欧洲小型精密加工机床介绍

车铣复合机床厂家_车铣复合数控机床品牌大全机床复合化是机床发展的重要方向之一。

复合机床又包括车铣复合机床、车铣磨复合、铣磨复合、切削与3D打印复合、切削与超声振动复合、激光与冲压复合等多种多样的形式，复合的目的就是让一台机床具有多功能性，可一次装夹完成多任务，提高加工效率和加工精度。

复合机床中，车铣复合机床最多见，也是使用最多的复合机床种类。

那么目前进口车铣复合机床厂家，国外车铣复合数据机床品牌有哪些呢？国内有哪些车铣复合机床厂家呢？中国车铣复合数控机床品牌有哪些呢？国外车铣复合机床厂家品牌有哪些？车铣复合机床厂家——奥地利EMCO集团奥地利EMCO公司是一家有着近60年历史的专业车床制造厂家，迄今为止全世界有超过100万台EMCO机床在为各行各业进行服务。

EMCO公司总部坐落在奥地利的萨尔斯堡附近，现在的EMCO公司600多名员工的规模。

EMCO公司生产的数控车床品种丰富，从简单的两轴数控车床直到拥有八根轴的数控车铣复合机床；从用于产品研究开发的双主轴车铣中心到用于大批量生产的四主轴双刀塔车铣中心；从最大加工直径仅为的小型车削中心到加工直径为的大型车削中心；从最大工件长度仅为的小型车床直到可加工长零件的大型卧车。

车铣复合机床厂家——德国埃马克集团倒立式车床在埃马克诞生，和一般的卧式车床不一样的是倒立车通过主轴抓取工件，以一种革命性的方式颠覆了传统的自动化概念，特别适合高精度大批量生产的需要，一经推出便受到以汽车零部件为代表的客户的青睐。

经过30 年的不断发展，已由单纯的车床演变成可以具备车、钻、镗、铣、磨、滚齿和激光加工等众多工艺的复合机床。

其优点是工件自动上下料，加工和节拍时间短，工件加工质量高，工序链短，工艺可靠，单件加工成本低。

德国奈尔斯—西蒙斯NILES-SIMMONS车铣复合加工中心主要生产车铣复合加工中心、立卧式车削加工中心、车铣加工中心、立卧式铣削加工中心、汽车工业专机及生产线、不落轮车床、轮对故障自动诊断系统和全套的铁路车轴、车轮、轮对加工组装设备等。

1 机床简介1.1 金属切削机床的简介1.1.1 金属切削机床概述金属切削机床是机械制造也得基础设备。

随着社会需求和科学技术的发展，对机床设计技术要求越来越高。

一方面为了适应社会需求的变化，出现了柔性制造系统（FMS）等先进的自动化制造系统，除了传统的机床设计之外，还要求机床增加柔性，并能与柔性有机结合。

另一方面数控技术和CAD技术的发展，为机床设计提供了新的条件和支撑。

因此机床的设计方法和设计技术也在发生着深刻变化。

金属切削机床也称为机床，是用切削的方法将金属毛坯(或半成品)加工成机器零件设备，他是制造机器的机器，所以又称工作母机或工具机。

金属切削机床是加工机器零件的主要设备，它所担负的工作量，通常情况下占机器制造总工作量的40%-60%。

因此，机床的技术性能直接影响机械制造业产品的质量、成本和生产率。

一个现代化的国家必须有一个现代化的机械制造业，而现代化的机械制造业必须有一个现代化的机床工业做后盾。

因此，机床工业的技术水品、自动化程度、加工精度在很大程度上标志着这个国家的工业生产能力和现代化水平。

1.1.2 金属切削机床的分类1. 按机床的加工性质和使用的刀具分类有12大类：车床，钻床，镗床，磨床，齿轮加工机床，螺纹加工机床，铣床，刨插床，拉床，特种加工机床，锯床，其他机床。

2. 同类型机床按万能性程度又可分为：（1）万能机床即通用车床，加工范围广，万能型大，但结构比较复杂，适用于单件小批量生产，如普通车床、万能升降台铣床等。

（2）专门化车床专门加工一定尺寸范围的一类或几类零件某一道或几道工序，适合于成批生产，如曲轴车床、凸轮轴车床、铣端面打中心孔机床等。

（3）专门机床用于某一种零件某一道特定的工序，适合于大批量生产，如组合机床。

3. 按机床的工作精度又可分为：（1）普通精度机床；（2）精密机床：（3）高精度机床；4. 按机床自动化程度又可分为：（1）手动机床；（2）半自动化机床；(3) 自动机床；此外，根据机床的重量又可分为小型机床、中型机床、大型机床和重型机床。

精密和超精密加工技术的发展我国目前已是一个“制造大国”,制造业规模名列世界第四位,仅次于美国、日本和德国,近年来在精密加工技术和精密机床设备制造方面也取得了不小进展。

但我国还不是一个“制造强国”,与发达国外相比仍有较大差距。

目前国外已开发了多种精密和超精密车削、磨削、抛光等机床设备,发展了新的精密加工和精密测量技术。

为了使我国的国防和科技发展不受制于人,我们必须投入必要的人力物力,自主发展精密和超精密加工技术,争取尽快将我国的精密和超精密加工技术水平提升到世界先进水平。

下面对国内外精密和超精密加工技术的最新发展情况介绍如下。

精密机床技术的发展精密机床是精密加工的基础。

当今精密机床技术的发展方向是:在继续提高精度的基础上,采用高速切削以提高加工效率,同时采用先进数控技术提高其自动化水平。

瑞士DIXI公司以生产卧式坐标镗床闻名于世,该公司生产的DHP40高精度卧式高速镗床已增加了多轴数控系统,成为一台加工中心;同时为实现高速切削,已将机床主轴的最高转速提高到24000r/min。

瑞士MIKROM公司的高速精密五轴加工中心的主轴最高转速为42000r/min,定位精度达5μm,已达到过去坐标镗床的精度。

从这两台机床的性能可以看出,现在的加工中心与高速切削机床之间已不再有严格的界限划分。

使用金刚石刀具的超精密切削技术超精密切削技术的进展金刚石刀具超精密切削技术是超精密加工技术的一个重要组成部份,不少国防尖端产品零件:如陀螺仪、各种平面及曲面反射镜和透镜、精密仪器仪表和大功率激光系统中的多种零件等:都需要利用金刚石超精密切削来加工。

使用单晶金刚石刀具在超精密机床上进行超精密切削,可以加工出光洁度极高的镜面。

超精密切削的切削厚度可极小,最小切削厚度可至1nm。

超精密切削使用的单晶金刚石刀具要求刃口极为锋锐,刃口半径在0.5,0.01μm。

因刃口半径甚小,过去对刃口的测量极为困难,现在已可用原子力显微镜:AFM:方便地进行测量。

超精密加工机床的关键部件技术哈尔滨工业大学盖玉先董申1 引言超精密加工机床的研制开发始于20世纪60年代。

当时在美国因开发激光核聚变实验装置和红外线实验装置需要大型金属反射镜，因而急需开发制作反射镜的超精密加工技术。

以单点金刚石车刀镜面切削铝合金和无氧铜的超精密加工机床应运而生。

1980年美国在世界上首次开发了三坐标控制的M-18AG非球面加工机床，它标志着亚微米级超精密加工机床技术的成熟。

日本的超精密加工机床的研制开发滞后于美国20年。

从1981～1982年首先开发的是多棱体反射镜加工机床，随后是磁头微细加工机床、磁盘端面车床，近来则是以非球面加工机床和短波长X线反射镜面加工机床为主。

德国、荷兰以及中国台湾的超精密加工机床技术也都处于世界先进水平。

我国的超精密加工机床的研制开发工作虽起步比较晚，但经过广大精密工程研究人员的不懈努力，已取得了可喜的成绩。

哈尔滨工业大学精密工程研究所研制开发的HCM-Ⅰ超精密加工机床，主要技术指标达到了国际水平。

国外部分超精密加工机床和HCM-Ⅰ超精密加工机床的性能指标如表1所示。

本文主要论述超精密加工机床的关键部件技术。

2 主轴系统超精密加工机床的主轴在加工过程中直接支持工件或刀具的运动，故主轴的回转精度直接影响到工件的加工精度。

因此可以说主轴是超精密加工机床中最重要的一个部件，通过机床主轴的精度和特性可以评价机床本身的精度。

目前研制开发的超精密加工机床的主轴中精度最高的是静压空气轴承主轴(磁悬浮轴承主轴也越来越受到人们的重视，其精度在迅速得到提高)。

空气轴承主轴具有良好的振摆回转精度。

主轴振摆回转精度是除去轴的圆度误差和加工粗糙度影响之外的轴心线振摆，即非重复径向振摆，属于静态精度。

目前高精度空气轴承主轴回转精度可达0.05μm，最高可达0.03μm，由于轴承中支承回转轴的压力膜的均化作用，空气轴承主轴能够得到高于轴承零件本身的精度。

例如主轴的回转精度大约可以达到轴和轴套等轴承部件圆度的1/15～1/20。

机械制作微纳制造与精密加工的工具与设备近年来，随着科学技术的飞速发展，微纳制造与精密加工成为了许多领域的关键技术。

在这个过程中，机械制作的工具与设备起到了至关重要的作用。

本文将就机械制作微纳制造与精密加工的工具与设备进行介绍。

一、纳米精密机床纳米精密机床是微纳制造与精密加工的核心设备之一。

其具有高精度、稳定性好的特点，能够实现微米甚至纳米级别的加工精度。

常见的纳米精密机床有电脑数控车床、电脑数控铣床等。

纳米精密机床采用先进的数控技术，能够实现复杂零件的高精度加工。

它具有高速度、高刚性、低热变形等特点，能够满足微纳级零件制造的需求。

此外，纳米精密机床还具有自动化程度高、生产效率高等优点。

二、纳米测量仪器在微纳制造与精密加工过程中，对加工质量的测量和检验是不可或缺的。

纳米测量仪器通过与纳米精密机床配合使用，能够实现对零件尺寸、形状、表面粗糙度等进行精确测量。

纳米测量仪器包括光学型、电子型和力学型等多种类型。

其中，光学型的纳米测量仪器具有非接触式测量、高精度、高精确度等特点。

电子型的纳米测量仪器则能够实现纳米级别的测量精度，适用于电子元器件和半导体器件等的加工。

三、微纳加工刀具微纳加工刀具是机械制作微纳制造与精密加工的重要组成部分。

它们能够实现对微小工件的高精度切削、切割、钻孔等操作。

常见的微纳加工刀具有切削刀具、钻孔刀具、铣削刀具等。

微纳加工刀具具有高硬度、高耐磨性的特点，能够实现对硬脆材料的精密加工。

其刀片表面经过特殊处理，可以减小切削力和表面质量的波动。

此外，微纳加工刀具还能够实现高速切削、高效加工，提高了工作效率。

四、纳米级加工液纳米级加工液是微纳制造与精密加工中的辅助材料。

它能够冷却刀具和工件，降低加工过程中的摩擦和热变形，保证加工质量。

纳米级加工液的成分复杂，可以根据实际加工需求进行调配。

纳米级加工液具有优异的散热性能、稳定性好的特点。

它能够提供良好的冷却效果，减小刀具磨损和加工表面粗糙度。

CA6140车床拨叉831006简介CA6140车床是一种常用的机械加工设备，可以进行旋转零件的精密加工。

拨叉831006是CA6140车床上的一个重要零部件，起到支撑和定位工件的作用。

本文将就CA6140车床拨叉831006的功能、特点、使用注意事项等方面进行介绍。

功能CA6140车床拨叉831006主要具有以下功能：- 支撑工件：拨叉831006可以通过调整角度和位置，支撑工件在车床上平稳转动，确保加工过程中不会出现晃动或偏移。

- 定位工件：拨叉831006具有一定的定位功能，可以将工件固定在适当的位置，确保车床刀具在正确的位置进行加工，保证加工精度和质量。

特点CA6140车床拨叉831006的特点如下： - 高强度材质：拨叉831006采用高强度合金材料制成，具有良好的耐磨性和抗变形能力，保证长时间使用的稳定性和可靠性。

- 精密调节：拨叉831006可以通过特殊的调节装置进行精确的调整，可以根据不同工件的尺寸和形状进行自由调节，满足不同加工需求。

- 简单操作：拨叉831006的设计简单，安装和拆卸都相对方便，操作简单，适用于各种机床的使用。

- 高精度加工：拨叉831006经过精密加工和调试，确保其自身的精度和稳定性，能够满足对工件加工精度要求较高的需求。

使用注意事项在使用CA6140车床拨叉831006时，需要注意以下事项：1. 定期检查：定期检查拨叉831006的紧固件是否松动，是否出现明显的磨损和变形，及时进行维护和更换，保证正常使用。

2. 清洁保养：拨叉831006必须保持清洁，防止油污和金属屑等进入零部件，影响其使用寿命和精度。

3. 加工配合工件：在使用拨叉831006时，应选择合适的加工工件，确保工件与拨叉的配合度良好，减少磨损和误差。

4. 避免超负荷操作：使用拨叉831006时，应避免超负荷操作，以免造成零部件的过度损坏和工件的加工质量下降。

5. 安全操作：在操作CA6140车床时，应遵守相关的安全操作规范，确保工作人员的人身安全。

精密立式车床的加工工艺你知道吗？在现代制造业中，精密立式车床作为一种重要的加工设备，被广泛应用于各种机械零件的加工和制造中。

立式车床的加工工艺直接影响着零件的精度、表面质量和生产效率。

本文将向您介绍精密立式车床的加工工艺，帮助您了解这一重要设备的工作原理和操作技巧。

一、准备阶段在开始加工之前，需要做好一系列的准备工作。

首先，要安装卡盘，它是用来固定工件的工具，以确保工件在加工过程中不会移动。

其次，要对机床进行找正，确保机床的各部分都处于正确的位置和状态。

此外，还需要检查刀具和夹具是否完好，并对其进行调整和安装。

二、加工过程精密立式车床的加工过程包括以下步骤：粗加工：首先对工件进行粗加工，去除大部分的余量，为后续的精加工打下基础。

精加工：在粗加工的基础上，进行精加工。

通过调整刀具和夹具，使工件达到所需的形状和尺寸精度。

切削液润滑：在加工过程中，切削液被喷洒到刀具和工件上，以起到润滑和冷却的作用，同时可以清洗切削屑，防止划伤工件表面。

在加工过程中需要注意以下几点：保持切削液的清洁度，避免污染；密切关注机床的工作状态，如发现异常要及时停机检查；根据工件的材质和硬度选择合适的刀具和切削参数；在精加工阶段，要减小进给速度，提高转速，以保证工件的精度和表面质量。

三、后处理加工完成后，需要对工件进行后处理，以去除表面的毛刺、清洗切削液残留等。

后处理还包括测量工作，以确保工件符合图纸要求。

对于不合格的工件，需要进行修正或重新加工。

四、技术参数精密立式车床的主要技术参数包括：机床精度：机床的精度直接影响着工件的加工精度。

根据不同的等级，精密立式车床的精度可以控制在几微米甚至更小。

表面粗糙度：表面粗糙度是指工件表面的微观不平度。

精密立式车床能够加工出Ra0.4以下的表面粗糙度。

生产效率：生产效率主要取决于机床的功率、切削速度以及工件的材质和硬度。

精密立式车床能够在短时间内完成大量高质量的工件生产。

综上所述，精密立式车床的加工工艺及技术参数在机械制造业中占据着举足轻重的地位。

小型加工中心厂家大全小型加工中心厂家_山东威诺重工数控机床有限公司威诺重工经过30余年的专注与创新，从普通机床制造发展成为集五轴龙门加工中心、落地铣镗式加工中心、大型卧立式数控车床、工业机械机器人等产业于一体的大型综合性企业，服务于全球多家企业。

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威诺重工先后成立了山东威诺重工数控机床有限公司、山东娇子、山东马扎克制造基地，并出资在国内主要城市成立办事处，销售网点遍及全国37个城市。

布局全球，开拓海外市场。

在2016年1月，成立了山东马扎克数控机床有限公司，标志着威诺重工正式跨入高精密数控机床生产企业行列，成为数控机床集成供应商。

我们始终在不断挑战自己追求的目标，建立、完善全球化的供应链体系和营销体系。

威诺重工通过不断创新赢得客户的信任，满足不同产品设计需求和提供优质的服务。

小型加工中心厂家_东莞市宏准精密机械有限公司鸿准工业股份公司于1987年在台湾成立，创立之初即致力于数控加工中心，数控雕铣机，电火花机床，铣床，平面磨床等高品质模具加工机床的研发及生产，在台湾工具机及放电加工机中享有“模具加工机床专家”的美誉，并荣获多项国际发明专利。

1998年公司斥巨资在江苏省苏州市投资兴建大型基地，着力于数控机床产品的研发和生产，成为模具专用机床成套设备解决方案的“高新技术企业”。

公司生产的机床种类包括五大系列：加工中心系列，雕铣机系列，电火花机床系列，铣床系列，精密平面磨床系列。

我司创建的“HOACCU”，“粤霸精机”等品牌机床批量出口至欧美及东南亚等地，受到海外多家知名企业的青睐和好评。

2009年，公司为了将更优质精密的产品和更及时周到的服务提供给中国的模具制造业，特地在中国模具之都---东莞长安设立了东莞市宏准精密机械有限公司。

小型加工中心厂家_上海真正数控机床有限公司上海真正数控机床有限公司成立于1988年。

是专业设计、生产、销售小型机械设备的厂家。

国内外精密加工技术最新进展袁哲俊哈尔滨工业大学摘　要:介绍了精密和超精密加工技术各主要领域国内外的最新进展。

提出应重视精密加工的研究和加大投入,加速提高我国的精密和超精密加工技术水平。

关键词:精密和超精密加工技术,　超精密切削,　超精密机床,　精密镜面磨削,　精密研磨,　微机械制造Latest Developments of Precision Manu facturing T echnology at H ome and AbroadY uan ZhejunAbstract:The latest developments in main areas of precision and ultra2precision manu facturing technology at home and abroad were introduced.I t was proposed that we must pay great attention to the research of precision manu facturing technology and increase investments in this field to make our country’s precision manu facturing technology have a great im provement.K eyw ords:precision and ultra2precision manu facturing technology,　ultra2precision cutting,　ultra2precision machine tool, precision mirror sur face grinding,　precision lapping,　micro2machine manu facturing 1　概述精密和超精密加工技术的发展,直接影响尖端技术和国防工业的发展。

【加工与维修】超精密车床运动系统结构分析0、引言超精密车床在加工盘形零部件和圆锥形零部件等领域具有重要地位，在武器装备制造中也有广泛应用，是国家武器装备制造领域的实力的表现[1]，在民用领域也有重要作用。

超精密车床的运动精度直接影响所加工零部件的加工质量，因此有必要针对超精密车床的各个运动系统进行结构分析。

1、超精密车床整体介绍超精密车床的主要组成包括床身、主轴运动系统、刀具以及导轨运动系统，由于其结构特性，在加工反射镜等盘形零部件及圆锥形零件等领域具有重要应用。

在进行超精密切削加工过程中，由于主轴系统的主轴系统负责装夹工件，并带动工件高速旋转，导轨系统带动刀具进行沿导轨方向的直线进给运动[2]，主轴系统的稳定性和回转精度以及导轨的直线度都对所加工零件的表面质量起着重要影响，为了有效降低主轴系统和导轨系统之间误差的耦合作用，因此将主轴运动系统与床身固连，这样的布局可将主轴系统和导轨系统的稳定性分别进行考虑，降低导轨系统运动对主轴系统精度的影响，提高加工精度。

超精密车床主要应用于端面及圆锥面的加工，主轴系统带动装夹在主轴端部的工件进行旋转实现主切削运动；背吃刀量由刀架进行调整；导轨系统带动刀架上的刀具进行沿X 方向的直线进给运动；通过上述三个运动即可实现车削加工，其中主要的运动是主轴带动工件的主切削运动和导轨带动刀具的直线进给运动[3]，且两个运动的控制是相对独立的，可分开考虑。

2 主轴运动系统精密主轴和主轴传动系统共同组成了主轴运动系统，精密主轴作为主轴传动系统上的一个执行部件，影响主轴运动系统精度的是精密主轴的制造精度。

在切削过程中，由传统系统提供动力带动主轴上的工件转动，实现主切削运动，传动系统的控制精度直接影响到所加工工件的加工质量。

2.1 精密主轴主轴系统的回转精度是保证超精密机床高精度运动的保障，一般情况下，超精密车床主轴系统的回转精度能达到 0.001mm。

主轴系统的回转精度受支撑轴承的影响较大，空气静压轴承是滑动轴承当中的一种，其结构和工作原理与液体滑动轴承类似，不同的是采用气体（多为空气）作为润滑介质[4]。

D7140型精密电火花成型机床一、工作原理电火花加工是在液体介质中进行的，机床的自动进给调节装置使工件和工具电极之间保持适当的放电间隙，当工具电极和工件之间施加很强的脉冲电压（达到间隙中介质的击穿电压）时，会击穿介质绝缘强度最低处。

由于放电区域很小，放电时间极短，所以，能量高度集中，使放电区的温度瞬时高达10000-12000 ℃，工件表面和工具电极表面的金属局部熔化、甚至汽化蒸发。

局部熔化和汽化的金属在爆炸力的作用下抛入工作液中，并被冷却为金属小颗粒，然后被工作液迅速冲离工作区，从而使工件表面形成一个微小的凹坑。

一次放电后，介质的绝缘强度恢复等待下一次放电。

如此反复使工件表面不断被蚀除，并在工件上复制出工具电极的形状，从而达到成型加工的目的。

二、机床性能及工艺范围D7140型精密电火花成型机床是一种精密型腔成型加工机床，可利用导电材料（如铜、石墨、钢）为工具电极，对工件（一般应为导电材料）进行加工。

主要适用于精密冲模、型腔模（如塑料模、胶木模、压铸模等）、小孔、异型孔、窄槽等的加工，是机械加工车间、模具车间理想的加工设备。

三、主要技术参数1、工作台尺寸（长×宽）mm 650×4002、工作台行程mm 400×3003、主轴伺服行程mm 2004、主轴箱滑板行程mm 2005、主轴电极板距工作台面高度mm 6656、主轴最大承重Kg 507、工作台最大承重Kg 5008、工作液箱尺寸（长×宽×高）mm 800×1250×6009、工作液箱储油量L 45010、工作液泵最大流量L/min 8011、工作台移动手轮刻度值mm 0.0212、机床最大轮廓尺寸（长×宽×高）mm 1535×1560×230013、主机净重Kg 1500四、产地江苏泰州江苏三星机械制造有限公司。

超精密加工机床的关键部件技术来源：开关柜无线测温 1 引言超精密加工机床的研制开发始于20世纪60年代。

当时在美国因开发激光核聚变实验装置和红外线实验装置需要大型金属反射镜，因而急需开发制作反射镜的超精密加工技术。

以单点金刚石车刀镜面切削铝合金和无氧铜的超精密加工机床应运而生。

1980年美国在世界上首次开发了三坐标控制的M-18AG非球面加工机床，它标志着亚微米级超精密加工机床技术的成熟。

日本的超精密加工机床的研制开发滞后于美国20年。

从1981～1982年首先开发的是多棱体反射镜加工机床，随后是磁头微细加工机床、磁盘端面车床，近来则是以非球面加工机床和短波长X线反射镜面加工机床为主。

德国、荷兰以及中国台湾的超精密加工机床技术也都处于世界先进水平。

我国的超精密加工机床的研制开发工作虽起步比较晚，但经过广大精密工程研究人员的不懈努力，已取得了可喜的成绩。

哈尔滨工业大学精密工程研究所研制开发的HCM-Ⅰ超精密加工机床，主要技术指标达到了国际水平。

国外部分超精密加工机床和HCM-Ⅰ超精密加工机床的性能指标如表1所示。

本文主要论述超精密加工机床的关键部件技术。

表1 国内外典型超精密车床性能指标汇总型号(生产厂家) HCM-Ⅰ(中国哈工大)M-18AG(莫尔特殊机床,美国)Ultraprecision CNCmachine(东芝,日本)UltraprecisionLathe (IPT ，德国)主轴径向跳动(µm)≤0.075≤0.05(500r/min)≤0.048 轴向跳动(µm)≤0.05≤0.05(500r/min)径向刚度(N/µm)220 100轴向刚度(N/µm)160 200导轨Z向(主轴)直线度＜0.2µm/100mm≤0.5µm/230mm0.044µm/80mm X向(刀架)直线度＜0.2µm/100mm≤0.5µm/410mm0.044µm/80mm X、Z向垂直度(")≤1 1重复定位精度(µm)1(全程)0.5(25.4mm)加工工件形面精度(µm)圆度：0.1 平面度：0.3＜0.1(P-V值)0.1表面粗糙度(µm)Ra0.00420.0075(P-V值)Ra0.0020.002～0.005RMS 精度位置反馈系25 2.5 10统分辨率(µm)温控精度≤0.004 ±0.006 ±0.1(℃)隔振系统固≤2 2有频率(Hz)加工范围320 356 650×250(mm)2 主轴系统超精密加工机床的主轴在加工过程中直接支持工件或刀具的运动，故主轴的回转精度直接影响到工件的加工精度。