电子级(高纯)氢氟酸生产工艺和质量指标介绍
- 格式:docx
- 大小:77.68 KB
- 文档页数:5
[电子级氢氟酸技术及市场调研报告]电子级氢氟酸电子级氢氟酸技术及市场调研报告 20xx-04-16 电子级氢氟酸技术及市场调研报告报告编号:A7908 报告媒质:纸张、电子文档报告价格:3500.00元出版日期:20xx年2月 021-********(订购时请提供报告编号) 本技术部分对电子级氢氟酸的生产工艺及技术进展做了详细的介绍,从工艺原理、工艺流程、工艺过程、反应机理、副反应及预防控制措施、设备、岗位定员、成本估算、环境保护、技术特点、产品质量标准等许多方面进行了深入探讨,可以供国内电子级氢氟酸技术开发参考;本通过参考大量专利文献对电子级氢氟酸的工艺技术进展做了系统介绍。
本市场部分从电子级氢氟酸的用途、下游产品、国内外生产状况、国内潜在生产厂家、国外生产厂家及规模、国内外产量走势、市场状况及预测、供需状况分析及预测、价格、进出口状况、国内外市场分布、国内需求厂家及联系方式、国外需求厂家统计及潜在客户等诸多方面对电子级氢氟酸的市场状况及发展方向做了详细论述,可作为电子级氢氟酸的市场销售、客户开发、产品深加工等方面的重要参考信息。
本最后一部分对电子级氢氟酸技术开发、项目投资、生产及销售等方面提出了指导性建议。
第一章:电子级氢氟酸简介第一节:产品概述第二节:产品说明第三节:理化性质第四节:技术指标第二章:电子级氢氟酸国内外生产工艺及技术进展第一节:国内外主要生产工艺介绍第二节:国内外核心生产工艺详述 1)工艺原理2)工艺流程 3)工艺过程 4)设备一览表 5)岗位定员 6)成本核算 7)环境保护 8)技术特点 9)产品质量标准 10)项目可行性分析第三节:各种生产方法优缺点比较第四节:国内外生产技术研究最新进展第三章:电子级氢氟酸用途第一节:用途概述第二节:下游产品解析第三节:国内外最新应用研究进展第四章:电子级氢氟酸国内外生产状况及生产厂家第一节:国内外生产状况第二节:国内生产厂家及规模第三节:国外生产厂家及规模第四节:国内外产量走势分析第五章:电子级氢氟酸市场行情第一节:市场状况分析及预测第二节:供需状况分析及预测第三节:价格分析第四节:进出口状况分析第六章:电子级氢氟酸销售策划第一节:国内外市场分布第二节:国内需求厂家及联系方式第三节:国1外需求厂家及联系方式第四节:潜在客户分析第七章:电子级氢氟酸技术开发、项目投资、生产及销售注意事项第一节:产品技术开发注意事项第二节:项目投资注意事项第三节:产品生产注意事项第四节:产品销售注意事项第八章:参考文献附件I:秉奇化工网简介附件II:报告订购流程附件III 表1:电子级氢氟酸基本性质表2:电子级氢氟酸技术指标表3:电子级氢氟酸生产设备一览表表4:电子级氢氟酸生产成本及效益估算表520xx年国内电子级氢氟酸生产厂家及生产规模统计表620xx年国外电子级氢氟酸生产厂家及生产规模统计表720xx年-20xx年电子级氢氟酸全球产量统计表820xx年-20xx年电子级氢氟酸全球需求预测表920xx年国内电子级氢氟酸主要生产公司最新价格表10:电子级氢氟酸在各应用行业占有市场份额表11:电子级氢氟酸国内需求厂家及联系方式表12:电子级氢氟酸国外需求厂家及联系方式表13:电子级氢氟酸国内外经营公司图1:电子级氢氟酸生产工艺流程示意图图2:电子级氢氟酸在国际市场上按地区占有市场份额图320xx年-20xx年电子级氢氟酸全球产量走势图420xx年-20xx年电子级氢氟酸全球产量走势预测图5:电子级氢氟酸化学结构或产品图片图5-n:电子级氢氟酸下游产品化学结构或产品图片秉奇化工主要以医药及中间体、农药及中间体、涂料染料颜料及中间体、香精香料及中间体、食品添加剂、饲料添加剂、日用化学品、高分子单体及聚合物、化工助剂、有机化工原料、无机化工原料等为调研对象,为客户提供从生产技术、市场行情、用途及下游产品、国内外生产状况(厂家、产量、价格)、国内外需求厂家及联系方式等全方面咨询。
一种电子级氢氟酸的制备方法
一、制备方法
1、配料
(1)氟酸钠:把普通氟酸钠放在一个大容器里,用温水进行融化;
(2)甲醇:根据所需比例,将甲醇精炼至一定浓度;
(3)电解质溶液:根据需要,将NaOH、KOH等各种碱性盐类混合,用水充分混合,放入一个大容器里,加热至90度左右。
2、把氟酸钠溶于甲醇中,分别添加不同量的电解质溶液,把所有原料均匀混合,并加热至150度左右,用蒸发锅将混合物蒸发至乳状液;
3、将乳状液放入模具中,施压并加热干燥至固体,再将固体放入实验室的罐里进行磨细粉碎,得到电子级氢氟酸。
二、技术要求
1、氟酸钠:采用当地行业标准的普通氟酸钠为原料,经过放入水中融化,湿度不得超过60%。
2、甲醇:采用99.5%的甲醇为原料,经过精炼至比例所需的浓度。
3、电解质溶液:采用NaOH、KOH等不同碱性盐类混合,用水混匀,温度在90—100度之间。
4、混合:用大容器对氟酸钠、甲醇、电解质溶液进行混合,保持温度不超过150度,混合时间约15分钟,混合均匀。
5、蒸发:将混合物放入锅中,加热蒸发,使混合物达到乳状,蒸发时间约需要10分钟。
电子级氢氟酸行业分析报告一、定义电子级氢氟酸是用于制造电子元器件、光学玻璃、半导体、太阳能电池板等的重要原材料。
一般含量在99.99%以上,可以通过氟化氢水溶液的蒸馏法制得。
二、分类特点电子级氢氟酸主要分为高纯度电子级氢氟酸和低纯度电子级氢氟酸两种。
高纯度电子级氢氟酸适用于制造半导体、光学玻璃等高精度元器件,而低纯度电子级氢氟酸则主要用于太阳能电池板的制造。
三、产业链电子级氢氟酸产业链包括原材料供应链、生产加工链、销售渠道链和应用环节链。
原材料供应链包括氟石、碳酸钙等物料的采购,生产加工链包括电子级氢氟酸的生产、加工和储存,销售渠道链包括电子级氢氟酸的销售和物流配送,应用环节链则包括电子元器件、光学玻璃、半导体、太阳能电池板等产业的应用。
四、发展历程电子级氢氟酸产业自上世纪80年代起逐步发展壮大。
在国内,这项产业得到了政府的大力支持,相关技术也日益成熟。
目前国内电子级氢氟酸产业已初步形成规模化的产业格局。
五、行业政策文件国家及地方政府出台了一系列电子级氢氟酸产业相关的政策文件,包括对产业的支持、政策优惠等方面。
六、经济环境电子级氢氟酸产业受到国内外经济环境的影响。
近年来,环保政策趋紧、原材料价格上涨、国际经贸形势变化等因素,给电子级氢氟酸产业带来了一定的挑战。
七、社会环境电子级氢氟酸产业涉及的环保问题,已成为社会关注的焦点。
与此同时,消费者对高品质的电子产品、太阳能电池板等的需求也越来越高。
八、技术环境电子级氢氟酸产业依赖于先进的技术与设备,需要不断更新升级,并积极进行技术创新。
近年来,我国电子级氢氟酸的生产技术逐渐成熟,正向着高品质、高纯度的方向发展。
九、发展驱动因素电子级氢氟酸产业的发展离不开多方面的推动因素,包括政策扶持、市场需求增长、技术进步等。
十、行业现状当前,电子级氢氟酸产业处于快速发展阶段。
我国在这个领域已经形成了一批领先的生产厂家,市场份额逐年增长。
十一、行业痛点电子级氢氟酸产业面临的主要痛点包括产能过剩、环保压力增大、价格波动等。
氢氟酸纯度
氢氟酸是一种常用的无机酸,广泛应用于化学、半导体制造、玻璃蚀刻等领域。
但由于其高度腐蚀性和毒性,纯度成为使用过程中需要严格控制的重要参数。
氢氟酸的纯度主要指其含有杂质的量。
杂质包括水分、五氧化二磷、硫酸等。
其中,水分的含量是最容易受到影响的因素之一。
一般来说,氢氟酸的纯度要求在98%以上,最好能达到99%以上。
氢氟酸的纯度可以通过多种方法测定,包括光度法、电导法、化学分析法等。
其中,化学分析法是最常用的方法之一。
在化学分析法中,可以采用滴定法、重量法、原子吸收光谱法等多种方法,通过对氢氟酸样品进行化学反应,计算出其中杂质的含量,从而得到氢氟酸的纯度。
氢氟酸纯度的高低对其应用性能有着直接的影响。
高纯度的氢氟酸可以保证半导体的制造质量稳定,减少生产过程中的损失;同时,在科学研究中也可以获得更加准确的结果。
因此,在使用氢氟酸时,必须注意控制其纯度,以确保安全和效果。
- 1 -。
第52卷第8期 辽 宁 化 工 Vol.52,No. 8 2023年8月 Liaoning Chemical Industry August,2023收稿日期: 2021-08-23 电子级氢氟酸研究进展朱博超,章志成(浙江森田新材料有限公司,浙江 金华 321200)摘 要: 随着电子信息时代的到来,电子芯片逐渐成为国家未来大力发展的主要产业。
电子级氢氟酸作为芯片制作过程必需的化学品,也成为此产业上未来主要发展的方向。
介绍了氢氟酸一般生产流程、等级分类以及电子级生产工艺、技术难点等。
关 键 词:氢氟酸; 分类; 电子级中图分类号:TQ124.3 文献标识码: A 文章编号: 1004-0935(2023)08-1217-032021年3月13日,《中华人民共和国国民经济和社会发展第十四个五年规划和2035年远景目标纲要》(以下简称《纲要》)发布,《纲要》中提到,加快智能制造、高端芯片等领域关键核心技术突破和应用。
未来五年,中国力争在芯片、人工智能、量子计算等先进技术领域取得领先的地位[1]。
围绕“光芯屏端网”等,攻克一批卡脖子技术,推动“临门一脚”关键技术产业化,增强产业核心竞争力[2]。
打造“光芯屏端网”等具有国际竞争力的万亿产业集群。
集成电路是指采用一定的工艺,将近亿晶体管等半导体器件与电阻、电容、电感等基础电子元件连接集成于小块基板,然后封装于管壳内,将组装为微型电子部件的集成电路通常称为芯片。
电子级多晶硅(以下简称“硅料”)是国家大力发展的一种战略性原材料,也是集成电路产业不可缺少的基础性原料[3]。
目前,西方等发达国家企业掌握其主要生产技术,而中国市场上的集成电路用多晶硅材料基本为国外生产,同时我国生产电子级氢氟酸的企业还未达到10家[4-5],所以攻克电子级多晶硅关键生产技术可以增强产业在国际上的核心竞争力[6-7]。
硅料化学清洗作为电子级多晶硅生产关键核心工序,可以有效去除硅料表面颗粒及化学性沾污。
一、精馏1目的按生产任务把AHF配制成电子级氢氟酸,并罐装到专用容器。
2适用范围:适用于电子级氢氟酸生产的操作。
3职责3.1制造部:负责将反应AHF从亨元化工打到反应酸槽,并通过精馏后制成合格AHF,按比例添加处理后的超纯水,制成合格的电子级氢氟酸,协助罐装人员将产品输入成品贮槽。
4程序4.1工艺流程图超纯水4.2开车产品指标与控制指标超纯有水酸指标:HF%=49.0%±0.5%a.进料量:300kg/hb.精馏塔釜压力:42±4KPac.精馏塔釜温度:40±3℃d.精馏塔中压力:42±4KPae.精馏塔中温度:35±3℃f.精馏塔顶压力:40±4KPag.精馏塔顶温度:35±3℃h.冷水上水温度:7-10℃i.冷却水上水流量:100m³/hj.稀释槽温度:≤50℃k.进混合器AHF流量:269.5kg/h(参考)l.进混合器纯水流量:280.5kg/h(参考)m.热水温度:60-70℃n.精馏塔釜残酸排放量:每2小时40㎏4.3操作方法与要求4.3.1 开车前准备检查本系统所有管道、阀门、设备有无泄漏。
提前1小时通知冰机岗位开启冰机,冰机操作及记录由亨元冰机班具体执行,亨泰制造部每月检查一次操作记录表,对不合格项开出纠正预防措施单。
打开阀门A-1-C-001、A-1-C-003、A-1-C-004、A-1-C-006、A-1-C-007、A-1-C-008,开启盐水泵。
打开阀门A-1-C-021 、A-1-C-022、 A-1-C-025、A-1-C-026,、A-5-C-017、 A-5-C-018、 A-3-C-019 、A-3-C-020,开启冷却水泵,将精馏顶冷却器预冷;检查精馏塔釜排入至回收酸槽阀门C-1-A-005、C-1-A-006、 C-1-A-008为打开状态,塔顶冷却器至混合器阀门C-4-A-006关闭状态。
upss级氢氟酸纯度氢氟酸(HF)是一种无色液体,具有强烈的腐蚀性。
它是许多工业领域中重要的化学品之一,广泛应用于金属表面处理、半导体制造、玻璃蚀刻等工艺中。
由于其腐蚀性极强,对人体健康和环境造成的危害也非常大,因此对氢氟酸的纯度要求非常高。
upss级氢氟酸纯度指的就是在各种工业应用中,对氢氟酸的纯度进行了更高要求的一种级别。
upss级氢氟酸纯度是指氢氟酸溶液中杂质含量极低的一种产品。
杂质的存在会影响氢氟酸的化学性质和腐蚀性能,因此在一些高精度工艺中,需要使用纯度更高的氢氟酸。
upss级氢氟酸纯度要求杂质含量低于0.1ppm,确保了氢氟酸的稳定性和可靠性。
氢氟酸的制备主要有两种方法:直接合成法和间接法。
直接合成法是将氟化物与酸反应生成氢氟酸,而间接法则是通过氟化物与硫酸反应生成氟硫酸,然后通过加热分解得到氢氟酸。
在制备过程中,需要注意控制反应温度、反应时间和反应物的比例,以保证产物的纯度。
upss级氢氟酸纯度的控制主要涉及到杂质的去除和纯化过程。
首先,通过蒸馏、结晶等方法去除氢氟酸中的杂质。
其次,利用吸附剂、离子交换树脂等技术进一步提高氢氟酸的纯度。
最后,经过精密的质量检测和分析,确保产品符合upss级的纯度要求。
upss级氢氟酸纯度的提高,对于工业生产具有重要意义。
首先,纯度更高的氢氟酸可以提高工艺的可靠性和稳定性,降低生产过程中的故障率。
其次,纯度更高的氢氟酸可以减少对环境的影响,降低废水处理的成本。
此外,纯度更高的氢氟酸还可以提高成品的质量,增强产品在市场上的竞争力。
在氢氟酸的应用中,upss级纯度要求是不容忽视的。
只有确保氢氟酸的纯度达到upss级标准,才能保证工艺的正常进行,避免对人体健康和环境造成的危害。
因此,在氢氟酸的生产和使用过程中,要严格控制纯度,确保产品质量和工艺安全。
upss级氢氟酸纯度是工业生产中对氢氟酸纯度要求更高的一种级别。
通过控制制备过程、去除杂质和提高纯化工艺,可以达到upss级氢氟酸纯度的要求。
氢氟酸详细资料大全氢氟酸(英文:Hydrofluoric Acid)是氟化氢气体的水溶液,清澈,无色、发烟的腐蚀性液体,有剧烈*** 性气味。
熔点-83.3℃,沸点19.54℃,闪点112.2℃,密度1.15g/cm3。
易溶于水、乙醇,微溶於乙醚。
因为氢原子和氟原子间结合的能力相对较强,且水溶液中氟化氢分子间存在氢键,使得氢氟酸在水中不能完全电离,所以理论上低浓度的氢氟酸是一种弱酸。
具有极强的腐蚀性,能强烈地腐蚀金属、玻璃和含矽的物体。
如吸入蒸气或接触皮肤会造成难以治愈的灼伤。
实验室一般用萤石(主要成分为氟化钙)和浓硫酸来制取,需要密封在塑胶瓶中,并保存于阴凉处。
基本介绍•中文名:氢氟酸•英文名:Hydrofluoric acid•别称:氟氢酸、氟化氢、氟化氢溶液•化学式:HF•分子量:20.0063•CAS登录号:7664-39-3•EINECS登录号:231-634-8•熔点:-83.3℃•沸点:19.54℃•水溶性:易溶于水•密度:1.15 g/mL•外观:无色透明至淡黄色冒烟•闪点:112.2℃•套用:作强酸性腐蚀剂,作分析试剂,用于刻蚀玻璃、酸洗金属等•安全性描述:S:1/2-7/9-26-36/37-45•危险性符号:T+:Very toxic; C:Corrosive;•危险性描述:R:26/27/28-35•IUPAC名:Hydrofluoric acid•RTECS:MW7875000•摩尔质量:20.01•MSDS:duPont MSDS•主要危害:腐蚀性强致病原理,理化性质,物理性质,化学性质,制备方法,套用领域,质量标准,危害防护,紧急处理,泄漏处理,灭火方法,食入,特殊套用,安全性,运输注意事项,参考信息,相关事件,致病原理氟化氢对衣物、皮肤、眼睛、呼吸道、消化道黏膜均有*** ,腐蚀作用,氟离子进入血液或组织可与其钙镁离子结合,使其成为不溶或微溶的氟化钙和氟化镁,量大的话直接堵塞血管,直接或间接影响中枢神经系统和心血管系统的功能,导致低血钙,低血镁综合症,氟离子还可以和血红蛋白结合形成氟血红素,抑制琥珀酸脱氢酶,致氧合作用下降,影响细胞呼吸功能。
国内外超净高纯氢氟酸需求分析1 超净高纯氢氟酸用途电子级氢氟酸主要是作为清洗剂和蚀刻剂用于光伏产业(光伏电池制造)、集成电路(集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)芯片制造)和玻璃减薄(液晶显示器件制造)等行业,是关键辅助材料之一。
在光伏产业中,用于硅片表面清洗、蚀刻;在集成电路和超大规模集成电路制造中,用于晶圆表面清洗、芯片加工过程的清洗和腐蚀等;在玻璃减薄行业中,用于液晶显示器玻璃基板的清洗、氮化硅及二氧化硅蚀刻等。
超净高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂,可与硝酸、冰醋酸、双氧水、氢氧化铵、氟化铵等配置使用,还可作为分析试剂和制备高纯含氟化学品。
2 国内外超净高纯氢氟酸分类由于世界超净高纯试剂市场的不断扩大,从事超净高纯试剂研究与生产的厂家及机构也在增多,生产规模不断扩大,但各生产厂家所生产的超净高纯试剂的标准各不相同。
为了能够规范世界超净高纯试剂的标准,国际半导体设备与材料组织(SEMI,即Semiconductor Equipment and Materials Intemational)于1975年成立了SEMI化学试剂标准委员会,专门制定超净高纯试剂的国际标准。
目前国际SEMI标准化组织将超净高纯试剂按应用范围分为4个等级:(1)SEMI-C1标准(适用于>1.2Lm IC工艺技术的制作);(2)SEMI-C7标准(适用0.8~1.2Lm IC工艺技术的制作);(3)SEMI-C8标准(适用于0.2~0.6Lm IC工艺技术的制作);(4)SEMI-C12标准(适用于0.09~0.2Lm IC工艺技术的制作)。
SEMI国际标准等级见表1。
表1 SEMI国际标准等级我国超净高纯试剂的研制起步于20世纪70年代中期,1980年由北京化学试剂研究所(以下简称试剂所)在国内率先研制成功适合中小规模集成电路5Lm技术用的22种MOS级试剂。
随着集成电路集成度的不断提高,对超净高纯试剂中的可溶性杂质和固体颗粒的控制越来越严,同时对生产环境、包装方式及包装材质等提出了更高的要求。
氢氟酸工业级标准# 氢氟酸工业级标准## 一、前言嘿,朋友们!今天咱们来聊聊氢氟酸的工业级标准。
你知道吗,氢氟酸在工业领域那可是相当重要的角色呢。
它就像一个低调的幕后英雄,在很多工业生产过程中默默发挥着作用。
但是呢,由于氢氟酸有一定的危险性,所以为了确保在工业生产中安全、有效地使用它,就有了这个工业级标准。
这个标准就像是一把尺子,衡量着氢氟酸的各项指标,让生产企业知道什么样的氢氟酸是合格的,就像我们买东西的时候知道什么是好的、什么是坏的一样。
## 二、适用范围(一)化工行业中的基础原料在化工行业里,氢氟酸是非常重要的基础原料。
比如说生产氟碳化合物的时候,氢氟酸就是必不可少的。
这个工业级标准适用于所有在化工生产中使用氢氟酸作为原料的场景。
打个比方,有个小化工企业想要生产含氟的塑料,那他们购买的氢氟酸就必须符合这个工业级标准,不然生产出来的塑料质量可能就不过关。
(二)金属表面处理在金属表面处理领域,氢氟酸也经常被用到。
它可以用来去除金属表面的氧化物等杂质。
像一些小的金属加工车间,如果要对金属进行酸洗或者蚀刻等表面处理操作,使用的氢氟酸就得遵循这个工业级标准。
要是不按照标准来,可能会导致金属表面处理效果不好,比如说腐蚀过度或者清洗不干净之类的问题。
(三)玻璃蚀刻你有没有见过那些精美的玻璃蚀刻制品呀?氢氟酸在玻璃蚀刻中可是关键的化学试剂呢。
无论是小型的玻璃工艺品作坊,还是大型的玻璃生产企业,在使用氢氟酸进行玻璃蚀刻时,都要确保氢氟酸符合工业级标准。
不然的话,可能蚀刻的图案不清晰,或者对玻璃造成不必要的损坏。
## 三、术语定义(一)氢氟酸(HF)简单来说,氢氟酸就是氟化氢(HF)的水溶液。
它是一种无色透明的液体,具有很强的腐蚀性。
你可以想象一下,它就像一个小小的化学“破坏者”,能够和很多物质发生反应。
不过呢,正是因为它的这种特性,才在工业上有那么多的用途。
(二)纯度纯度指的是氢氟酸中所含氟化氢(HF)的比例。
氢氟酸纯度氢氟酸(HF)是一种无色、刺激性强的液体,也是最强的酸之一。
它广泛用于许多工业领域,包括燃料电池、半导体和冶金。
然而,由于它的腐蚀性和毒性,HF的使用也带来了一些风险。
在使用氢氟酸时,纯度是一个重要的考虑因素。
氢氟酸的纯度可以用两种方式来表示:质量分数和体积分数。
质量分数是指在单位质量中氢氟酸的质量,用百分数表示。
例如,如果将100克的HF溶解在500克的水中,则氢氟酸的质量分数为20%。
另一方面,体积分数是指在单位体积中氢氟酸的体积,同样用百分数表示。
在上述例子中,HF的体积分数是15.4%。
在许多应用中,要求使用高纯度的氢氟酸。
对于半导体和电子行业而言,高纯度的氢氟酸可以提供清洁和可重复处理的表面,从而实现高质量的生产。
冶金和化学行业也需要纯度高的氢氟酸,以保证产品质量。
在这些应用中,通常需要使用质量分数高达99%或更高的氢氟酸。
另一方面,如何测定氢氟酸的纯度是一个挑战。
氢氟酸是一种强酸,因此难以通过常规的分析方法来分析它的纯度。
目前,常用的方法是使用火花原子发射光谱法(SPE)和质谱法。
SPE法可以检测HF中的各种杂质元素,如水、硫酸、氯化物和氧化物等。
通过对元素的浓度进行分析,可以确定氢氟酸的质量分数或体积分数。
质谱法则可以通过对HF分子的质量进行精确测量,来确定氢氟酸的质量分数或体积分数。
在使用氢氟酸时,应当注意其毒性和腐蚀性。
氢氟酸可以通过皮肤吸收或吸入,导致皮肤灼烧和呼吸系统损伤。
因此,在处理HF时,需要使用适当的安全设备和操作规程。
在储存和运输氢氟酸时,也需要注意其安全性,避免泄露或意外事故的发生。
综上所述,氢氟酸的纯度对于许多工业应用具有重要意义。
要获得高质量和可重复性的产品,合适的纯度水平是至关重要的。
为了确保氢氟酸的纯度,并保持安全,在使用氢氟酸时应注意相关的操作规程和安全措施。
电子级氢氟酸电子级氢氟酸用于超大规模集成电路芯片,太阳能电池,LED和TET-LCD面板制造过程的蚀刻和清洗,原子能工业化学试剂。
电子级氢氟酸是集成电路(IC)制造的关键性基础化工材料之一,主要用于芯片的清洗。
由于电子级氢氟酸的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响,生产工艺技术要求很高,目前主要依靠进口产品满足国内市场需求。
随着世界半导体制造业向中国大陆的逐步转移,国内电子级氢氟酸需求量年增长约10%。
电子级氢氟酸也主要供应电子行业,特别是太阳能电池生产厂家。
近年来,我国相关行业发展迅速,对电子级氢氟酸的需求也逐年提高。
据悉,国内目前仅有四五家企业生产EL级电子级氢氟酸,属电子级的低端产品,在产量、质量方面与进口产品尚有较大差距。
浙江凯恒电子材料有限公司是巨化股份全资子公司之浙江凯圣氟化学有限公司的控股子公司。
致力于含氟系列超高纯微电子化学品的研发、生产、销售和服务,公司拥有目前国内最先进的年产3万吨电子级氢氟酸生产装置,是国内最大的电子级氢氟酸生产商。
主要产品:电子级氢氟酸(UP-SS级、UP-S级、UP级,EL级)等系列产品,公司配备ICP-MS和861型离子色谱仪等先进的分析测试仪器,产品性能及各项指标均处于国内领先地位。
浙江蓝苏氟化有限公司是由中化蓝天下属企业浙江蓝天环保高科技股份有限公司与苏威氟控股(亚太)有限公司合资建立的中外合资企业,注册资金5000余万元。
公司位于浙江省衢州高新技术产业园区,专业从事氟化学品的生产和销售。
公司现有2万吨/年无水氢氟酸生产线和5000吨/年电子级氢氟酸生产线,其中电子级氢氟酸引进苏威公司技术,填补国内空白。
福建永飞化工有限公司(福建省邵武氟化工厂)公司综合生产能力无水氟化氢56000 吨、高纯超净氢氟酸 15000 吨、硫酸 120000 吨、氟化盐 10000 吨、六氟化硫 600 吨、五氟化碘 60 吨,五氟化锑10吨,企业生产规模在全国氟行业内名列前茅。
电子级氢氟酸的连续化制备系统及方法王林发布时间:2023-05-05T03:24:42.768Z 来源:《科技新时代》2023年4期作者:王林[导读] 电子氢氟酸,也称为高纯度氢氟酸,是湿电子产品中常用的一类湿化学品,用于半导体,液晶显示器(LCD)和光伏。
目前,国内高端半导体生产所需生产率约为30%,国内硝酸盐生产率约为50%,国内盐酸生产率约为20%,国内硫酸生产率约为10%,国内过氧化氢生产率约为70%,湿质半导体生产技术远远落后于国外垄断。
陕西延长石油集团氟硅化工有限公司陕西省商洛市 726000摘要:电子氢氟酸,也称为高纯度氢氟酸,是湿电子产品中常用的一类湿化学品,用于半导体,液晶显示器(LCD)和光伏。
目前,国内高端半导体生产所需生产率约为30%,国内硝酸盐生产率约为50%,国内盐酸生产率约为20%,国内硫酸生产率约为10%,国内过氧化氢生产率约为70%,湿质半导体生产技术远远落后于国外垄断。
工业和信息化部的统计数据显示,我国32%的关键材料仍然是空的,52%依赖进口,电子级氟化氢被淘汰。
在过去两年中,日本对韩国的三种产品实施了出口管制,其中包括高纯度氟化氢。
未来的5G战争、互联网战争和技术“黑色战争”都涉及半导体湿式电化学电子氟化物的技术竞争。
2020年收购Polyfluorid Chemical Co.。
日韩贸易战给了两家韩国半导体公司稳定电子级氟化物大规模出口的机会,最终在制备过程中应用了非挥发性3D闪存(3D-NAND)和动态随机存取存储器(DRAM),使国内电子级氟化物产品向世界敞开了大门。
关键词:电子级氢氟酸;连续化制备;方法;引言氟乙酸对金属和玻璃有很强的腐蚀性,是一种重要的化学试剂,广泛用于制造半导体、太阳能电池板和液晶面板,具有清洗和刻蚀功能。
电子级氟化氢对微电子工业的安全起着至关重要的作用。
该系统在其生产、检测、包装和运输的各个环节都受到严格控制,以确保电子级氟化氢的质量和微电子产品生产过程的顺利进行。
电子级(高纯)氢氟酸生产工艺和质量指标介绍
一、氢氟酸生产主要流程介绍
1.将浮选厂烘干的萤石粉将萤石送至萤石贮仓。
通过尘气体经旋风分离器、袋式除尘器排空,萤石贮仓的萤石粉经计量,用调速螺旋送至回转反应炉。
2. 将发烟硫酸和被硫酸吸收塔吸收了尾气中HF的硫酸送至混酸槽,在此与来自洗涤塔的稀酸混合。
3. 混酸进入回转反应炉;回转反应炉用烟道气经夹套间接加热来满足反应所需的热量。
炉尾排出的炉渣用消石灰中和过量酸后经炉渣提升机送至炉渣贮斗。
4. 反应的产物气体首先进入除尘器、洗涤塔除尘、冷却,而后依次进入初冷器、HF一级凝器和HF二级冷凝器。
5. 在初冷器得到的冷凝液返回洗涤塔;在HF冷凝器得到的冷凝液经过粗HF贮槽进入精馏塔除去H2SO4、H2O等重组分。
6.精馏塔釜液返回洗涤塔;塔顶馏出液进入脱气塔脱除SO2、SiF4等轻组分。
脱气塔釜液为产品。
7. HF二级冷凝器的未凝气和脱气塔塔顶排出的未凝气一起进入硫酸吸收塔,在此用硫酸吸收其中大部分HF,然后依次进入第一、第二水洗塔,生成氟硅酸。
8. 未被吸收的气体进入尾气塔,洗掉其中的大部分酸性气体后,未被吸收的气体排空。
尾气塔的洗涤液和地面冲洗酸性水送至废液处理装置,处理后的合格污水排入排水系统。
电子级氢氟酸概述
目前国内外制备电子级氢氟酸的常用提纯技术有精馏、蒸馏、亚沸蒸馏、减压蒸馏、气体吸收等技术,这些提纯技术各有特性,各有所长。
如亚沸蒸馏技术只能用于制备量少的产品,气体吸收技术可以用于大规模的生产。
另外,由于氢氟酸的强腐蚀性,采用蒸馏工艺温度较高时腐蚀会更严重,因此所使用的蒸馏设备一般需用铂、金、银等贵金属或聚四氟乙烯等抗腐蚀性能力较强的材料来制造。
电子级氢氟酸生产装置设计与工艺流程布置密切相关,垂直流向布置,原料( 无水氢氟酸和高纯水) 与中间产物可以依靠重力自上而下流动,高纯氢氟酸的制备在中部,产品过滤、灌装及贮存在底层。
此布置可减少泵输送,节省能耗,降低生产成本,同时可避免泵对产品的二次污染。
二、电子级氢氟酸生产工艺
将工业无水氢氟酸经化学预处理后,进入精馏塔通过精馏操作,得到的氟化氢气体经冷却后,在吸收塔中用超纯水吸收,并采用控制喷淋密度、气液比等方法使电子级氢氟酸进一步纯化,随后经0.2μm以下超滤工序,最后在密闭洁净环境条件下( 百级以下) 进行灌装得到最终产品———电子级氢氟酸。
三、电子级氢氟酸生产方法的难点
1. 分析控制与产品检测要求高。
制备电子级氢氟酸所应用的测试仪器如下:
(1)电感耦合等离子高频质谱分析仪( ICP - MS);
(2)电感耦合等离子原子发射分析仪( ICP - AES);
(3)原子吸收分光光度计;
(4)氧原子发生无焰原子吸收分析仪;
(5)离子色谱分析仪;
(6)激光散射液体微粒计数器;
(7)水表面杂质分析系统;
(8)原子间力显微镜;
(9)光学显微镜微粒计数器;
(10)扫描电子显微镜;
(11)光学膜厚测定和表面仿形仪;
(12)表面张力测定仪;
(13) 空气中尘埃微粒测定仪;
(14)水电阻率测定仪。
2. 对水质要求高,要求水的电阻率≥18.0MΩ·cm。
高纯水是生产电子氢氟酸中不可缺少的原料,也是包装容器的清洗剂,其纯度将直接影响到电子级氢氟酸的产品质量。
高纯水的主要控制指标是电阻率和固体颗粒,其他辅助指标有可氧化的总碳量(TOC)、细菌、被溶解的二氧化硅、离子浓度等。
目前,高纯水的生产工艺较为成熟,较常见是先通过离子交换柱和微过滤器,得到普通纯水,然后再采用反渗透、电渗析等各类膜技术进一步处理,最后配合杀菌和超微过滤便可得到高纯水。
3.对主要生产设备材料及设备制造技术、包装技术的要求较为严格。
4. 厂房、分析室、仓库等环境洁净度要求较高,与成品接触部分要达到100级。
5.整个生产过程中对产品质量管理要求极高。
四、电子级氢氟酸生产工艺技术特征
1. 杂质砷是电子级氢氟酸中需要控制的一种重要杂质指标,在氢氟酸原料中砷一般以三价态形式存在,而且AsF3与氢氟酸的沸
点相差不大,所以仅靠精馏对其分离的效果不会十分理想。
为去除杂质砷,可在精馏前,加入适量的强氧化剂(如高锰酸钾等)将三价态的砷进行氧化,使其在精馏过程中沉积于塔釜中而被除去。
2.生产设备与工艺:生产设备全采用碳钢衬聚四氟乙烯材料,生产工艺采用常压、全封闭、连续化,采用热水低温(小于100度)精馏.蒸馏工艺,工艺参数采用DCS集散控制系统生产。
3.高纯水制备:通过离子交换与过滤器先制得普通纯水,再经过反渗透、电渗析后进入杀菌、超微过滤制得高纯水。
4.在无水氢氟酸预处理槽边、精馏塔及蒸馏塔边、成品包装区设置HF有毒气体浓度探测、集中报警系统。
5.设置尾气吸收塔、碱吸收塔,尾气可达标排放。
五、电子级氢氟酸质量指标
目前,因各微电子生产企业对电子级氢氟酸要求的标准不同,可将其划分为四个档次:①低档产品,用于>1.2μmIC工艺技术的制作;②中低档产品,适用于0.8~1.2μmIC工艺技术的制作;
③中高档产品,适用于0.2~0.6μmIC工艺技术的制作;④高档产品,适用于0.09~0.2μm和<0.09μm IC工艺技术的制作。
产品包装方法:采用高密度聚乙烯(或四氟乙烯、氟烷基乙烯基醚共聚物、聚四氟乙烯)专用密封工艺制造塑料桶25公斤桶装。