真空泵的工作原理
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真空泵的工作原理
真空泵的工作原理引言概述：真空泵是一种用于抽取气体并产生真空的设备。
它在许多领域中起着重要作用，如科学研究、工业生产和医疗设备等。
本文将详细介绍真空泵的工作原理，包括其基本原理、工作过程和常见类型。
一、真空泵的基本原理：1.1 分子撞击抽气原理：真空泵通过在泵腔内部产生高速运动的转子或活塞，使气体分子与转子或活塞相撞，从而产生气体分子的动量传递，将气体抽出。
1.2 压缩抽气原理：真空泵通过减小泵腔的体积，使气体分子被压缩，从而增加气体分子的密度和压力，进而将气体抽出。
1.3 扩散抽气原理：真空泵通过在气体分子之间施加电场或磁场，使气体分子产生扩散运动，从而将气体抽出。
二、真空泵的工作过程：2.1 吸入气体：真空泵在工作过程中，通过进气口吸入气体。
气体进入泵腔后，根据不同的抽气原理，经过一系列的过程进行抽气。
2.2 压缩气体：在泵腔内部，真空泵通过转子或活塞的运动，将气体分子进行压缩，使气体的密度和压力增加。
2.3 排出气体：经过压缩后，气体被排出泵腔，进入排气管道或容器中。
排出的气体可以被进一步处理或利用。
三、真空泵的常见类型：3.1 机械泵：机械泵是真空泵的一种常见类型，它通过机械运动产生抽气效果。
常见的机械泵包括旋片泵、涡旋泵和螺杆泵等。
3.2 扩散泵：扩散泵利用扩散抽气原理，通过施加电场或磁场使气体分子扩散，从而实现抽气效果。
3.3 分子泵：分子泵利用分子撞击抽气原理，通过高速旋转的转子或活塞，将气体分子与转子或活塞相撞，从而实现抽气效果。
四、真空泵的应用领域：4.1 科学研究：真空泵在科学研究中广泛应用，如物理实验、化学实验和生物实验等。
它可以提供高真空环境，满足实验的需求。
4.2 工业生产：真空泵在工业生产中用于抽取气体，如真空冷冻、真空干燥和真空包装等。
它可以提供稳定的真空环境，提高生产效率。
4.3 医疗设备：真空泵在医疗设备中起着重要作用，如医用吸引器和血液透析机等。
它可以提供强力的吸引力，帮助医疗操作和治疗。
真空泵工作原理
真空泵工作原理
真空泵是一种用于产生和维持真空的装置，其工作原理可分为一下几个主要步骤：
1. 压缩空气：真空泵通常通过机械方式压缩空气，使气体分子之间的距离减小，进而增加气体的密度。
常见的压缩方式包括离心力、螺杆机制和活塞机制。
2. 分离气体：在压缩空气后，真空泵会利用一系列阀门和分离器来分离气体。
这些分离器通常包括过滤器和冷凝器，用于去除空气中的杂质和水分。
3. 抽取气体：一旦气体被分离，真空泵就会开始抽取气体。
通常，真空泵通过创建一个气体压力比真空更低的环境来实现气体的流动。
这个过程可以通过不断扩大泵的容积或利用旋转机制达到。
4. 排出气体：当气体被抽取后，真空泵会将其排出。
气体可以通过管道或出气孔排出到大气中，或者传送到其他处理设备进行进一步的处理。
总之，真空泵通过压缩空气、分离气体、抽取气体和排出气体的过程来产生和维持真空。
这一过程的关键在于泵的设计和机械运转，以及各种附加装置的使用，如过滤器和冷凝器，以确保气体被有效地抽取出来。
真空泵工作原理
真空泵工作原理真空泵是一种用来排除系统内气体并创建真空环境的设备。
它广泛应用于许多领域，如科学实验、工业生产和医疗设备等。
本文将介绍真空泵的工作原理。
一、真空泵的基本原理真空泵的工作原理可以概括为两个基本过程，即排气过程和压缩过程。
1. 排气过程真空泵通过机械或分子运动将气体从系统中抽出。
排气过程中，真空泵会增加气体分子的流动速度，使其逐渐离开系统，并形成真空。
排气过程主要依靠真空泵内部的旋转叶片、活塞或螺杆等机械装置，通过转动或振动来产生负压，将气体吸入并排出。
2. 压缩过程排除气体后，真空泵会进入压缩过程。
在此过程中，真空泵会持续增加压力，将气体分子推向泵的出口。
通过增加气体分子的密度，真空泵将气体压缩并排出系统。
二、真空泵的类型和工作原理根据不同的原理和结构，真空泵可以分为以下几种类型。
1. 机械泵机械泵是使用回转或振动的机械装置来排气和压缩气体的真空泵。
常见的机械泵包括旋片泵、螺杆泵和涡轮分子泵。
- 旋片泵：旋片泵内部有一对旋转的叶片，当叶片旋转时，气体被吸入并压缩排出。
它适用于工业生产中的中等真空。
- 螺杆泵：螺杆泵内部有一对互相螺旋的螺杆，通过旋转将气体从进口处吸入并排出。
螺杆泵适用于高真空和高气体流量的环境。
- 涡轮分子泵：涡轮分子泵通过涡轮的高速旋转将气体分子推向出口，以实现排气和压缩效果。
它适用于高真空系统。
2. 扩散泵扩散泵通过增加气体分子的速度来扩散和稀释气体，从而实现排气和压缩。
它主要由扩散机构和冷却系统组成。
扩散泵适用于高真空和高气体流量的环境，如半导体制造等领域。
3. 分子泵分子泵利用气体分子之间的碰撞和散射来排气和压缩气体。
它将气体分子推向泵的出口，并利用排斥效应将气体排出系统。
分子泵主要用于超高真空和高纯度环境。
三、真空泵的应用真空泵在许多领域都有广泛的应用。
1. 科学实验在科学实验中，真空泵被用于创建稳定的真空环境，以研究物质的性质和反应。
例如，在物理学实验中，真空泵用于控制实验室中的气氛，以排除干扰和外部杂质。
真空泵的工作原理
真空泵的工作原理真空泵，作为一种常见的设备，广泛应用于工业、科研和医疗等领域。
它主要用于抽取容器或系统中的气体，从而产生真空环境。
本文将详细介绍真空泵的工作原理和相关知识。
一、真空泵的基本组成真空泵主要由排气口、活塞、柱塞、凸轮、机壳和电机等部分组成。
排气口是气体排出的通道，活塞和柱塞构成泵腔，凸轮通过电机驱动活塞和柱塞的运动，机壳起到保护和支撑的作用。
二、真空泵的工作原理1. 排气过程当电机启动后，凸轮开始旋转，带动活塞和柱塞一起向上运动。
此时，泵腔内的压力降低，使泵腔与进气口之间产生差压。
外部气体通过进气口流入泵腔，随后随着活塞和柱塞的继续上升，泵腔内的气体被排出泵体，进入排气口，并被泵出系统。
2. 吸入过程当活塞和柱塞达到最高点后，开始向下运动。
此时，泵腔与进气口之间产生差压，外部气体通过进气口流入泵腔。
随着活塞和柱塞的继续下降，泵腔内的气体被进一步压缩，同时泵腔的体积减小。
当活塞和柱塞接近最低点时，泵腔内的气体压力继续升高，达到一定数值后，气体无法回流，被迫排出泵腔。
3. 循环过程随着凸轮的旋转，活塞和柱塞不断地上下运动，形成排气和吸入的循环过程。
每次运动都可以排出一部分气体，使泵腔内的压力不断降低，最终实现产生真空环境的目的。
三、真空泵的分类及应用真空泵根据其工作原理和结构特点的不同，可以分为离心泵、容积泵、磁悬浮分子泵、旋片泵等多种类型。
不同类型的真空泵适用于不同的应用领域。
1. 离心泵离心泵通过快速旋转的叶轮产生离心力，将气体抛出泵体，达到抽取气体的目的。
广泛应用于航空航天、船舶工业和化工等领域。
2. 容积泵容积泵依靠容积的变化实现气体的抽取。
常见的容积泵有活塞泵和螺杆泵。
活塞泵通过活塞的上下运动改变泵腔的容积；螺杆泵则通过螺杆的旋转运动改变泵腔的容积。
容积泵适用于实验室和科研领域。
3. 磁悬浮分子泵磁悬浮分子泵采用气体分子撞击旋转子的方式进行气体抽取。
它具有无摩擦、无磨损和无油污染等优点，广泛应用于半导体制造、光伏产业和超高真空系统等领域。
真空泵的工作原理
真空泵的工作原理引言概述：真空泵是一种用于抽取容器内气体，从而形成真空环境的设备。
它在许多领域都有广泛的应用，如科学研究、工业生产和医疗设备等。
本文将详细介绍真空泵的工作原理。
一、真空泵的基本原理1.1 体积排气法真空泵通过不断减小抽气室的体积，使气体分子在泵内产生连续碰撞，从而增加气体分子间的平均自由程，最终将气体排出。
1.2 高速流体抽气法真空泵利用高速流体将气体带走。
高速流体通过喷嘴或旋转装置产生，并通过与气体分子的碰撞将其带走。
1.3 分子撞击法真空泵利用分子撞击的原理将气体分子从容器中抽出。
它通过在泵内产生高速运动的转子或活塞，使气体分子与转子或活塞发生碰撞，并将其抽出。
二、真空泵的工作过程2.1 压缩过程真空泵通过压缩气体，使气体分子之间的平均自由程变小，从而增加气体分子间的碰撞频率。
这样，气体分子就会被迫靠近泵的抽气室，从而形成真空。
2.2 排气过程真空泵在压缩气体后，通过合适的排气系统将气体排出。
排气过程通常包括冷却、减压和分离等步骤，以确保气体被完全排出。
2.3 循环过程真空泵在排气后，会继续进行循环过程。
循环过程中，真空泵通过不断重复压缩和排气的步骤，使容器内的气体逐渐减少，直到达到所需的真空度。
三、真空泵的分类3.1 机械泵机械泵是真空泵的一种常见类型，它通过机械运动产生真空。
机械泵通常包括旋片泵、涡旋泵和离心泵等。
3.2 分子泵分子泵利用分子撞击的原理将气体分子从容器中抽出。
分子泵通常由转子和静子两部分组成，通过高速旋转的转子将气体分子抽出。
3.3 涡流泵涡流泵是一种无油真空泵，它通过涡流的产生将气体分子抽出。
涡流泵通常由电磁铁和转子组成，通过电磁铁产生磁场，使转子产生旋转运动。
四、真空泵的应用领域4.1 科学研究真空泵在科学研究中有着广泛的应用，例如在物理学、化学和材料科学等领域中，真空泵被用于制备高纯度材料和进行实验室实验。
4.2 工业生产真空泵在工业生产中也扮演着重要的角色，例如在电子、半导体和光学等行业中，真空泵被用于制造和加工产品。
真空泵工作原理
真空泵工作原理一、概述真空泵是一种用于抽取气体并产生真空的设备。
它通过不断减少容器内的气体压力，使容器内部形成低于大气压的真空环境。
真空泵广泛应用于科研实验、工业生产、医疗设备等领域。
本文将详细介绍真空泵的工作原理及其组成部分。
二、工作原理真空泵的工作原理主要基于两个基本原理：机械抽气和分子流扩散。
1. 机械抽气机械抽气是真空泵最主要的工作原理。
它通过泵的机械运动将气体抽出并排放到环境中。
具体而言，机械抽气分为正压抽气和负压抽气两个阶段。
（1）正压抽气阶段：真空泵的活塞或叶轮在运动中，通过容器的进气口吸入气体。
活塞或叶轮的运动压缩气体并将其排出到泵的出口。
这个过程类似于活塞式发动机的工作原理。
（2）负压抽气阶段：当气体压缩到一定程度时，真空泵的出口压力低于容器内气体的压力。
这时，气体将被迫从容器中流出，形成真空环境。
2. 分子流扩散分子流扩散是真空泵的辅助工作原理。
当气体压力降低到一定程度时，气体分子之间的碰撞变得较少，气体分子会沿着压力梯度方向扩散。
真空泵利用这个原理，通过将气体分子从高压区域转移到低压区域来实现抽气。
三、组成部分真空泵由多个组成部分构成，下面将详细介绍每个部分的作用。
1. 泵体泵体是真空泵的主要组成部分，也是气体抽取的场所。
它通常由金属或合金材料制成，具有良好的密封性和耐腐蚀性。
泵体内部有一个容积可变的腔室，通过泵的机械运动实现气体的抽取。
2. 活塞或叶轮活塞或叶轮是真空泵的核心部件，负责产生泵的机械运动。
活塞通常由金属材料制成，通过往复运动实现气体的抽取。
叶轮则通过旋转运动产生气体的抽取。
3. 进气口和出口进气口是气体进入泵体的通道，出口是气体从泵体排出的通道。
进气口通常与被抽取的容器相连，而出口则与外部环境相连。
4. 密封装置密封装置用于保持泵体内的气体不泄漏到外部环境。
它通常由密封圈、密封垫等部件组成，确保泵体内部形成真空环境。
5. 传动装置传动装置用于驱动活塞或叶轮的运动。
真空泵工作原理及作用
真空泵工作原理及作用
真空泵工作原理及作用
一、工作原理
1、抽气原理：真空泵的工作原理是通过抽取待真空化的容积空气中的
空气分子，从而构成有效的真空。
正如物理学家Nicolas Carothers所说：“真空就是减少同容积内的气体分子的数量。
”
2、真空泵的工作原理既可以用换能原理来描述，也可以用压缩原理来
描述。
换能原理是指一定容积内的空气经过某种动力源的作用，将空
气空气压缩且容积减小，从而在空气中凝结出气体，形成真空泵工作
时所取得的负压。
二、作用
1、用于负压蒸馏：真空泵可以用来达到负压蒸馏的要求，因为蒸馏所
需要的蒸发温度是低于蒸馏前温度的，负压蒸发可以降低蒸馏前温度；
2、用于抽取油气：真空泵也可以用来抽取石油藏层中的油气，通过将
外部真空化，可以使油气收割更加轻松；
3、在冷抽分装置中用途广泛：在冷抽分装置中，由于抽取时需要足够
地真空，因此真空泵也可以用来达到抽取要求；
4、用于真空包装机：真空包装机是一类流行设备，用于对食品、药品
甚至其他产品进行真空包装，而这些都需要真空泵的帮助来完成作业；
5、在真空容器中有很重要的作用：真空容器中也需要真空泵的帮助，
真空泵的存在可以帮助它们在制备真空的过程中起到极大的作用。
真空泵的工作原理
真空泵的工作原理真空泵是将气体从一个封闭容器中排除出去，形成相对真空的设备。
它通过吸入气体并将其排出，从而降低空间内气压的能力。
真空泵主要用于工业、制造业、研究实验室等领域，如真空冷冻干燥、电子设备制造、医药行业等。
1.压缩过程：在真空泵的进气处，气体会进入泵腔。
泵腔内部含有转子和定子，转子会不断旋转，起到挤压气体的作用。
转子转动时，气体会被压缩，并逐渐排出泵腔。
2.排气过程：排气过程是指泵腔内的气体被推出并排除的过程。
在真空泵的出口处，有一个排气口，使得泵腔内的气体能够流出。
一般来说，真空泵会在泵腔的出口处安装一个减速器，以减慢气体速度，从而形成更高的真空度。
3.回收过程：真空泵的回收过程是指在压缩和排气之后，泵腔内会留下一部分气体。
这些气体可能是未完全被排除的，也可能是其他原因造成的。
为了提高泵的整体效率，这些残留气体需要被回收。
一种常用的回收方式是使用再冷凝器，将泵腔内的气体冷凝为液体，并排出。
需要注意的是，真空泵的工作原理具有多种不同类型。
以下是几种常见的真空泵类型及其工作原理：1.旋片真空泵：旋片真空泵是由一个或多个旋转的旋片(也称为空气封)将气体吸入、压缩和排出。
旋片旋转时，与其相连的泵腔不断增大和减小，从而形成真空。
2.涡旋真空泵：涡旋真空泵通过涡旋器（由多个旋转叶片和固定叶片构成）将气体吸入泵腔，并通过涡旋效应将气体压缩和排出。
3.单级涡旋真空泵：与涡旋真空泵类似，单级涡旋真空泵也是通过涡旋器将气体压缩排出。
不同之处在于，单级涡旋真空泵的涡旋器只有一个旋转叶片和一个固定叶片。
4.油封真空泵：油封真空泵通过油封将气体吸入、压缩和排出。
油封形成气体和泵腔之间的隔离层，使气体不能直接逃逸。
除了以上列举的几种常见类型，还有分子泵、吸附泵、离心泵、游离液体金属泵以及离子泵等等，它们的工作原理各有不同。
总之，真空泵通过压缩、排气和回收过程，将气体从封闭容器中排除出去，从而实现形成相对真空环境的目的。
真空泵原理是什么
真空泵原理是什么
真空泵的原理是通过创建和维持一个相对较低的气压环境，将容器内的气体抽出，从而达到真空的目的。
真空泵的工作原理分为两种类型：正压泵和低压泵。
正压泵的原理是利用机械力将气体压缩并排出。
其中，常见的类型有活塞泵、旋片泵和液环泵。
活塞泵利用活塞来压缩气体，然后通过排气阀将气体排除。
旋片泵则通过旋转的叶轮来压缩气体，并将其排出。
液环泵则将气体与液体环形接触，随后液体将气体压缩并排出。
低压泵的原理则是利用气体分子间的碰撞和扩散运动来减少气体压力，从而达到抽出气体的目的。
常见的低压泵类型包括扩散泵、吸附泵和离子泵。
扩散泵通过将气体分子沿扩散速率梯度排出来降低气体压力。
吸附泵利用吸附剂吸附气体分子，并再次升温或冷却来脱附气体分子。
离子泵则使用电离的原理，通过引入离子并利用电场将气体分子抽出。
总之，真空泵的原理是通过机械或物理方式将气体从容器内抽出，从而实现气压的降低和真空的生成。
真空泵 工作原理
真空泵工作原理
真空泵是一种用于排空容器或系统内部气体，使其迅速达到真空状态的装置。
其工作原理通常是利用机械或物理方式将气体从容器中抽取或驱动。
机械工作原理：机械真空泵利用物理机械运动的能量将气体排出。
其中，一个或多个旋转或摆动的叶片被安装在密封的腔室内。
当叶片旋转或摆动时，它们在腔室内产生气体压缩，然后通过出口排出。
这种压缩和排出循环会将气体从容器中抽取出来，从而产生真空。
分子工作原理：分子真空泵利用气体分子之间的碰撞来产生真空。
在分子泵中，一个旋转的转子被安装在腔室内。
旋转转子上布满了一系列充满气体分子撞击板。
当旋转转子运转时，气体分子与撞击板碰撞，并改变运动方向。
由于撞击板的斜置和旋转运动，气体分子最终会被抽取到真空级别较高的区域，从而产生真空。
涡流工作原理：涡流真空泵利用涡流的原理将气体排出。
泵内包含一个旋转的螺旋线圈，当电流通过螺旋线圈时，会产生磁场。
这个磁场引起旋涡感应电流在泵腔内形成一个射出磁场垂直于磁极的涡流。
涡流将气体颗粒推到泵排气孔边缘，并通过排气口从系统中抽取气体，从而产生真空。
离心工作原理：离心真空泵利用离心力将气体排出。
该泵由一个旋转的叶轮和一个固定的壳体组成。
当旋转叶轮转动时，叶片上的气体被离心力推到壳体壁上，并通过排气孔排出。
这种
离心力和排气循环将气体逐渐从容器中抽取出来，产生真空。
以上是常见的几种真空泵的工作原理，不同的真空泵有不同的适用范围和效率，可以根据具体需求选择最合适的真空泵。
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真空泵的工作原理一、2X型旋片式真空泵（简称旋片泵）工作压强范围为101325~1.33×10-2（Pa）属于低真空泵。
它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。
它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。
旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体，若附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝性气体。
但它不适于抽除含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。
旋片泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一。
旋片泵多为中小型泵。
旋片泵有单级和双级两种。
所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来。
一般多做成双级的，以获得较高的真空度。
旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下：在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）下，其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。
二、2X型旋片真空泵工作原理如下：旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。
在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。
旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。
两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分，当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A 的容积是逐渐增大的，正处于吸气过程。
而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的，正处于排气过程。
居中的空间B的容积也是逐渐减小的，正处于压缩过程。
由于空间A的容积是逐渐增大（即膨胀），气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。
当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，最后与排气口相通。
当被压缩气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。
由泵的连续运转，达到连续抽气的目的。
如果排出的气体通过气道而转入另一级（低真空级），由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排至大气中，即组成了双级泵。
这时总的压缩比由两级来负担，因而提高了极限真空度。
三、根据工作原理对真空泵进行分类按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。
随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，因此选用不同类型真空泵组成的真空抽气机组进行抽气的情况较多。
为了方便起见，将这些泵按其工作原理或其结构特点进行一些具体的详细的分类是必要的。
现分述如下：(一)、气体传输泵(真空泵的工作原理)气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有两种类型：1、变容真空泵变容真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵。
气体在排出前被压缩。
这种泵分为往复式及旋转式两种：⑴往复真空泵：是利用泵腔内活塞做往复运动，将气体吸入、压缩并排出。
因此，又称为活塞式真空泵。
⑵旋转真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入，压缩并排出。
旋转真空泵又有如下几种型式：①油封式真空泵：它是利用油类密封各运动部件之间的间隙，减少有害空间的一种旋转变容真空泵。
这种泵通常带有气镇装置，故又称气镇式真空泵。
按其结构特点分为如下五种型式。
a）旋片式真空泵：转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近，在转子槽内装有两个（或两个以上）旋片，当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触，此旋片随转子一起旋转，可将泵腔分成几个可变容积。
b）滑阀式真空泵：在偏心转子外部装有一个滑阀，转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动，滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动，而把泵腔分成两个可变容积。
c）定片式真空泵：在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上、下滑动将泵腔分成两个可变容积。
d）余摆线式真空泵：在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。
e）多室旋片式真空泵：在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。
②干式真空泵：它是一种不用油类（或液体）密封的变容真空泵。
③液环式真空泵：带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当它旋转时，把液体（通常为水或油）抛向泵壳形成泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小容积，故亦称旋转变容真空泵。
④罗茨真空泵：泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子，转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。
它属于旋转变真空泵。
机械增压泵即为这种型式的真空泵。
2、动量传输泵(真空泵的工作原理)这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。
具体可分为下述几种类型。
⑴分子真空泵：它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵。
它有如下几种型式：①牵引分子泵：气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被送到出口，因此，是一种动量传输泵。
②涡轮分子泵：泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子，它在定子圆盘（或定片）间旋转。
转子圆周的线速度很高。
这种泵通常在分子流状态下工作。
③复合分子泵：它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合式分子真空泵。
(2)喷射真空泵：它是利用文丘里（Venturi）效应的压力降产生的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞流和过渡流状态下工作。
这种泵又可详细地分成以下几种：①液体喷射真空泵：以液体（通常为水）为工作介质的喷射真空泵。
②气体喷射真空泵：以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。
③蒸气喷射真空泵：以蒸气（水、油或汞等蒸气）作为工作介质的喷射真空泵。
(3)扩散泵：以低压高速蒸气流（油或汞等蒸气）作为工作介质的喷射真空泵。
气体分子扩散到蒸气射流中，被送到出口。
在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。
可分为：①自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵。
②分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸气压强较低的工作液蒸气进入高真空工作的喷嘴，而蒸气压强较高的工作液蒸气进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。
(4)扩散喷射泵：它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。
油增压泵即属于这种型式。
(5)离子传输泵：它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下，输送到出口的一种动量传输泵。
(二)、气体捕集泵(真空泵的工作原理)这种泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，有以下几种型式。
1、吸附泵它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。
2、吸气剂泵它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。
吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。
升华泵即属于这种型式。
3、吸气剂离子泵它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。
它有如下几种型式。
(1)蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。
(2)溅射离子泵：泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上，以实现抽气目的的一种真空泵。
4、低温泵利用低温表面捕集气体的真空泵。
罗茨真空泵工作原理罗茨真空泵（简称罗茨泵）是一种旋转式变容真空泵。
它是由罗茨鼓风机演变而来的。
根据罗茨真空泵工作范围的不同，又分为直排大气的低真空罗茨泵；中真空罗茨泵（又称机械增压泵）和高真空多级罗茨泵。
一般来说，罗茨泵具有以下特点：•在较宽的压强范围内有较大的抽速；•起动快，能立即工作；•对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感；•转子不必润滑，泵腔内无油；•振动小，转子动平衡条件较好，没有排气阀；•驱动功率小，机械摩擦损失小；•结构紧凑，占地面积小；•运转维护费用低。
因此，罗茨泵在冶金、石油化工、造纸、食品、电子工业部门得到广泛的应用。
罗茨泵的工作原理：罗茨泵的结构如图所示。
在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。
在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。
由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。
罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。
为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。
罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。
由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。
由于吸气后v空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。
但当转子顶部转过排气口边缘，v空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v中去，使气体压强突然增高。
当转子继续转动时，气体排出泵外。
如图为罗茨泵转子由0°转到180°的抽气过程。
在0°位置时（图中a），下转子从泵入口封入v体积的气体。
当转到45°位置时（图中b），该腔与排气口相通。
由于排气侧压强较高，引起一部分气体返冲过来。
当转到90°位置时（图中c），下转子封入的气体，连同返冲的气体一起排向泵外。
这时，上转子也从泵入口封入v体积的气体。
当转子继续转到135°时（图中d），上转子封入的气体与排气口相通，重复上述过程。
180°（图e）位置和0°位置是一样的。
转子主轴旋转一周共排出四个v体积的气体。
罗茨真空泵的最大优点是在较低的入口压力时具有较高的抽气速率，但它不能单独使用，必须有一台前级真空泵串联，待被抽系统中的压力被前级真空泵抽到罗茨真空泵允许入口压力时，罗茨真空泵才能开始工作，并且在一般情况下，罗茨真空泵不允许高压差工作，否则将会过载和过热而损坏，因此使用罗茨真空泵必须合理地选用前级真空泵，安装必要的保护设备。
前级真空泵一般可选择油封机械泵或液环真空泵，特别在抽除有大量水蒸汽的气体时，选用水环真空泵作为前级泵是很理想的。
如图为旋片泵的工作原理示意图，旋片泵主要由定子、转子、旋片、定盖、弹簧等零件组成。
其结构是利用偏心地装在定子腔内的转子（转子的外圆与定子的内表面相切两者之间的间隙非常小）和转子槽内滑动的借助弹簧张力和离心力紧贴在定子内壁的两块旋片，当转子旋转时，始终沿定子的内壁滑动。