用各向异性磁阻效应测量磁场
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一、实验目的:1.掌握磁阻传感器的各向异性磁阻效应。
2.掌握地磁场的测量方法。
3.熟练使用最小二乘法拟合。
二、实验仪器设备:测量地磁场装置主要包括底座,转轴,带角刻度的转盘,磁阻传感器的引线,地磁场测定仪控制主机。
三、实验原理:物质在磁场中电阻率发生变化的现象称为磁阻效应。
对于铁、钴、镍及其合金等磁性金属,当外加磁场平行于磁体内部磁化方向时,电阻几乎不随外加磁场变化;当外加磁场偏离金属的内部磁化方向时,此类金属的电阻减小,这就是强磁金属的各向异性磁阻效应。
HMC1021Z 型磁阻传感器由长而薄的坡莫合金(铁镍合金)制成一维磁阻微电路集成芯片(二维和三维磁阻传感器可以测量二维或三维磁场)。
它利用通常的半导体工艺,将铁镍合金薄膜附着在硅片上,如图1所示。
薄膜的电阻率)(θρ依赖于磁化强度M 和电流I 方向间的夹角θ,具有以下关系式θρρρθρ2cos )()(⊥⊥-+=∥ (1)其中∥ρ、⊥ρ分别是电流I 平行于M 和垂直于M 时的电阻率。
当沿着铁镍合金带的长度方向通以一定的直流电流,而垂直于电流方向施加一个外界磁场时,合金带自身的阻值会生较大的变化,利用合金带阻值这一变化,可以测量磁场大小和方向。
同时制作时还在硅片上设计了两条铝制电流带,一条是置位与复位带,该传感器遇到强磁场感应时,将产生磁畴饱和现象,也可以用来置位或复位极性;另一条是偏置磁场带,用于产生一个偏置磁场,补偿环境磁场中的弱磁场部分(当外加磁场较弱时,磁阻相对变化值与磁感应强度成平方关系),使磁阻传感器输出显示线性关系。
HMC1021Z 磁阻传感器是一种单边封装的磁场传感器,它能测量与管脚平行方向的磁场。
传感器由四条铁镍合金磁电阻组成一个非平衡电桥,非平衡电桥输出部分接集成运算放大器,将信号放大输出。
传感器内部结构如图2所示。
图2中由于适当配置的四个磁电阻电流方向不相同,当存在外界磁场时,引起电阻值变化有增有减。
因而输出电压out U 可以用下式表示为 b out U R R U ⨯⎪⎭⎫ ⎝⎛∆= (2)图1磁阻传感器的构造示意图 图2磁阻传感器内的惠斯通电桥 对于一定的工作电压,如V U b 00.5=,HMC1021Z 磁阻传感器输出电压out U 与外界磁场的磁感应强度成正比关系,KB U U out +=0 (3)(3)式中,K 为传感器的灵敏度,B 为待测磁感应强度。
用磁阻效应测量地磁场地磁场的数值比较小,约10-5T 量级,但在直流磁场测量,特别是弱磁场测量中,往往需要知道其数值,并设法消除其影响,地磁场作为一种天然磁源,在军事、工业、医学、探矿等科研中也有着重要用途。
本实验采用新型坡莫合金磁阻传感器测量地磁场磁感应强度及地磁场磁感应强度的水平分量和垂直分量;测量地磁场的磁倾角,从而掌握磁阻传感器的特征及测量地磁场的一种重要方法。
由于磁阻传感器体积小,灵敏度高、易安装,因而在弱磁场测量方面有广泛应用前景。
一、实验原理物质在磁场中电阻率发生变化的现象称为磁阻效应。
对于铁、钴、镍及其合金等磁性金属,当外加磁场平行于磁体内部磁化方向时,电阻几乎不随外加磁场变化;当外加磁场偏离金属的内部磁化方向时,此类金属的电阻减小,这就是强磁金属的各向异性磁阻效应。
本实验所用得HMC1021Z 型磁阻传感器由长而薄的坡莫合金(铁镍合金)制成一维磁阻微电路集成芯片(二维和三维磁阻传感器可以测量二维或三维磁场)。
它利用通常的半导体工艺,将铁镍合金薄膜附着在硅片上,如图1所示。
薄膜的电阻率ρ(θ)依赖于磁化强度M 和电流I 方向间的夹角θ,具有以下关系式2()()cos ρθρρρθ⊥⊥=+-P (1)其中ρP 、ρ⊥分别是电流I 平行于M 和垂直于M 时的电阻率。
当沿着铁镍合金带的长度方向通以一定的直流电流,而垂直于电流方向施加一个外界磁场时,合金带自身的阻值会生较大的变化,利用合金带阻值这一变化,可以测量磁场大小和方向。
同时制作时还在硅片上设计了两条铝制电流带,一条是置位与复位带,该传感器遇到强磁场感应时,将产生磁畴饱和现象,也可以用来置位或复位极性;另一条是偏置磁场带,用于产生一个偏置磁场,补偿环境磁场中的弱磁场部分(当外加磁场较弱时,磁阻相对变化值与磁感应强度成平方关系),使磁阻传感器输出显示线性关系。
HMC1021Z 磁阻传感器是一种单边封装的磁场传感器,它能测量与管脚平行方向的磁场。
北航基础物理实验研究性报告各向异性磁阻传感器(AMR)与地磁场测量第一作者: 13271138 卢杨第二作者: 13271127 刘士杰所在院系:化学与环境学院2015年5月27日星期三摘要物质在磁场中电阻率发生变化的现象称为磁阻效应,磁阻传感器利用磁阻效应制成。
磁场的测量可利用电磁感应,霍耳效应,磁阻效应等各种效应。
其中磁阻效应法发展最快,测量灵敏度最高。
磁阻传感器可用于直接测量磁场或磁场变化,如弱磁场测量,地磁场测量,各种导航系统中的罗盘,计算机中的磁盘驱动器,各种磁卡机等等。
也可通过磁场变化测量其它物理量,如利用磁阻效应已制成各种位移、角度、转速传感器,各种接近开关,隔离开关,广泛用于汽车,家电及各类需要自动检测与控制的领域。
磁阻元件的发展经历了半导体磁阻(MR),各向异性磁阻(AMR),巨磁阻(GMR),庞磁阻(CMR)等阶段。
本实验研究AMR的特性并利用它对磁场进行测量。
关键词:磁阻传感器;磁电转换;赫姆霍兹线圈;车辆检测;罗盘目录一、实验目的 (4)二、实验原理 (4)三、实验仪器介绍 (6)四、实验内容 (8)1.测量前的准备工作 (8)2.磁阻传感器特性测量 (8)a.测量磁阻传感器的磁电转换特性 (8)b.测量磁阻传感器的各向异性特性 (9)3.赫姆霍兹线圈的磁场分布测量 (9)a. 赫姆霍兹线圈轴线上的磁场分布测量 (9)b.赫姆霍兹线圈空间磁场分布测量 (11)4.地磁场测量 (12)五、实验数据及数据处理 (13)1.磁阻传感器特性测量 (13)a.测量磁阻传感器的磁电转换特性 (13)b.测量磁阻传感器的各向异性特性 (14)2.赫姆霍兹线圈的磁场分布测量 (15)a.赫姆霍兹线圈轴线上的磁场分布测量 (15)b.赫姆霍兹线圈空间磁场分布测量 (16)3.地磁场测量 (17)六、误差分析与思考题 (17)1、误差分析 (17)2、思考题 (18)七、实验中注意事项及改进方法 (19)1、注意事项 (19)2、实验改进 (19)八、总结与收获 (20)九、原始数据照片 (20)一、实验目的1.熟悉和了解AMR的原理2.测量磁阻传感器的磁电转换特性和各向异性特性3.测量赫姆霍兹线圈的磁场分布4.测量地磁场磁场强度,磁倾角,磁偏角二、实验原理各向异性磁阻传感器AMR(Anisotropic Magneto-Resistive sensors)由沉积在硅片上的坡莫合金(Ni80 Fe20)薄膜形成电阻。
图1 各向异性磁电阻效应 磁电阻传感器实验磁场的测量可利用电磁感应,霍耳效应,磁电阻效应等方法实现。
所谓磁电阻效应,即物质在磁场中电阻率发生变化的现象,磁电阻传感器利用磁电阻效应制成。
而其中各向异性磁电阻传感器是一种能够测量磁场大小和方向的传感器,它具有体积小, 功耗低, 灵敏度高, 抗干扰能力强, 可靠性高, 易于安装等优点, 在测量弱磁场以及基于弱磁场的地磁导航、数字智能罗盘、位置测量、伪钞鉴别等方面显示出巨大的优越性, 还能用来制作高精度的转速传感器、压力传感器、角位移传感器等, 具有广阔的应用前景。
目前国外已大批量生产此类型的集成磁电阻传感器, 并在工业、航天、航海、医疗仪器等多种仪器仪表方面有着广泛应用。
本实验使用Honeywell 公司生产的HMC 型各向异性磁电阻传感器, 它能够测量低至85微高斯的磁场, 是测量弱磁场的灵敏传感器。
本实验主要研究其结构和特性并利用它对磁场进行测量。
【实验目的】1.了解各向异性磁电阻传感器测量磁场的基本原理;2.学会用各向异性磁电阻传感器测定地亥姆霍兹线圈磁场的方法; 3.验证场的叠加原理。
【实验原理】磁电阻效应有基于霍尔效应的普通磁电阻效应和各向异性磁电阻效应之分。
对于强磁性金属(铁、钴、镍 及其合金) , 当外加磁场平行于磁体内部磁化方向时, 电阻几乎不随外加磁场而变; 当外加磁场偏离金属的内磁化方向时, 金属的电阻减小, 这就是各向异性磁电阻效应(见图1)。
本实验所使用的各向异性磁电阻传感器由沉积在硅片上的坡莫合金(Ni 80 Fe 20)薄膜形成电阻。
沉积时外加磁场,形成易磁化轴方向。
坡莫合金薄膜的电阻和电流与磁化方向的夹角有关,电流与磁化方向平行时电阻最大,电流与磁化方向垂直时电阻最小。
坡莫合金薄膜的电阻率依赖于磁化强度M 和电流I 方向的夹角θ, 即θρρρθρ2//cos )()(⊥⊥-+= (1)其中//ρ, ⊥ρ 分别是平行于M 和垂直于M 时的电阻率。
地磁场测定实验地磁场的数值比较小,约510-T 量级,但在直流磁场测量,特别是弱磁场测量中,往往需要知道其数值,并设法消除其影响,地磁场作为一种天然磁源,在军事、工业、医学、探矿等科研中也有着重要用途。
本实验采用新型坡莫合金磁阻传感器测量地磁场磁感应强度及地磁场磁感应强度的水平分量和垂直分量;测量地磁场的磁倾角,从而掌握磁阻传感器的特性及测量地磁场的一种重要方法。
由于磁阻传感器体积小,灵敏度高、易安装,因而在弱磁场测量方面有广泛应用前景。
一、实验目的(1)了解磁阻传感器的各向异性磁阻效应 (2)掌握测量地磁场的定标及测量原理和方法(3)熟练使用最小二乘法拟合 二、实验原理物质在磁场中电阻率发生变化的现象称为磁阻效应。
对于铁、钴、镍及其合金等磁性金属,当外加磁场平行于磁体内部磁化方向时,电阻几乎不随外加磁场变化;当外加磁场偏离金属的内部磁化方向时,此类金属的电阻减小,这就是强磁金属的各向异性磁阻效应。
HMC1021Z 型磁阻传感器由长而薄的坡莫合金(铁镍合金)制成一维磁阻微电路集成芯片(二维和三维磁阻传感器可以测量二维或三维磁场)。
它利用通常的半导体工艺,将铁镍合金薄膜附着在硅片上,如图1所示。
薄膜的电阻率)(θρ依赖于磁化强度M 和电流I 方向间的夹角θ,具有以下关系式θρρρθρ2cos )()(⊥⊥-+=∥ (1)其中∥ρ、⊥ρ分别是电流I 平行于M 和垂直于M 时的电阻率。
当沿着铁镍合金带的长度方向通以一定的直流电流,而垂直于电流方向施加一个外界磁场时,合金带自身的阻值会生较大的变化,利用合金带阻值这一变化,可以测量磁场大小和方向。
同时制作时还在硅片上设计了两条铝制电流带,一条是置位与复位带,该传感器遇到强磁场感应时,将产生磁畴饱和现象,也可以用来置位或复位极性;另一条是偏置磁场带,用于产生一个偏置磁场,补偿环境磁场中的弱磁场部分(当外加磁场较弱时,磁阻相对变化值与磁感应强度成平方关系),使磁阻传感器输出显示线性关系。
北航基础物理实验研究性报告各向异性磁阻传感器(AMR)与地磁场测量第一作者: 13271138 卢杨第二作者: 13271127 刘士杰所在院系:化学与环境学院2014年5月27日星期三摘要物质在磁场中电阻率发生变化的现象称为磁阻效应,磁阻传感器利用磁阻效应制成。
磁场的测量可利用电磁感应,霍耳效应,磁阻效应等各种效应。
其中磁阻效应法发展最快,测量灵敏度最高。
磁阻传感器可用于直接测量磁场或磁场变化,如弱磁场测量,地磁场测量,各种导航系统中的罗盘,计算机中的磁盘驱动器,各种磁卡机等等。
也可通过磁场变化测量其它物理量,如利用磁阻效应已制成各种位移、角度、转速传感器,各种接近开关,隔离开关,广泛用于汽车,家电及各类需要自动检测与控制的领域。
磁阻元件的发展经历了半导体磁阻(MR),各向异性磁阻(AMR),巨磁阻(GMR),庞磁阻(CMR)等阶段。
本实验研究AMR的特性并利用它对磁场进行测量。
关键词:磁阻传感器;磁电转换;赫姆霍兹线圈;车辆检测;罗盘目录一、实验目的 (4)二、实验原理 (4)三、实验仪器介绍 (5)四、实验内容 (8)1.测量前的准备工作 (8)2.磁阻传感器特性测量 (8)a.测量磁阻传感器的磁电转换特性 (8)b.测量磁阻传感器的各向异性特性 (9)3.赫姆霍兹线圈的磁场分布测量 (9)a. 赫姆霍兹线圈轴线上的磁场分布测量 (9)b.赫姆霍兹线圈空间磁场分布测量 (11)4.地磁场测量 (12)五、实验数据及数据处理 (13)1.磁阻传感器特性测量 (13)a.测量磁阻传感器的磁电转换特性 (13)b.测量磁阻传感器的各向异性特性 (14)2.赫姆霍兹线圈的磁场分布测量 (15)a.赫姆霍兹线圈轴线上的磁场分布测量 (15)b.赫姆霍兹线圈空间磁场分布测量 (16)3.地磁场测量 (17)六、误差分析与思考题 (17)1、误差分析 (17)2、思考题 (18)七、实验中注意事项及改进方法 (19)1、注意事项 (19)2、实验改进 (19)八、总结与收获 (20)九、原始数据照片 (20)一、实验目的1.熟悉和了解AMR的原理2.测量磁阻传感器的磁电转换特性和各向异性特性3.测量赫姆霍兹线圈的磁场分布4.测量地磁场磁场强度,磁倾角,磁偏角二、实验原理各向异性磁阻传感器AMR(Anisotropic Magneto-Resistive sensors)由沉积在硅片上的坡莫合金(Ni80 Fe20)薄膜形成电阻。