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处京理工犬學建校八十周年| 1940-2020B E I J I N O I N S T n U T f O F T EC H N O I I京理工大学代表性实验平台介绍_茳训楼教学实验平台学校实训楼教学实验平台以建设_流工科实验教学平台为目标，2018年末完成一期建设，2020年秋季计划完成二期搬迁建设。
目前，实训楼教学实验平台已成为学校良乡校区的“新名片”，全楼共计146间房屋，使用面积2.04万m2,1至6层为已建成的工科基础实验教学中心，包括工程训练、电工电子、地面机动装备、基础力学实验教学中心；7层为集中共享办公区；8至10层为工科专业实验教学中心，是极具学校专业特色和军工特色的实验教学平台，包括航空航天、武器系统、光电、信息对抗和自动化。
实训楼一期、二期实验室建设共投入近1亿元经费，充分体现学科实验教学的专业特色，在满足本校学生实践训练和创新创业的需求、为“双一流”建设提供有力支撑的基础上，还向周边学校 和社会提供教育资源服务，形成有效辐射带动，带动区域教育水平提升。
分析测试中心北京理工大学分析测试中心是学校最早建立的校级公共实验平台，成立于2011年6月，2016年10月正式投入运行，共有办公和实验面积约2120m2,专职管理和技术人员15人，拥有单/双球差校正透射电镜、双束扫描电镜、场发射扫描/透射电镜、激光共聚焦显微镜、原子力显微镜等70余台套大型仪器设备，资产总值约1.5亿元。
中心主要可为化合物结构鉴定、化合物定性定量分析、微区表面分析、化合物或材料理化性质分析及材料制备、微纳加工六大业务领域提供技术支持，服务全校14个专业学院/研究院的9个一级学科，年均为40余个研究团队的教师和研究人员提供科研技术服务，同时面向社会全面开放。
胃实验中心-微波暗室作为学校信息通信实验中心这一学科专业公共实验平 台的重要组成，微波暗室是学校公共实验平台的建设与管 理工作中的代表工程，已成为服务多项国家项目的重要科 研基础设施。
微纳加工技术一、概述近年来，微纳加工技术作为一种新兴的制造技术，已经成为了科技发展的热点和焦点。
随着科技的不断进步和应用的不断深化，微纳加工技术的应用范围越来越广泛，其中包括了许多重要的领域，如电子、光学、生物、化学等等。
本文将就微纳加工技术的基本原理、应用领域以及发展前景进行详细介绍，并提出了一些未来的发展方向和挑战，以期为相关研究提供参考和借鉴。
二、微纳加工技术的基本原理微纳加工技术是一种在微米和纳米尺度范围内进行制造的技术，其基本原理是利用物理、化学和生物学等科学原理，通过对材料的加工、制备、控制、测量等步骤进行精确的控制和优化，来制造出具有特定功能和性能的微纳器件或系统。
微纳加工技术主要包括了微纳加工、微纳制造和微纳组装三个方面。
其中，微纳加工是指通过相应的加工工艺，使得原材料逐渐变成具有特定形状和尺寸的微小零部件或器件。
微纳制造是指在微纳加工的基础上，对微小的部件进行加工、组装、包装等操作，最终形成具备特定功能和性能的微纳系统。
微纳组装是指将微小的零部件或器件组装成更加复杂、功能更加完备的微纳系统。
三、微纳加工技术的应用领域微纳加工技术具有广泛的应用领域，下面就对一些重要的应用领域进行简单介绍：1. 电子领域微纳加工技术在电子设备的制造、封装和测试等方面都有着很重要的作用。
例如，在芯片制造中，采用微纳加工技术可以提高芯片的制造精度和集成度，降低功耗和故障率，同时还可以增加芯片的功能和性能。
在电子封装中，通过微纳加工技术可以实现高密度的封装和高精度的引脚排布，从而提升了封装的可靠性和性能。
在电子测试中，微纳加工技术也可以用于制造测试芯片和测试工具，提高测试的精度和效率。
2. 光学领域微纳加工技术在光学器件的制造和应用中也有着广泛的应用。
例如，在衍射光栅的制造中，采用微纳加工技术可以制造出大面积的高精度衍射光栅，从而实现高分辨率和高光谱分辨率的光学传感器。
在光波导的制造中，利用微纳加工技术可以制造出高密度、高精度和多层次的光波导，从而实现复杂的光学功能和系统集成。
纳米技术已经逐渐融入到我们的日常生活中了？没错，你知道吗，女生平时使用的防晒霜，开车族经常关注的汽车轮胎，时尚潮流的虚拟现实，这些都是纳米技术的功劳。
事实上，我们所认识的纳米产业，大多只是局限于纳米材料，其实，纳米产业涉及的范围十分广阔，还包括微纳制造、智慧健康、智能制造等等各方面。
产业发展的支撑服务平台纳米产业作为苏州工业园区长期战略产业，微纳制造作为纳米产业的重要领域之一，一直是园区重点发展领域。
但是，由于微纳制造设备投入巨大，运行维护花费大，中小型MEMS公司往往很难承受。
而MEMS领域的代工厂和大封装厂门槛较高，加上我国MEMS产业的创新链不完善，缺乏工业级中试线的支撑，科研团队在研发做出样品后又无法直接进入代工厂，中小MEMS企业难以实现渐进式的规模化成长。
为了解决中小MEMS企业创新面临的产品工程化研发中试困境，支撑中小MEMS企业和产业的创新发展，按照苏州工业园区管委会战略部署，苏州纳米科技发展有限公司于2014年9月建成6英寸微纳机电制造（MEMS）中试平台，并专门成立了苏州纳米产业技术研究院有限公司微纳制造分公司，负责平台运营。
江苏省（苏州）纳米产业技术研究院副院长，也是苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司微纳制造分公司的研发总监王敏锐博士参与了平台的早期筹备工作。
他告诉记者，早在2012年，平台就开始策划筹备了，2014年通线成功。
该平台是我国首个按照市场化、全开放模式运营的MEMS中试平台，与科研机构的概念验证、样品研发试验不同，平台主要开展工程化中试和中小批量生产服务，前端与产品样品研发衔接，后端与规模化工程衔接，是一个完全工业级别的中试线。
平台的建成填补了我国MEMS产业研发机构与规模化工厂之间的空白，构建了我国MEMS产业领域“研发—中试—规模生产”的完整产品创新技术支撑体系。
如今，平台跟众多企业和科研院合作，共同研发成功多种重要的MEMS产品技术平台和特种设备。
目前已成功导入应用于移动通讯、消费电子、汽车电子、医疗器材、国防军工等诸多领域的硅麦克风芯片、压力传感芯片、红外温度传感芯片、微扫描镜芯片等产品，极大的支撑推动了相关MEMS企业的产品创新和发展。
说明：
运行费：设备运行所需水、电、气及日常维护维修费用，水电气费用根据往年实际使用数据及设备维护合同等依据测算。
工艺用气体及设备运行日常维护、 实计算。
消 耗：设备耗材、零备件、超净环境保持费。
根据往年数据测算。
人员费：设备运行管理人员工资、津贴、奖励。
对于学校固定编制人员，其人员费为超额工作的津贴和奖励。
折旧费：采用平均年限法计提折旧，但未考虑房屋及构筑物折旧。
设备折旧年限为8年。
管理费：学校、光电国家实验室、平台分别按总收入的百分比提取管理费。
微纳加工与表征开放服务平台建设若干问题的思考微纳加工与表征开放服务平台是指提供微纳加工技术与表征分析技术的开放服务平台，以满足科研机构、企业和个人对微纳技术的需求，促进微纳技术的快速发展与应用。
在当前技术飞速发展的背景下，微纳加工与表征开放服务平台建设面临着诸多问题与挑战。
本文将结合实际情况，对微纳加工与表征开放服务平台建设所面临的若干问题进行深入思考。
1. 技术研发与设备更新迭代问题微纳加工和表征分析技术是处于不断更新迭代的发展阶段，新的技术和设备不断涌现，对于开放服务平台来说，需要不断跟进和更新设备，进行技术研发和更新，因而面临投入大，风险高和压力大的问题。
在这个问题上，可以考虑采用与国内外联合研发、共享设备的形式，争取政府资金支持，提高自身的研发能力，掌握核心技术，实现设备的更新迭代。
2. 服务平台的标准与规范问题微纳加工与表征开放服务平台建设面对的问题之一是缺乏统一的标准与规范，这会影响到服务平台在技术开发、设备更新和服务质量上的提升。
为了解决这一问题，可以借鉴国际上先进的标准和规范，积极主动参与国际标准的制定，制定行业标准与规范，推动我国微纳加工与表征技术的统一标准与规范。
3. 人才队伍培养与引进问题微纳加工与表征开放服务平台建设需要大量高素质的技术人才，然而我国目前在微纳技术领域的高端人才供给仍然不足，人才缺乏的问题限制了服务平台的发展。
为了解决这一问题，可以加大科研投入，多渠道引进优秀人才，建立产学研合作机制，加强人才培养，积极推动人才引进政策的改革。
微纳加工与表征开放服务平台建设需要有稳定的市场需求，然而市场开拓是一项复杂的工作，需要平台具备市场营销能力和资源整合能力。
针对这一问题，可针对性地开展市场调研，积极寻找合作伙伴，拓展市场渠道，建立起完善的营销体系，提升服务平台的市场竞争力，实现良好的经济效益。
微纳加工与表征开放服务平台建设需要有严格的管理机制和高效的运营体系，而目前我国在这方面还存在着许多不足之处，比如管理体系不完善、运营成本高等问题。
微纳加工与表征开放服务平台建设若干问题的思考【摘要】本文围绕着微纳加工与表征开放服务平台的建设展开讨论。
首先介绍了微纳加工技术在社会发展中的重要性，然后阐述了该平台的定义与特点。
接着分析了目前面临的挑战，并提出了解决问题的建议。
最后探讨了如何提高平台效益及其重要性，并展望了未来发展方向。
文章力求深入剖析问题，并提出解决方案，旨在促进微纳加工与表征开放服务平台的健康发展，为相关领域的科研和产业发展提供有益参考。
【关键词】微纳加工技术、微纳加工与表征开放服务平台、挑战、解决问题、效益、建设重要性、发展方向、总结1. 引言1.1 引言在当今社会，微纳加工技术已经广泛应用于微电子、生物医药、纳米材料等领域，成为推动科技创新和产业发展的重要力量。
而微纳加工与表征开放服务平台的建设，则是为了更好地整合资源、提高效率、促进技术创新，推动相关领域的发展。
本文将探讨微纳加工与表征开放服务平台在当今社会的重要性，其定义与特点，面临的挑战，以及如何解决建设中的问题和提高其效益。
也会对建设微纳加工与表征开放服务平台的重要性进行总结，并展望未来的发展方向。
希望通过本文的探讨，能够进一步推动微纳加工与表征开放服务平台的发展，为促进科技创新和产业发展做出贡献。
2. 正文2.1 微纳加工技术在当今社会的重要性微纳加工技术在当今社会的重要性不可忽视。
随着科技的发展，微纳加工技术被广泛应用于各个领域，包括电子、医疗、传感器、能源等。
其精密度高、工艺复杂、成本低廉的特点，使其成为当今社会中不可或缺的一部分。
在电子领域，微纳加工技术被广泛应用于芯片制造、光电显示、MEMS传感器等领域。
通过微纳加工技术，可以大大提高电子器件的性能和稳定性，推动电子行业的发展。
在医疗领域，微纳加工技术被用于制造微型医疗器械、药物传递系统、细胞培养芯片等。
这些微型医疗器械不仅可以帮助医生更精准地诊断和治疗疾病，还可以帮助患者更好地监测和管理健康状况。
微纳加工技术在当今社会中发挥着重要作用，推动着各个领域的发展和进步。
微纳加工与表征开放服务平台建设若干问题的思考随着微纳加工与表征技术的快速发展，建设一个开放的服务平台已经成为解决相关问题的重要途径。
在建设微纳加工与表征开放服务平台时，我们需要思考以下若干问题。
平台的定位是一个重要的问题。
微纳加工与表征技术涉及多个学科领域，包括物理学、化学、材料学等。
不同学科领域的专业知识和技术需求不同，平台在服务对象的选择上需考虑开放给哪些具备专业背景的用户。
为研究人员、工程师等提供技术支持，还是面向学生、初学者等提供学习资源。
平台的内容和功能是建设过程中需要考虑的重要问题。
微纳加工与表征技术包括多个环节，如设计、加工、测试、分析等。
平台应提供全方位的服务，以满足用户的需求。
提供微纳加工设备的租赁、工艺流程的优化、样品测试与分析等功能。
平台还可以提供相关文献、教程、数据等资源，方便用户学习和研究。
平台的技术支撑是一个关键问题。
微纳加工与表征技术需要具备丰富的知识和实践经验，还需要先进的设备和检测仪器。
平台建设需要一支专业的团队，他们需要具备相关专业知识和技能，能够提供技术支持和服务。
平台还需要投入一定的资金来购置设备和仪器，以保证服务的质量和效果。
平台的管理和运营也是一个需要考虑的问题。
平台需要建立严格的管理制度和运营规范，以确保服务的安全和可靠性。
建立合规的用户注册与使用流程，确保用户信息的安全；制定平台使用的服务协议、收费标准等，明确用户权益和责任；建立用户反馈渠道，及时处理用户问题和意见。
平台还可以开展宣传推广活动，吸引更多的用户关注和参与。
微纳加工与表征开放服务平台的建设需要考虑定位、内容与功能、技术支撑和管理与运营等问题。
通过综合考虑这些问题，我们可以建立一个高效、便捷的平台，为用户提供优质的微纳加工与表征服务。
北京遥测技术研究所MEMS 工程中心
北京遥测技术研究所MEMS 工程中心位于北京市丰台区东高地四营门北路2号院，
中心洁净厂房总面积约1 700 m 2，
是集设计、制造于一体的MEMS 传感器产业基地及MEMS 技术创新平台。
中心根据产品生产需求和先进的工艺设计加工理念，建立了薄膜压力传感器及石英角速率传感器两条批量产品生产线。
经过多年来的发展，还建立了碳化硅高温压力传感器、谐振式高精度压力传感器、石英振梁加速度传感器、硅微压力传感器、射频微同轴MEMS 器件等先进产品研试线。
依托航天型号任务、预先研究课题、自主开发项目等，中心积累了丰富的MEMS 微纳工艺经验，形成了专业化的技术平台。
中心现有设备仪器270余台套，包括清洗、研抛、薄膜沉积、光刻、刻蚀、键合、引线等微工艺设备以及各类专业测试设备，能够支撑金属膜基、石英基、碳化硅/硅基、陶瓷基等多体系MEMS 敏感元件开发和测试，为我国航天MEMS 传感器的自主研制生产提供了优质保障。
目前，北京遥测技术研究所MEMS 工程中心已经与清华大学、上海交通大学、电子科技大学、厦门大学、南京理工大学等国内知名高校建立了战略合作关系，也可对外承接MEMS 微纳加工及检测服务，中心愿与国内单位开展互惠交流合作，为我国MEMS 产业的进步贡献力量。
