透射电子显微镜的结构与成像原理
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透射电子显微镜的结构与成像原理
透射电子显微镜的结构与成像原理
透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源,用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨率、高放大倍数的电子光学仪器。
There are four main components to a transmission electron microscope:
(1) an electron opTIcal column
(2) a vacuum system
(3) the necessary electronics (lens supplies for focusing and deflecTIng the beam and the high voltage generator for the electron source)
(4) software
电子光学系统(镜筒)(an electron opTIcal column)是其核心,它的光路图与透射光学显微镜相似,如图所示,包括:照明系统,成像系统,观察记录系统。
图2-1 投射显微电镜构造原理和光路
照明系统
组成:由电子枪、聚光镜(1、2级)和相应的平移对中、倾斜调节装置组