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在钢件表面沉积TiC层 将Ti以挥发性TiCl4形式与气态或蒸气态的 碳氢化合物一起送入高温的真空反应室,用氢 气作为载体气和稀释剂,即会在反应室内钢件 表面上发生化学反应:
TiCl 4 +CH 4 + H 2 → TiC + 4HCl ↑ + H 2 ↑
TiC被沉积在工件的表面.
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火焰喷涂是利用气体燃烧火焰的高温将喷 涂材料(金属丝或粉末)熔化,并用压缩空气 流将它以很高的速度喷射到工作表面上,形成 涂层.
粉斗
C2H2 O2
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二,涂层结构
热喷涂过程中,最先冲击到工件 表面的颗粒变形为扁平状,与工件表 面凹凸不平处产生机械咬合. 后来的颗粒打在先行颗粒的表面 上也变为扁平状,并产生机械结合, 逐渐堆积成涂层.
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10.2 激光束,离子束及电子束技术 激光束,
一,激光束表面合金化
激光束的特点 高的方向性; 高亮度性; 高单色性.
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预先通过蒸发,溅射, 涂敷或喷涂的方法在金 属工件表面上附着一层 合金元素表面膜 受到激光束照射时,表 面膜及工件浅表层熔化 并迅速凝固成具有特殊 成分和性能的合金化表 层.
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CVD法的主要特点
可沉积各种晶态或非晶态无机薄膜材料; 沉积层纯度高,与基体结合力强; 沉积层致密,气孔少; 均镀性好; 设备及工艺操作较简单; 反应温度较高,1000℃以上,限制了其应用.
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二,物理气相沉积
物理气相沉积(Phsical Vapour Deposition) 是气态物质在工件表面直接沉积成固体薄膜的 过程,常称PVD法. PVD有三种基本方法 真空蒸镀 溅射镀膜 离子镀