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管道内壁电镀专利汇总

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电镀方法[发明专利]

电镀方法[发明专利]

[19]中华人民共和国国家知识产权局[12]发明专利申请公布说明书[11]公开号CN 101442006A [43]公开日2009年5月27日[21]申请号200710170952.8[22]申请日2007.11.21[21]申请号200710170952.8[71]申请人中芯国际集成电路制造（上海）有限公司地址201203上海市浦东新区张江路18号[72]发明人聂佳相 [74]专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人逯长明[51]Int.CI.H01L 21/3205 (2006.01)H01L 21/321 (2006.01)H01L 21/768 (2006.01)C25D 7/12 (2006.01)C25D 5/48 (2006.01)权利要求书 2 页 说明书 11 页 附图 7 页[54]发明名称电镀方法[57]摘要本发明公开了一种电镀方法，包括步骤：将待电镀晶片装入电镀设备内；降下所述电镀设备的电极及顶盖，令所述电极及晶片浸入所述电镀设备的电解槽内的电解液中；在所述电极间施加电流；停止在所述电极间施加电流；提起所述电极及顶盖，利用电镀设备内的水管对所述晶片进行冲洗；停止冲洗，对所述晶片进行干燥处理；取出晶片；降下所述顶盖。

采用本发明的电镀方法后，有效降低了电镀后晶片表面的颗粒污染量。

200710170952.8权 利 要 求 书第1/2页 1、一种电镀方法，其特征在于，包括步骤：将待电镀晶片装入电镀设备内；降下所述电镀设备的电极及顶盖，令所述电极及晶片浸入所述电镀设备的电解槽内的电解液中；在所述电极间施加电流；停止在所述电极间施加电流；提起所述电极及顶盖，利用电镀设备内的去离子水管对所述晶片进行冲洗；停止冲洗，对所述晶片进行干燥处理；取出晶片；降下所述顶盖。

2、如权利要求1所述的电镀方法，其特征在于：所述电解液包括硫酸铜。

3、如权利要求1所述的电镀方法，其特征在于：所述水管与所述晶片间的角度在10至15°之间。

一种电镀系统[发明专利]

一种电镀系统[发明专利]

专利名称：一种电镀系统
专利类型：发明专利
发明人：杨洪广,王玮,何长水,袁晓明,郭炜,韩志博,白宪璐,丁卫东
申请号：CN202210194565.2
申请日：20220301
公开号：CN114438573A
公开日：
20220506
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本申请涉及电镀技术领域，公开了一种电镀系统，包括多个电镀工位、储液装置、抽液泵以及稳压装置，多个电镀工位用于容纳电镀液以对待镀工件进行电镀，储液装置与多个电镀工位分别连通，抽液泵连通在储液装置与多个电镀工位之间，稳压装置连通在抽液泵与多个电镀工位之间，用于降低电镀工位中产生的瞬时流阻变化对相邻电镀工位造成的电镀液流速的变化。

通过在电镀系统中设置稳压装置，连通在抽液泵与多个电镀工位之间，能够降低不同电镀工位的待镀工件在安装以及拆卸时，产生的瞬时流阻变化对相邻电镀工位造成的电镀液流速的变化，由此，本申请实施例的电镀系统能够提高电镀环境和电镀液流速的稳定性，进而能够提高待镀工件电镀的均匀性。

申请人：中国原子能科学研究院
地址：102413 北京市房山区新镇三强路1号院
国籍：CN
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管道内壁电镀专利汇总

管道内壁电镀专利汇总
一种滚筒式电镀导电电极
CN201620505697.2
CN205774885U
本实用新型公开了一种滚筒式电镀导电电极,包括导电棒主体、连接头、探头、绝缘包胶层,该滚筒式电镀导电电极,由于导电棒主体为金属棒,且通过连接头将探头连接在导电主体的底端,而导电主体为金属棒,因此使得该滚筒式电镀电极刚性强,在电镀过程中不会受到滚筒滚动而变形和脱离电镀产品,因此始终保证电镀产品能接触到稳定的电流,从而保证了电镀产品质量要求。
适于管件内壁镀覆的电镀设备cn012537195cn2503076一种适于管件内壁镀覆的电镀设备其特征是在电镀槽中还设有至少一个专用于电镀空心管件内壁的辅助阳极装置该辅助阳极装置包括可提供新生镀液的液泵镀液分流管固定连接在分流管各个分流口处的内置式阳极管套接在阳极管外部的绝缘管以及位于阳极管头端的挡头所构成在空心的阳极管上开设有出液孔在绝缘管上也相应开设有小通孔在挡头上还设有小导管与镀液分流管相接通
油管内壁电镀用阳极装置
CN201620516435.6
CN205874566U
本实用新型涉及电镀用阳极装置技术领域,是一种油管内壁电镀用阳极装置,其包括上铜棒、下铜棒、铜连接块、铜电缆和钛管；上铜棒的下端外壁上设置有安装环槽,下铜棒的上端外壁上设置有安装环槽,上铜棒下端外壁上的安装环槽与钛管的上端内壁固定安装在一起,下铜棒上端外壁上的安装环槽与钛管的下端内壁固定安装在一起；在上铜棒、下铜棒和钛管之间形成的空腔内间隔设置有至少两块的铜连接块,铜连接块的直径与钛管的内径相配。本实用新型结构合理而紧凑,本实用新型能有效减轻整个阳极装置的重量,使之不易弯曲,同时能够有效降低阳极装置的制作难度和制作费用,同时保证导电更加均匀,从而保证电镀质量,合格率提高,降低生产成本。
一种不锈钢管内壁室温熔盐镀铝装置及镀铝方法

用于管内壁镀膜的装置及方法[发明专利]

用于管内壁镀膜的装置及方法[发明专利]

(10)申请公布号(43)申请公布日 (21)申请号 201510362876.5(22)申请日 2015.06.26C23C 16/513(2006.01)(71)申请人核工业西南物理研究院地址610041 四川省成都市双流西南航空港黄荆路5号申请人成都理工大学工程技术学院(72)发明人王坤 李建(74)专利代理机构核工业专利中心 11007代理人刘昕宇(54)发明名称用于管内壁镀膜的装置及方法(57)摘要本发明公开了一种用于管内壁镀膜的装置，包括电源和能够插入待镀管内的内电极，内电极为双层结构，内层为导电体，外层为介质层，使用状态下，内电极设置在待镀管内并连接至电源，待镀管由导电材料制成亦连接至电源，通电状态下，在内电极和待镀管之间产生介质阻挡放电，激励气体原料产生等离子体，实现薄膜沉积。

本发明还公开了采用上述用于管内壁镀膜的装置进行管内壁镀膜的方法。

本发明的用于管内壁镀膜的装置及方法，是采用表面带有介质层的内电极与导电的待镀管组成介质阻挡放电结构形式，使发明的装置可以在高气压、甚至在大气压下实现均匀放电，进而利用高频高电压电源激励产生均匀等离子体或相对均匀等离子体，实现金属管内壁薄膜沉积。

(51)Int.Cl.(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请权利要求书1页 说明书3页 附图2页CN 106282973 A 2017.01.04C N 106282973A1.用于管内壁镀膜的装置，其特征在于：包括电源和能够插入待镀管(2)内的内电极(1)，所述内电极(1)为双层结构，内层为导电体(11)，外层为介质层(12)，使用状态下，所述内电极(1)设置在所述待镀管(2)内并连接至所述电源，所述待镀管(2)由导电材料制成亦连接至所述电源，通电状态下，在所述内电极(1)和所述待镀管(2)之间产生介质阻挡放电，激励气体原料产生等离子体，实现薄膜沉积。

2.如权利要求1所述用于管内壁镀膜的装置，其特征在于：所述导电体(11)为石墨、金属或合金。

一种管材电镀设备[发明专利]

一种管材电镀设备[发明专利]

专利名称：一种管材电镀设备
专利类型：发明专利
发明人：雷勋华,李龙祥,李兵,彭亮申请号：CN201910804404.9申请日：20190828
公开号：CN110468438A
公开日：
20191119
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：一种管材电镀设备，包括内部具有化学液的电镀槽及设置在电镀槽内并置于化学液内的管体，管体的内部构成内壁电镀区间，还包括向内壁电镀区间输送化学液的送料装置；所述送料装置包括依次连通的输液管、动力泵及内部具有化学液的化学液池，输液管伸入管体内，输液管侧部设置有若干出液孔，若干出液孔沿输液管的长度方向间隔排布。

本发明送料装置能够向内壁电镀区间输送化学液，保证管体内壁的电镀效果。

申请人：佛山市顺德区捷永电器实业有限公司
地址：528325 广东省佛山市顺德区杏坛镇杏坛工业区科技区九路东6号
国籍：CN
代理机构：佛山市顺为知识产权代理事务所(普通合伙)
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一种电镀工艺[发明专利]

一种电镀工艺[发明专利]

专利名称：一种电镀工艺
专利类型：发明专利
发明人：冯玉武
申请号：CN202010890650.3申请日：20200829
公开号：CN111876800A
公开日：
20201103
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明涉及电镀，更具体的说是一种电镀工艺。

包括以下步骤：步骤一：将待电镀的管状物放置在电镀装置中进行冲洗；步骤二：对所述管状物进行酸活化；步骤三：对所述管状物进行冲洗；步骤四：对所述管状物进行镀铜。

横向放置浸泡时无需过深的溶液；在纵向放置时，摩擦轮Ⅰ的转动使纵向放置的零件旋转，因零件与转盘接触，转盘也随之转动，转盘使得零件更容易在纵向放置时进行自转，进而便于电镀时频率较高的冲洗。

申请人：冯玉武
地址：150026 黑龙江省哈尔滨市道外区景阳街486-2号云鸥汇科技企业孵化器
国籍：CN
代理机构：北京君恒知识产权代理有限公司
代理人：夏正付
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一种包围式流道的电镀产品[实用新型专利]

专利名称：一种包围式流道的电镀产品专利类型：实用新型专利
发明人：贺海彪
申请号：CN201822278772.8
申请日：20181231
公开号：CN209493642U
公开日：
20191015
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本实用新型提供一种包围式流道的电镀产品，包括流道组件和两个产品，流道组件包括进胶流道、包围流道和连接流道，连接流道连接在进胶流道和包围流道之间，包围流道围绕形成产品放置腔，连接流道位于产品放置腔的中部，连接流道将产品放置腔分隔呈两个产品分腔室，包围流道在朝向电流方向上游侧设置有端部平面，包围流道在端部平面的两侧设置弧形导流面，产品放置在产品分腔室内，产品呈条型延伸设置，产品在朝向电流方向上游侧的端部设置有弧形外表面，产品在弧形外表面的两侧朝内设置有装配台阶，端部平面与弧形外表面在电流方向错开，弧形导流面与装配台阶相对。

通过形导流面使产品侧面的装配台阶表面受到较均匀的电镀。

申请人：珠海市春生五金工业有限公司
地址：519050 广东省珠海市南水镇春生路6号
国籍：CN
代理机构：珠海智专专利商标代理有限公司
代理人：黄国豪
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一种内外电镀镍磷合金煤枪的制造方法
CN201410448031.3
CN105386104A
本发明涉及一种内外电镀镍磷合金煤枪的制造方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤,1)对枪体进行预镀镍；2)对枪体进行电镀处理；3)对镀件进行热处理,完成强化煤枪的制作。该方法工艺简单,成本较低,并且保证了电镀液成分的均匀性。
内腔电镀连续生产设备
CN201520785357.5
CN205062213U
本实用新型公开了一种内腔电镀连续生产设备,包括工作台、夹具、槽体、循环装置、整流器、控制系统；所述槽体、循环装置、控制系统位于工作台下方；所述夹具、整流器位于工作台上方,执行机构和辅助阳极与夹具上盖相连；槽液通过循环泵以下进上出形式通过工件内腔,自动完成前处理、电镀、镀后清洗等工序。本设备满足内腔电镀工艺要求,实现连续生产,生产效率和槽液利用率大幅提高,节水效果明显,可有效降低挥发性气体引起的环境污染和人员伤害,设备结构紧凑,移动方便,适用性广。
摆转式长管内壁电镀方法及其电镀设备
CN201510405920.6
CN105002539A
本发明公开了一种摆转式长管内壁电镀方法及其电镀设备,其电镀工艺步骤如下：将内阳极由待电镀的阴极长管中穿过,将阴极长管两端分别连接在进液接头和出液接头上,将进液接头和出液接头分别与储液槽相通；将内阳极两端分别固定在进液接头和出液接头上,再将内阳极一端和阴极长管外壁分别与电源正、负极通过软导线相连；通过进液接头上的进液口和出液接头上的出液口向阴极长管内循环注入电镀溶液,并使电镀溶液充满阴极长管内腔；启动电源,通过摆转机构带动阴极长管和内阳极往复摆转,在阴极长度内壁形成电镀层。有益效果是：无需再设置回收槽,镀层厚度均匀,保证电镀质量,并极大简化了设备的输液、送电机构。
气缸内壁电镀镍-碳化硅工艺
CN91107925.4
CN1072466
本发明涉及一铝合金气缸内壁电镀工艺,气缸内壁经除油、浸蚀、阳极化后进行镍－碳化硅的复合电镀。在常规的镀镍溶液中加入碳化硅,通过电沉积得到镍－碳化硅复合镀层。其工艺简单,操作容易,生产效率高,所得到的镀层硬度高,耐磨性能好,大大提高了气缸的使用寿命,是一种理想的铝合金气缸内壁处理工艺。
一种抽油泵筒内壁活塞式镀铬专用电镀铅锡阳极
CN201510394851.3
CN106319610A
一种抽油泵筒内壁活塞式镀铬专用电镀铅锡阳极,它包括圆钢芯棒,圆钢芯棒上电镀有铅锡层,上支撑四氟套和下支撑四氟套分别固定连接在镀有铅锡层的圆钢芯棒的上下两端。所述的上支撑四氟套和下支撑四氟套侧面加工为四个均匀分布的弧形突起,所述的上支撑四氟套上下表面打磨为第一圆弧状结构,并且相对向外突出,所述的下支撑四氟套上表面打磨为第二圆弧状结构,下部加工为圆锥状结构。本发明一种抽油泵筒内壁活塞式镀铬专用电镀铅锡阳极,不仅使铅锡层致密性很好,导电性能强,还可以在抽油泵筒内壁上下移动,提高电镀质量,更能重复加工使用,延长阳极的使用寿命,节约成本。
一种滚筒式电镀导电电极
CN201620505697.2
CN205774885U
本实用新型公开了一种滚筒式电镀导电电极,包括导电棒主体、连接头、探头、绝缘包胶层,该滚筒式电镀导电电极,由于导电棒主体为金属棒,且通过连接头将探头连接在导电主体的底端,而导电主体为金属棒,因此使得该滚筒式电镀电极刚性强,在电镀过程中不会受到滚筒滚动而变形和脱离电镀产品,因此始终保证电镀产品能接触到稳定的电流,从而保证了电镀产品质量要求。
油管内壁电镀用阳极装置
CN201620516435.6
CN205874566U
本实用新型涉及电镀用阳极装置技术领域,是一种油管内壁电镀用阳极装置,其包括上铜棒、下铜棒、铜连接块、铜电缆和钛管；上铜棒的下端外壁上设置有安装环槽,下铜棒的上端外壁上设置有安装环槽,上铜棒下端外壁上的安装环槽与钛管的上端内壁固定安装在一起,下铜棒上端外壁上的安装环槽与钛管的下端内壁固定安装在一起；在上铜棒、下铜棒和钛管之间形成的空腔内间隔设置有至少两块的铜连接块,铜连接块的直径与钛管的内径相配。本实用新型结构合理而紧凑,本实用新型能有效减轻整个阳极装置的重量,使之不易弯曲,同时能够有效降低阳极装置的制作难度和制作费用,同时保证导电更加均匀,从而保证电镀质量,合格率提高,降低生产成本。
异型无缝钢管或圆形钢管内孔电镀专用装置
CN201610179823.4
CN105648508A
异型无缝钢管或圆形钢管内孔电镀专用装置,涉及内孔电镀专用装置,异型无缝钢管或圆形钢管内孔电镀专用装置,其特征在于,所述装置包括吊架、上推进机构、上自动定心机构、上夹紧机构、阳极、下夹紧机构、下自动定心机构、下推进机构和底架；吊架横梁由一块长矩形板和两块短矩形板焊接成一个工字形状,每块短矩形板上通过圆柱铣刀铣有四个槽,横梁通过螺栓连接水平安装在立柱的中部的矩形板上。该装置使异型无缝钢管或圆形钢管内孔和阳极自动对中的电镀用专用工装,该电镀用专用工装能够保证一批工件对中精度的稳定性,提高对中精度水平,提高劳动生产率,降低生产成本,降低工人劳动强度及对工人的技术等级要求。
钢管的电镀装置
CN201480067287.8
CN105980608A
电镀装置(1)用于对形成于钢管(20)的管端部(20a)的内螺纹(20b)实施电镀。电镀装置(1)包括管内密封构件(2)、罩(3)、排液口(3c)、开口(3b)、筒状的不溶性阳极(4)、电镀液供给管(5a)以及多个喷嘴(5b)。密封构件(2)用于将钢管(20)的内部在比内螺纹(20b)的区域靠长度方向上的内侧的位置分隔开。罩(3)安装于管端部(20a)。排液口(3c)用于将罩(3)内的电镀液排出。开口(3b)用于促进罩(3)内的电镀液的排出。阳极(4)配置于管端部(20a)的内部。供给管(5a)自阳极(4)的顶端突出。喷嘴(5b)向阳极(4)的外周面与管端部(20a)的内周面之间喷出电镀液。阳极(4)具有电镀液不进入到内部的构造。
碱性锌酸盐镀液、电镀方法及电镀锌镍合金的长钢管
CN200510086235.8
CN1746337
本发明涉及一种长钢管碱性电镀锌镍合金采用的碱性锌酸盐镀液,包括：氧化锌(ZnO),8～12克/升；氢氧化钠(NaOH),80～140克/升；硫酸镍(NiSO4·6H2O),8～10克/升；N2-918A添加剂,4～6毫升/升；N2-918B添加剂,2～4毫升/升；N2-918C添加剂,50～70毫升/升。本发明还公开了钢管电镀锌镍合金的方法,包括对钢管进行除油、清洗；装内阳极；电镀锌镍合金；卸内阳极；清洗、自然晾干工序,使用上述碱性锌酸盐镀液,采用压延锌板作阳极。该方法尤其适用于结构复杂的长钢管,镀层均匀,镀层中镍含量在10％左右,其耐蚀性是同等厚度锌镀层的2.8倍,硬度是同等厚度锌镀层的1.9倍。
一种发动机铝合金汽缸内壁强化电镀工艺
CN201310589202.X
CN104651891A
本发明公开了一种发动机铝合金汽缸内壁强化电镀工艺,解决了现有技术的发动机铝合金汽缸内壁Ni-SiC复合电镀所存在的电镀后镀层易产生裂纹,汽缸内壁与复合镀层之间的结合强度差的问题,主要包括以下步骤：(1)内壁除油；(2)一次水洗；(3)微蚀；(4)二次水洗；(5)酸蚀；(6)三次水洗；(7)一次活化；(8)二次活化；(9)电镀；(10)四次水洗；(11)烘干。本发明工艺步骤简单,能在汽缸内壁形成一层高硬度的复合镀层,大大提高汽缸内壁与复合镀层之间的结合强度以及汽缸内壁的耐磨性能。
摆转式长管内壁电镀设备
CN201520501372.2
CN204918806U
本实用新型公开了一种摆转式长管内壁电镀设备,包括贯穿阴极长管的内阳极,内阳极一端通过软导线连接电源正极,阴极长管通过软导线连接电源负极；进液接头和出液接头分别密封连接在阴极长管的两端,所述内阳极两端分别穿过进液接头和出液接头且与进液接头和出液接头密封连接；进液软管和出液软管分别连接进液接头的进液口和出液接头的出液口,进液软管和出液软管的外端分别接到储液槽内,在进液软管端部设有泵体或过滤机；用于将储液槽内的电镀溶液增压后抽入阴极长管内；还设有摆转机构,用于带动阴极长管在设定角度范围内往复转动。有益效果是：无需再设置回收槽,镀层厚度均匀,保证电镀质量,并极大简化了设备的输液、送电机构。
一种不锈钢管内壁室温熔盐镀铝装置及镀铝方法
CN201510078369.9
CN104694984A
本发明公开了一种不锈钢管内壁室温熔盐镀铝装置及镀铝方法。第一储液容器中出液管经第一个三通阀后,无镀液的一路经第三个三通阀与第二储液容器连接,有镀液的一路经机械泵、第一个三通与第一接头盒连接；第一储液容器中进液管经第二个三通阀后,无镀液的一路经第四个三通阀与第二储液容器连接,有镀液的一路经第二个三通与第二接头盒连接,第一储液容器外部缠绕加热带；接头盒间安装待镀管道,待镀管道内安装铝丝,正、负极分别接铝丝和待镀管道。对钢管内壁进行清洗安装后,选择镀液组成,控制镀铝的电流密度,镀液流量,温度,镀覆时间,阴、阳极间距进行镀铝,最后对钢管进行镀后清洗。实现在大气气氛下,细长不锈钢管内壁的室温熔盐镀铝。
专利名称
申请号
公开号
摘要
一种电镀线路板通孔盲孔的电镀液及电镀方法
CN201510970791.5
CN105441993A
本发明公开了一种电镀线路板通孔盲孔的电镀液,包括以下组分：五水硫酸铜160～180g/L,硫酸20～50g/L,氯离子0.05～0.07g/L,加速剂0.5～1.5g/L,抑制剂7～30g/L,整平剂10～30g/L,余量为水。本发明提供的电镀液,可用于线路板通孔和盲孔的电镀,特别是可以实现电路板上一槽内通孔盲孔的同时填孔电镀,减少电镀工序,提高生产效率。
真空开关管孔形零件电镀挂具
CN201521134214.4
CN205313695U
一种孔型零件电镀的过程中,可提高电镀质量、降低电镀成本、更换操作省时省力的真空开关管孔形零件电镀挂具,包括紫铜板弯折成的倒U型挂具本体,在所述挂具本体的顶端设有弧形凸起,在所述挂具本体的两个腰上分别设有竖直布置的挂孔,在所述挂孔内安装有挂钩,且在挂具本体的腰上套有与各个挂钩对应的热缩管。