GBJ73_84洁净厂房设计规范标准

建筑设计—洁净厂房设计规范GBJ73－84 第一章总则主编部门：中华人民共和国电子工业部批准部门：中华人民共和国国家计划委员会施行日期：1985年6月1日关于发布《洁净厂房设计规范》的通知计标〔1984〕2483号根据原国家建委（78）建发设字第562号文的要求，由电子工业部会同有关部门共同编制的《洁净厂房设计规范》，已经有关部门会审。

现批准《洁净厂房设计规范》GBJ73—84为国家标准，自一九八五年六月一日起施行。

本规范由电子工业部管理，其具体解释等工作，由电子工业部第十设计研究院负责。

国家计划委员会一九八四年十二月一日编制说明本规范是根据原国家基本建设委员会（78）建发设字第562号文的要求，由我部负责主编的。

具体由我部第十设计研究院会同机械工业部第十一设计研究院、航空工业部第四规划设计研究院、电子工业部第十一设计研究院、兵器工业部第五设计研究院、中国船舶工业总公司第九设计研究院、航天工业部第七设计研究院、化工部第六设计院、中国有色金属总公司北京有色冶金设计研究总院、中国建筑科学研究院和哈尔滨建筑工程学院等单位共同编制而成。

在编制过程中，规范编制组进行了广泛的调查研究，认真总结了我国洁净厂房建设和使用的实践经验，组织有关单位开展了必要的科学试验研究工作，并广泛地征求了全国有关单位的意见。

最后，由我部会同有关部门审查定稿。

本规范共分八章和七个附录，主要的内容有：总则、空气洁净度等级、总体设计、建筑、空气净化、给水排水、工业气体管道、电气等。

鉴于本规范系初次编制，执行过程中，希各单位结合工程实践和科学研究，认真总结经验，如发现需要修改和充实之处，请将意见和有关资料寄交我部第十设计研究院，以供今后修订时参考。

电子工业部一九八四年八月二十七日第一章总则第1.0.1条洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经济合理、安全适用、确保质量，符合节约能源和环境保护的要求。

第1.0.2条本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计，但不适用于以细菌为控制对象的生物洁净室。

空气洁净度等级标准及规范GBJ73-84规定的洁净度等级等级每立方米（升）空气中》0.5μm尘粒数每立方米（升）空气中》5μm尘粒数100《35*100（〈3.5〉1000《35*1000（〈35〉《250（〈0.25〉10000《35*10000（〈350〉《2500（〈2.5〉100000《35*100000（〈3500〉《25000（〈25〉ISO 1644 国际标准中洁净室或洁净区选用的空气悬浮粒子洁净度等级等于或大于相应粒径的最大允许浓度（粒/m3）0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm1μm5μmISO1102ISO210024104ISO31000237102358ISO4100002365101835283ISO51000002365110176351783229ISO61000000236514101763351688318293ISO7351676831762925ISO8351675783176429251ISO93516757283176382925111，洁净室或洁净区内空气悬浮粒子洁净等级还有著名的美国联邦标准（Fed.St.209系列）可以参考；2，ISO1644的ISO5相当于Fed.St.209系列的100级（≥0.5μm粒子，≤3.5颗/升，或100颗/ft3，或3530颗/m3）3，洁净度等级在100级以下者（1000，10000级等）通常用0.5μm粒径考核的居多；4，随着微电子技术的发展，洁净度等级相应提高，洁净室检测粒径也越来越小（见表），对粒子检测仪器的要求当然也越来越高，对洁净室设计和施工方而言，在验收时，可能不止用一个粒径（如0.5μm）而要用到更多的粒径，如0.3 μm 0.2μm甚至0.1μm。

建筑设计-洁净厂房设计规范(ppt 28页)建筑设计—洁净厂房设计规范GBJ73－84 第一章总则一、应在大气含尘浓度较低，自然环境较好的区域；二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。

如不能远离严重空气污染源时，则应位于其最大频率风向上风侧，或全年最小频率风向下风侧；三、应布置在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越的地段。

第3.1.2条对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表允许环境振动值进行分析比较。

第3.1.3条洁净厂房最大频率风向上风侧有烟囱时，洁净厂房与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍。

第3.1.4条洁净厂房与交通干道之间的距离不宜小于50米。

第3.1.5条洁净厂房周围宜设置环形消防车道（可利用交通道路），如有困难时，可沿厂房的两个长边设置消防车道。

第3.1.6条洁净厂房周围的道路面层，应选用整体性好、发尘少的材料。

第3.1.7条洁净厂房周围应进行绿化.可铺植草坪、种植对大气含尘浓度不产生有害影响的树木,并形成绿化小区。

但不得妨碍消防操作。

第二节工艺布置和设计综合协调第3.2.1条工艺布置应符合下列要求：一、工艺布置合理、紧凑。

洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室；二、在满足生产工艺要求的前提下，空气洁净度高的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房，空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置，靠近洁净区入口处宜布置空气洁净度等级较低的工作室；三、洁净室内要求空气洁净度高的工序应布置在上风侧，易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置；四、应考虑大型设备安装和维修的运输路线，并预留设备安装口和检修口；五、应设置单独的物料入口，物料传递路线应最短，物料进入洁净区之前必须进行清洁处理。

第3.2.2条洁净厂房内宜少设隔间，但在下列情况下可予以分隔：一、按生产的火灾危险性分类，甲、乙类与非甲、乙类相邻的生产区段之间，或有防火分隔要求者；二、生产过程中产生较强噪声或散发较多热量、尘粒和有害气体，且不能采取局部措施加以控制者；三、生产联系少，并经常不同时使用的两个生产区段之间。

建筑设计—洁净厂房设计规范GBJ73－84 第一章总则主编部门：中华人民共和国电子工业部批准部门：中华人民共和国国家计划委员会施行日期：1985年6月1日关于发布《洁净厂房设计规范》的通知计标〔1984〕2483号根据原国家建委（78）建发设字第562号文的要求，由电子工业部会同有关部门共同编制的《洁净厂房设计规范》，已经有关部门会审。

现批准《洁净厂房设计规范》GBJ73—84为国家标准，自一九八五年六月一日起施行。

本规范由电子工业部管理，其具体解释等工作，由电子工业部第十设计研究院负责。

国家计划委员会一九八四年十二月一日编制说明本规范是根据原国家基本建设委员会（78）建发设字第562号文的要求，由我部负责主编的。

具体由我部第十设计研究院会同机械工业部第十一设计研究院、航空工业部第四规划设计研究院、电子工业部第十一设计研究院、兵器工业部第五设计研究院、中国船舶工业总公司第九设计研究院、航天工业部第七设计研究院、化工部第六设计院、中国有色金属总公司北京有色冶金设计研究总院、中国建筑科学研究院和哈尔滨建筑工程学院等单位共同编制而成。

在编制过程中，规范编制组进行了广泛的调查研究，认真总结了我国洁净厂房建设和使用的实践经验，组织有关单位开展了必要的科学试验研究工作，并广泛地征求了全国有关单位的意见。

最后，由我部会同有关部门审查定稿。

本规范共分八章和七个附录，主要的内容有：总则、空气洁净度等级、总体设计、建筑、空气净化、给水排水、工业气体管道、电气等。

鉴于本规范系初次编制，执行过程中，希各单位结合工程实践和科学研究，认真总结经验，如发现需要修改和充实之处，请将意见和有关资料寄交我部第十设计研究院，以供今后修订时参考。

电子工业部一九八四年八月二十七日第一章总则第1.0.1条洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经济合理、安全适用、确保质量，符合节约能源和环境保护的要求。

第1.0.2条本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计，但不适用于以细菌为控制对象的生物洁净室。

洁净厂房设计规范中华人民共和国国家标准GBJ73--84主编部门：中华人民共和国电子工业部批准部门：中华人民共和国国家计划委员会施行日期：一九八五年六月一日关于发布《洁净厂房设计规范》的通知计标［1984］2483号根据原国家建委（78）建发设字第562号文的要求，由电子工业部会同有关部门共同编制的《洁净厂房设计规范》已经有关部门会审。

现批准《洁净厂房设计规范》GBJ73－84为国家标准，自一九八五年六月一日起施行。

本规范由电子工业部管理，其具体解释等工作，由电子工业部第十设计研究院负责。

国家计划委员会一九八四年十二月一日编制说明本规范是根据原国家基本建设委员会（78）建发设字第562号文的要求，由我部负责主编的。

具体由我部第十设计研究院会同机械工业部第十一设计研究院、航空工业部第四规划设计研究院、电子工业部第十一设计研究院、兵器工业部第五设计研究院、中国船舶工业总公司第九设计研究院、航天工业部第六设计研究院、化工部第六设计院、中国有色金属总公司北京有色治金设计研究总院、中国建筑科学研究院和哈尔滨建筑工程学院等单位共同编制而成。

在编制过程中，规范编制组进行了广泛的调查研究，认真总结了我国洁净厂房建设和使用的实践经验，组织有关单位开展了必要的科学试验研究工作，并广泛地征求了全国有关单位的意见。

最后，由我部会同有关部门审查定稿。

本规范共分八章和七个附录，主要的内容有：总则、空气洁净度等级、总体设计、建筑、空气净化、给水排水、工业气体管道、电气等。

鉴于本规范系初次编制，执行过程中，希各单位结合工程实践和科学研究，认真总结经验，如发现需要修改和充实之处，请将意见和有关资料寄交我部第十设计研究院，以供今后修订时参考。

电子工业部一九八四年八月二十七日目录第一章总则第二章空气洁净度等级第三章总体设计第一节洁净厂房位置选择和总平面布置第二节工艺布置和设计综合协调第三节噪声控制第四节微振控制第四章建筑第一节一般规定第二节人员净化和物料净化设施第三节防火和疏散第四节室内装修第五节装配式洁净室第五章空气净化第一节一般要求第二节洁净室正压控制第三节气流组织和送风量第四节空气净化处理第五节采暖通风第六节风管和附件第六章给水排水第一节一般规范第二节给水第三节排水第四节消防设施第七章工业气体管道第一节通常规定第二节管道材料、阀门和附件第三节管道连接和清洗第四节安全技术第八章电气第一节配电第二节照明第三节控制、通信和防护附录一名词解释附录二洁净室空气洁净度的测试附录三洁净厂房生产的火灾危险性分类举例附录四净化空气调节系统设计对施工的要求附录五净化空气调节系统设计对维护管理的要求附录六净化空气调节系统风管壁厚附录七本规范用词说明第一章总则第1．0．1条洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经济合理、安全适用、确保质量、符合节约能源和环境保护的要求。

洁净厂房设计规范(doc 11页)洁净厂房设计规范(部分章节）GBJ73-84第一章总则第二章空气洁净度等级第三章总体设计第五章空气净化第七章工业气体管道第一章总则第1．0．1 条洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经济合理、安全适用、确保质量，符合节约能源和环境保护的要求。

第1．0．2 条本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计，但不适用于以细菌为控制对象的生物洁净室。

本规范有关防火和疏散、消防设施章节的规定，不适用于建筑高度超过24米的高层洁净厂房和地下洁净厂房的设计。

第1．0．3 条在利用原有建筑进行洁净技术改造时，洁净厂房设计必须根据生产工艺要求，因地制宜、区别对待，充分利用已有的技术设施。

第1．0．4条洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、测试和安全运行创造必要的条件。

第1．0．5条洁净厂房设计除应按本规范执行外，尚应符合现行的国家标准、规范的有关要求。

第二章空气洁净度等级第3．1．2条对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表允许环境振动值进行分析比较。

第3．1．3条洁净厂房最大频率风向上风侧有烟囱时，洁净厂房与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍。

第3.1.4条洁洁厂房与交通干道之间的距离不宜小于50米。

第3．1．5条洁净厂房周围宜设置环形消防车道(可利用交通道路)，如有困难时，可沿厂房的两个长边设置消防车道。

第3．1．6条洁净厂房周围的道路面层，应选用整体性好、发尘少的材料。

第3．1．7条洁净厂房周围应进行绿化。

可铺植草坪、种植对大气含尘农度不产生有害影响的树木，并形成绿化小区。

但不得妨碍消防操作。

第二节工艺布置和设计综合协调第3．2．1条工艺布置应符合下列要求：一、工艺布置合理、紧凑。

洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。

二、在满足生产工艺要求的前提下，空气洁净度高的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房，空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置，靠近洁净区人口处宜布置空气洁净度等级较低的工作室。

洁净厂房设计规范-----------------------作者：-----------------------日期：洁净厂房设计规范(部分章节）GBJ73-84第一章总则第二章空气洁净度等级第三章总体设计第五章空气净化第七章工业气体管道第一章总则第1．0．1 条洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经济合理、安全适用、确保质量，符合节约能源和环境保护的要求。

第1．0．2 条本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计，但不适用于以细菌为控制对象的生物洁净室。

本规范有关防火和疏散、消防设施章节的规定，不适用于建筑高度超过24米的高层洁净厂房和地下洁净厂房的设计。

第1．0．3 条在利用原有建筑进行洁净技术改造时，洁净厂房设计必须根据生产工艺要求，因地制宜、区别对待，充分利用已有的技术设施。

第1．0．4条洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、测试和安全运行创造必要的条件。

第1．0．5条洁净厂房设计除应按本规范执行外，尚应符合现行的国家标准、规范的有关要求。

第二章空气洁净度等级第2．0．1条空气洁净度应按表2.0.1规定划分为四个等级。

空气洁净度等级表2.0.1注：对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计算应进行多次采样。

当其多次出现时，方可认为该测试数值是可靠的。

第2．0．2条洁净室空气洁净度等级的检验，应以动态条件下测试的尘粒数为依据。

洁净室空气洁净度的测试，应符合附录二规定。

第三章总体设计第一节洁净厂房位置选择和总平面布置第3.1.1条洁净厂房位置的选择，应根据下列要求并经技术经济方案比较后确定：一、应在大气含尘浓度较低，自然环境较好的区域；二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。

如不能远离严重空气污染源时，则应位于其最大频率风向上风侧，或全年最小频率风向下风侧；三、应布置在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越的地段。

洁净厂房设计规范ＧＢＪ73—84主编部门：中华人民共和国电子工业部批准部门：中华人民共和国国家计划委员会施行日期：1985年6月1日目录第一章总则第二章空气洁净度等级第三章总体设计第一节洁净厂房位置选择和总平面布置第二节工艺布置和设计综合协调第三节噪声控制第四节微振控制第四章建筑第一节一般规定第二节人员净化和物料净化设施第三节防火和疏散第四节室内装修第五节装配式洁净室第五章空气净化第一节一般规定第二节洁净室正压控制第三节气流组织和送风量第四节空气净化处理第五节采暖通风第六节风管和附件第六章给水排水第一节一般规定第二节给水第三节排水第四节消防设施第七章工业气体管道第一节一般规定第二节管道材料、阀门和附件第三节管道连接和清洗第四节安全技术第八章电气第一节配电第二节照明第三节控制、通信和防护附录一名词解释附录二洁净室空气洁净度的测试附录三洁净厂房生产的火灾危险性分类举例附录四净化空气调节系统设计对施工的要求附录五净化空气调节系统设计对维护管理的要求附录六净化空气调节系统风管壁厚附录七本规范用词说明第一章总则第1.0.1条洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经济合理、安全适用、确保质量，符合节约能源和环境保护的要求。

第1.0.2条本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计，但不适用于以细菌为控制对象的生物洁净室。

本规范有关防火和疏散、消防设施章节的规定，不适用于建筑高度超过24米的高层洁净厂房和地下洁净厂房的设计。

第1.0.3条在利用原有建筑进行洁净技术改造时，洁净厂房设计必须根据生产工艺要求，因地制宜、区别对待，充分利用已有的技术设施。

第1.0.4条洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、检修测试和安全运行创造必要的条件。

第1.0.5条洁净厂房设计除应按本规范执行外，尚应符合现行的国家标准、规范的有关要求。

第二章空气洁净度等级第2.0.1条空气洁净度应按表2.0.1规定划分为四个等级。

洁净厂房设计规中华人民国国家标准GBJ73--84主编部门：中华人民国电子工业部批准部门：中华人民国国家计划委员会施行日期：一九八五年六月一日关于发布《洁净厂房设计规》的通知计标［1984］2483号根据原国家建委（78）建发设字第562号文的要求，由电子工业部会同有关部门共同编制的《洁净厂房设计规》已经有关部门会审。

现批准《洁净厂房设计规》GBJ73－84为国家标准，自一九八五年六月一日起施行。

本规由电子工业部管理，其具体解释等工作，由电子工业部第十设计研究院负责。

国家计划委员会一九八四年十二月一日编制说明本规是根据原国家基本建设委员会（78）建发设字第562号文的要求，由我部负责主编的。

具体由我部第十设计研究院会同机械工业部第十一设计研究院、航空工业部第四规划设计研究院、电子工业部第十一设计研究院、兵器工业部第五设计研究院、中国船舶工业总公司第九设计研究院、航天工业部第六设计研究院、化工部第六、中国有色金属总公司有色治金设计研究总院、中国建筑科学研究院和建筑工程学院等单位共同编制而成。

在编制过程中，规编制组进行了广泛的调查研究，认真总结了我国洁净厂房建设和使用的实践经验，组织有关单位开展了必要的科学试验研究工作，并广泛地征求了全国有关单位的意见。

最后，由我部会同有关部门审查定稿。

本规共分八章和七个附录，主要的容有：总则、空气洁净度等级、总体设计、建筑、空气净化、给水排水、工业气体管道、电气等。

鉴于本规系初次编制，执行过程中，希各单位结合工程实践和科学研究，认真总结经验，如发现需要修改和充实之处，请将意见和有关资料寄交我部第十设计研究院，以供今后修订时参考。

电子工业部一九八四年八月二十七日洁净厂房设计规目录第一章总则第二章空气洁净度等级第三章总体设计第一节洁净厂房位置选择和总平面布置第二节工艺布置和设计综合协调第三节噪声控制第四节微振控制第四章建筑第一节一般规定第二节人员净化和物料净化设施第三节防火和疏散第四节室装修第五节装配式洁净室第五章空气净化第一节一般要求第二节洁净室正压控制第三节气流组织和送风量第四节空气净化处理第五节采暖通风第六节风管和附件第六章给水排水第一节一般规第二节给水第三节排水第四节消防设施第七章工业气体管道第一节通常规定第二节管道材料、阀门和附件第三节管道连接和清洗第四节安全技术第八章电气第一节配电第二节照明第三节控制、通信和防护附录一名词解释附录二洁净室空气洁净度的测试附录三洁净厂房生产的火灾危险性分类举例附录四净化空气调节系统设计对施工的要求附录五净化空气调节系统设计对维护管理的要求附录六净化空气调节系统风管壁厚附录七本规用词说明第一章总则第1．0．1条洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经济合理、安全适用、确保质量、符合节约能源和环境保护的要求。

洁净厂房设计规范令狐采学中华人民共和国国家标准GBJ7384主编部分：中华人民共和国电子工业部批准部分：中华人民共和国国家计划委员会施行日期：一九八五年六月一日关于宣布《洁净厂房设计规范》的通知计标［1984］2483号根据原国家建委（78）建发设字第562号文的要求，由电子工业部会同有关部分共同编制的《洁净厂房设计规范》已经有关部分会审。

现批准《洁净厂房设计规范》GBJ73－84为国家标准，自一九八五年六月一日起施行。

本规范由电子工业部管理，其具体解释等工作，由电子工业部第十设计研究院担任。

国家计划委员会一九八四年十仲春一日编制说明本规范是根据原国家基本建设委员会（78）建发设字第562号文的要求，由我部担任主编的。

具体由我部第十设计研究院会同机械工业部第十一设计研究院、航空工业部第四规划设计研究院、电子工业部第十一设计研究院、兵器工业部第五设计研究院、中国船舶工业总公司第九设计研究院、航天工业部第六设计研究院、化工部第六设计院、中国有色金属总公司北京有色治金设计研究总院、中国建筑科学研究院和哈尔滨建筑工程学院等单位共同编制而成。

在编制过程中，规范编制组进行了广泛的调查研究，认真总结了我国洁净厂房建设和使用的实践经验，组织有关单位开展了需要的科学试验研究工作，并广泛地征求了全国有关单位的意见。

最后，由我部会同有关部分审查定稿。

本规范共分八章和七个附录，主要的内容有：总则、空气洁净度品级、总体设计、建筑、空气净化、给水排水、工业气体管道、电气等。

鉴于本规范系初度编制，执行过程中，希各单位结合工程实践和科学研究，认真总结经验，如发明需要修改和充分之处，请将意见和有关资料寄交我部第十设计研究院，以供今后修订时参考。

电子工业部一九八四年八月二十七日洁净厂房设计规范目录第一章总则第二章空气洁净度品级第三章总体设计第一节洁净厂房位置选择和总平面安插第二节工艺安插和设计综合协调第三节噪声控制第四节微振控制第四章建筑第一节一般规定第二节人员净化和物料净化设施第三节防火和疏散第四节室内装修第五节装配式洁净室第五章空气净化第一节一般要求第二节洁净室正压控制第三节气流组织和送风量第四节空气净化处理第五节采暖通风第六节风管和附件第六章给水排水第一节一般规范第二节给水第三节排水第四节消防设施第七章工业气体管道第一节通惯例定第二节管道资料、阀门和附件第三节管道连接和清洗第四节平安技术第八章电气第一节配电第二节照明第三节控制、通信和防护附录一名词解释附录二洁净室空气洁净度的测试附录三洁净厂房生产的火灾危险性分类举例附录四净化空气调节系统设计对施工的要求附录五净化空气调节系统设计对维护管理的要求附录六净化空气调节系统风管壁厚附录七本规范用词说明第一章总则第1．0．1条洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经济合理、平安适用、确保质量、合适节约能源和环境呵护的要求。

修建设计—洁净厂房设计范例GBJ73－84 第一章总则主编部分：中华人民共和国电子产业部批准部分：中华人民共和国国度筹划委员会施行日期：1985年6月1日关于宣布《洁净厂房设计范例》的通知计标〔1984〕2483号凭据原国度建委（78）建发设字第562号文的要求，由电子产业部会同有关部分配合体例的《洁净厂房设计范例》，已经有关部分会审。

现批准《洁净厂房设计范例》GBJ73—84为国度标准，自一九八五年六月一日起施行。

本范例由电子产业部治理，其具体解释等事情，由电子产业部第十设计研究院卖力。

国度筹划委员会一九八四年十二月一日体例说明本范例是凭据原国度根本建立委员会（78）建发设字第562号文的要求，由我部卖力主编的。

具体由我部第十设计研究院会同机器产业部第十一设计研究院、航空产业部第四筹划设计研究院、电子产业部第十一设计研究院、武器产业部第五设计研究院、中国船舶产业总公司第九设计研究院、航天产业部第七设计研究院、化工部第六设计院、中国有色金属总公司北京有色冶金设计研究总院、中国修建科学研究院和哈尔滨修建工程学院等单位配合体例而成。

在体例历程中，范例体例组进行了遍及的视察研究，认真总结了我国洁净厂房建立和使用的实践经验，组织有关单位开展了须要的科学试验研究事情，并遍及地征求了全国有关单位的意见。

最后，由我部会同有关部分审查定稿。

本范例共分八章和七个附录，主要的内容有：总则、空气洁净度品级、总体设计、修建、空气净化、给水排水、产业气体管道、电气等。

鉴于本范例系初次体例，执行历程中，希各单位结合工程实践和科学研究，认真总结经验，如发明需要修改和充实之处，请将意见和有关资料寄交我部第十设计研究院，以供今后修订时参考。

电子产业部一九八四年八月二十七日第一章总则第1.0.1条洁净厂房设计必须贯彻执行国度的有关目标政策，做到技能先进、经济公道、宁静适用、确保质量，切合节约能源和情况掩护的要求。

第1.0.2条本范例适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计，但不适用于以细菌为控制东西的生物洁净室。

第3.1.4条洁洁厂房与交通干道之间的距离不宜小于50米。

第3．1．5条洁净厂房周围宜设置环形消防车道(可利用交通道路)，如有困难时，可沿厂房的两个长边设置消防车道。

第3．1．6条洁净厂房周围的道路面层，应选用整体性好、发尘少的材料。

第3．1．7条洁净厂房周围应进行绿化。

可铺植草坪、种植对大气含尘农度不产生有害影响的树木，并形成绿化小区。

但不得妨碍消防操作。

第二节工艺布置和设计综合协调第3．2．1条工艺布置应符合下列要求：一、工艺布置合理、紧凑。

洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。

二、在满足生产工艺要求的前提下，空气洁净度高的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房，空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置，靠近洁净区人口处宜布置空气洁净度等级较低的工作室。

三、洁净室内要求空气洁净度高的工序应布置在上风侧，易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。

四、应考虑大型设备安装和维修的运输路线，并预留设备安装口和检修口。

五、应设置单独的物料人口，物料传递路线应最短，物料进入洁净区之前必须进行清洁处理。

第3．2．2条洁净厂房内宜少设隔间，但在下列情况下可予以分隔。

一、按生产的火灾危险性分类，甲、乙类与非甲、乙类相邻的生产区段之间，或有防火分隔要求者。

二、生产过程中产生较强噪声或散发较多热量、尘粒和有害气体，且不能采取局部措施加以控制者。

三、生产联系少，并经常不同时使用的两个生产车间之间。

第3．2．3条洁净厂房的平面和空间设计，宜将洁净区、人员净化、物料净化和其他辅助用房进行分区布置。

同时应考虑生产操作、工艺设备安装和维修、气流组织型式、管线布置以及净化空气调节系统等各种技术设施的综合协调效果。

第3．2．4条洁净厂房设计必须合理确定各种管线的平面位置和竖向标高。

第3．2．5条洁净厂房内各种固定技术设施(如送风口、照明器、回风口、各种管线等)的布置，宜首先考虑净化空气调节系统的要求。

可以参考；2,ISO1644的ISO5相当于Fed.St。

209系列的100级（≥0.5μm粒子，≤3。

5颗/升,或100颗/ft3，或3530颗/m3）3，洁净度等级在100级以下者(1000，10000级等）通常用0.5μm粒径考核的居多；4,随着微电子技术的发展，洁净度等级相应提高，洁净室检测粒径也越来越小（见表）,对粒子检测仪器的要求当然也越来越高,对洁净室设计和施工方而言，在验收时，可能不止用一个粒径（如0。

5μm）而要用到更多的粒径,如0.3 μm 0.2μm甚至0。

1μm。

空气洁净度空气洁净度1．空气洁净度和级别空气洁净度是洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度.通常空气中含尘浓度低则空气洁净度高,含尘浓度高则空气洁净度低。

按空气中悬浮粒子浓度来划分洁净室及相关受控环境中空气洁净度等级，就是以每立方米空气中的最大允许粒子数来确定其空气洁净度等级。

洁净度标准的制定以前有关国家都各自制定自己的标准,但基本上都是参照美国标准FS—209的各版进行，仅单位制及命名方法有所变换或改变.在命名上基本可分为两类: 一是以单位体积空气中大于等于规定粒径的粒子个数直接命名或以符号命名,这种命名方法以美国FS—209A～E版为代表，其规定粒径为0。

5μm，以空气中≥0.5μm粒径的粒子浓度采用英制pc/ft3直接命名，如标准中的100级,表示空气中≥0。

5μm粒径的粒子浓度为100pc/ft3直接命名,即每立方英尺的空气中≥0.5μm粒径的粒子数量为100个，（我们平时使用的是国际单位，即通常所指的是每立方米的空气中所含≥0.5μm粒径的粒子数量，因为1立方米≈35.2立方英尺，所以我们看到标准中100级对应≥0。

5μm粒径的粒子数量不是100个,而是3520个，就是这个道理）。

二是以单位体积空气中大于等于规定粒径的粒子个数以10n表示，按指数n 命名空气洁净度的等级，这种命名方法以日本JISB9920为代表，其规定粒径为0.1μm，以空气中≥0。