PX137低成本硅压力传感器

B-221差压变送器带现场可选量程U 单个装置可提供多达6种可在现场选择的量程U 坚固耐用的NEMA 4 (IP65)外壳，配备外部 安装托架U 可承受高达10 psid 的 超压而不发生零点漂移U 具有短路和反向 极性保护PX274是一款坚固耐用的差压变送器，单个装置可提供多达6种可在现场选择的量程。

它含有坚固耐用的符合NEMA 4 (IP65)的防尘和防溅外壳（配备外部安装托架）。

规格激励：PX274: 12 ~ 40 Vdc PX277: 12 ~ 35 Vdc 输出:PX274: 4 ~ 20 mA (2 wire) PX277: 0 ~ 5 or 0 ~ 10 Vdc 精度: 满量程的±1.0%工作温度:-18 ~ 80°C (0 ~ 175°F)补偿温度:-4 ~ 65°C (25 ~ 150°F)热效应:0.02% FS/°C (±0.0125%/°F)耐受压力: 10 psi 介质兼容性:洁净、干燥的空气或惰性气体压力接头: 00.2" 软管倒钩接头（使用 3⁄16" 柔性管）终端: 螺钉式接线端外壳: 被釉,18 GA 钢，NEMA 4 (IP65) 级重量: 454 g (1.0 lb)配备操作手册。

订购示例: PX274-0.1DI ，电流输出压力变送器，0 ~ 0.1和-0.05 ~ 0.05 inH2O 用户可选量程。

PX277-05D5V ，电压输出压力变送器，±0.625 inH2O 和0 ~ 5 inH2O 之间用户可选多量程。

PX277-05D5V ， 图片小于实际尺寸。

PX274/277 系列电流或电压输出。

The PX70 Series piezoresistive pressure sensors are packaged in a TO-5 case suitable for PC board mounting. The PX70 is available in full scale ranges from 0.3 to 100 psi as well as 4 standard package options. The PX71, for gage and absolute ranges, is available without fittings, while the PX72 has a top-mounted tube fitting (bottom is vent for gage). The PX73 is also available in gage ranges and has a bottom tube fitting (top is vent). For differential measurements, the PX74 has top and bottom tubes and can be used for unidirectional or bidirectional measurement.ߜTO-5 Package Suitable for PC Board Mounting ߜGage, Absolute, and Differential Models ߜFull Scale Ranges from 0.3 to 100 psi ߜFor Clean, Dry GasesStarts at$37PX70 Series 0-0.3 to 100 psi 0-0.02 to 0-6.9 barSPECIFICATIONS Linearity:±0.5% FS Repeatability:±0.3% FS Excitation:5 Vdc (10 Vdc max)Storage Temp Range:-40 to 125°C (-40 to 257°F)Compensated Temp Range:-15 to 85°C (5 to 185°F)Zero Temp Coefficient:0.07% FS/°C Span Temp Coefficient:0.05% FS/°C Bridge Impedance:3300 ±700 ΩProof Pressure:Range <100 psi >3x FS; 100 psi range = 2x FSBurst Pressure:Range <100 psi >5x FS; 100 psi range = 3x FS Common-Mode Pressure:50 psi Compatible Meters:DP41-S, DP25-S (see section D)PC BOARD MOUNTABLE PRESSURE SENSORS IN A TRANSISTOR (TO-5*) PACKAGE ECONOMICAL PRICE, HIGH PERFORMANCEPX71-005GV, $37,shown 2x actual size.PX72-015GV, $40,shown 2x actual size.Top FittingPX72No FittingPX71PX73-015GV, $43,shown 2x actual size.PX74-015DV, $43,shown 2x actual size.Bottom FittingPX73DifferentialPX74。

cOMPAct inDuStriAl Wet/WetDifferentiAl PreSSure trAnSDucerMetric MODelSPX81D1-010D5T, shown actual size.STANDARDMETRICPXM81MD1-3.50BARDV, shown actual size.Cable style.Custom Terminations are also Available, Consult Engineering.Twist-lock style.PX81/PXM81 SeriesThermal Effects: mV/V and 5 V: Zero: ±0.0054% FSO/°C Span: ±0.0054% rdg/°C 4 to 20 mA: Zero: ±0.009% FSO/°C Span: ±0.009% rdg/°C Pressure:Safe Overpressure: 150% rated pressureLine Pressure: 150% rated pressure (applied simultaneously to both sides) Burst Pressure: 300% rated pressure Mechanical:Wetted Parts: 17-4 PH stainless steelPressure Port: See dimensional drawings on following pages Electrical Connection: Style 0: 3 m (10’) cableStyle 1: PTIH-10-6P (or equal) Style 6: mini DIN Mating Connector: Style 1: PT06F10-6S (sold separately)Style 6: Mating connector includedSPECIFICATIONSmV/V OutputExcitation: 10 Vdc (15 V max)Output: 3 mV/V nominal Bridge Resistance: 350 Ω minimumZero Balance: ±1% FSO Shunt: 80% FSO5 Vdc OutputExcitation: 24 to 32 Vdc Output: 0 to 5 Vdc ±10% adj Zero Balance: 0 V ±10% adj4 to 20mA OutputExcitation: 10 to 40 Vdc Output: 4 to 20 mA ±10%Zero Balance: 4 mA +10% -2% adj Shunt: 80% FSOCOMMON SPECIFICATIONSAccuracy: ±0.25% linearity,hysteresis and repeatability combined Environmental:Operating Temp Range:mV/V: -73 to 163°C (-100 to 325°F) 5T and I: -46 to 121°C (-50 to 250°C)Compensated Temp Range: 17 to 71°C (60 to 160°F)Wet/Wet DifferentiAl PreSSure trAnSDucerSSTANDARD AND METRIC Ordering Examples: PX81D0-500DI, 500 psid range model with 4 to 20 mA output and 3 m (10') PVC cable.PX81D0-005DV, 5 psid range model with mV/V output and 3 m (10') PVC cable.PX81D1-200D5T, 200 psid range model with 0 to 5 Vdc output and integral connector. PT06F10-6S, mating connector. PX81D0-020DI, 20 psid range model with 4 to 20 mA output and 3 m (10') cable.Cable style.4 to 20 mA OutPut StAnDArD rAngeS4 to 20 mA OutPut Metric rAngeS4 to 20 mA Output0-160 mbar to 0-35 bar 0-2 to 0-500 psiDifferential PressureMETRICPXM81MD0-1.40BARDI, shown smaller than actual size.[*] Insert “0” for 3 m (10') cable, “1” for twist-lock 6 pin connector or “6” for mini DIN connector. * Visit us online for compatible meters.To order extra cable on cable-style models, add suffix “-(Total length in meters)M” and additional cost/m beyond the standard 3 m (10') length.Ordering Examples: PXM81MD0-014BARDI-10M, 14 bar differential pressure transmitter with 4 to 20 mA output and 10 m (32') cable.PXM81MD1-350mBARDI, 350 mbar differential pressure transmitter with 4 to 20 mA output and a twist-lock 6 pin connector. PT06F10-6S,mating connector (sold separately).U High-Accuracy Wet/Wet Differential Pressure U All Stainless SteelConstruction for Harsh Industrial Environments U High Operating TemperatureU 5-Point Calibration Provided: 0%, 50%, 100%, 50%, 0%Cable style.PXM81 Series4 tO 20 mA Models。

硅压力传感器原理
硅压力传感器利用硅材料的特性将外部施加的压力转换为电信号。

其工作原理主要有四个步骤：
1. 微机电系统（MEMS）加工：在硅衬底上使用光刻和腐蚀等工艺制作出微型结构，其中包括一个薄膜片和一系列微小孔洞。

2. 变形：当外部施加压力到达传感器薄膜片上时，薄膜发生弯曲变形。

变形的幅度与施加的压力成正比。

3. 电极检测：两个电极被放置在薄膜片的两侧。

当薄膜发生变形时，电极之间的距离改变，导致电阻值的变化。

4. 电信号转换：测量电路读取电极之间的电阻值变化，并将其转换为与施加的压力成比例的电信号。

这个信号可以经过放大或数字化处理，并用于控制或显示设备上。

硅压力传感器具有高灵敏度、宽压力范围、快速响应、较高的精度和可靠性等优点。

它们广泛应用于工业自动化、汽车工程、医疗设备、航空航天等领域中，用于测量液体或气体的压力。

扩散硅压力传感器工作原理
硅压力传感器是一种基于硅材料的传感器，用于测量压力。

其工作原理基于压力对硅芯片的变形产生的电阻变化。

硅压力传感器的核心部件是一个薄膜型硅压阻元件，通常由硅晶圆加工而成。

该元件由两层硅薄膜组成，上层为引压膜，下层为探测膜。

当外界施加压力作用在传感器上时，引压膜和探测膜之间的硅材料会产生一定程度的变形。

这种变形会改变硅材料的电阻特性，从而使得传感器的输出信号发生变化。

硅压力传感器通常采用电桥测量电路将这个电阻变化转化为电压输出。

通过对电桥进行精确的电压测量，就可以实现对外界压力的准确测量。

硅压力传感器的灵敏度和稳定性主要取决于硅材料的特性以及传感器的制造工艺。

传感器内部通常还会加入温度补偿电路，以消除温度对测量结果的影响。

另外，传感器还需要进行标定和校准，以确保其测量结果的准确性和可靠性。

总结来说，硅压力传感器通过测量硅芯片在压力作用下的变形，利用电桥测量电路将其转化为电压输出，实现对压力的测量。

它具有高灵敏度、稳定性好等特点，广泛应用于工业控制、汽车、医疗设备等领域。

总体说明MSPD**-ASO 系列微型硅压力传感芯片，可以提供精确的、与外界感测压力线性相关的电压输出。

该系列芯片产品采用敏芯最新的SENSA®工艺。

在硅薄膜上沉积微型压阻，利用其压阻效应感应压力导致的硅薄膜形变，以间接地精确测量外界压力。

MSPD**-ASO 系列芯片为用户提供了灵活的使用方式，使用户可以方便地设计与添加后续的信号处理电路。

针对温度和非线性度进行的补偿，对于此系列产品是比较简单的，这是因为此系列产品性能具有高度的一致性和可重复性。

之所以有这样的特性，这是由敏芯的优化的器件设计、独有的传感器加工工艺所造就的。

MSPD**-ASO 系列产品是基于先进的MEMS（微机械电子系统的简称）✧ 量程：0-200kPa, 350kPa 技术。

同时，此系列产品也得益于敏芯微电子长期在MEMS 器件量产中获得的经验。

产品特点✧ 低成本、高可靠性✧ 具有自主知识产权的芯片设计 ✧ 100毫伏满量程输出(典型值) ✧ 0.3% 非线性度(最大值)✧ 大范围的工作温度区间(-40摄氏度至 +125 摄氏度)应用范例✧ 压力开关 ✧ 工业控制 ✧ 医疗仪器设备内部电路结构图MSPD**-ASO 压力芯片内部电路结构，如图一所示：图一 开环型未补偿压力传感芯片电路机械及外观指标压焊点图：最大绝对额定参数备注:1.过载压力是指器件在保证精度的前提下能够承受的最大压力。

2.爆破压力是指器件能够承受的最大压力。

如果超过此阈值，器件可能会产生不可恢复的损坏。

3.这是在恒定压力激励的前提下，此时通过桥臂的电流需要具体计算。

4.这是在恒定电流激励的前提下，此时在桥臂输出端产生的的电压需要具体计算。

5.器件的精度一般取决于下列若干项参数指标：✧线性度: 是指器件在测量压力范围内，实际输出与理想中的与输入呈线性变化的输出曲线之间的最大偏差✧回滞特性: 是指器件在常温下，从0kPa 到满量程之间升压过程与降压过程在同一个压力点下所产生的最大偏差:✧TCV OFF是指器件的零点误差，以25摄氏度为基准计算，在额定的工作温度区间内的最大变化量（相对于满量程输出）✧TCSP: 是指器件的满量程输出，以25摄氏度为基准计算，在额定的工作温度区间内的最大变化量（相对于满量程输出）关于温度补偿器件的敏感元件内部有微型的可变形硅膜，上面沉积有压敏电阻，其构成了一个惠斯通电桥结构。