蒸馏水：通过蒸馏冷凝制得的水，所以里面的无机盐会含的很少。如果只是经过一次蒸馏得到的水，里面虽然那些不挥发的组分（盐类）被除去，但水中挥发的组分（氨、二氧化碳、有机物）还是会进入蒸馏水中。
双蒸水是重蒸水的一种。
重蒸水是将经过一次蒸馏后的水，再次蒸馏所得到的水。根据实验和科研的要求可分为：双蒸水、三蒸水。
双蒸水：两次蒸馏
三蒸水：三次蒸馏
超纯水: 超纯水又称高纯水，是指将水中的导电介质几乎全部去除，又将水中不离解的胶体物质、气体和有机物均去除至很低程度的水。超纯水的含盐量在0. 1mg/L以下,电导率小于0. 1μs/cm。常见纯化仪器:NANOpure或Milli-Q
去离子水: 应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子，但水中仍然存在可溶性的有机物，可以污染离子交换柱从而降低其功效，去离子水存放后也容易引起细菌的繁殖。从自来水到去离子水一般要经过几步处理.先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质, 再分别依次通过阴阳离子交换柱去除离子, 然后加压通过反渗透膜, 最后一般还要经过一步紫外杀菌以去除水中的微生物,假如此时电阻率还没有达到要求的话, 可以再进行一次离子交换和反渗透过程. 而蒸馏水只是先气化再冷凝, 纯度一般不如去离子水, 实际半导体工业中用的大多数是去离子水.
无菌水: 通常是通过高温蒸汽法,UHT热法,化学法,臭氧方法和物理过滤法将水中微生物杀死或过滤掉而得到的水,水中的无机盐等一般来说不会减少.
