集成电路厂房洁净室暖通设计浅析
摘要：目前，随着社会与行业的快速发展，集成电路产业也获得了极大进程，
已经变为了世界科技发展的主要核心产业。伴随生产技术的不断进步，对生产环
境和其他配套设施也提出了更高的要求。特别是对8吋、12吋芯片生产对空气洁净度、温度、湿度以及空气污染物提出了较高的要求。文章结合目前几个集成电
路生产厂房暖通设计的工作经验以及感受，对集成电路厂房洁净室暖通设计作简
单总结。
关键词：集成电路、厂房洁净室、暖通设计
1净化空调系统
1.1二次回风系统
在这一系统中，室内一次回风和新鲜空气混合，它们通过初效过滤器进行加热和加湿
（冬季工况）、冷却除湿（夏季工况）处理以后再与二次回风混合，然后通过再热、风机增压、中效过滤器，最后通过末端高效送风口送入房间。
室内相对湿度控制：通过房间湿度传感器设定值，夏季控制冷冻水电动阀开度，冬季控
制加湿器开度来调节。
室内温度控制：通过室内温度传感器，控制二次回风风阀开度大小或者再热盘管电动阀
开度大小来调节。
二次回风系统针对新风比较小，房间发热量不大的洁净厂房可以避免空调夏季除湿过程
中冷热抵消的能耗浪费，起到很好的节能效果，后段配备小容量的电加热功能段（再热使用），保证系统运行范围可以涵盖最不利情况，保证系统控制的稳定性。
1.2新风机组（MAU）+循环空调（RCU）系统
新风集中处理，新风机组设在新风空调机房中，循环空调设在生产车间的吊顶上方。新
风经初效过滤、加热和加湿（冬季工况）、冷却除湿（夏季工况）、再加热（调试过程中室
内热负荷低）、风机增压、中效过滤后送往各循环空调机。新风以及室内回风在循环空调中
通过冷却（加热）、风机加压、中效过滤以后由末端高效送风口送入房间。
室内相对湿度控制：通过房间湿度传感器设定值，夏季控制新风机组冷冻水电动阀开度，冬季控制加湿器开度来调节。
室内温度控制：通过室内温度传感器，控制循环机组的表冷、加热盘管电动阀开度大小
来调节。
该系统控制精度较高，对于各区域单独控制管理较方便，另外只有新风机组设置在空调
机房，对于空调机房位置有限的厂房可以采用，一般万级及以下循环风量不大的的洁净室会
考虑采用，千级以上由于循环风量较大，循环机组太大不便吊装等问题会很少采用。
1.3新风机组（MAU）+风机过滤单元（FFU）+干冷却盘管（DCC）系统