微纳流体光波导及其在生物传感器中的应用
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微纳加工和材料制备技术在传感器中的应用传感器是现代科技应用领域中的重要组成部分,承担着检测、测量以及数据传输等各项功能。
随着科学技术的不断进步,微纳加工和材料制备技术逐渐走进了传感器的领域,并成为传感器研究和制造的热点领域。
一、微纳加工技术在传感器中的应用微纳加工是将材料加工到微米甚至纳米级别的加工技术,其对制造高精度传感器的重要性不言而喻。
微纳加工技术的发展,推动了传感器的制造技术的不断更新和升级。
1.微纳加工制造传感器芯片微纳加工技术可以制造出高精度、高灵敏度和特殊形状的传感器芯片。
比如,利用微纳加工技术,可以制造出具有微米级排列的传感器电极,以获得更高的灵敏度和准确度。
同时,该技术还可以制造出其他非常规形状的传感器芯片。
2.微纳加工技术制造微流控传感器微流控技术指的是在微通道内控制物体移动的一种技术,一个典型的微流控芯片通常由多个微通道和微孔组成,可以实现生物、化学、环境等领域的检测,例如检测污染物、细胞数量等。
微纳加工技术在微流控传感器的制造中具有重要作用,其制造的微型通道和微孔具有高精度和精准控制的特点,使之成为高性能微流控传感器的重要组成部分。
二、材料制备技术在传感器中的应用材料制备技术在传感器的制造中起到了重要的作用。
常见的材料制备技术可分为单晶体生长、薄膜制备、化学气相沉积等。
这些技术可以制备出各种具有特殊功能的材料。
1.化学气相沉积制备氧化物材料化学气相沉积(CVD)技术能够对金属、半导体等材料进行高温化学气相沉积,制备出具有特殊功能的氧化物材料,以及二氧化硅、氮化硅、氮化铝等材料。
这些材料可以作为传感器芯片和关键元件的制作材料,例如在硅微体积流量计中使用;在气体传感器中,利用CVD可以制备一些氧化物半导体材料,来检测气体的种类和浓度。
2.纳米材料在传感器中的应用纳米材料由于具有小尺寸、大比表面积等特点,在传感器中优秀表现,如金纳米颗粒可以作为生物传感器的探针,由于其特殊的光学、电学特性,可以实现对生物分子的捕捉和检测。
微纳机电系统在生物传感器中的应用随着生物技术的不断发展和生命科学的蓬勃发展,快速、灵敏、精准、非侵入式的生物传感器逐渐成为生物医学领域研究的热点。
微纳机电系统(MEMS)技术作为一种集成化、高度集成化的制造技术,可以在微米尺度和纳米尺度制造超小型设备,是开发高灵敏、高精度、高分辨率、低成本和可扩展生物传感器的主要手段之一。
本篇文章将探讨微纳机电系统在生物传感器中的优势和应用。
一、微纳机电系统的优势微纳机电系统自诞生以来就因其具有的灵活性、可扩展性、集成性和制造精度高等特点,一直受到工业、医学、军事等领域的广泛关注和应用。
在生物传感器中,微纳机电系统的优点主要有以下五个方面。
1.高灵敏度:由于微纳机电系统的结构尺度是微米或纳米级别,所以它能够轻易地感知到生物分子的作用力,并能将微弱的生物信号转换成电信号,为生物识别和检测提供了先决条件。
2.微型化、低功耗:微纳机电系统的尺寸非常小,可以制造出各种需要的微型传感器,如滴量(μL),甚至是皮下植入的可穿戴健康监测设备,可大大降低功耗。
3.可制造精度高:相对于传统工艺,微纳机电系统采用先进的制造工艺和特殊的工艺流程,可制造出高精度、高稳定性的传感器,使其在多种应用环境下也能得到稳定和准确的检测。
4.集成性强:在微纳机电系统的制造过程中,各种小型设备可以被集成起来,从而形成更完善的传感器系统,可大大提高传感器的整体功能。
5.多功能化:微纳机电系统可以应用于多种传感器类型,如光学传感器、电化学传感器、机械传感器等,可应用于多领域、多参数检测、多功能生物传感器系统的研究开发。
二、1.生命科学在分子和细胞水平上,微纳机电系统可以用于研究 DNA、RNA、蛋白质、细胞和细胞器等生物分子和生物组织。
在此基础上,可以开发出具有高灵敏度、高精度、可重复、非标记、实时测量等特点的微纳生物传感器,以实现生物分子的快速检测和定量研究。
2.医学应用微纳机电系统在疾病预防、早期诊断、治疗监测等方面有着广泛的应用前景。
微纳流体力学仿真在生物芯片设计中的应用引言生物芯片是一种重要的生物分析工具,它在生物医学、生态环境、食品安全等领域具有广泛应用。
其中,微纳流体力学仿真是生物芯片设计的基础和关键技术之一。
本文将介绍微纳流体力学仿真在生物芯片设计中的应用。
微纳流体力学仿真技术概述微纳流体力学是研究微小尺度下的流体行为和流动控制的学科。
它结合了流体力学、微观尺度物理学和化学等多学科知识,对微纳尺度下的流体特性进行研究和模拟。
通过微纳流体力学仿真技术,可以对微小尺度下的流体行为进行模拟和预测,进而指导生物芯片的设计和优化。
微纳流体力学仿真技术主要包括两种方法:数值方法和分子动力学方法。
数值方法基于控制方程组的求解,通过离散化流体域和边界条件,利用数值方法求解流体力学方程以及质量、动量和能量守恒方程。
分子动力学方法则是通过分子间相互作用力的计算,模拟流体粒子之间的相互作用和运动。
微纳流体力学仿真在生物芯片设计中的应用微流控芯片设计微流控芯片是一种基于微纳尺度流体力学原理的芯片,具有高通量、高效、低成本等特点。
在微流控芯片的设计中,微纳流体力学仿真可以帮助实现流体的混合、分离、传输和检测等功能。
通过微纳流体力学仿真,可以模拟和优化微流控芯片中的通道结构、阀门设计和流体流动等参数。
例如,可以通过仿真预测流体在不同通道尺寸下的流动速度和压力分布,从而优化通道设计,提高流体混合效果。
此外,通过仿真可以研究各种微纳尺度的流控器件,如阀门、泵和混合器等,进一步优化生物芯片的功能和性能。
微环境调控生物芯片中的细胞培养和微环境调控是生物研究中的重要问题。
通过微纳流体力学仿真,可以模拟和分析细胞在微纳尺度下的生长、分化和迁移等过程,有助于理解和优化生物芯片中的细胞培养和微环境调控。
通过仿真可以研究细胞在不同流速、流动方向和流体介质下的行为,预测细胞的分布、迁移速度和细胞-环境相互作用等参数。
这些研究成果对于设计和优化生物芯片中的细胞培养和微环境调控具有重要意义,可以提高细胞培养效果和生物芯片的功能。
微纳米流体芯片技术在生物医学领域的应用一、微纳米流体芯片技术的基本原理微纳米流体芯片技术是一种利用微纳米加工技术制备流体通道并运用微流控技术控制流动的方法。
它将传统的微流技术和集成电路技术相结合,形成了一种新的微纳米流体处理平台。
微纳米流体芯片技术的基本原理是利用微区域的通道、微阀门、微泵等极小结构件和微流控技术对微纳米级液体进行操纵和控制,从而实现微纳米级液体的搬运和反应。
这种技术具有小体积、低功耗、高灵敏度等优点,在生物医学领域有广泛的应用。
二、微纳米流体芯片技术的生物医学应用1.细胞分离与捕获微纳米流体芯片技术可以利用微通道和微结构对样本中的细胞进行分离和捕获。
具体来说,把样本处理后喷入微通道,微流控技术控制细胞进入捕获结构,实现对单个或多个细胞的定位与捕获。
这种技术可用于癌细胞的分离、细胞信号转导的研究、药物筛选、基因编辑等。
2.分子检测技术微纳米流体芯片技术可以对样本中的分子进行检测。
其原理是利用微通道和微结构的特殊设计,对试样中的分子进行分离、水解、荧光标记等处理,从而实现对分子的检测与定量。
这种技术可用于检测蛋白质、DNA、RNA、病毒和细胞因子等分子,广泛应用于药物筛选、疾病诊断、病毒检测等领域。
3.基因编辑技术微纳米流体芯片技术可以利用微管道、微通道和微结构对细胞进行基因编辑。
具体来说,利用微泵提供作为介质的CRISPR/Cas9和gRNA溶液,在微流控下,将CRISPR/Cas9和gRNA溶液直接注射至细胞核中,从而实现对基因序列的修改。
这种技术可用于人类遗传病的治疗、转基因生物制备等领域。
4.组织工程技术微纳米流体芯片技术可以利用微通道将细胞种植在人工结构支架上,并通过微纳米流体控制培养液的加入和排出,从而控制细胞生长、分化和功能表达。
这种技术可用于人工血管、人工骨骼等组织工程领域。
三、微纳米流体芯片技术的发展趋势目前,微纳米流体芯片技术已经在生物医学领域取得了革命性的进展,但远未达到极致。
基于微纳米技术的生物传感器和检测技术近几年,基于微纳米技术的生物传感器成为了一个热门的技术领域。
这种技术可以将微纳米结构和生物分子相结合,实现对各种生物分子的高灵敏度、高特异性的检测,具有广泛的应用前景。
在医学诊断、食品安全监测、环境污染检测、生物工程等领域都有着重要的应用。
一、微纳米技术的进展和应用微纳米技术是指在微米和纳米尺度下开展制造和研究的技术,是继信息技术、生物技术和材料科学技术之后的一种新兴技术。
微纳米技术的发展,使得各种微纳米器件的制造和运用越来越普及。
目前,微纳米技术已经被广泛应用于电子、光学、材料、生命科学和医学等领域。
其中,在生命科学领域,微纳米技术和生物技术结合起来,产生了许多新的应用。
作为一种前沿的技术,生物传感器已经成为微纳米技术在生命科学领域的重要应用之一。
生物传感器经过不断地发展和创新,已经成为了利用微纳米技术来进行生物分子检测的重要工具。
二、生物传感器的基本原理生物传感器是一种能够利用特定的生物反应来检测、分析、控制目标物质的工具。
生物传感器的原理是利用生物分子的识别与特异性结合作用,来实现对目标物的检测。
一般来说,生物传感器由以下三部分构成:生物分子、信号转换系统和信号处理系统。
生物分子是生物传感器的核心部分。
生物分子可以通过各种方法制备和修饰,以适应特定的检测要求。
信号转换系统是将生物分子和目标物质之间的相互作用转化成电信号或光信号的系统。
在实现信号转换的过程中,常利用具有高灵敏度和高特异性的纳米材料或微纳米结构。
信号处理系统可以对生物传感器产生的信号进行分析和处理,确定目标物质的特性和数量。
三、利用微纳米技术的生物传感器的应用1.医学检测生物传感器可以检测各种生物分子,如蛋白质、DNA和病毒等。
在医学领域,生物传感器可以用于快速检测和诊断患者血液中的生物分子,例如糖尿病,癌症和宫颈癌等疾病。
利用微纳米技术的生物传感器可以提高检测的灵敏度和特异性,从而更快、更准确地进行医学检测。
纳米生物传感器及其在生物检测中的应用随着科技的发展和人们对健康关注度的不断提高,生物检测技术越来越受到关注。
在这方面,纳米生物传感器成为研究的热点之一,具有广泛的应用前景,因为它可以迅速、准确地检测生物分子,为人类的健康提供更多的保障。
本文将介绍纳米生物传感器的定义、原理、分类以及其在多个领域的应用。
一、纳米生物传感器的定义纳米生物传感器是一种以纳米技术为基础制备的生物传感器,可以用于检测最小的化学、生物分子水平,而且比常规传感器更灵敏和快速。
其结构将纳米粒子或纳米结构与生物识别元素(如抗体、DNA等)集成在一起,通过识别目标生物分子的特定特征,对其进行检测和监测。
二、纳米生物传感器的原理纳米生物传感器是通过识别目标生物分子与生物识别元素之间的特异性相互作用来实现检测的。
使用合适的探针(例如金纳米颗粒或石墨烯∕量子点等)可以实现高度灵敏的信号放大,并进一步提高生物识别的特异性。
三、纳米生物传感器的分类纳米生物传感器可以按其作为信号转换器电子、光学和机械的方式进行分类,也可以通过它们所检测的生物分子类型进行分类。
根据信号转换的方式来分类:1. 电子型纳米生物传感器:电容、场效应晶体管(FET)、生物燃料电池、电化学传感器等。
2. 光学型纳米生物传感器:荧光探针、表面等离子体共振传感器(SPR)、色谱、光子晶体等。
3. 机械型纳米生物传感器:纳米机械臂、纳米力传感器、压电谐振等。
根据其检测分子的不同,纳米生物传感器可以分为:1. DNA序列传感器:检测通过核酸反应产生的DNA或RNA片段。
2. 蛋白质传感器:用来检测特定蛋白质,通常涉及到免疫反应。
3. 细胞传感器:用来检测细胞生长和活性,例如细胞阵列芯片和微观荧光显微镜。
四、纳米生物传感器的应用领域纳米生物传感器的应用涵盖了许多领域,其中包括临床医学、生命科学、环保、食品安全等。
下面是一些纳米生物传感器的应用情况:1. 肿瘤检测纳米生物传感器在早期癌症检测中有着很大的应用前景。
纳米传感器在生物检测中的应用和发展近年来,随着纳米科技的不断发展,纳米传感器在生物检测领域中应用越来越广泛。
纳米传感器是一种能够检测微小变化的传感器,常被用于生物领域中,包括实时监测生物分子、生物细胞、病菌等。
这些传感器可以通过改变其电子、化学或光学特性对生物分子进行检测,其高精度的检测和定量能力使其成为生物分子检测的理想工具。
纳米传感器的优势纳米传感器不仅精度高,检测速度快,而且具有较小的尺寸和较低的成本。
例如,当前的荧光和表面等离子体共振光谱检测器具有高精度的检测和定量能力,但这些设备的成本高昂且尺寸较大,难以实现基于手机应用的移动检测。
相比之下,纳米传感器尺寸小,不需要大型仪器,且易于迁移到微型装置或可植入装置中。
这些优势使得纳米传感器成为开展移动或在家庭中进行生物检测的强有力的手段。
纳米传感器的应用纳米传感器广泛用于疾病检测、药物研究和食品安全等应用中,以下是几个具体的例子:1. DNA检测纳米传感器可以被用于检测DNA分子。
例如,金纳米粒子被修饰成与DNA序列相互衔接的形式,并与荧光染料结合,当它们与DNA结合时,就会发出荧光。
通过测量荧光信号的改变,可以确定DNA序列。
这种技术还可以用于检测致病体质(例如病毒和癌细胞)以及诊断基因缺陷。
2. 药物研究纳米传感器也可以被用于药物研究中。
例如,当与特定药物结合时,纳米材料会发生电子或化学信号变化。
通过监测这些信号的变化,可以确定有关药物的许多属性,如其剂量、稳定性以及活性。
3. 食品安全纳米传感器还可以被用于检测食品中的有害物质。
例如,纳米传感器可以检测水中的有机和无机污染物,以及食物中的添加剂、致癌物质和重金属等。
纳米传感器的未来纳米传感器在生物检测领域中的应用已经取得了一些很好的结果,并且预计在未来还将继续扩大其应用范围。
例如,纳米传感器可以被用于开发自动化的生物检测系统,并且可以与云计算和智能手机等技术相结合,这对监测和预防疾病、控制全球疫情等方面,都有着广泛的应用前景。
生物医学工程中的生物传感和微纳技术随着科技的不断发展,生物医学工程作为一门新兴的交叉学科,逐渐成为受人重视的领域。
其中,生物传感和微纳技术是生物医学工程中的重要研究方向。
一、生物传感技术生物传感技术是将生物学和传感技术相结合,旨在检测、分析和监控生物体内外的信号。
生物传感技术具有高灵敏度、高特异性、实时监测和非破坏性等优点,可以应用于医学诊断、药物筛选、环境监测以及食品安全检测等领域。
生物传感技术的实现需要依靠传感器构建。
目前,常用的生物传感器有光学传感器、电化学传感器、微纳机电系统传感器等。
其中,光学传感器是最常见的生物传感器。
它采用激光、荧光、散射等信号进行检测,具有高精度和高灵敏性,具有广泛的应用前景。
生物传感器的应用范围非常广泛。
例如,在生物医学领域中,生物传感技术可以用于各种生物体内外的检测和监测。
例如,血糖仪、血压计等传统医疗器械都是基于生物传感技术构建的。
此外,生物传感技术还可以用于药物研发中,例如通过对药物分子结构和作用机理进行传感检测,提高药物的研发效率和成功率。
同时,生物传感技术也可以应用于环境监测和食品安全检测等领域。
二、微纳技术微纳技术是指在微米和纳米级别制造物质和设备的技术。
微纳技术是现代科学技术的重要分支之一,被广泛应用于纳米化学、纳米材料、纳米制造、纳米测量、纳米计算机、纳米医学等领域。
生物医学工程中的微纳技术主要应用于生物检测和生物治疗。
例如,通过制造微型传感器,可以实现对细胞和生物分子的探测和监测。
此外,微型药物输送系统也是微纳技术的一个重要应用。
微型药物输送系统可以将药物载体制成微型纳米颗粒,在体内输送到目标细胞或组织,实现精准治疗。
微型药物输送系统的应用可以提高药物的治疗效果,同时减少药物的副作用。
微纳技术的应用还包括基因工程、组织工程和生物成像等领域。
例如,利用微纳技术制造高通量基因分析芯片,可以大幅度提高基因测序的速度和效率。
同时,利用微型组织工程和微纳技术制造生物芯片,可以实现针对性和个性化的组织重建和修复。
微纳米生物传感器及其医疗检测应用微纳米生物传感器是一种新兴的技术,其能够实现对生物分子及其作用的监测和检测,具有高灵敏度、高特异性、高稳定性、快速响应等优良特性,因此其在医疗检测领域具有广泛的应用前景。
一、微纳米生物传感器的基础原理微纳米生物传感器是基于微纳米技术、生物技术和电子技术的复合型技术,其主要原理为利用生物分子与生物传感器上的识别子结合所导致的电化学信号变化进行检测。
其具体工作机制为:首先,将生物分子与传感器上的识别子结合,产生信号变化;接着,利用电化学技术将信号转化为电流信号;最后,通过电子设备将电流信号转化为数字信号,获取检测信息。
二、微纳米生物传感器的特点与优势1. 高灵敏度:微纳米生物传感器具有高灵敏度,能够检测到非常微小的生物分子,如蛋白质、核酸等。
其抗干扰能力强,假阳性率低,可靠性高。
2. 高特异性:微纳米生物传感器能够识别和检测特定的生物分子,具有高特异性,不会被其他生物分子所干扰。
3. 高稳定性:微纳米生物传感器具有高稳定性,能够稳定地工作于不同的环境中,并且具有长期的使用寿命。
4. 快速响应:微纳米生物传感器响应速度快,能够在几秒钟至几分钟之间完成检测,适用于现场检测和实时监测等应用。
5. 成本低廉:微纳米生物传感器的制备成本较低,易于批量生产,可实现大规模化应用。
三、微纳米生物传感器在医疗检测中的应用微纳米生物传感器在医疗检测中具有广泛的应用前景,可应用于诸多方面,如肿瘤标志物检测、药物监测、疾病检测等。
1. 肿瘤标志物检测肿瘤标志物是指在肿瘤发生、发展及治疗过程中出现的特异性指标。
微纳米生物传感器可以通过检测血液中的肿瘤标志物,及早发现肿瘤病变,实现早期诊断和治疗。
例如,利用微纳米生物传感器检测癌细胞表面标志物HER2的浓度,可以有效地确定乳腺癌患者的治疗方案。
2. 药物监测药物监测是指对患者进行长期用药过程中药物浓度的监测和评估。
利用微纳米生物传感器可以检测药物在体内的浓度变化,评估药物的吸收、代谢和消除状况,并调整药物剂量和给药方案,提高药物治疗效果。
微纳加工技术在生物芯片中的应用随着生物技术的发展,生物芯片也越来越受到人们的关注。
作为一种集生物学、物理学、电子学、计算机学等多学科于一体的新兴技术,生物芯片被广泛应用于分子生物学、医学诊断、食品安全监控、环境污染检测等领域。
而微纳加工技术则是生物芯片制造中不可或缺的关键技术之一。
微纳加工技术是一种针对微尺度器件加工的工艺。
它采用高度集成的微观机械系统和微纳米加工加工工艺,将尺寸小于千分之一的微米、奈米的微细构件、表面结构和微电路制造出来,具有高效、高精度、高复杂度等特点。
在生物芯片制造中,微纳加工技术被广泛应用于微流控芯片、传感器芯片、生物反应器等领域。
一、微流控芯片微流控芯片是一种可以控制纳升级流体流动的芯片,采用微纳加工技术能够制造出各种流道、阀门和微型反应器等微结构,能够进行微样品的混合、分离和处理,实现对生物分子、细胞、胶体等微观物质的高通量分析和操作。
微流控芯片的主要优点是既可以高效地分析样品,又可以实现微量分析,同时还能大幅降低实验操作的成本。
例如,在核酸分析领域,微流控芯片可以实现PCR扩增、DNA测序等多项反应,极大地降低了实验的成本和时间,提高了分析的效率和准确性。
二、生物传感器芯片生物传感器芯片是一种可以实现生物分子、细胞、化学组分等检测和定量分析的芯片,采用微纳加工技术制造的芯片可以将传感器的灵敏度和响应速度提升到一个更高的级别。
微田径传感器、光学传感器和电化学传感器等多种方式可以被应用于微纳加工制造的芯片中。
这些传感器能够捕捉到分子、细胞间的相互作用和各种化学反应,以实现病原体检测、毒素鉴别、肿瘤标志物检测等多种用途。
光学传感器还可以被用来检测实验样品中丰富的颜色变化信息,对学术研究和医学应用有重要的作用。
三、微型反应器微型反应器是一种可以实现微量细胞、分子生物学和化学反应的设备。
采用微纳加工技术,可以制造出各种形状和尺寸的微型反应器,例如微型混合器、微波反应器、微型氧气梯度发生器等,实现样品的混合、反应、分离和定量分析等多项操作。
第21卷第4期 2013年4月 光学精密工程
Optics and Precision Engineering V01.21 No.4
Apr.2013
文章编号1004—924X(2013)04—0987—13 微纳流体光波导及其在生物传感器中的应用
黎永前H,苏 磊 ,满 力 ,寿 宸 ,叶 芳 ,徐 征 (1.西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室,陕西西安710072; 2.大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁大连116023)
摘要:微纳流体光波导融合了微观流体与微光学特征,能够在相同物理空间实现流体介质和微光学信息功能及结构的集 成,是生物化学分析及生物传感器的关键器件。本文综述了微纳流体光波导研究现状及其在生物传感器和生物化学分 析中的应用实例。论述了实现微纳流体光波导的全反射机理、多层干涉效应,抗谐振反射机理,以及基于上述机理实现 的各种流体波导形式。重点分析了基于微纳流体层流效应的全流体波导,基于多层干涉效应的Bragg光波导、空心光子晶 体波导、狭缝光流体波导、抗谐振反射光波导等多种波导的特点。指出狭缝光流体波导和抗谐振反射光波导具有更好的设 计灵活性,且检测灵敏度高、可靠性好、易于集成制造,可望在生物传感器及微纳流体光学系统中得到更广泛的应用。 关键词:微纳流体;光波导;流体芯层;液体覆层;微流体沟道;折射率系数;Lab-on-Chip;热流体;集成光流体 中图分类号:TN252:TP212.3 文献标识码:A doi:10.3788/OPE.20132104.0987
Optofluidic waveguides and their applications to biological sensors LI Yong—qian¨,SU Lei ,MAN Li ,SHOU Chen ,YE Fang ,XU Zheng。 (1_Key Laboratory of Micro/Nano Systems for Aerospace of the Ministry of Education,X ,n 710072,China; 2.Key Laboratory for Micro&Nano Technology and System of Liaoning Province,Dalian University of Technology,Dalian 116023,China) *C0 r】r8s 0,2 g author,E-mail:liyq.nwpu@gmail.com
Abstract:Optofluidic waveguides can integrate the functions and structures of fluid media and micro— optical information in the same physical space because of the fusion of the microfluidic/nanofluidics and the micro—optics.They have been the key devices for biochemical analysis and biosensors.This paper overviews the research status of the optofluidic waveguides and their applications to biochemical analysis and biosensors.It describes the basic principles to implement different fluid waveguides,such as total reflection principles,multi—layer interference effect and antiresonant reflecting mechanism, and gives a lots of waveguide forms according to the principles mentioned above.It focuses on the a— nalysis of the characteristics of total fluid waveguides based on micro/nano fluidic layers,Bragg waveguides based on interference effect,hollow core photonic crystal waveguides,slit fluid waveguides and antiresonant reflecting waveguides.Finally,it points out that the latter two waveguides can be designed in flexibility and is characterized by higher sensibility,good reliability and
收稿日期:2012—11-02;修订日期:2012—12—18. 基金项目:国家自然科学基金资助项目(No.51175436);西北工业大学基础研究基金资助项目(No.JC200811);辽宁 省微纳米技术及系统重点实验室开放基金资助项目 988 光学精密工程 第21卷 easy to be fabricated,SO that they are expected to widely used in biosensors and microfluidic/nanof1u idic systems. Key words:microfluidics;optical waveguide;liquid—core;liquid—cladding;microfluidic channel;refrae tive index;Lab—on-Chip;heating liquid;integrated optofluidic
1 引 言 作为微机械电子系统(MEMS)的重要发展 方向,将微流体与微光学相结合形成的微流体光 学在化学分析、物理光学、信息技术等领域具有广 泛的应用前景_1 ]。在生物化学分析及生物传感 器应用领域中,相比于传统的分析方法,如气液相 色谱仪_3]、热能量式生物传感器[4]、电化学生物传 感器[5 以及激光诱导荧光方法[6 等,微流体光学 系统具有以下优势:可以降低制作和使用成本;缩 短分析时间;减少反应物和分析物的用量;减少潜 在有害副产物的生成;提高分析效率和实验的准 确性[6。]。此外,利用微流体器件及系统可以实现 传统大型装置无法实现的某些研究功能 ]。例 如,为了对生理状态进行更准确的理解,只有使用 与生理环境相同尺寸的分析装置,才能获得更准 确的信息,而微流体通道能够模拟尺度在1~100 m的生物体内血管的流动状况。微流体光学系 统深远的技术应用前景为科学研究者提供了无穷 的研究动力。从Yole Development的市场研究 报告中可以看出,2010年 ̄2014年间相比其它的 MEMS器件,微流体器件的市场需求上升的趋势 尤其明显,预计2016年市场销售将突破4O亿美 元_8]。随着对高灵敏度生物微传感器应用需求的 不断增长_7l9],微流体光学分析系统在分子诊断 (临床诊断、免疫和DNA诊断)、药物发现、蛋白 质和基因工程 、环境检测等领域的研究范围将不 断拓展 。 与宏观光学系统不同,在微米到纳米尺度 下,微纳流体光学系统中的固体、流体、固液界面、 气液界面等因素均会对微光学的光强、波长、相位 等信息产生影响。如光路中微流体管道固体壁面 的反射或者折射、微流体管道几何结构的衍射效 应、液体折射率系数波动、固液界面占空比,以及 气一液界面或者液一液界面等。本文将这种“微纳 流体系统对微光学信息光强、波长、相位的调制作 用”定义为微纳流体光学调谐效应。微纳流体光 学调谐效应可望应用在许多方面:如利用两种折 射率不同的液体界面,可以形成光流体开关器 件口¨、光流体环形谐振器口 、实现高分辨率芯片 上光流体显微镜_】 等;通过改变聚合物微管道内 的流体介质性质,可以形成光调制器以及多路开 关_1 。利用染料流体的荧光特性,可以形成窄带 波长可调的微流体激光芯片口 ;利用微流体管道 中流体的运动特性,可以形成光学栅距可调的微 流体光栅[1 。光流体最有希望在生物传感器和 生物检测器件中得到应用,基于小尺寸和微量样 品特性的芯片实验室(Lab—on—Chip)是适合于进 行单分子检测的理想方法[1 ;由于该方法所具有 的高灵敏度,使得其对生物传感器及其基础研究 具有极大的吸引力。Lab-on-Chip需要将流体和 光学器件集成在芯片上,正如微通道是流体研究 的核心器件,光波导是光学结构的关键器件,基于 Lab—on—Chip的微型化集成思想,微纳流体光波 导能够在相同物理空间实现流体介质和微光学功 能结构的集成I1 ,是芯片实验室的理想光学调谐 效应平台。 如图1所示,本文将流体芯层光波导传光原 理分为基于全内反射光波导和近来发展的相干干
北聚合物液芯光波导(Schelleetal 1999,Dai ̄a et 2003,C Wu,2008)
米空隙聚台物覆层波导(Ho-cheol Kim 2002, efal2004 Gopalak shnan,2010)
I共振反射光波导ARROW waveguides(Duguay et al 1986,Bemini et )04,DYin 2004,Schmidt elal2005,Yin eta1.2006,Bernini eta1.2008, ln etaL2009,GTesta 20t0.GTesta 2012。RBemini.2012)
图1微纳流体光波导工作原理及其发展现状 Fig.1 Work principle and developing progresses of optofluidic waveguide
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