过滤器，活性碳过滤器，精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床系统等。 实验室超纯水机工作性能极其稳定可靠，目前已经被大量应用在科研制药、电子半导体生产、实验室、化工厂等高科技领域。