半导体英文名词解释
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半导体ar名词解释半导体(Semiconductor)是一种起关键作用的物质,常用于电子器件的制造过程中。
它具有介于导体和绝缘体之间的导电性能,可以根据外部电场和电流进行调控。
半导体材料由于其独特的电性能和可控性,被广泛应用于各种电子设备和技术中。
半导体的电子特性来源于其晶体结构。
在半导体内部,原子被安排成特定的晶格结构,其中原子之间形成了共价键。
共价键是由原子的价电子(最外层的电子)共享而形成的,它们对电流的流动具有阻碍作用。
然而,当半导体获得能量,如温度升高或受到外部电场的作用时,一部分共价键中的电子会被激发到导带上,形成自由电子。
此时,半导体就具有了导电性。
半导体的导电性质也可以通过杂质(施主和受主)来调控。
杂质是在半导体晶体中插入的少量杂原子。
施主杂质通常是具有比半导体原子价电子数更多的元素,如磷(P)或砷(As),它们会在半导体晶格中替代原子的位置。
由于这些施主杂原子可以提供更多的自由电子,所以它们被称为N型材料,即负性半导体。
相反,受主杂质通常是具有比半导体原子价电子数更少的元素,如硼(B)或铝(Al),它们会在半导体晶格中替代原子的位置。
这些受主杂原子可以吸引和俘获自由电子,因此被称为P型材料,即正性半导体。
半导体材料的独特性质使其成为现代电子器件的核心组成部分。
例如,大多数计算机芯片和集成电路板都是基于半导体材料制造的。
在这些设备中,半导体器件(如晶体管)被用于控制和放大电流,实现逻辑运算、存储和通信等功能。
半导体还用于制造太阳能电池、光电二极管、激光器、发光二极管和传感器等各种光电子器件。
此外,半导体在通信、汽车、医疗器械和航空航天等领域中也扮演着重要角色,促进了现代社会和科技的发展与进步。
在半导体技术的发展过程中,人们不断研究和探索着新的半导体材料和制造方法。
例如,砷化镓(GaAs)、氮化硅(Si3N4)、氮化镓(GaN)等宽禁带半导体材料的应用正在逐渐增加。
同时,纳米技术和量子技术的发展也为半导体技术的进一步突破提供了新的可能性。
半导体(semiconductor),指常温下导电性能介于导体(conductor)与绝缘体(insulator)之间的材料。
半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。
如二极管就是采用半导体制作的器件。
半导体是指一种导电性可受控制,范围可从绝缘体至导体之间的材料。
无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的。
今日大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连。
常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等,而硅更是各种半导体材料中,在商业应用上最具有影响力的一种。
半导体的发现实际上可以追溯到很久以前。
1833年,英国科学家电子学之父法拉第最先发现硫化银的电阻随着温度的变化情况不同于一般金属,一般情况下,金属的电阻随温度升高而增加,但巴拉迪发现硫化银材料的电阻是随着温度的上升而降低。
这是半导体现象的首次发现。
不久,1839年法国的贝克莱尔发现半导体和电解质接触形成的结,在光照下会产生一个电压,这就是后来人们熟知的光生伏特效应,这是被发现的半导体的第二个特征。
1873年,英国的史密斯发现硒晶体材料在光照下电导增加的光电导效应,这是半导体又一个特有的性质。
半导体的这四个效应,(jianxia霍尔效应的余绩──四个伴生效应的发现)虽在1880年以前就先后被发现了,但半导体这个名词大概到1911年才被考尼白格和维斯首次使用。
而总结出半导体的这四个特性一直到1947年12月才由贝尔实验室完成。
在1874年,德国的布劳恩观察到某些硫化物的电导与所加电场的方向有关,即它的导电有方向性,在它两端加一个正向电压,它是导通的;如果把电压极性反过来,它就不导电,这就是半导体的整流效应,也是半导体所特有的第三种特性。
同年,舒斯特又发现了铜与氧化铜的整流效应。
很多人会疑问,为什么半导体被认可需要这么多年呢?主要原因是当时的材料不纯。
没有好的材料,很多与材料相关的问题就难以说清楚。
半导体行业英文术语English:Some common terms in the semiconductor industry include:1. Integrated Circuit (IC): A small electronic device made out of a semiconductor material that can perform an extensive range of functions.2. Semiconductor manufacturing: The process of creating integrated circuits and semiconductor devices, including design, fabrication, and packaging.3. Wafer: A thin slice of semiconductor material used as the substrate for the fabrication of integrated circuits.4. Photolithography: A process used to transfer circuit patterns onto the wafer surface using light and photoresist materials.5. Die: A single piece of an integrated circuit, typically cut from a wafer after fabrication and packaging.6. Yield: The percentage of functional and operational semiconductor devices produced during the manufacturing process.7. Moore's Law: The observation that the number of transistors in a dense integrated circuit doubles approximately every two years, leading to exponential growth in processing power.8. Quantum tunneling: A phenomenon in which electrons penetrate through a potential barrier they classically shouldn't be able to cross, crucial for the operation of semiconductor devices.中文翻译:半导体行业的一些常见术语包括:1. 集成电路(IC):由半导体材料制成的小型电子器件,可执行广泛的功能。
半导体词汇(英汉对照)1. 半导体:semiconductor2. 晶体管:transistor3. 二极管:diode4. 集成电路:integrated circuit5. 电容:capacitor8. 金属氧化物场效应管:Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor (MOSFET)9. 数字信号处理器:Digital Signal Processor (DSP)10. 有机发光二极管:Organic Light-Emitting Diode (OLED)11. 光纤放大器:Optical Fiber Amplifier (OFA)12. 直流-直流变换器:DC-DC Converter13. 脉冲编码调制:Pulse Code Modulation (PCM)14. 光耦合器:Optocoupler15. 调制解调器:Modem16. 电池管理系统:Battery Management System (BMS)17. 片上系统:System-on-a-Chip (SoC)18. 功率电子器件:Power Electronics Device20. 纳米技术:Nanotechnology21. 生物芯片:Biochip23. 激光器:Laser24. 双极型发射极晶体管:Bipolar Junction Transistor (BJT)28. 传感器:Sensor29. 能量收集器:Energy Harvester30. 固态驱动器:Solid State Drive (SSD)31. 磁性存储设备:Magnetic Storage Device32. 屏幕显示器:Display33. 快速门:Fast Gate35. 超高速芯片:Ultra-High-Speed Chip38. 量子计算机:Quantum Computer40. 机器人学:Robotics41. 表面声波器件:Surface Acoustic Wave (SAW) Device45. 长寿命电池:Long-Life Battery46. 红外光电探测器:Infrared Photodetector47. 树莓派:Raspberry Pi48. 可充电电池:Rechargeable Battery49. 无线充电器:Wireless Charger51. 控制电路:Control Circuit53. 逆变器:Inverter55. 拓扑优化器:Topology Optimizer57. 智能家居:Smart Home58. 传输线理论:Transmission Line Theory60. 片上调制器:On-Chip Modulator61. 内存芯片:Memory Chip63. 线性电源:Linear Power Supply64. 电机驱动器:Motor Driver66. 相变存储器:Phase-Change Memory (PCM)68. 氮化镓:Gallium Nitride (GaN)69. 自动驾驶:Autonomous Driving72. 机器学习:Machine Learning77. 差分信号:Differential Signal78. 相位锁定环:Phase Locked Loop (PLL)80. 峰值检测器:Peak Detector84. 相移器:Phase Shifter88. 滤波器:Filter91. 直流伏安表:Digital Multimeter (DMM)92. 频率计:Frequency Counter93. 降噪耳机:Noise-Canceling Headphones94. 耳返系统:In-Ear Monitoring (IEM) System95. 电学模型:Electrical Model97. 声音芯片:Audio Chip98. 跟踪器:Tracker。
1. 何谓PIE? PIE的主要工作是什幺?答:Process Integration Engineer(工艺整合工程师), 主要工作是整合各部门的资源, 对工艺持续进行改善, 确保产品的良率(yield)稳定良好。
2. 200mm,300mm Wafer 代表何意义?答:8吋硅片(wafer)直径为 200mm , 直径为 300mm硅片即12吋.3. 目前中芯国际现有的三个工厂采用多少mm的硅片(wafer)工艺?未来北京的Fab4(四厂)采用多少mm的wafer工艺?答:当前1~3厂为200mm(8英寸)的wafer, 工艺水平已达0.13um工艺。
未来北京厂工艺wafer将使用300mm(12英寸)。
4. 我们为何需要300mm?答:wafer size 变大,单一wafer 上的芯片数(chip)变多,单位成本降低200→300 面积增加2.25倍,芯片数目约增加2.5倍5. 所谓的0.13 um 的工艺能力(technology)代表的是什幺意义?答:是指工厂的工艺能力可以达到0.13 um的栅极线宽。
当栅极的线宽做的越小时,整个器件就可以变的越小,工作速度也越快。
6. 从0.35um->0.25um->0.18um->0.15um->0.13um 的technology改变又代表的是什幺意义?答:栅极线的宽(该尺寸的大小代表半导体工艺水平的高低)做的越小时,工艺的难度便相对提高。
从0.35um -> 0.25um -> 0.18um -> 0.15um -> 0.13um 代表着每一个阶段工艺能力的提升。
7. 一般的硅片(wafer)基材(substrate)可区分为N,P两种类型(type),何谓 N, P-type wafer?答:N-type wafer 是指掺杂 negative元素(5价电荷元素,例如:P、As)的硅片, P-type 的wafer 是指掺杂 positive 元素(3价电荷元素, 例如:B、In)的硅片。
半导体行业术语半导体行业术语是指用于描述和解释半导体及相关技术的术语和术语缩略语。
以下是一些常见的半导体行业术语及其参考解释。
1. 半导体(Semiconductor)- 指的是电导介于导体和绝缘体之间的固态材料,通常是以硅(Si)或镓(Ga)为主要成分,用于制造电子器件。
2. 集成电路(Integrated Circuit,IC)- 也被称为芯片,是将数十亿个晶体管、电阻器、电容器和其他电子元件集成到一块半导体晶片上的技术。
3. MOSFET(Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor)- MOSFET是一种常用的场效应晶体管,通过控制栅电压来调节源极电流。
4. CMOS(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor)- CMOS是一种基于nMOS(n沟道金属-氧化物-半导体)和pMOS(p沟道金属-氧化物-半导体)技术的集成电路制造技术。
5. MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)- MEMS是一种将微机械系统与电子技术相结合的技术,包括制造微型传感器、执行器和微型结构等。
6. 晶圆(Wafer)- 指的是在半导体制造过程中用于制作芯片的圆形硅片。
晶圆上会进行刻蚀、沉积、光刻等工艺。
7. 工艺(Process)- 指的是制造半导体器件所需的一系列步骤和工作流程,包括光刻、刻蚀、沉积、清洗等。
8. 掩膜(Mask)- 掩膜用于光刻工艺,上面有设计好的图案,通过光刻暴光制造电路芯片的图案。
9. Doping(掺杂)- 在半导体材料中引入杂质,以调整材料的导电性能。
常见的掺杂剂包括硼、磷、砷等。
10. 渗透磁场(Permeable Magnetic Field)- 渗透磁场是指在磁性材料的边界上产生的特殊磁场,常用于磁传感器和存储器中。
11. 氮化镓(Gallium Nitride,GaN)- 氮化镓是一种半导体材料,具有高电子流动性和较大的能隙,适用于高功率电子器件的制造。
半导体行业的英单词和术语1. Semiconductor(半导体):指一种导电性能介于导体和绝缘体之间的材料,广泛应用于电子器件中。
3. Integrated Circuit(集成电路):简称IC,将大量的微小电子元件(如晶体管、电阻、电容等)集成在一块半导体芯片上。
4. Transistor(晶体管):一种半导体器件,具有放大信号和开关功能,是现代电子设备的基础组件。
5. Diode(二极管):一种具有单向导通特性的半导体器件,常用于整流、稳压等电路。
6. MOSFET(金属氧化物半导体场效应晶体管):一种常见的晶体管类型,广泛应用于放大器和开关电路。
7. CMOS(互补金属氧化物半导体):一种集成电路技术,采用NMOS和PMOS晶体管组合,具有低功耗、高集成度等优点。
8. Wafer(晶圆):指经过切割、抛光等工艺处理的半导体材料,用于制造集成电路。
9. Photolithography(光刻):在半导体制造过程中,利用光刻技术将电路图案转移到晶圆上的过程。
10. Etching(刻蚀):在半导体制造过程中,通过化学反应或物理方法去除晶圆表面不需要的材料。
11.掺杂(Doping):在半导体材料中引入其他元素,以改变其导电性能。
12. Chip(芯片):指经过封装的集成电路,是电子设备的核心组成部分。
13. PCB(印刷电路板):一种用于支撑和连接电子元件的板材,上面布满了导电线路。
14. Moore's Law(摩尔定律):指集成电路上可容纳的晶体管数量大约每两年翻一番,预测了半导体行业的发展趋势。
15. EDA(电子设计自动化):指利用计算机软件辅助设计电子系统,包括电路设计、仿真、验证等环节。
16. Foundry(代工厂):专门为其他公司生产半导体芯片的企业。
17. Semiconductor Equipment Manufacturer(半导体设备制造商):为半导体行业提供生产设备的公司。
芯片行业常用英文术语最详细总结在当今信息时代,芯片产业扮演着至关重要的角色。
无论是计算机、手机、汽车还是物联网设备,芯片无处不在。
而要深入了解芯片产业,首先需要了解其中常用的英文术语。
本文将从浅入深,为您详细总结芯片行业常用的英文术语,帮助您更全面地理解这一领域。
1. Integrated Circuit (IC)Integrated Circuit,即集成电路,是芯片行业最基本的术语之一。
它指的是在一个小块半导体材料上集成了大量传统电路元件的一种电子元件。
IC的发明极大地推动了电子技术的进步,是现代电子产品的基础。
2. Semiconductor半导体是指导电性介于导电体和绝缘体之间的材料。
在芯片行业中,半导体材料被广泛应用于制造集成电路等电子元件。
要理解芯片行业,对半导体的特性和应用有深入了解是至关重要的。
3. Microprocessor微处理器是一种包含了中央处理器功能的集成电路。
它是电子设备的大脑,负责执行计算机程序中的指令。
微处理器的性能直接影响着设备的运行速度和处理能力。
4. Semiconductor Memory半导体存储器是一种能够存储数据的半导体器件。
在芯片行业中,常见的半导体存储器包括随机存取存储器(RAM)和只读存储器(ROM),它们在计算机和其他电子设备中被广泛应用。
5. Field-Programmable Gate Array (FPGA)现场可编程门阵列是一种基于半导体技术的可编程逻辑器件。
它可以根据用户的需要进行重新编程,具有灵活性和可重构性的特点,被广泛应用于数字电路设计和信号处理领域。
6. System on a Chip (SoC)片上系统是一种集成了多个功能模块的芯片。
它包括了处理器核心、存储器、输入输出接口等多个组件,能够实现多种功能。
SoC的出现极大地提高了电子设备的集成度和性能。
7. Semiconductor Manufacturing半导体制造是芯片行业的基础,它涉及到原料的提纯、器件的制造和芯片的封装测试等多个环节。
1)Acetone 丙酮丙酮是有机溶剂的一种,分子式为CH3COCH3性质:无色,具剌激性薄荷臭味的液体用途:在FAB内的用途,主要在于黄光室内正光阻的清洗、擦拭毒性:对神经中枢具中度麻醉性,对皮肤粘膜具轻微毒性,长期接触会引起皮肤炎,吸入过量的丙酮蒸气会刺激鼻、眼结膜、咽喉粘膜、甚至引起头痛、恶心、呕吐、目眩、意识不明等。
允许浓度:1000ppm2)Active Area 主动区域MOS核心区域,即源,汲,闸极区域3)AEI蚀刻后检查(1)AEI 即After Etching Inspection,在蚀刻制程光阻去除、前反光阻去除后,分别对产品实施主检或抽样检查。
(2)AEI的目的有四:提高产品良率,避免不良品外流。
达到品质的一致性和制程的重复性。
显示制程能力的指标。
防止异常扩大,节省成本(3)通常AEI检查出来的不良品,非必要时很少做修改。
因为重去氧化层或重长氧化层可能造成组件特性改变可靠性变差、缺点密度增加。
生产成本增高,以及良率降低的缺点。
4)A l-Cu-Si 铝硅铜金属溅镀时所使用的原料名称,通常是称为Target,其成份为0.5%铜,1%硅及98.5%铝,一般制程通常是使用99%铝1%硅.后来为了金属电荷迁移现象(Electromigration) 故渗加0.5%铜降低金属电荷迁移5)A lkaline Ions 碱金属雕子如Na+,K+,破坏氧化层完整性,增加漏电密度,减小少子寿命,引起移动电荷,影响器件稳定性。
其主要来源是:炉管的石英材料,制程气体及光阻等不纯物。
6)A lloy 合金半导体制程在蚀刻出金属连线后,必须加强Al与SiO2间interface的紧密度,故进行Alloy步骤,以450℃作用30min,增加Al与Si的紧密程度,防止Al层的剥落及减少欧姆接触的电阻值,使RC的值尽量减少。
7)A luminum 铝一种金属元素,质地坚韧而轻,有延展性,容易导电。
普遍用于半导体器件间的金属连线,但因其易引起spike及Electromigration,故实际中会在其中加入适量的Cu或Si 8)A nneal 回火又称退火:也叫热处理,集成电路工艺中所有的在氮气等不活泼气氛中进行的热处理过程都可以称为退火。
a)激活杂质:使不在晶格位置上的离子运动到晶格位置,以便具有电活性,产生自由载流子,起到杂质的作用。
b)消除损伤:离子植入后回火是为了修复因高能加速的离子直接打入芯片而产生的损毁区(进入底材中的离子行进中将硅原子撞离原来的晶格位置,致使晶体的特性改变)。
而这种损毁区,经过回火的热处理后即可复原。
这种热处理的回火功能可利用其温度、时间差异来控制全部或局部的活化植入离子的功能c)氧化制程中的回火主要是为了降低界面态电荷,降低SiO2的晶格结构退火方式:➢炉退火➢快速退火:脉冲激光法、扫描电子束、连续波激光、非相干宽带频光源(如卤光灯、电弧灯、石墨加热器、红外设备等)9)Angstrom 埃(Å)是一个长度单位,1Å=10-10米,其大小为1公尺的佰亿分之一,约人的头发宽度的伍拾万分之一。
此单位常用于IC制程上,表示膜层(如SiO2,POL Y,SIN‥)厚度时用10)Argon 氩气11)Arc Chamber 弧光反应室弧光反应室,事实上就是一个直流式的电浆产生器。
因为所操作的电流-对-电压的区域是在弧光电浆内。
12)APM( Ammonia , hydrogen-Peroxide Mixing )又称SC-1 ( Standard Cleaning solution - 1 )主要化学试剂是NH4OH/H2O2/D.I .water,常用比率为1:1:6。
能有效去处除无机颗粒,有机沉淀及若干金属玷污,去除颗粒能力随NH4OH增加而增加。
13)Backing Pump 辅抽泵在高真空系统中,要想很快建立我们所需的高真空,单纯靠高真空泵是不行的(因高真空泵启动时系统必须已经在低真空条件下),所以我们在系统中加入一个辅抽泵(如油泵),先对系统建立初真空,再由高真空泵对系统建立高真空。
14)Bake, Soft bake, Hard bake烘培、软烤、预烤烘烤(Bake):在集成电路芯片的制造过程中,将芯片置于稍高温(60ºC~250ºC)的烘箱或热板上均可谓之烘烤。
随其目的不同,可区分为软烤(Soft bake)与预烤(Hard bake)。
软烤(Soft bake) :其使用时机是在上完光阻后,主要目的是为了将光阻中的溶剂蒸发去除,并且可增加光阻与芯片的附着力。
预烤(Hard bake):又称为蚀刻前烘烤(pre-etch bake),主要目的为去除水气,增加光阻附着性,尤其在湿蚀刻(wet etching)更为重要,预烤不完全常会造成过蚀刻。
15)Barrier Layer 阻障层为了防止铝合金与硅的的接触界面发生尖峰(spiking)现象,并降低彼此的接触电阻,在铝合金与硅之间加入一层称为阻障层的导体材料,常见的有Ti/TiN及TiW。
16)BB :Bird's Beak 鸟嘴在用Si3N4作为掩膜制作field oxide时,在Si3N4覆盖区的边缘,由于氧或水气会透过Pad Oxide Layer扩散至Si-Substrate表面而形成SiO2,因此Si3N4边缘向内会产生一个鸟嘴状的氧化层,即所谓的Bird's Beak。
其大小与坡度可由改变Si3N4与Pad Oxide 的厚度比及Field Oxidation的温度与厚度来控制17)Boat 晶舟Boat原意是单木舟。
在半导体IC制造过程中,常需要用一种工具作芯片传送及加工,这种承载芯片的工具,我们称之为Boat。
一般Boat有两种材质,一是石英(Quartz),另一碳化硅(SiC)。
SiC Boat用在温度较高(Drive in)及LPSiN的场合。
SiC BoatQuartz Boat18)BOE(Buffer Oxide Etching)B. O. E.是HF与NH4F依不同比例混合而成。
6:1 BOE蚀刻即表示HF: NH4F =l:6的成份混合而成。
HF为主要的蚀刻液,NH4F则做为缓冲剂使用。
利用NH4F固定[H']的浓度,使之保持一定的蚀刻率。
HF会侵蚀玻璃及任何硅石的物质,对皮肤有强烈的腐蚀性,不小心被溅到,应用大量冲洗。
19)Boundary Layer 边界层假设流体在芯片表面流速为零,则流体在层流区及芯片表面将有一个流速梯度存在,称为边界层(Boundary Layer)20)BPSG(boron-phosphor-silicate-glass)BPSG : 为硼磷硅玻璃,含有B,P元素的SiO2 , 加入B,P可以降低Flow 温度,并且P吸附一些杂质离子,流动性比较好,作为ILD的平坦化介质。
21)Breakdown Voltage 崩溃电压左图是一个典型PN二极管的电流对电压曲线,因为只有在加正向电压时才导通,但假若施加的反向电压太高且超过一特定临界值时,反向电流将急剧上升,这个现象称为电崩溃。
而使崩溃现象发生的临界电压称为崩溃电压,如图中的V BD22)Buffer Layer 缓冲层通常此层沉积于两个热膨胀系数相差较大的两层之间,缓冲两者因直接接触而产生的应力作用。
我们制程最常见的缓冲层即SiO2,它用来缓冲SiN4与Si直接接触产生的应力,从而提升Si3N4对Si表面附着能力23)C1 cleanClean的一种制程,它包括DHF(稀释HF)---APM(NH4OH-H2O2-H2O mixed)---HPM (HCl-H2O2-H2O mixed)24)Burn in预烧试验「预烧」(Burn in)为可靠性测试的一种,旨在检验出那些在使用初期即损坏的产品,而在出货前予以剔除。
预烧试验的作法,乃是将组件(产品)置于高温的环境下,加上指定的正向或反向的直流电压,如此残留在晶粒上氧化层与金属层的外来杂质离子或腐蚀性离子将容易游离而使故障模式(Failure Mode)提早显现出来,达到筛选、剔除「早期夭折」产品的目的。
预烧试验分为「静态预烧」(Static Burn in)与「动态预烧」(Dynamic Burn in)两种,前者在试验时,只在组件上加上额定的工作电压及消耗额定的功率。
而后者除此外并有仿真实际工作情况的讯号输入,故较接近实际况,也较严格。
基本上,每一批产品在出货前,皆须作百分之百的预烧试验,但由于成本及交货期等因素,有些产品就只作抽样(部分)的预烧试验,通过后才货。
另外,对于一些我们认为它品质够稳定且够水准的产品,亦可以抽样的方式进行。
当然,具有高信赖度的产品,皆须通过百分之百的预烧试验25)Carrier Gas 载气用以携带一定制程反应物(液体或气体)进反应室的气体,例如用N2携带液态TEOS 进炉管,N2即可称为载气。
26)Chamber真空室,反应室专指一密闭的空间,而有特殊的用途、诸如抽真空,气体反应或金属溅镀等。
因此常需对此空间的种种外在或内在环境加以控制;例如外在粒子数(particle)、湿度等及内在温度、压力、气逞流量、粒子数等达到最佳的反应条件。
27)Channel 通道; 缝道当在MOS的闸极加上电压(PMOS为负,NMOS为正)。
则闸极下的电子或电洞会被其电场所吸引或排斥而使闸极下的区域形成一反转层(Inversion layer)。
也就是其下的半导体p-type变成N-type Si,N-type变成p-type Si,而与源极和汲极成同type ,故能导通汲极和源极。
我们就称此反转层为"通道"。
信道的长度"Channel Length"对MOS组件的参数有着极重要的影响,故我们对POL Y CD的控制需要非常谨慎28)Channel Stop Implantation 通道阻绝植入在集成电路中,各电晶体彼此间则以场氧化层(FOX)加以隔离的,因为场氧化层上方常有金属导线通过,为了防止金属层,场氧化层,底材硅产生类似NMOS 的电容效应,场氧化层下方的区域常掺有掺质浓度很高的P型层,以防止类似NMOS 的反转层在场氧化层下发生,而破坏电晶体间的隔离。
这层P型层通常称为“Channel Stop”,这层掺质是以离子植入(Implantation)的方式完成的,所以称为通道阻绝植入。
29) Chemical Mechanical Polishing 化学机械研磨法 随着用以隔离之用的场氧化层(FOX ),CMOS 电晶体,金属层及介电层等构成IC的各个结构在芯片上建立之后,芯片的表面也将随之变得上下凸凹不平坦,致使后续制程变得更加困难。